KR20130084965A

KR20130084965A - 에어 밸브

Info

Publication number: KR20130084965A
Application number: KR1020120150718A
Authority: KR
Inventors: 이호영; 류양숙
Original assignee: 이호영
Priority date: 2012-01-18
Filing date: 2012-12-21
Publication date: 2013-07-26
Also published as: KR101408008B1

Abstract

본 발명은 반도체 소자나 장치를 제조하기 위한 챔버의 포어라인(foreline) 등에 설치되어 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하기 위한 에어 밸브에 관한 것이다. 본 발명에 따른 에어 밸브는 챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서, 유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체를 구비하고, 상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며, 상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와, 상기 로드에 결합되는 밸브 축, 상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판, 상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링, 상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈 및, 상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

에어 밸브{Air valve}

본 발명은 에어 밸브에 관한 것으로, 특히 반도체 소자나 장치를 제조하기 위한 챔버의 포어라인(foreline) 등에 설치되어 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하기 위한 에어 밸브에 관한 것이다.

반도체 소자 또는 반도체 장치를 생산하는 경우에는 챔버 내부에 웨이퍼를 배치하고 여기에 각종 반응 가스 등을 주입하여 증착이나 에칭 등을 실행하게 된다. 그리고 하나의 제조 공정이 종료되면 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하여 챔버 내부를 진공상태로 만든 후 다시 필요한 가스 등을 챔버 내부로 주입함으로써 다음 공정을 실행하게 된다.

챔버에 연결되어 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하는 배기관, 이른 바 포어라인에는 배기 가스의 배출을 단속하기 위한 밸브가 설치된다. 이 밸브는 정상상태에서 열림상태로 유지되는 것과, 정상 상태에서 닫힘상태로 유지되는 것이 있다. 어떠한 것이든 이러한 밸브는 공압에 의해 그 작동상태가 전환된다.

챔버 내부는 고온, 고압으로 유지된다. 특히 챔버 내부에서는 증착이나 에칭 등의 물리화학적인 반응이 지속적으로 진행되므로, 챔버로부터 외부로 배출되는 가스에는 다량의 가스 물질이 포함된다. 배기관에 구비되는 에어 밸브가 개방되면 챔버 내부에서 고온, 고압 상태로 존재하던 물질 가스가 배기관을 통해서 외부로 배출되는데, 이때 물질의 가스의 압력과 온도가 급격하게 낮아지게 된다. 그리고 이에 따라 배기 가스에 포함되어 있는 물질 가스, 예컨대 폴리머가 순간적으로 결정화되어 배기관의 내부와 에어 밸브에 부착된다. 이러한 현상이 반복적으로 진행되어 배기관이나 에어 밸브에 부착되는 물질의 양이 증가하게 되면 에어 밸브이 닫힘상태가 완벽하게 유지되지 못함으로써 챔버 내부의 반응가스가 외부로 누출되거나 챔버 내부가 완변하게 진공상태를 유지하지 못하는 문제가 발생하게 된다. 이는 챔버 내부에서 제조하는 소자나 반도체 장치의 수율에 큰 영향을 미치게 된다.

상기한 문제를 해결하기 위해, 종래에는 에어 밸브의 몸체 외관에 히트 자켓을 설치하여 에어 밸브를 통해 배출되는 가스의 온도가 저하되는 것을 방지하는 시도가 있어 왔다. 그러나 이러한 방법은 히트 자켓으로부터 에어 밸브 내부로의 열전달 과정에서 많은 열손실이 발생되므로 에너지 낭비가 크다는 단점이 있고, 또한 에어 밸브 내부에 충분한 열을 공급하지 못하여 에어 밸브 내부에서 물질 가스가 결정화되어 부착되는 현상이 여전히 존재하는 문제가 있게 된다.

본 발명은 상기한 사정을 감안하여 창출된 것으로서, 에어 밸브 내부의 온도를 일정 온도 이상으로 유지할 수 있도록 구성된 에어 밸브를 제공함에 그 기술적 목적이 있다.

상기 목적을 실현하기 위한 본 발명에 제1 관점에 따른 에어 밸브는 챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서, 유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체를 구비하고, 상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며, 상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와, 상기 로드에 결합되는 밸브 축, 상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판, 상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링, 상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈 및, 상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 본체의 외측에 내열 코팅이 형성된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 본체 내측에 테프론 코팅이 형성된 것을 특징으로 한다.

또한 본체의 외측벽에 히터패드가 추가로 삽입되어 설치된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 본체 내부의 온도를 감지하기 위한 감지 수단을 추가로 포함하여 구성되고, 상기 제어수단은 상기 감지 수단의 감지 결과를 근거로 히터폴에 대한 전력 공급을 제어하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 본체 내부의 온도가 정상치를 벗어나는 경우에 경보 신호를 출력하는 경보 수단을 추가로 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 실현하기 위한 본 발명에 제2 관점에 따른 에어 밸브는 챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서, 유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체와 차단판을 구비하고, 상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며, 상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와, 상기 로드에 결합되는 밸브 축, 상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판, 상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링, 상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈, 상기 벨로우즈의 외측에 구비됨과 더불어 개폐판에 하측이 결합되는 차단파이프, 상기 차단파이프의 상측이 삽입됨과 더불어 슬라이딩 이동가능하게 홈이 형성된 차단판을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 차단판에 형성된 홈의 내주연 또는 외주연과 내주연 및 외주연에 오링이 구비된 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 실현하기 위한 본 발명에 제3 관점에 따른 에어 밸브는챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서, 유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체와 차단판을 구비하고, 상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며, 상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와, 상기 로드에 결합되는 밸브 축, 상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판, 상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링, 상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈, 상기 벨로우즈의 외측에 구비됨과 더불어 개폐판에 하측이 결합되는 차단파이프, 상기 차단파이프의 상측이 삽입됨과 더불어 슬라이딩 이동가능하게 홈이 형성된 차단판, 상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기한 구성으로 된 본 발명에 의하면, 밸브 축의 내부에 장착된 히터폴에 의해 밸브 본체 내부의 온도가 일정 온도로 유지되므로 챔버로부터 외부로 배출되는 반응가스 물질이 급속한 냉각에 의해 본체 내부에 부착되는 것이 최대한도로 억제된다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 에어 밸브의 단면도.
도 2는 도 1에 도시된 에어 밸브의 동작 상태도.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 설명한다. 단, 이하에 설명하는 실시예는 본 발명의 하나의 바람직한 구현예를 예시적으로 나타낸 것으로서, 이러한 실시예의 예시는 본 발명의 권리범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 발명은 그 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 밸브의 단면도이다.

본 발명에 따른 에어 밸브는 본체(10)와, 본체(10)에 구비되어 밸브를 구동시키는 실린더(20) 및, 본체(10) 내부의 온도를 제어하기 위한 제어부(30)가 구비된다. 이때 제어부(30)는 본체(10)와 분리적으로 설치될 수 있다.

본체(10)는 상측과 하측이 개구된 형상으로 형성된다. 또한 본체(10)의 일측에는 챔버(도시되지 않음)측과 결합되어 챔버로부터 배출되는 가스가 유입되는 유입구(11)가 형성되고, 하측에는 가스를 배출하기 위한 배출구(12)가 형성된다. 상기 배출구(12)의 상측에는 밸브에 의해 개폐되는 밸브케이싱(13)이 형성된다.

본체(10)의 유입구(11)와 배출구(12)의 사이에는 본체 내부의 압력을 조절하기 위한 압력 조절관(15)이 형성된다. 압력 조절관(15)에는 압력 조절관(15)을 개폐하기 위한 예컨대 솔레노이드 밸브(c)가 구비된다.

본체(10)의 외벽 내부에는 본체(10)에 일정 이상의 열을 가하기 위한 히터 패드(40) 구비된다. 히터 패드(40)는 도면에 자세히 도시하진 않았지만 예컨대 본체(10) 외부에 홈을 형성하고 여기에 히터 패드(40)와 전도액을 함께 삽입한 후 홈을 밀폐하는 방식으로 본체(10)에 설치된다.

상기 본체(10)의 외측은 내열 코팅제로 코팅된다. 따라서, 밸브 내부의 열이 밸브 외부로 유출되지 않게 되어 밸브의 열로 인한 안전하고를 방지하게 된다.

본체(10)의 상측에는 실린더(20)를 결합하기 위한 결합홈(16)이 형성된다. 이 결합홈(16)에는 밸브를 구동하기 위한 실린더(20)가 결합된다. 실린더(20)의 상측에는 밸브의 온도를 제어하기 위한 제어부(30)가 구비된다.

본체(10)와 실린더(20)의 사이에는 본체(10)로 유입된 가스가 실린더(20)측으로 유출되는 것을 방지하기 위한 차단판(50)이 형성된다. 차단판(50)의 중앙에는 로드(62)를 슬라이딩 삽입하기 위한 삽입 홀(50a)이 형성된다. 그리고, 차단판(50)의 하측에는 오링(o)이 결합된다. 오링(o)은 본체(10)내부의 가스가 실린더(20)측으로 유출되는 것을 확실하게 방지하기 위한 것이다.

상기 차단판(50)의 하측에는 차단파이프(70)을 슬라이딩 가능하게 결합하기 위한 홈(50b)가 형성된다.

상기 홈(50b)의 내부에는 외주연과 내주연에 오링(o)이 구비된다. 상기 오링(o)은 차단파이프(70)을 밀폐 하기 위해 구비된 것이다.

실린더(20)의 하측에는 실린더(20)를 본체(10)에 결합하기 위한 결합돌기(21)가 형성된다. 그리고, 실린더(20)의 하측에는 로드(62)를 슬라이딩 가능하게 삽입하기 위한 슬라이딩 홀(20a)이 형성된다.

실린더(20)의 일측에는 실린더(20)를 동작시키기 위한 공기를 유입하는 홀(20b)이 형성된다. 이 홀(20b)에는 실린더(20) 내부로 유입되는 공기를 조절하기 위한 예컨대 솔레노이드 밸브(c)가 구비된다.

실린더(20)의 내부에는 피스톤(61)이 구비되고, 이 피스톤(61)은 로드(62)에 고정 결합 된다. 상기 피스톤(61)의 외측에는 피스톤링(p)이 구비된다.

상기 로드(62)는 실린더(20)에 형성된 슬라이딩 홀(20a)에 삽입된 후 차단판(50)에 형성된 삽입 홀(50a)에 인입된다. 그리고 상기 인입된 로드(62)의 끝단은 밸브 축(63)과 결합된다.

상기 로드(62)의 중앙에는 히터폴(67)을 삽입하기 위한 홈(62a)이 형성된다. 이 홈(62a)에는 히터폴(67)이 삽입된다. 상기 히터폴(67)은 외부로부터 전기가 공급되면 발열을 하는 발열체로 구성되고, 이 히터폴(67)로 공급되는 전기량은 제어부(30)에 의해 제어된다.

상기 로드(62)의 상측에는 온도센서(68)가 구비된다. 온도센서(68)는 제어부(30)에 연결된다. 제어부(30)는 온도센서(68)로 밸브 내부의 온도를 실시간으로 체크하여 밸브의 온도가 일정 온도 이하로 낮아지게 되면 히터폴(67)에 전력을 공급하여 밸브의 온도를 상승시키는 방법을 통해 밸브의 온도를 일정하게 유지한다.

상기 밸브 축(63)의 종단에는 밸브케이싱(13)을 개폐시키기 개폐판(64)이 구비된다. 개폐판(64)의 하측에는 오링(o)이 구비된다.

개폐판(64)과 차단판(50)의 사이에는 리턴스프링(65)이 구비된다. 리턴스프링(65)은 개폐판(64)에 대해 하측, 즉 밸브케이싱(13)측으로 탄성력을 제공하는 탄성스프링으로 구성된다. 따라서, 실린더(20)내부로 공기 압력이 제공되지 않는 상태에서는 리턴스프링(65)에 의해 개폐판(64)은 밸브캐이싱(13)에 밀착 고정된다.

리턴스프링(65)의 외측에는 벨로우즈(bellows: 66)가 구비된다. 벨로우즈(66)는 차단판(50)과 개폐판(64)에 밀폐 결합된다. 벨로우즈(66)는 밸브 축(63)과 로드(62)를 밀폐하여 밸브로 유입된 반응 가스가 실린더(20)로 유입되는 것을 방지하기 위한 것이다.

또한 바람직하게는 벨로우즈(66)와 개폐판(64) 및 본체(10) 내부에는 테프론 코팅막이 형성된다. 테프론 코팅막은 증착 물질이 벨로우즈(66)와 개폐판(64) 및 본체(10) 내부에 부착되는 것을 억제하기 위한 기능을 제공한다.

상기 벨로우즈(66)의 외측에는 차단파이프(70)이 구비된다. 상기 차단파이프(70)은 개폐판(64)에 고정된다.

상기 차단파이프(70)의 상측은 차단판(50)에 형성된 홈(50b)에 삽입되어 개폐판(64)의 상하 이동에 따라 슬라이딩 이동된다.

상기 차단파이프(70)은 벨로우즈(66)의 표면에 폴리머가 증착되는 것을 방지하기 위해 구비된 것이다.

제어부(30)는 전원을 공급하기 위한 위한 전원부(32)를 구비하고, 제어부(30)의 외측에는 밸브의 현재의 상태를 표시하기 위한 디스플레이(31)가 구비된다.

제어부(30)는 실런더(20)에 구비된 온도센서(68)를 센싱하여 히터폴(67)을 작동시키는 방법을 통해 밸브 내부의 온도를 일정 온도로 유지시키는 기능을 한다. 또한 제어부(30)에는 히터폴(67)에 이상이 발생되어 밸브 내부의 온도가 정해진 온도 이하로 떨어지거나 과도하게 높아지게 되면 경보음 등을 출력하기 위한 경보장치가 구비될 수 있다.

도 2는 도 1에 도시된 밸브의 동작 상태를 설명하기 위한 도면이다.

챔버를 이용하여 반도체 소자 또는 반도체 장치를 제조하는 경우, 제어부(30)는 히터폴(67)과 히터패드(40)를 제어함으로써 밸브의 온도를 일정 온도 이상으로 유지시킨다.

우선, 챔버 내부에 반응가스를 유입하여 제조공정을 실행하는 경우에는 실린더(20) 내부로 공압이 제공되지 않게 된다. 따라서 이 경우에는 리턴스프링(65)에 의해 개폐판(64)이 밸브캐이싱(13)에 밀착되어 밸브는 닫힌 상태로 유지된다.

이어, 하나의 제조공정이 완료되어 챔버 내부의 반응가스를 외부로 배출하는 경우에는 솔레노이드 밸브(c)가 작동되어 외부, 즉 콤프레셔로부터의 공압이 홀(20b)을 통해 실린더(20) 내부로 유입된다. 외부 공압이 유입되면 실린더(20)의 피스톤(61)이 상측으로 이동하게 되고, 이에 따라 피스톤(61)과 결합된 로드(62)와 로드(62)에 결합된 밸브 축(63)이 상측으로 이동하게 된다. 그리고, 밸브 축(63)에 결합 된 개폐판(64)과 차단파이프(70)이 상측으로 이동되면서 밸브캐이싱(13)이 개방되게 된다. 따라서 챔버 내부의 반응가스는 본체(10)의 유입구(11)를 통해 유입된 후 배출구(12)를 통해 배출된다.

특히 이러한 상황에서 밸브 내부의 온도는 로드(62)에 구비된 히터폴(67)에 의해 일정하게 유지된다. 따라서, 밸부 내부로 유입된 반응가스의 온도가 급격하게 낮아지는 것이 방지됨으로써 반응가스 물질이 결정화 되어 차단파이프(70) 및 개폐판(64), 밸브케이싱(13) 등에 부착되는 것이 최소한으로 억제된다.

챔버내의 가스 배출이 종료되면, 솔레노이드 밸브(c)가 작동되어 실린더(20)에 대한 공압 공급이 종료된다. 이에 따라 실린더(20) 내부의 공압이 낮아지게 되면 리턴스프링(65)에 의해 개폐판(64)이 하측으로 이동하여 밸브케이싱(13)에 밀착됨으로써 밸브케이싱(13)이 닫히게 된다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 밸브 축(63)의 내부에 장착된 히터폴(67)에 의해 밸브 본체(10) 내부의 온도가 일정 온도로 유지되므로 챔버로부터 외부로 배출되는 반응가스 물질이 급속한 냉각에 의해 본체(10) 내부에 부착되는 것이 최대한도로 억제된다.

또한, 차단파이프(70)에 의해 벨로우즈(66)의 표면에 반응가스 물질이 부착되는 것이 방지되게 된다.

이상으로 본 발명에 따른 실시예를 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.

예를 들어, 상술한 실시예에 있어서는 리턴스프링(65)에 의해 평상 상태에서 열림상태로 유지되는 에어 밸브를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 평상 상태에서 닫힘상태로 유지되는 에어 밸브에도 동일한 방식으로 적용할 수 있다.

10: 본체, 20 : 실린더, 30 : 제어부, 40 : 히터패드, 70 : 차단파이프,

Claims

챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서,
유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체를 구비하고,
상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며,
상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와,
상기 로드에 결합되는 밸브 축,
상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판,
상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링,
상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈 및,
상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 1항에 있어서,
상기 본체의 외측에 내열 코팅이 형성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 1항에 있어서,
상기 본체 내측에 테프론 코팅이 형성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 1항에 있어서,
본체의 외측벽에 히터패드가 추가로 삽입되어 설치된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 1항에 있어서,
상기 본체 내부의 온도를 감지하기 위한 감지 수단을 추가로 포함하여 구성되고,
상기 제어수단은 상기 감지 수단의 감지 결과를 근거로 히터폴에 대한 전력 공급을 제어하는 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 5항에 있어서,
상기 본체 내부의 온도가 정상치를 벗어나는 경우에 경보 신호를 출력하는 경보 수단을 추가로 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서,
유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체와 차단판을 구비하고,
상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며,
상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와,
상기 로드에 결합되는 밸브 축,
상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판,
상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링,
상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈,
상기 벨로우즈의 외측에 구비됨과 더불어 개폐판에 하측이 결합되는 차단파이프,
상기 차단파이프의 상측이 삽입됨과 더불어 슬라이딩 이동가능하게 홈이 형성된 차단판을 구비하여 구성된 것을 특징으로하는 에어 밸브.
제 7항에 있어서,
상기 차단판에 형성된 홈의 내주연 또는 외주연과 내주연 및 외주연에 오링이 구비된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서,
유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체와 차단판을 구비하고,
상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며,
상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와,
상기 로드에 결합되는 밸브 축,
상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판,
상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링,
상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈,
상기 벨로우즈의 외측에 구비됨과 더불어 개폐판에 하측이 결합되는 차단파이프,
상기 차단파이프의 상측이 삽입됨과 더불어 슬라이딩 이동가능하게 홈이 형성된 차단판,
상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 9항에 있어서,
상기 본체의 외측에 내열 코팅이 형성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 9항에 있어서,
상기 본체 내측에 테프론 코팅이 형성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 9항에 있어서,
본체의 외측벽에 히터패드가 추가로 삽입되어 설치된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 9항에 있어서,
상기 본체 내부의 온도를 감지하기 위한 감지 수단을 추가로 포함하여 구성되고,
상기 제어수단은 상기 감지 수단의 감지 결과를 근거로 히터폴에 대한 전력 공급을 제어하는 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 13항에 있어서,
상기 본체 내부의 온도가 정상치를 벗어나는 경우에 경보 신호를 출력하는 경보 수단을 추가로 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 에어 밸브.
제 9항에 있어서,
상기 차단판에 형성된 홈의 내주연 또는 외주연과 내주연 및 외주연에 오링이 구비된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.