KR100550312B1 - 부식 방지용 진공 게이트밸브 - Google Patents

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KR100550312B1
KR100550312B1 KR1020050068168A KR20050068168A KR100550312B1 KR 100550312 B1 KR100550312 B1 KR 100550312B1 KR 1020050068168 A KR1020050068168 A KR 1020050068168A KR 20050068168 A KR20050068168 A KR 20050068168A KR 100550312 B1 KR100550312 B1 KR 100550312B1
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fluid passage
corrosion
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gate valve
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KR1020050068168A
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김배진
서진천
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주식회사 에스티에스
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Abstract

본 발명은 부식 방지용 진공 게이트밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브는, 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로가 형성되고, 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간이 형성된 하우징; 상기 슬라이드 공간내에 삽입되어서 상기 메인유체통로를 개폐하는 유체통로 밀폐부재; 상기 유체통로 밀폐부재를 구동시키는 제 1액츄에이터;를 포함하는 진공 게이트밸브에 있어서,
상기 메인유체통로와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드 공간을 개폐시키는 부식방지 밀폐부재; 및 상기 부식방지 밀폐부재를 상하로 구동시키는 제 2액츄에이터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브에 의하면, 부식방지 밀폐부재를 구비하여 밸브가 열렸을 때에도 밸브내의 슬라이드 공간으로 유체가 유입되지 아니하므로 슬라이드 공간내의 유체통로 밀폐부재, 링크 및 구동축 등이 부식되는 것을 방지한다는 장점이 있다.
하우징, 유체통로 밀폐부재, 부식방지 밀폐부재, 액츄에이터

Description

부식 방지용 진공 게이트밸브{Protection Vacuum Gate Valve}
도 1은 종래의 진공 게이트밸브의 사시도,
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 열렸을때의 상태를 보인 평면도,
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 열렸을때의 상태를 보인 측면도,
도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 닫혔을때의 상태를 보인 평면도,
도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 닫혔을때의 상태를 보인 측면도,
도 6은 본 발명의 제 1액츄에이터의 외관도 및 단면도,
도 7은 본 발명의 제 2액츄에이터의 구성을 보인 분해사시도,
도 8은 본 발명의 제 2액츄에이터의 구성을 보인 분해단면도이다.
*도면의 주요부위에 대한 부호의 설명*
100: 하우징 110: 메인유체통로
112: 유입부 114: 유출부
120: 보조유체통로 130: 슬라이드공간
140: 차단판 200: 유체통로 밀폐부재
210: 플레이트 220: 롤러
300: 링크 310: 제 1축
320: 제 1힌지축 330: 제 2축
340: 제 2힌지축 350: 제 3힌지축
360: 제 4힌지축 400: 제 1액츄에이터
401: 피스톤 405: 제 1실린더
410: 구동축 415, 416: 제 1압축공기 유입부
420: 벨로우즈 425: 고정원통체
430: 슬라이드홈 435: 인디게이트링
440: 눈금자 500: 부식방지 밀폐부재
510: 제 1돌출부 520: 탄성부
600: 제 2액츄에이터 610: 제 1몸체
611: 압축공기 투입부 612: 제 2돌출부
613: 제 1구멍 630: 제 2압축공기 유입부
640: 제 2몸체 641: 탄성부 지지부
642: 제 2구멍 643: 제 3구멍
700: 관구경 조절밸브
본 발명은 부식 방지용 진공 게이트밸브에 관한 것으로서, 더 상세하게는 부식방지 밀폐부재를 구비하여 슬라이드 공간으로 유체가 유입되어 유체통로 밀폐부재가 부식되는 것을 방지하는 부식 방지용 진공 게이트밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조된다. 따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.
따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.
도 1은 종래의 진공 게이트밸브의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 진공 게이트밸브는 공정챔버(미도시)와 진공펌프(미도시)에 연결되는 메인유체통로(110)가 형성되고, 상기 메인유체통로(110)를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간(130)이 형성된 하우징(100); 상기 슬라이드 공간(130)내에 삽입되어서 상기 메인유체통로(110)를 개폐하는 유체통로 밀폐부재 (200); 상기 유체통로 밀폐부재(200)와 링크연결된 구동축(410)을 전후진 시키는 제 1액츄에이터(400);를 포함하고 있다.
그러나, 종래의 진공 게이트밸브는 밸브가 열려 상기 메인유체통로(110)에 유체가 유입될때, 상기 슬라이드공간(130)으로도 유체가 유입되므로, 상기 슬라이드공간(130)에 위치하는 상기 유체통로 밀폐부재(200), 링크(300) 및 구동축(410) 등이 유체에 의하여 부식되어 밸브의 수명을 단축시킬뿐만 아니라, 상기 슬라이드공간(130)내로 유입되는 유체로 인하여 이물질이 고체화되어 상기 유체통로 밀폐부재(200)가 작동이 불가능하게 되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서 본 발명의 목적은 부식방지 밀폐부재를 구비함으로써 슬라이드 공간으로 유체가 유입되는 것을 방지하여 슬라이드 공간내의 유체통로 밀폐부재, 링크 및 구동축 등이 부식되는 것을 방지하는 부식 방지용 진공 게이트밸브를 제공하는 것이다.
또한, 부식방지 밀폐부재로 인하여 슬라이드 공간내에 와류를 방지하고 메인유체통로에 흐르는 유체를 원활하게 하는 부식 방지용 진공 게이트밸브를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에 따른 부식 방지용 진공 게 이트밸브는 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로가 형성되고, 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간이 형성된 하우징; 상기 슬라이드 공간내에 삽입되어서 상기 메인유체통로를 개폐하는 유체통로 밀폐부재; 상기 유체통로 밀폐부재를 구동시키는 제 1액츄에이터;를 포함하는 진공 게이트밸브에 있어서,
상기 메인유체통로와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드 공간을 개폐시키는 부식방지 밀폐부재; 및 상기 부식방지 밀폐부재를 상하로 구동시키는 제 2액츄에이터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 부식방지 밀폐부재는 상기 메인유체통로를 감싸는 실린더형으로서, 그 외주면 하부에는 상기 부식방지 밀폐부재의 둘레를 따라 제 1돌출부가 형성되어 있고, 상기 제 1돌출부의 상단에는 하방으로 탄성력을 제공하는 복수개의 탄성부;를 형성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 2액츄에이터는 실린더 형상으로서, 외주면 하부에는 둘레를 따라 제 2돌출부가 형성되어 있으며, 상기 제 2돌출부의 내측에는 압축공기 투입부가 형성된 제 1몸체;
실린더 형상으로서, 상기 부식방지 밀폐부재 및 상기 제 1몸체를 수용하며, 하단부는 상기 제 1몸체의 압축공기 투입부 바깥쪽의 돌출부와 결합되고, 내주면에는 내주면 둘레를 따라 상기 부식방지 밀폐부재의 탄성부를 지지하는 탄성부 지지부를 포함하는 제 2몸체;
상기 제 1몸체의 제 2돌출부의 측면에 위치하여 상기 압축공기 투입부에 압 축공기를 유입시키는 압축공기 유입부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 1액츄에이터에는 상기 유체통로 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서가 포함되며, 상기 제 2액츄에이터에는 상기 부식방지 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유체통로 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서 및 상기 부식방지 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서의 값을 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 메인유체통로는 상기 공정챔버에 연결되는 유입부의 외측면으로부터 상기 메인유체통로의 중앙부 또는 상기 진공펌프에 연결되는 유출부의 외측면으로 보조유체통로를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 열렸을때의 상태를 보인 평면도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 열렸을때의 상태를 보인 측면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 닫혔을때의 상태를 보인 평면도이며, 도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 닫혔을때의 상태를 보인 측면도이다.
도 2 내지 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브는 하우징(100), 유체통로 밀폐부재(200), 링크(300), 제 1액츄에이터(400), 부식방지 밀폐부재(500), 제 2액츄에이터(600)가 포함된다.
상기 하우징(100)은 메인유체통로(110), 슬라이드공간(130)을 포함한다.
상기 메인유체통로(110)는 일측은 공정챔버에 연결되는 유입부(112)가 형성되며, 타측은 진공펌프에 연결되는 유출부(114)가 형성되는 것이 바람직하다. 상기 메인유체통로(110)는 상기 공정챔버에서 유입되는 유체를 상기 진공펌프로 유출하는 통로라고 할 수 있다.
한편, 상기 메인유체통로(100)의 외측에는 상기 공정챔버와 상기 진공펌프의 압력 차이를 유지하기 위하여 보조유체통로(120)가 형성되는 것이 좋다. 상기 보조유체통로(120)는 상기 공정챔버와 연결되는 상기 메인유체통로(110)의 유입부(112)로부터 외측 방향으로 형성되어 상기 메인유체통로(110)의 중앙 부근으로 유입되는 "ㄷ"자 형상이 바람직하다. 또한, 상기 보조유체통로(120)를 통과한 유체는 결국 상기 진공펌프로 향하게 되므로 상기 메인유체통로(110)의 중앙 부근으로 유입되는 통로를 상기 메인유체통로(110)의 유출부(114)에 위치시킬 수도 있다.
한편, 상기 보조유체통로(120)는 관속과 밸브 내부가 관측될 수 있도록 제조되는 것이 좋다.
상기 슬라이드공간(130)은 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하여 형성되는 것으로서, 후술할 유체통로 밀폐부재(200)의 이동통로이다. 후술할 유체통로 밀폐부재(200)는 상기 슬라이드공간(130)을 이동하며 상기 메인유체통로(110)를 개폐하는 역할을 한다.
한편, 상기 하우징(100)에는 일단에 차단판(140)이 부착되어 후술할 제 1액츄에이터(400)가 결합되는데, 상기 차단판(140)에는 후술할 링크(300)와 구동축(410)을 연결하기 위하여 내부에 공간을 형성하는 것이 바람직하다.
상기 유체통로 밀폐부재(200)는 상기 슬라이드 공간(130)에 위치하여 상기 메인유체통로(110)를 개폐하는 것으로서, 후술할 링크(300)와 연결되는 플레이트(210)를 구비하고, 상기 플레이트(210)의 가장자리에 회전되도록 결합되며 상기 슬라이드 공간(130)의 측벽에 접촉되는 복수개의 롤러(220)가 형성되는 것이 바람직하다. 상기 유체통로 밀폐부재(200)는 상기 롤러(220)로 인하여 상기 슬라이드 공간(130)에서 이동이 용이한 것이 특징이다.
상기 링크(300)는 제 1축(310)과 제 2축(330)으로 구성되어 있는데, 상기 제 1축(310)은 제 1힌지축(320)에 의하여 상기 제 1축(310)의 일단이 플레이트(210)에 회동 가능하게 연결되며, 상기 제 2축(330)은 제 2힌지축(340)에 의하여 상기 제 1축(310)의 타단과 상기 제 2축(330)의 일단이 회동 가능하게 연결된다. 또한, 상기 제 2축(330)의 타단은 제 3힌지축(350)에 의하여 상기 차단판(140)에 회동 가능하게 연결되며, 제 4힌지축(360)에 의하여 후술할 구동축(410)에 회동 가능하게 연결되는 것이 바람직하다. 이러한 상기 링크(300)는 후술할 구동축(410)이 전진하면, 상기 제 2축(330)과 제 1축(310)을 연속으로 회동시켜 결과적으로 상기 제 1축(310)이 전진하는 방향으로 힘을 가하여 상기 플레이트(210)를 전진시킨다. 이와 반대로 후술할 구동축(410)이 후진하면, 상기 제 2축(330)과 제 1축(310)을 역방향으로 회동시켜 상기 제 1축(310)이 후진하는 방향으로 힘을 가하여 상기 플레이트(210)를 후진시킨다.
상기 제 1액츄에이터(400)는 구동축(410)을 전후진 시키는 작용을 한다. 이러한 제 1액츄에이터(400)는 자동식 또는 수동식 등이 있을 수 있으나, 자동식의 경우에는 압축공기에 의하여 작동하는 뉴메틱(PNEUMATIC) 타입으로 하는 것이 바람직하다.
도 6은 본 발명의 제 1액츄에이터의 외관도 및 단면도로서, 도 6을 참조하여 본 발명의 제 1액츄에이터를 설명하기로 한다. 기본적으로 뉴메틱타입의 제 1액츄에이터는 압축공기가 유입되는 제 1압축공기 유입부(415, 416), 제 1실린더(405), 구동축(410), 벨로우즈(420) 등이 포함되나, 공지기술이므로 자세한 설명을 생략하기로 한다
상기 제 1액츄에이터(400)는 외부에서 상기 제 1액츄에이터(400)의 구동을 쉽게 인지할 수 있도록 인디게이트링(435)과 외주면에 슬라이드홈(430)이 형성된 고정원통체(425)를 포함하는 것이 좋다.
상기 인디게이트링(435)은 상기 고정원통체(425)의 외주면을 사이에 두고 상기 구동축(410)과 결합되어 상기 구동축(410)이 움직일 때 함께 상기 슬라이드홈(430)을 따라 운동하게 된다. 상기 고정원통체(425)의 외주면에는 밸브의 개폐를 표시한 눈금자(440)를 붙이는 것이 바람직하며, 상기 눈금자(440)에 적혀진 표시를 용이하게 인식하기 위하여 상기 인디게이트링(435)은 투명소재를 사용하는 것이 좋다.
한편, 상기 제 1액츄에이터(400)는 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 위치를 감지할 수 있는 센서(미도시)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 센서는 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 위치를 감지하여 후술할 부식방지 밀폐부재(500)의 작동을 가능하게 하는 것이 특징이다.
상기 부식방지 밀폐부재(500)는 수직운동을 하며 상기 메인유체통로(110)내에 형성되어 있는 상기 슬라이드공간(130)을 개폐하는 것으로서, 그 형태는 다양한 형상으로 구성될 수 있으나, 간단하게는 상기 하우징(100)에 형성되어 있는 상기 메인유체통로(110)를 감싸는 실린더형으로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 부식방지 밀폐부재(500)는 그 외주면 하부에 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 둘레를 따라 제 1돌출부(510)가 형성되어 있고, 상기 제 1돌출부(510)의 상단에는 하방으로 탄성력을 제공하는 복수개의 탄성부(520)를 형성하는 것이 좋다. 상기 부식방지 밀폐부재(500)는 후술할 제 1몸체(610)에 결합되며, 제 1몸체(610)에 형성되어 있는 압축공기 투입부(611) 및 상기 탄성부(520)로 인하여 승하강이 가능한 것이 특징이다.
상기 탄성부(520)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 제 1돌출부(510) 상단에 위치하게 되는데, 외부로부터 힘이 가해지지 않을 경우에는 즉, 제 2압축공기 유입부(630)로부터 공기가 유입되지 않을 경우에는 그 탄성력으로 인하여 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 하방향으로 이동시킨다. 한편, 상기 부식방지 밀폐부재(500)는 상기 탄성부(520)의 작용뿐만 아니라, 자체 무게에 의한 자연낙하 또한 가능할 것이므로, 본 발명에 반드시 필요한 부분은 아닐 것이다.
이하에서는 도 7 및 8을 참조하여 제 2액츄에이터의 구성 및 작용을 설명한다.
상기 제 2액츄에이터(600)는 제 1몸체(610), 압축공기 투입부(611), 제 2압축공기 유입부(630), 제 2몸체(640)로 구성된다.
상기 제 1몸체(610)는 실린더 형상으로서, 그 외주면 하부에는 둘레를 따라 제 2돌출부(612)가 형성되는 것이 좋다. 상기 제 2돌출부(612)의 외측에는 후술할 제 2몸체(640)와의 결합이 가능하도록 복수개의 제 1구멍(613)이 일정간격으로 형성되는 것이 좋으며, 내측에는 압축공기 투입부(611)가 형성되는 것이 바람직하다.
상기 압축공기 투입부(611)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 제 1돌출부(510) 하단에 위치하게 되는데, 상기 제 2압축공기 유입부(630)를 통하여 유입되는 압축 공기를 상기 압축공기 투입부(611)에서 그 상부에 위치하는 상기 부식방지 밀 폐부재(500)로 전달하여 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 상방향으로 이동시키는 역할을 한다.
상기 제 2압축공기 유입부(630)는 상기 제 1몸체(610)의 제 2돌출부(612)의 측면에 위치하며, 상기 압축공기 투입부(611)에 압축공기를 유입시키는 역할을 한다.
상기 제 2몸체(640)는 실린더 형상으로서, 상기 부식방지 밀폐부재(500) 및 상기 제 1몸체(610)를 수용하며, 하단에 복수개의 제 3구멍(643)이 형성되어 상기 제 1몸체(610)와 결합을 가능하게 한다. 상기 제 2몸체(640)의 하단부는 상기 제 1몸체(610)의 압축공기 투입부(611) 외측의 제 2돌출부(612)와 결합되고, 내주면에는 내주면 둘레를 따라 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 탄성부(520)를 지지하는 탄성부 지지부(641)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 탄성부 지지부(641)에는 상기 탄성부(520)가 삽입 고정되도록 제 2구멍(642)이 형성되는 것이 좋다. 상기 제 2압축공기 유입부(630)로부터 압축공기가 유입되면, 상기 부식방지 밀폐부재(500)가 상승하게 되는데, 이때 상기 탄성부 지지부(641)가 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 제 1돌출부(510) 상단에 위치하는 탄성부(520)를 수축시키며, 압축공기가 차단되면 상기 탄성부(520)의 탄성력으로 인하여 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 하방향으로 이동시킨다.
한편, 상기 제 2액츄에이터(600)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 위치를 감지할 수 있는 센서(미도시)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 센서가 상기 부식 방지 밀폐부재(500)의 위치를 감지하게 되면, 감지된 값에 의하여 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 작동을 제어할 수 있다. 마찬가지로 상기 제 1액츄에이터(400)에도 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 위치를 감지하는 센서를 구비하여, 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 위치에 따라 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 구동하게 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기에서 설명한 상기 부식방지 밀폐부재(500) 및 제 2액츄에이터(600)는 상기 유출부(114) 방향에 구비되는 것으로 설명하였으나, 이와 반대로 거꾸로 뒤집혀서 상기 유입부(112) 방향으로 형성되는 것도 가능할 것이다.
상기 관구경 조절밸브(700)는 상기 보조 유체통로(120)의 구경을 조절하는 것으로서, 볼트와 너트를 이용하여 필요시 상기 하우징(100)에서 이의 제거를 용이하게 하는 것이 바람직하나 상기 관구경 조절밸브(700)를 상기 하우징(100)과 일체로 제조하는 것도 가능하다. 상기 관구경 조절밸브(700)에 대한 것은 공지기술이므로 자세한 설명을 생략하기로 한다.
이하에서는 상기와 같은 구성으로 된 부식 방지용 진공 게이트밸브의 작용을 설명한다.
먼저, 진공 게이트밸브가 열리는 과정을 설명한다.
도 2 및 도 3을 참조하여 진공 게이트밸브의 열리는 과정을 설명하면, 닫혀있는 상태에서 제 1압축공기 유입부(416)를 통하여 압축공기가 유입되어 제 1액츄 에이터(400)내의 구동축(410)을 슬라이드 공간(130)으로부터 외측으로 인출시키면, 구동축(410)에 링크연결된 유체통로 밀폐부재(200)는 제 1액츄에이터(400) 측으로 이동하게 된다. 따라서 유체통로 밀폐부재(200)는 메인유체통로(110)로부터 이탈하여 제 1액츄에이터(400)측의 슬라이드 공간(130)으로 이동하게 되며, 그 결과 메인유체통로(110)는 개방된다.
이때, 상기 제 1액츄에이터(400)의 구동축(410)의 움직임이 센서에 의하여 감지되면, 상기 구동축(410)과 결합된 인디게이트링(435)은 상기 구동축(410)과 함께 운동하게 되며 밸브가 열리는 위치에 설치된 센서(미도시)를 건드리게 된다. 이로 인하여 상기 제 2압축공기 유입부(630)에는 압축 공기가 유입되고, 유입된 압축 공기가 상기 압축공기 투입부(611)를 통하여 그 상부에 있는 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 상승시킨다. 따라서 상기 메인유체통로(110)를 밀폐시킨다.
한편, 상기 제 1액츄에이터(400)에 구비된 센서의 동작을 외부에 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것이 바람직한데, 간단하게는 LED(Light Emitting Diode)를 사용할 수 있다.
다음으로, 도 4 및 도 5를 참조하여 진공 게이트밸브의 닫히는 과정을 설명하면, 제 2압축공기 유입부(630)를 통하여 유입되는 압축공기를 차단하면 수축되었던 탄성부(520)의 탄성력으로 인하여 그 하부에 위치하는 부식방지 밀폐부재(500)는 하강하게 된다. 이때, 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 움직임이 센서에 의하여 감지되면, 제 1압축공기 유입부(415)를 통하여 유인된 압축공기는 제 1액츄에이터 (400)의 구동축(410)을 슬라이드 공간(130)으로 밀게된다. 이로 인하여 구동축(410)에 링크연결된 유체통로 밀폐부재(200)는 메인유체통로(110) 측으로 이동하며 상기 메인유체통로(110)를 폐쇄하게 된다.
한편, 상기 제 2액츄에이터(600)에 구비된 센서의 동작을 외부에 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것이 바람직한데, 간단하게는 LED(Light Emitting Diode)를 사용할 수 있다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
이상 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 부식방지 밀폐부재를 구비하여 밸브가 열렸을 때에도 밸브내의 슬라이드 공간으로 유체가 유입되지 아니하므로 슬라이드 공간내의 유체통로 밀폐부재, 링크 및 구동축 등이 부식되는 것을 방지한다는 장점이 있다.
또한, 부식방지 밀폐부재로 인하여 슬라이드 공간내에 와류를 방지하고 메인유체통로에 흐르는 유체를 원활하게 한다는 장점이 있다.
또한, 부식방지 밀폐부재를 구비하여 슬라이드 공간내에 입자들이 부착되어 유체통로 밀폐부재의 운동을 방해하는 것을 방지한다는 장점이 있다.

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로가 형성되고, 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간이 형성된 하우징; 상기 슬라이드 공간내에 삽입되어서 상기 메인유체통로를 개폐하는 유체통로 밀폐부재; 상기 유체통로 밀폐부재를 구동시키는 제 1액츄에이터;를 포함하는 진공 게이트밸브에 있어서,
    상기 메인유체통로를 감싸는 실린더형으로서, 그 외주면 하부에는 상기 부식방지 밀폐부재의 둘레를 따라 제 1돌출부가 형성되고, 상기 메인유체통로와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드 공간을 개폐시키는 부식방지 밀폐부재; 및
    상기 부식방지 밀폐부재를 상하로 구동시키되, 실린더형으로서 외주면 하부에는 둘레를 따라 제 2돌출부가 형성되어 있으며, 상기 제 2돌출부의 내측에는 압축공기 투입부가 형성된 제 1몸체:와 상기 제 1몸체의 제 2돌출부의 측면에 위치하여 상기 압축공기 투입부에 압축공기를 유입시키는 압축공기 유입부:를 포함하는 제 2액츄에이터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 부식 방지용 진공 게이트밸브.
  3. 청구항 제2에 있어서,
    상기 부식방지 밀폐부재의 제 1돌출부 상단에는 하방으로 탄성력을 제공하는 복수개의 탄성부;가 형성되며,
    상기 제 2액츄에이터에는 실린더 형상으로서, 상기 부식방지 밀폐부재 및 상기 제 1몸체를 수용하며, 하단부는 상기 제 1몸체의 압축공기 투입부 바깥쪽의 돌출부와 결합되고, 내주면에는 내주면 둘레를 따라 상기 부식방지 밀폐부재의 탄성부를 지지하는 탄성부 지지부를 포함하는 제 2몸체;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부식 방지용 진공 게이트밸브.
  4. 청구항 제2 또는 3에 있어서,
    상기 제 1액츄에이터에는 상기 유체통로 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서가 포함되며, 상기 제 2액츄에이터에는 상기 부식방지 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부식 방지용 진공 게이트밸브.
  5. 청구항 제4에 있어서,
    상기 제 1액츄에이터 및 제 2액츄에이터에는 상기 유체통로 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서 및 상기 부식방지 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서의 값을 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부식 방지용 진공 게이트밸브.
  6. 청구항 제2에 있어서,
    상기 메인유체통로는 상기 공정챔버에 연결되는 유입부의 외측면으로부터 상기 메인유체통로의 중앙부 또는 상기 진공펌프에 연결되는 유출부의 외측면으로 보조유체통로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부식 방지용 진공 게이트밸브.
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KR100979688B1 (ko) 2010-02-03 2010-09-02 주식회사 에스알티 게이트 밸브
KR101758802B1 (ko) * 2015-08-31 2017-07-17 주식회사 마이크로텍 게이트 밸브의 프로텍션 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100837303B1 (ko) * 2007-10-16 2008-06-12 (주) 퓨쳐하이테크 반도체 및 ｌｃｄ 진공 장비용 게이트 밸브
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