KR101651251B1 - 프로텍션 게이트밸브 - Google Patents

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KR101651251B1
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장정환
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Abstract

본 발명은 프로텍션 게이트밸브에 관한 것으로서, 특히 진공챔버에 연결되는 유입홀이 형성되고, 진공펌프에 연결되는 유출홀이 형성되며, 상기 유입홀 및 유출홀과 연통되는 출입홀이 형성된 가스통로부와; 상기 가스통로부에 연결되어 상기 출입홀에 연통되는 케이싱과; 상기 출입홀을 통하여 상기 가스통로부 내부를 전후진하는 피스톤로드가 구비된 실린더와; 상기 케이싱과 상기 실린더 사이에 설치되어 상기 피스톤로드의 외측면을 둘러싸는 가이드블록과; 상기 피스톤로드의 끝단에 연결되어 피스톤로드의 전진시 상기 유입홀과 유출홀을 밀폐하고, 피스톤로드의 후진시 상기 유입홀과 유출홀을 개방시키는 게이트 어셈블리와; 상기 게이트 어셈블리의 전방에 설치되어 상기 피스톤로드의 후진시 상기 출입홀을 밀폐함으로써, 가스가 상기 케이싱 내부에 수용되는 게이트 어셈블리 쪽으로 유입되는 것을 차단하는 차폐스토퍼;를 포함하여 구성되어, 게이트 어셈블리(특히 제1오링과 제2오링)가 부식되거나 크랙에 의해 훼손되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

프로텍션 게이트밸브{Protection Gate Valve}
본 발명은 프로텍션 게이트밸브에 관한 것으로서, 특히 진공챔버와 진공펌프 사이를 유동하는 가스에 의하여 부품이 부식되거나 파손되는 것을 방지할 수 있는 프로텍션 게이트밸브에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버의 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정하고 유지하는 것이 중요한 데, 이 때 반드시 필요한 것이 게이트밸브이다.
게이트밸브는 진공챔버와 진공펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다.
이러한 종래의 게이트밸브는 도 1에 도시된 것과 같이, 피스톤로드(1)가 전진하고, 이동볼(2)이 플레이트(3)에 형성된 이동홀(3a)을 따라 전방으로 이동하면서 상하에 배치되는 2개의 플레이트(3)의 간격이 벌어져서 오링(4) 등에 의해 플랜지(6)를 밀폐하는 구조를 취하고 있다.
그러나, 상기와 같은 종래의 게이트밸브는 진공챔버와 진공펌프 사이를 유동하는 가스와 게이트밸브의 부품(오링, 플레이트 등)들이 서로 접촉되어 게이트밸브의 부품이 쉽게 부식되거나 크랙에 의하여 훼손되는 문제점이 있었다. 특히 오링은 그 가격이 고가이기 때문에 오링의 교체로 인한 유지비용 상승이 수반되는 문제점이 있었다.
1. 출원번호:10-2014-0066164 (등록번호:10-1493902, 발명의 명칭:게이트 밸브) 2. 출원번호:10-2009-0034363 (등록번호:10-0932121, 발명의 명칭:반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브)
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 진공챔버와 진공펌프 사이를 유동하는 가스와의 접촉을 차단하여 부품이 부식되거나 파손되는 것을 예방하고 관리 및 유지비용을 절감할 수 있는 프로텍션 게이트밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브는 진공챔버에 연결되는 유입홀이 형성되고, 진공펌프에 연결되는 유출홀이 형성되며, 상기 유입홀 및 유출홀과 연통되는 출입홀이 형성된 가스통로부와; 상기 가스통로부에 연결되어 상기 출입홀에 연통되는 케이싱과; 상기 출입홀을 통하여 상기 가스통로부 내부를 전후진하는 피스톤로드가 구비된 실린더와; 상기 케이싱과 상기 실린더 사이에 설치되어 상기 피스톤로드의 외측면을 둘러싸는 가이드블록과; 상기 피스톤로드의 끝단에 연결되어 피스톤로드의 전진시 상기 유입홀과 유출홀을 밀폐하고, 피스톤로드의 후진시 상기 유입홀과 유출홀을 개방시키는 게이트 어셈블리와; 상기 게이트 어셈블리의 전방에 설치되어 상기 피스톤로드의 후진시 상기 출입홀을 밀폐함으로써, 가스가 상기 케이싱 내부에 수용되는 게이트 어셈블리 쪽으로 유입되는 것을 차단하는 차폐스토퍼;를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 가스통로부는 일측면에 출입홀이 형성되고, 내부에 빈 공간이 형성되며, 상기 진공챔버와 진공펌프 사이에 배치되는 플랜지블록과; 상기 유입홀이 형성되고, 상기 플랜지블록 상면에 설치되어 상기 진공챔버와 연결되는 유입플랜지와; 상기 유출홀이 형성되고, 상기 플랜지블록 하면에 설치되어 상기 진공펌프와 연결되는 유출플랜지;로 구성된다.
그리고, 상기 가이드블록에는 슬라이딩홀이 형성되고; 상기 피스톤로드에는 상기 슬라이딩홀에 끼움되어 피스톤로드의 전후진시 함께 전후방향으로 움직이는 슬라이딩돌기가 구비된다.
또한, 상기 게이트 어셈블리는 상기 피스톤로드의 끝단 상측에 위치되고, 깊이와 폭이 전방으로 갈수록 점점 작아지는 제1이동홈이 저면에 형성됨과 아울러 상면에 제1오링이 설치되며, 상기 유입홀을 개폐하는 제1플레이트와; 상기 피스톤로드의 끝단 하측에 위치되고, 깊이와 폭이 전방으로 갈수록 점점 작아지는 제2이동홈이 상면에 형성됨과 아울러 저면에 제2오링이 설치되며, 상기 유출홀을 개폐하는 제2플레이트와; 하부가 피스톤로드에 형성된 관통홀에 끼움되고, 상부가 상기 제1이동홈을 따라 이동하여 상기 제1플레이트를 상하방향으로 운동시키는 제1이동볼과; 상부가 상기 피스톤로드의 관통홀에 끼움되고 하부가 상기 제2이동홈을 따라 이동하여 상기 제2플레이트를 상하방향으로 운동시키는 제2이동볼과; 상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트 사이에 설치되는 한 쌍의 판스프링;으로 구성된다.
또한, 상기 차폐스토퍼는 상기 판스프링과 제2플레이트에 연결되는 브릿지와; 상기 브릿지에 일체로 형성되고, 상기 피스톤로드의 후진시 상기 출입홀을 밀폐함으로써 상기 플랜지블록과 케이싱을 격리시키는 프로텍션패널과; 상기 프로텍션패널에 설치되어 케이싱에 밀착되는 오링;으로 구성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 프로텍션 게이트밸브는 차폐스토퍼에 의하여 플랜지블록과 케이싱을 차단하기 때문에 상기 케이싱 내부에 수용된 게이트 어셈블리가 가스와 접촉되는 것을 막을 수 있고, 이러한 가스 접촉의 방지로 게이트 어셈블리(특히 제1오링과 제2오링)가 부식되거나 크랙에 의해 훼손되는 것을 예방할 수 있는 이점이 있다.
또한, 상기와 같이 게이트 어셈블리의 훼손이 방지되기 때문에 고가의 오링 교체비용을 절감할 수 있고, 더불어 관리 유지비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 게이트밸브를 보인 단면도.
도 2는 본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브의 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브의 분해사시도.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브의 동작과정을 보인 단면도.
이하, 본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브의 사시도이고, 도 3은 본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브의 분해사시도이다.
그리고, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브의 동작과정을 보인 단면도이다.
본 발명에 의한 프로텍션 게이트밸브는 진공챔버(C)와 진공펌프(P) 사이에 설치되어 가스의 흐름을 제어하기 위한 것으로서, 가스통로부(100)와, 상기 가스통로부(100)에 연결되는 케이싱(200)과, 피스톤로드(310)가 구비된 실린더(300)와, 상기 케이싱(200)과 상기 실린더(300) 사이에 설치되는 가이드블록(400)과, 상기 피스톤로드(310)의 끝단에 연결된 게이트 어셈블리(500)와, 상기 게이트 어셈블리(500)의 전방에 설치되는 차폐스토퍼(600)를 포함하여 구성된다.
상기 가스통로부(100)는 상기 진공챔버(C)에 연결되는 유입홀(121)이 형성되고, 상기 진공펌프(P)에 연결되는 유출홀(131)이 형성되며, 상기 유입홀(121) 및 유출홀(131)과 연통되는 출입홀(111)이 형성된다.
좀 더 자세히 설명하면, 상기 가스통로부(100)는 플랜지블록(110)과, 상기 플랜지블록(110)의 상면에 설치되는 유입플랜지(120)와, 상기 플랜지블록(110)의 하면에 설치되는 유출플랜지(130)로 구성된다.
상기 플랜지블록(110)은 일측면(후면)에는 출입홀(111)이 형성되고, 전면은 막혀 있으며, 내부에 빈 공간이 형성된다. 그리고, 상면과 하면에는 상기 유입플랜지(120)와 유출플랜지(130)가 설치되기 위한 구멍이 형성되어 있다. 이러한 플랜지블록(110)은 상기 진공챔버(C)와 진공펌프(P) 사이에 배치되어 가스가 유동하는 통로역할을 할 수 있도록 한다.
상기 유입플랜지(120)는 중앙에 유입홀(121)이 형성된 것으로서, 상기 플랜지블록(110)의 상면에 형성된 구멍에 설치된다. 이 유입플랜지(120)는 상기 진공챔버(C)와 연결된다.
상기 유출플랜지(130)는 중앙에 유출홀(131)이 형성된 것으로서, 상기 플랜지블록(110)의 하면에 형성된 구멍에 설치된다. 이 유출플랜지(130)는 상기 진공펌프(P)와 연결된다.
상기 케이싱(200)은 내부에 빈 공간이 형성되고, 개방된 전면이 상기 가스통로부(100)의 플랜지블록(110) 후면에 접하도록 설치되어 상기 출입홀(111)과 연통된다. 이러한 케이싱(200)은 상기 실린더(300)의 피스톤로드(310)가 후진하였을 때, 즉 유입홀(121)과 유출홀(131)이 개방되어 상기 가스통로부(100)를 통하여 가스가 유동할 때 상기 게이트 어셈블리(500)가 내부에 수용된다.
상기 실린더(300)는 상기 가스통로부(100) 내부를 전후진 운동하는 피스톤로드(310)가 구비된다. 즉, 실린더(300)의 피스톤로드(310)는 상기 출입홀(111)을 통하여 상기 플랜지블록(110) 내부로 진입하거나 플랜지블록(110) 외부로 빠져나온다.
상기와 같은 피스톤로드(310)의 전방 끝부분에는 상하방향으로 관통된 관통홀(311)이 전후방향으로 각각 하나씩, 2개가 형성된다.
그리고, 상기 피스톤로드(310)의 외측면에는 슬라이딩돌기(312)가 1개 또는 2개가 돌출 형성된다.
상기 가이드블록(400)에는 전후방향을 관통하는 긴 구멍이 뚫려 있고, 이 전후방향의 긴 구멍에 상기 피스톤로드(310)가 지나가므로, 가이드블록(400)이 피스톤로드(310)의 외측면을 둘러싸는 형태를 취한다. 이러한 가이드블록(400)은 상기 피스톤로드(310)가 전후진할 때 전후 이외의 방향으로 흔들리는 것을 방지한다.
상기와 같은 가이드블록(400)은 일측면 또는 양측면에 슬라이딩홀(410)이 형성된다. 상기 슬라이딩홀(410)에는 상기 피스톤로드(310)의 슬라이딩돌기(312)가 끼움되어 피스톤로드(310)의 전후진시 함께 전후방향으로 움직인다. 이러한 슬리이딩돌기(312)의 움직임에 따라 피스톤로드(310)가 얼마만큼 전진 또는 후진하였는지를 알 수 있다.
더불어, 상기 유입홀(121)과 유출홀(131)의 개방 또는 폐쇄를 표시하는 개방(Open) 또는 폐쇄(Close)와 같은 글자들을 상기 슬라이딩홀(410) 주변의 벽면에 표시하면 슬라이딩돌기(312)가 어디를 가리키는지를 확인함으로써 개방 도는 폐쇄 여부를 명확하게 알 수 있다.
상기 게이트 어셈블리(500)는 상기 피스톤로드(310)의 끝단에 연결되어 피스톤로드(310)의 전진시 상기 유입홀(121)과 유출홀(131)을 밀폐하고, 피스톤로드(310)의 후진시 상기 유입홀(121)과 유출홀(131)을 개방시키는 것이다.
이러한 게이트 어셈블리(500)는 제1플레이트(510)와, 상기 제1플레이트(510)의 하측에 위치되는 제2플레이트(520)와, 상기 제1플레이트(510)와 제2플레이트(520) 사이에 위치되는 제1이동볼(530)과 제2이동볼(540) 및 한 쌍의 판스프링(550)을 포함하여 구성된다.
상기 제1플레이트(510)는 상기 유입홀(121)을 개폐하는 것으로서, 상기 피스톤로드(310)의 끝단 상측에 위치된다. 이러한 제1플레이트(510)는 저면에 제1이동홈(511)이 형성되고, 상면에 제1오링(512)이 설치된다.
상기 제1이동홈(511)은 깊이와 폭이 후방에서 전방으로 갈수록 점점 작아지는 형태로 형성된다. 이러한 제1이동홈(511)은 전후방향으로 각 1개씩, 총 2개가 일직선상으로 형성된다.
상기 제1오링(512)은 상기 제1플레이트(510)가 상기 유입홀(121)을 밀폐할 때 상기 유입플랜지(120)의 하단면에 밀착된다.
상기 제2플레이트(520)는 상기 유출홀(131)을 개폐하는 것으로서, 상기 피스톤로드(310)의 끝단 하측에 위치된다. 이러한 제2플레이트(520)는 상면에 제2이동홈(521)이 형성되고, 저면에 제2오링(522)이 설치된다.
상기 제2이동홈(521)은 깊이와 폭이 후방에서 전방으로 갈수록 점점 작아지는 형태로 형성되는 것으로서, 상기 제1이동홈(511)과 마주보는 위치에 형성된다. 이러한 제2이동홈(521)은 전후방향으로 각 1개씩, 총 2개가 일직선상으로 형성된다.
상기 제2오링(522)은 상기 제2플레이트(520)가 상기 유출홀(131)을 밀폐할 때 상기 유출플랜지(130)의 상단면에 밀착된다.
상기 제1이동볼(530)은 상기 피스톤로드(310)의 관통홀(311)에 설치된다. 좀 더 자세히는 상기 피스톤로드(310)에는 2개의 관통홀(311)이 형성되는데, 각각의 관통홀(311)에 상기 제1이동볼(530)이 배치된다. 이러한 제1이동볼(530)은 하부가 피스톤로드(310)의 관통홀(311)에 끼움되고, 상부가 상기 제1이동홈(511)에 끼움된다.
상기 피스톤로드(310)가 상기 플랜지블록(110) 내부로 전진을 하면, 상기 제1이동볼(530)은 상기 제1이동홈(511)의 후방에 있다가 상기 제1이동홈(511)을 따라 제1이동홈(511)의 전방으로 이동한다. 이렇게 제1이동홈(511)의 전방으로 제1이동볼(530)이 이동하면 상기 제1플레이트(510)는 상측으로 운동하게 되어 상기 제1오링(512)이 상기 유입플랜지(120)의 하단면에 밀착된다.
반대로 상기 피스톤로드(310)가 상기 플랜지블록(110) 외부로 후진을 하면, 상기 제1이동볼(530)은 상기 제1이동홈(511)의 전방에 있다가 상기 제1이동홈(511)을 따라 제1이동홈(511)의 후방으로 이동한다. 이렇게 제1이동홈(511)의 후방으로 제1이동볼(530)이 이동하면 상기 제2플레이트(520)는 하측으로 운동하게 된다. 따라서, 상기 제1이동볼(530)은 상기 제1플레이트(510)를 상하방향으로 운동시킨다.
상기 제2이동볼(540)은 상기 피스톤로드(310)의 관통홀(311)에 설치되되, 상기 제1이동볼(530)의 하측에 위치된다. 이러한 제2이동볼(540)은 상부가 상기 피스톤로드(310)의 관통홀(311)에 끼움되고, 하부가 상기 제2이동홈(521)에 끼움된다.
상기 피스톤로드(110)가 상기 플랜지블록(110) 내외부로 전후진을 할 경우 제2이동볼(540)은 상기 제2이동홈(521)을 따라 상기 제1이동볼(530)과 동일한 운동을 하여 상기 제2플레이트(520)를 상하방향으로 운동시킨다.
따라서, 상기 제1이동볼(530)과 제2이동볼(540)의 운동에 의하여 상기 제1플레이트(510)와 제2플레이트(520)는 그 간격이 벌어지거나 오므라들게 되고, 이로 인하여 유입홀(121)과 유출홀(131)이 밀폐되거나 개방된다.
상기 판스프링(550)은 상기 제1플레이트(510)와 상기 제2플레이트(520) 사이에 한 쌍이 설치되는 것으로서, 상기 피스톤로드(310)의 양쪽에 하나씩 위치된다.
좀 더 자세히 설명하면, 상기 판스프링(550)의 전방 끝부분은 후술할 차폐스토퍼(600)의 브릿지(610) 상면에 위치되고, 상기 브릿지(610)는 상기 제2플레이트(520)의 상면에 위치된다. 이러한 상태에서 볼트의 기둥 부분이 상기 판스프링(550)의 전방 끝부분과 브릿지(610)를 관통하고 상기 제2플레이트(520)에 삽입된다. 그리고, 상기 판스프링(550)의 후방 끝부분은다른 볼트의 기둥부분에 의하여 관통되고, 이 볼트의 머리 부분은 상기 제1플레이트(510)의 저면에 삽입된다.
한편, 본 발명의 상세한 설명부분과 도면에서는 탄성부재로서 판스프링(550)이 사용되는 것으로 설명되고 도시되었으나, 판스프링만으로 한정되는 것은 아니고 코일스프링이 사용되는 것도 가능하다. 즉, 제1플레이트(510)와 제2플레이트(520) 등에 탄성력을 제공하면 되는 것이므로 탄성부재의 형태에 특별한 제한이 있는 것은 아니다. 따라서, 제1플레이트(510)와 제2플레이트(520)에 탄성력을 제공하는 탄성부재로서 판스프링(550)이나 코일스프링 모두 본 발명의 범위 안에 포함된다 할 것이다.
상기 차폐스토퍼(600)는 상기 게이트 어셈블리(500)의 전방에 설치되어 상기 피스톤로드(310)의 후진시 상기 출입홀(111)을 밀폐함으로써, 상기 가스가 상기 케이싱(200) 내부에 수용되는 게이트 어셈블리(500) 쪽으로 유입되는 것을 차단한다.
이러한 차폐스토퍼(600)는 브릿지(610)와, 상기 브릿지(610)에 일체로 형성되는 프로텍션패널(620)과, 상기 프로텍션패널(620)에 설치되는 오링(630)으로 구성된다.
상기 브릿지(610)는 양쪽으로 벌어져서 양 끝단이 상기 판스프링(550)의 전방 끝부분에 연결됨과 아울러 상기 제2플레이트(520)에 연결된다.
상기 프로텍션패널(620)은 상기 피스톤로드(310)의 후진시 상기 출입홀(111)을 밀폐함으로써 상기 플랜지블록(110)과 케이싱(200)을 격리시킨다.
상기 피스톤로드(310)가 전진할 때 상기 프로텍션패널(620)은 전방을 향하여 움직이다가 플랜지블록(110)의 전면 내측에 닿게 되고, 이렇게 되면 앞서 기재한 것과 같은 제1이동볼(530)과 제2이동볼(540)의 운동에 의하여 제1플레이트(510)와 제2플레이트(520)가 상하로 벌어지게 된다. 이 상태에서 상기 피스톤로드(310)가 후진을 하면 상기 프로텍션패널(620)은 후방을 향하여 움직이게 되고 제1플레이트(510)와 제2플레이트(520)는 그 간격이 좁혀져 유입홀(121)과 유출홀(131)을 개방시킨다. 이때 상기 게이트 어셈블리(500)는 상기 케이싱(200)의 개구된 전방부분을 통하여 케이싱(200) 내부로 들어가게 되고, 상기 프로텍션패널(620)은 출입홀(111)과 케이싱(200)의 개구된 전방부분을 차단하게 된다.
상기 오링(630)은 상기 케이싱(200)의 전면 테두리 부분에 밀착된다. 이로써, 상기 유입홀(121)과 플랜지블록(110) 및 유출홀(131)을 통하여 이동하는 가스가 상기 케이싱(200) 내부로 누설되지 않게 된다.
100: 가스통로부 110: 플랜지블록
111: 출입홀 120: 유입플랜지
121: 유입홀 130: 유출플랜지
131: 유출홀 200: 케이싱
300: 실린더 310: 피스톤로드
311: 관통홀 312: 슬라이딩돌기
400: 가이드블록 410: 슬라이딩홀
500: 게이트 어셈블리 510: 제1플레이트
511: 제1이동홈 512: 제1오링
520: 제2플레이트 521: 제2이동홈
522: 제2오링 530: 제1이동볼
540: 제2이동볼 550: 판스프링
600: 차폐스토퍼 610: 브릿지
620: 프로텍션패널 630: 오링
C: 진공챔버 P: 진공펌프

Claims (6)

  1. 진공챔버(C)에 연결되는 유입홀(121)이 형성되고, 진공펌프(P)에 연결되는 유출홀(131)이 형성되며, 상기 유입홀(121) 및 유출홀(131)과 연통되는 출입홀(111)이 형성된 가스통로부(100)와; 상기 가스통로부(100)에 연결되어 상기 출입홀(111)에 연통되는 케이싱(200)과; 상기 출입홀(111)을 통하여 상기 가스통로부(100) 내부를 전후진하는 피스톤로드(310)가 구비된 실린더(300)와; 상기 피스톤로드(310)의 끝단에 연결되어 피스톤로드(310)의 전진시 상기 유입홀(121)과 유출홀(131)을 밀폐하고, 피스톤로드(310)의 후진시 상기 유입홀(121)과 유출홀(131)을 개방시키는 게이트 어셈블리(500)와; 상기 게이트 어셈블리(500)의 전방에 설치되어 상기 피스톤로드(310)의 후진시 상기 출입홀(111)을 밀폐함으로써, 가스가 상기 케이싱(200) 내부에 수용되는 게이트 어셈블리(500) 쪽으로 유입되는 것을 차단하는 차폐스토퍼(600);를 포함하여 구성되되,
    상기 가스통로부(100)는 일측면에 출입홀(111)이 형성되고, 내부에 빈 공간이 형성되며, 상기 진공챔버(C)와 진공펌프(P) 사이에 배치되는 플랜지블록(110)과; 상기 유입홀(121)이 형성되고, 상기 플랜지블록(110) 상면에 설치되어 상기 진공챔버(C)와 연결되는 유입플랜지(120)와; 상기 유출홀(131)이 형성되고, 상기 플랜지블록(110) 하면에 설치되어 상기 진공펌프(P)와 연결되는 유출플랜지(130);로 구성되고,
    상기 게이트 어셈블리(500)는 상기 피스톤로드(310)의 끝단 상측에 위치되고, 깊이와 폭이 전방으로 갈수록 점점 작아지는 제1이동홈(511)이 저면에 형성됨과 아울러 상면에 제1오링(512)이 설치되며, 상기 유입홀(121)을 개폐하는 제1플레이트(510)와; 상기 피스톤로드(310)의 끝단 하측에 위치되고, 깊이와 폭이 전방으로 갈수록 점점 작아지는 제2이동홈(521)이 상면에 형성됨과 아울러 저면에 제2오링(522)이 설치되며, 상기 유출홀(131)을 개폐하는 제2플레이트(520)와; 하부가 피스톤로드(310)에 형성된 관통홀(311)에 끼움되고, 상부가 상기 제1이동홈(511)을 따라 이동하여 상기 제1플레이트(510)를 상하방향으로 운동시키는 제1이동볼(530)과; 상부가 상기 피스톤로드(310)의 관통홀(311)에 끼움되고 하부가 상기 제2이동홈(521)을 따라 이동하여 상기 제2플레이트(520)를 상하방향으로 운동시키는 제2이동볼(540)과; 상기 제1플레이트(510)와 상기 제2플레이트(520) 사이에 설치되는 한 쌍의 판스프링(550);으로 구성되며,
    상기 차폐스토퍼(600)는 상기 판스프링(550)과 제2플레이트(520)에 연결되는 브릿지(610)와; 상기 브릿지(610)에 일체로 형성되고, 상기 피스톤로드(310)의 후진시 상기 출입홀(111)을 밀폐함으로써 상기 플랜지블록(110)과 케이싱(200)을 격리시키는 프로텍션패널(620)과; 상기 프로텍션패널(620)에 설치되어 케이싱(200)에 밀착되는 오링(630);으로 구성된 것을 특징으로 하는 프로텍션 게이트밸브.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 케이싱(200)과 상기 실린더(300) 사이에는 상기 피스톤로드(310)의 외측면을 둘러싸는 가이드블록(400)이 설치되어 상기 피스톤로드(310)가 전후진할 때 흔들리는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 프로텍션 게이트밸브.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 가이드블록(400)에는 슬라이딩홀(410)이 형성되고,
    상기 피스톤로드(310)에는 상기 슬라이딩홀(410)에 끼움되어 피스톤로드(310)의 전후진시 함께 전후방향으로 움직이는 슬라이딩돌기(312)가 구비된 것을 특징으로 하는 프로텍션 게이트밸브.
  5. 삭제
  6. 삭제
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