KR20240052417A

KR20240052417A - 텐션형 게이트 밸브

Info

Publication number: KR20240052417A
Application number: KR1020220132419A
Authority: KR
Inventors: 하정우; 박홍수
Original assignee: (주)엔투텍
Priority date: 2022-10-14
Filing date: 2022-10-14
Publication date: 2024-04-23

Abstract

본 발명은 텐션형 게이트 밸브에 관한 것으로서, 유체통로가 형성된 밸브몸체부와, 유체통로의 일방에 설치된 제1 통로부와, 유체통로의 타방에 제1 통로부와 연통되도록 설치된 제2 통로부와, 개폐구동력을 제공하는 구동부와, 유체통로와 연통하도록 설치된 슬로우 펌프부와, 연통부위를 개폐하는 개폐부와, 이 개폐부와 밀착되는 제1 텐션부와, 이 제1 텐션부와 밀착되는 제2 텐션부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 개폐부가 슬라이딩 이동되는 밸브몸체부의 유체통로의 슬라이딩 공간에 제1 텐션부와 제2 텐션부를 구비함으로써, 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부의 슬라이딩 불량을 감소시켜 게이트 밸브의 수명을 연장시킬 수 있는 효과를 제공한다.

Description

텐션형 게이트 밸브{TENSION TYPE GATE VALVE}

본 발명은 텐션형 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 개폐 동작을 원활하게 수행하는 텐션형 게이트 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버의 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한데, 이 때 반드시 필요한 것이 진공 게이트 밸브이다.

진공 게이트 밸브는 챔버와 펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써, 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다. 이러한 진공 게이트 밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 챔버쪽으로 연결되는 통로를 밀폐시킴으로써 챔버의 기밀성을 유지하게 된다.

따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다. 따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.

특히, 진공 게이트 밸브를 통하여 배출되는 진공챔버 내의 유체는 여러 가지 부산물이 포함된다. 이러한 부산물은 유체의 배출시 게이트 밸브의 개폐판을 구동하기 위한 엑츄에이터의 링크나 개폐판이 슬라이딩되는 하우징의 내벽에 지속적으로 부착되어 개폐판의 전후진 동작을 방해하고, 개폐판과 유체통로 사이의 밀폐력을 감소시키므로, 진공 게이트 밸브 내부에 부착된 부산물을 제거하기 위한 부산물 제거부재가 필요 하였다.

종래의 부산물 제거부재로는 게이트 밸브의 유체통로 부위에 설치되어 질소와 같은 세정가스를 공급함으로써 진공 게이트 밸브의 몸체 내부에 부착된 파우더 등의 이물질을 제거하는 세정가스 공급부를 구비하였다.

그러나, 이러한 세정가스 공급부는 진공 게이트 밸브에 부가적으로 설치되어 진공 게이트 밸브의 개폐여부에 따라 동작되므로 그 구조와 제어가 복잡하였다.

또한, 진공 게이트 밸브 내의 부산물을 지속적으로 제거하기 위해서는, 세정가스를 정기적으로 공급해야 하므로 부산물 제거 비용이 높다는 문제가 있었다. 또한, 진공 게이트 밸브 내에 부착된 부산물이 공급된 세정가스에 의해 출구로 빠져나가지 못하고 진공 게이트 밸브의 더 깊숙한 내부 공간으로 이동되었다.

이는 개폐판의 슬라이딩 불량을 야기시킬 뿐만 아니라, 진공 게이트 밸브 전체를 해체하여 세척하거나 클리닝해야하는 문제가 있었고, 유체통로의 개폐성능 및 밀폐성능의 저하로 인하여 여기에 연결되는 진공 반도체 설비에서의 처리공정에서도 처리불량을 제공하는 문제도 있었다.

대한민국 공개특허 제10-2016-0131564호 (2016년11월16일) 대한민국 등록특허 제10-1651251호 (2016년08월26일) 대한민국 등록특허 제10-2202570호 (2021년01월13일)

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 개폐부가 슬라이딩 이동되는 밸브몸체부의 유체통로의 슬라이딩 공간에 제1 텐션부와 제2 텐션부를 구비함으로써, 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부의 슬라이딩 불량을 감소시켜 게이트 밸브의 수명을 연장시킬 수 있는 텐션형 게이트 밸브를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 제1 텬션부를 밸브몸체부의 슬라이딩 공간의 일방에 탄지하도록 설치하고 제2 텐션부를 개폐부의 일방에 고정 설치함으로써, 제1 텐션부와 제2 텐션부 사이의 밀착력과 탄지력에 의해 개폐부의 슬라이딩 개폐이동을 용이하게 하는 동시에 개폐부의 개폐충격을 완화시킬 수 있는 텐션형 게이트 밸브를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 밸브몸체부의 유체통로에 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 탈부착하도록 이격 설치함으로써, 유체통로에 파우더의 부착이나 증착을 저감하는 동시에 밸브몸체부의 유체통로에 대한 유지보수 성능을 향상시킬 수 있는 텐션형 게이트 밸브를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유체통로가 형성된 밸브몸체부(10); 상기 밸브몸체부(10)의 유체통로의 일방에 설치된 제1 통로부(20); 상기 밸브몸체부(10)의 유체통로의 타방에 상기 제1 통로부(20)와 연통되도록 설치된 제2 통로부(30); 상기 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어, 상기 제1 통로부(20)와 상기 제2 통로부(30)의 연통부위를 개폐하도록 개폐구동력을 제공하는 구동부(40); 상기 밸브몸체부(10)의 일방에 유체통로와 연통하도록 설치된 슬로우 펌프부(50); 상기 밸브몸체부(10)의 내부에서 상기 구동부(40)에 의해 슬라이딩 이동하도록 설치되어, 상기 제1 통로부(20)와 상기 제2 통로부(30)의 연통부위를 개폐하는 개폐부(60); 상기 밸브몸체부(10)의 내부에 설치되되 상기 제1 통로부(20)와 상기 제2 통로부(30)의 연통부위의 일단에 설치되어, 상기 개폐부(60)의 폐쇄시 상기 개폐부(60)와 밀착되는 제1 텐션부(70); 및 상기 개폐부(60)의 일단에 설치되어, 상기 개폐부(60)의 폐쇄시 상기 제1 텐션부(70)와 밀착되는 제2 텐션부(80);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 제1 텐션부(70)는, 상기 밸브몸체부(10)의 내부에 설치된 제1 지지블럭; 상기 제1 지지블럭에서 일방으로 돌출하도록 설치된 제1 지지대; 상기 제1 지지대의 외부에 설치된 제1 탄성편; 및 상기 제1 지지대의 일단에 상기 제1 탄성편에 의해 탄지되도록 설치된 제1 접촉편;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 제2 텐션부(80)는, 상기 개폐부(60)의 일단에 설치된 제2 지지블럭; 상기 제2 지지블럭에서 일방으로 돌출하도록 설치된 제2 지지대; 및 상기 제2 지지대의 일단에 상기 제1 텐션부(70)와 밀착되도록 설치된 제1 접촉편;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드부(90); 및 상기 제2 통로부(30)의 내부둘레에 설치된 제2 쉴드부(100);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 제1 쉴드부(90)는, 상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드편; 상기 제1 쉴드편의 내주면에 형성된 제1 쉴드면; 상기 제1 쉴드편의 일단 둘레에 형성된 제1 쉴드턱; 상기 제1 쉴드편의 타단 둘레에 형성된 제1 쉴드홈; 및 상기 제1 쉴드면의 일방에 관통 형성된 제1 슬로우 펌프홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 개폐부가 슬라이딩 이동되는 밸브몸체부의 유체통로의 슬라이딩 공간에 제1 텐션부와 제2 텐션부를 구비함으로써, 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부의 슬라이딩 불량을 감소시켜 게이트 밸브의 수명을 연장시킬 수 있는 효과를 제공한다.

또한, 제1 텬션부를 밸브몸체부의 슬라이딩 공간의 일방에 탄지하도록 설치하고 제2 텐션부를 개폐부의 일방에 고정 설치함으로써, 제1 텐션부와 제2 텐션부 사이의 밀착력과 탄지력에 의해 개폐부의 슬라이딩 개폐이동을 용이하게 하는 동시에 개폐부의 개폐충격을 완화시킬 수 있는 효과를 제공한다.

또한, 밸브몸체부의 유체통로에 제1 쉴드부와 제2 쉴드부를 탈부착하도록 이격 설치함으로써, 유체통로에 파우더의 부착이나 증착을 저감하는 동시에 밸브몸체부의 유체통로에 대한 유지보수 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 분해도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 투시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 절단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 제1 텐션부를 나타내는 구성도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 제2 텐션부를 나타내는 구성도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 제1 쉴드부를 나타내는 구성도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 제2 쉴드부를 나타내는 구성도.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 개방상태를 나타내는 평면도.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 폐쇄상태를 나타내는 평면도.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 개방상태를 나타내는 단면도.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 폐쇄상태를 나타내는 단면도.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 분해도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 투시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 절단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브를 나타내는 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 제1 텐션부를 나타내는 구성도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 제2 텐션부를 나타내는 구성도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 제1 쉴드부를 나타내는 구성도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 제2 쉴드부를 나타내는 구성도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 개방상태를 나타내는 평면도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 폐쇄상태를 나타내는 평면도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 개방상태를 나타내는 단면도이고, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브의 폐쇄상태를 나타내는 단면도이다.

도 1 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 텐션형 게이트 밸브는, 밸브몸체부(10), 제1 통로부(20), 제2 통로부(30), 구동부(40), 슬로우 펌프부(50), 개폐부(60), 제1 텐션부(70), 제2 텐션부(80), 제1 쉴드부(90) 및 제2 쉴드부(100)를 포함하여 이루어져, 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 개폐 동작을 원활하게 수행하는 텐션형 게이트 밸브이다.

밸브몸체부(10)는, 유체통로가 형성된 밸브몸체부재로서, 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 진공 게이트 밸브를 구성하며 유체통로가 형성된 박스형상의 몸체부재에 상판과 하판과 복수의 측판과 몸체플랜지와 고정브래킷을 포함하여 이루어져 있다.

상판은 밸브몸체부(10)의 상면을 구성하며 유체통로를 구성하는 관통홀이 형성되어 있고, 하판은 밸브몸체부(10)의 하면을 구성하며 유체통로를 구성하는 관통홀이 형성되어, 이러한 상판과 하판에 각각 형성된 관통홀은 밸브몸체부(10)의 유체통로를 구성하게 된다.

이러한 밸브몸체부(10)의 내부에는 슬라이딩 공간이 구비되고, 이러한 슬라이딩 공간은 개폐부(60)가 유체통로를 개폐하도록 유체통로와 수직한 방향으로 슬라이딩되는 공간을 형성하게 된다.

제1 통로부(20)는, 밸브몸체부(10)의 유체통로의 일방에 설치된 통로부재로서, 유체통로와 연통되어 유체가 흐르는 튜브 형태의 연통로와 연통로 양단의 둘레에 다른 부재와 결합이 용이하도록 돌출 형성된 제1 플랜지로 구성되어 있다.

제1 플랜지는 유체통로의 상류에 결합되어 유체통로와 연통되는 상류 연통로가 형성되고, 연통로의 상단 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 진공챔버와 결합되고, 상류 연통로의 하단 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 밸브몸체부의 상판 관통홀에 결합되어 진공챔버와 게이트 밸브 사이의 접속을 용이하게 한다.

제2 통로부(30)는, 밸브몸체부(10)의 유체통로의 타방에 제1 통로부(20)와 연통되도록 설치된 통로부재로서, 유체통로와 연통되어 유체가 흐르는 튜브 형태의 연통로와 연통로 양단의 둘레에 다른 부재와 결합이 용이하도록 돌출 형성된 제2 플랜지로 구성되어 있다.

제2 플랜지는 유체통로의 하류에 결합되어 유체통로와 연통되는 하류 연통로가 형성되고, 연통로의 하단 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 진공펌프와 결합되고, 하류 연통로의 하단 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 밸브몸체부의 하판 관통홀에 결합되어 진공펌프와 게이트 밸브 사이의 접속을 용이하게 한다.

이와 같이 상류 플랜지와 하류 플랜지를 확관형상이나 협관협상으로 테이퍼지게 형성함으로써, 상류 플랜지를 통해 유입되어 하류 플랜지로 배출되는 파우더는 상류 플랜지의 입구보다 유체통로에서 더 빠른 속도로 통과하게 된다. 따라서, 유체통로의 주변 및 밸브몸체부(10)의 내부에 파우더가 부착되는 것을 방지할 수 있게 된다.

구동부(40)는, 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어 제1 통로부(20)와 제2 통로부(30) 사이에 형성된 연통부위를 개폐하도록 개폐구동력을 제공하는 구동부재로서, 밸브몸체부(10)의 일측 외부에 개폐부(60)를 전후방향으로 슬라이딩 이동시키도록 액추에이터와 링크기구 등으로 이루어져 있다.

액추에이터는 링크기구를 통해 개폐부(60)에 슬라이딩 구동력을 제공하는 구동원으로, 직선구동력을 제공하는 실린더, 선형모터 등과 같은 다양한 구동수단을 사용할 수 있다. 액추에이터는 밸브몸체부(10)의 일단에 설치된 별도의 유공압설비로 구성할 수 있다.

링크기구는 액추에이터의 직선구동력을 기구적인 연결에 의해 회전구동력으로 전환시켜서 그 회전력에 의해 개폐부(60)를 전후방향으로 슬라이딩 이송시키는 동력전달부재이다.

이러한 링크기구는 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간에 위치되고, 링크기구는 지렛대 원리로 액추에이터의 직선구동력을 증폭시켜 회전구동력으로 전달시키게 된다. 따라서, 액추에이터의 직선 구동거리에 비하여 개폐부(60)의 전후진 슬라이딩 거리가 길게 된다.

슬로우 펌프부(50)는, 밸브몸체부(10)의 일방에 제1 통로부(20)와 연통하도록 설치된 슬로우 펌프부재로서, 유체통로의 개방시 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태를 일정하게 형성시키도록 개폐밸브와 제1 연결관과 제2 연결관으로 이루어져 있다.

개폐밸브는 상류 연통로와 연결된 제1 연결관과 밸브몸체부(10)의 내부와 연결된 제2 연결관 사이에 설치되어, 유체통로의 개폐동작에 따라 동작된다. 또한, 개폐밸브는 유체통로가 밀폐된 상태에서는 동작하지 않고, 유체통로가 개방되기 직전에 동작한다.

따라서, 이러한 슬로우 펌프부(50)의 동작은 유체통로가 개방되기 직전에 슬로우 펌프부(50)의 내부로 공기를 주입하여 개폐밸브를 개방하고, 개폐밸브의 개방으로 인하여 제1, 제2 연결관이 연통됨으로써, 유체통로가 개방되기 전에 게이트 밸브의 상류 및 하류를 연통시켜 진공상태를 일정하게 유지시키게 된다.

즉, 유체통로가 밀폐된 상태에서는 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태가 상이하게 형성된 경우에 유체통로를 개방하면 게이트 밸브 하류에 연결된 진공펌프가 손상될 위험이 크므로 유체통로를 개방하기 이전에 슬로우 펌프부(50)를 동작시켜 진공펌프의 손상 위험을 예방하게 된다.

개폐부(60)는, 밸브몸체부(10)의 내부에서 구동부(40)에 의해 슬라이딩 이동하도록 설치되어 제1 통로부(20)와 제2 통로부(30) 사이의 연통부위를 개폐하는 개폐부재로서, 도 7 및 도 10 내지 도 13에 나타낸 바와 같이 유체통로를 개폐하도록 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간에서 슬라이딩되도록 설치된 개폐판(61), 제1 차단판(62), 제2 차단판(63), 실링편(64) 및 슬라이딩핀(65)으로 이루어져 있다.

개폐판(61)은 판형태의 부재로서, 밸브몸체부(10)의 유체통로에 수직으로 교차하도록 설치되어 전후진됨으로써 유체통로의 입구를 개폐시키게 되고, 이러한 개폐판(61)의 일면에는 실링부재가 설치되는 실링홈이 형성되어 있다.

제1 차단판(62)은, 개폐판(61)의 상부에 결합되어 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간에서 슬라이딩되며 개폐판(61)과 함께 전후진 슬라이딩 이동되어 유체통로를 개폐하게 되며, 이러한 제1 차단판(62)의 일면에는 실링편(64)이 설치되는 실링홈이 형성되어 있다.

제2 차단판(63)은, 개폐판(61)의 하부에 결합되어 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간에서 슬라이딩되며 개폐판(61)과 함께 전후진 슬라이딩 이동되어 유체통로를 개폐하게 되며, 이러한 제2 차단판(63)의 일면에는 슬라이딩핀(65)이 설치되는 설치홈이 형성되어 있다.

실링편(64)는 제1 차단판(62)의 실링홈에 삽입되어 밸브몸체부(10)의 유체통로 입구와 제1 차단판(62) 사이의 밀폐력을 향상시키도록 차단하게 되고, 이러한 실링편(64)으로는 오링(O-ring)을 사용할 수 있다.

슬라이딩핀(65)은 제2 차단판(63)의 측면과 하면 중 적어도 하나에 구비되어 밸브몸체부(10)와의 접촉시 슬라이딩 마찰을 감소시키도록 밸브몸체부(10)와 점접촉하도록 반구형상으로 형성된다.

따라서, 종래의 롤러는 슬라이딩핀(65)에 비하여 밸브몸체부와의 접촉면적이 넓어 마찰이 크고, 개폐판과 롤러 사이에 파우더와 같은 이물질이 부착되면 롤러가 균일하게 회전하지 않아 개폐판의 슬라이딩 불량을 야기했으나, 슬라이딩핀(65)은 밸브몸체부(10)로부터 개폐판(61)을 이격하여 지지하게 되고, 개폐부(60)의 슬라이딩시 슬라이딩핀(65)과 밸브몸체부(10)와 점접촉하여 접촉력을 균일하게 유지하므로 개폐판(61)의 슬라이딩을 원활하게 유지할 수 있게 된다.

제1 텐션부(70)는, 밸브몸체부(10)의 내부에 설치되되 제1 통로부(20)와 제2 통로부(30) 사이의 연통부위의 일단에 설치되어 개폐부(60)의 폐쇄시 개폐부(60)와 밀착되는 접촉부재로서, 도 6에 나타낸 바와 같이 제1 지지블럭(71), 제1 지지대(72), 제1 탄성편(73) 및 제1 접촉편(74)으로 이루어져 있다.

제1 지지블럭(71)은, 밸브몸체부(10)의 내부 일단에 설치된 지지부재로서, 밸브몸체부(10)의 유체통로의 일단에 고정되어 제1 접촉편(74)을 제1 지지대(72)와 제1 탄성편(73)에 의해 탄성지지하게 된다.

제1 지지대(72)는, 제1 지지블럭(71)에서 일방으로 돌출하도록 설치된 지지부재로서, 제1 지지블럭(71)의 내부에서 밸브몸체부(10)의 유체통로를 향해 슬라이딩에 의해 돌출되도록 설치되어 있다.

제1 탄성편(73)은, 제1 지지대(72)의 외부에 설치된 탄성부재로서, 제1 지지블럭(71)과 제1 접촉편(74) 사이에 이완되도록 탄지된 코일스프링 등과 같은 탄지수단으로 이루어져 제1 접촉편(74)을 밸브몸체부(10)의 유체통로를 향해 탄지하게 된다.

제1 접촉편(74)은, 제1 지지대(72)의 일단에 제1 탄성편(73)에 의해 밸브몸체부(10)의 유체통로를 향해 탄지되도록 설치된 접촉부재로서, 제1 접촉편(74)은 개폐부(60)의 일단에 설치된 제2 텐션부(80)와 접촉하여 개폐부(60)의 슬라이딩 공간을 밀폐시키게 된다.

따라서, 개폐부(60)의 슬라이딩 공간에 파우더가 침투되는 것을 방지하여 파우더에 의한 개폐부(60)의 부식을 방지하고, 개폐부(60)의 슬라이딩시 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부(60)의 슬라이딩 불량을 감소시킬 수 있다.

이러한 제1 접촉편(74)의 재질은 고무나 실리콘 등으로 이루어져, 개폐부(60)가 부드럽게 전후진되며, 밸브몸체부(10)와의 접촉면에서 파손이 발생하지 않도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 제1 접촉편(74)의 상단은 실링부재의 상단과 동일한 수평면에 위치시키는 것이 바람직하다. 만약, 제1 접촉편(74)의 상단이 실링부재의 상단 보다 높게 위치하는 경우, 실링부재는 밸브몸체부(10)의 상판으로부터 이격되어 있어 유체통로 밀폐시 효과적으로 밀폐시킬 수 없기 때문이다.

반대로, 제1 접촉편(74)의 상단이 실링부재의 상단 보다 낮게 위치하는 경우, 제1 접촉편(74)은 밸브몸체부(10)의 상판으로부터 이격되어 있어 파우더가 슬라이딩 공간으로 침투되기 쉽고, 유체통로의 주변에 부착된 파우더를 효과적으로 밀어낼 수 없게 된다.

한편, 이러한 제1 접촉편(74)은 전방의 수직 단면적이 후방의 수직 단면적보다 좁게 형성되어 있고, 이로 인해 제1 접촉편(74)의 전진을 용이하게 할 뿐만 아니라 전진시 밸브몸체부(10)와 접촉되는 부분의 파손을 예방할 수 있게 된다.

제2 텐션부(80)는, 개폐부(60)의 일단에 설치되어 개폐부(60)의 폐쇄시 제1 텐션부(70)와 밀착되는 접촉부재로서, 도 7에 나타낸 바와 같이 제2 지지블럭(81), 제2 지지대(82) 및 제2 접촉편(83)으로 이루어져 있다.

제2 지지블럭(81)은, 개폐부(60)의 일단에 설치된 지지부재로서, 개폐판(61)의 선단에 설치되어 제2 지지대(82)와 제2 접촉편(83)을 결합시켜 고정 지지하게 된다.

제2 지지대(82)는, 제2 지지블럭(81)에서 일방으로 돌출하도록 설치된 지지부재로서, 제2 지지블럭(81)의 양단에서 전방으로 돌출 설치된 지지대로 이루어져 제2 접촉편(83)을 결합시켜 고정 지지하게 된다.

제2 접촉편(83)은, 제2 지지대(82)의 일단에 제1 텐션부(70)와 밀착되도록 설치된 접촉부재로서, 개폐판(61)의 전방에 결합되어 슬라이딩 공간을 밀폐시킨다. 이로써, 슬라이딩 공간에 파우더가 침투되는 것을 방지하여 파우더에 의한 개폐부(60)의 부식을 방지하고, 개폐판(61)의 슬라이딩시 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐판(61)의 슬라이딩 불량을 감소시킬 수 있다.

따라서, 제2 접촉편(83)은 슬라이딩 공간을 밀폐시켜 개폐판(61)의 슬라이딩을 원활하게 하고, 유체통로 주변에 부착된 파우더를 밀어내어 개폐판(61)과 유체통로 사이의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.

이러한 제2 접촉편(83)의 재질은 고무나 실리콘 등으로 이루어져, 개폐부(60)가 부드럽게 전후진되며, 밸브몸체부(10)와의 접촉면에서 파손이 발생하지 않도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 제2 접촉편(83)의 상단은 실링부재의 상단과 동일한 수평면에 위치시키는 것이 바람직하며, 제2 접촉편(83)의 상단이 실링부재의 상단 보다 높게 위치하는 경우, 실링부재는 밸브몸체부(10)의 상판으로부터 이격되어 있어 유체통로의 밀폐시 효과적으로 밀폐시킬 수 없게 된다.

반대로, 제2 접촉편(83)의 상단이 실링부재의 상단 보다 낮게 위치하는 경우, 제2 접촉편(83)은 밸브몸체부(10)의 상판으로부터 이격되어 있어 파우더가 슬라이딩 공간으로 침투되기 쉽고, 유체통로의 주변에 부착된 파우더를 효과적으로 밀어낼 수 없게 된다.

한편, 이러한 제2 접촉편(83)은 개폐판(61)의 전방에 결합되며, 제2 접촉편(83) 전방의 수직 단면적이 후방의 수직 단면적보다 좁게 형성되어, 제2 접촉편(83)의 전진을 용이하게 할 뿐만 아니라 전진시 밸브몸체부(10)와 접촉되는 부분의 파손을 예방할 수 있게 된다.

제1 쉴드부(90)는, 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 쉴드부재로서, 도 2 및 도 8에 나타낸 바와 같이 제1 쉴드편(91), 제1 쉴드면(92), 제1 쉴드턱(93), 제1 쉴드홈(94) 및 제1 슬로우 펌프홀(95)을 포함하여 이루어져 있다.

제1 쉴드편(91)은, 제1 통로부(20)의 내부둘레에 삽입되어 설치된 쉴드부재로서, 제1 통로부(20)의 내부둘레에 부착되는 이물질을 차단하도록 합성수지 소재의 쉴드편을 삽입하여 생성물 증착을 억제하고 개폐부(60)의 차폐 구동을 원활하게 할 수 있게 된다.

제1 쉴드면(92)은, 제1 쉴드편(91)의 내주면에 형성된 면부재로서, 이러한 제1 쉴드면(92)은 제1 쉴드편(91)이 합성수지의 소재로 이루어지고 표면의 마찰계수가 작아 표면 상에 생성물이나 미립자(Paticle) 등의 부착이나 증착에 의한 오염도를 최소화할 수 있게 된다.

제1 쉴드턱(93)은, 제1 쉴드편(91)의 일단 둘레에 형성된 턱부재로서, 제1 쉴드편(91)을 제1 통로부(20)의 내부둘레에 비접촉하도록 소정거리 이격시킨 상태로 고정 설치하기 위해 제1 통로부(20)의 일단에 걸어맞춤 결합되는 이격 결합턱으로 이루어져 있다.

제1 쉴드홈(94)은, 제1 쉴드편(91)의 타단 둘레에 형성된 홈부재로서, 제1 쉴드편(91)을 제1 통로부(20)의 내부둘레에 비접촉하도록 소정거리 이격시킨 상태로 고정 설치하기 위해 제1 통로부(20)의 타단에 걸어맞춤 결합되는 이격 결합홈으로 이루어져 있다.

제1 슬로우 펌프홀(95)은, 제1 쉴드면(92)의 일방에 관통 형성된 홀부재로서, 슬로우 펌프부(50)와 연통되어 유체통로의 개방시 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태를 일정하게 형성시키게 된다.

제2 쉴드부(100)는, 제2 통로부(30)의 내부둘레에 설치된 쉴드부재로서, 도 2 및 도 9에 나타낸 바와 같이 제2 쉴드편(101), 제2 쉴드면(102), 제1 쉴드홈(103) 및 제2 쉴드턱(104)을 포함하여 이루어져 있다.

제2 쉴드편(101)은, 제2 통로부(30)의 내부둘레에 내부둘레에 삽입되어 설치된 쉴드부재로서, 제2 통로부(30)의 내부둘레에 부착되는 이물질을 차단하도록 합성수지 소재의 쉴드편을 삽입하여 생성물 증착을 억제하고 개폐부(60)의 차폐 구동을 원활하게 할 수 있게 된다.

제2 쉴드면(102)은, 제2 쉴드편(101)의 내주면에 형성된 면부재로서, 이러한 제2 쉴드면(102)은 제2 쉴드편(101)이 합성수지의 소재로 이루어지고 표면의 마찰계수가 작아 표면 상에 생성물이나 미립자(Paticle) 등의 부착이나 증착에 의한 오염도를 최소화할 수 있게 된다.

제2 쉴드홈(103)은, 제2 쉴드편(101)의 일단 둘레에 형성된 홈부재로서, 제2 쉴드편(101)을 제2 통로부(30)의 내부둘레에 비접촉하도록 소정거리 이격시킨 상태로 고정 설치하기 위해 제2 통로부(30)의 일단에 걸어맞춤 결합되는 이격 결합홈으로 이루어져 있다.

제2 쉴드턱(104)은, 제2 쉴드편(101)의 타단 둘레에 형성된 턱부재로서, 제2 쉴드편(101)을 제2 통로부(30)의 내부둘레에 비접촉하도록 소정거리 이격시킨 상태로 고정 설치하기 위해 제2 통로부(30)의 타단에 걸어맞춤 결합되는 이격 결합턱으로 이루어져 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 개폐부가 슬라이딩 이동되는 밸브몸체부의 유체통로의 슬라이딩 공간에 제1 텐션부와 제2 텐션부를 구비함으로써, 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐부의 슬라이딩 불량을 감소시켜 게이트 밸브의 수명을 연장시킬 수 있는 효과를 제공한다.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.

10: 밸브몸체부 20: 제1 통로부
30: 제2 통로부 40: 구동부
50: 슬로우 펌프부 60: 개폐부
70: 제1 텐션부 80: 제2 텐션부
90: 제1 쉴드부 100: 제2 쉴드부

Claims

유체통로가 형성된 밸브몸체부(10);
상기 밸브몸체부(10)의 유체통로의 일방에 설치된 제1 통로부(20);
상기 밸브몸체부(10)의 유체통로의 타방에 상기 제1 통로부(20)와 연통되도록 설치된 제2 통로부(30);
상기 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어, 상기 제1 통로부(20)와 상기 제2 통로부(30)의 연통부위를 개폐하도록 개폐구동력을 제공하는 구동부(40);
상기 밸브몸체부(10)의 일방에 유체통로와 연통하도록 설치된 슬로우 펌프부(50);
상기 밸브몸체부(10)의 내부에서 상기 구동부(40)에 의해 슬라이딩 이동하도록 설치되어, 상기 제1 통로부(20)와 상기 제2 통로부(30)의 연통부위를 개폐하는 개폐부(60);
상기 밸브몸체부(10)의 내부에 설치되되 상기 제1 통로부(20)와 상기 제2 통로부(30)의 연통부위의 일단에 설치되어, 상기 개폐부(60)의 폐쇄시 상기 개폐부(60)와 밀착되는 제1 텐션부(70); 및
상기 개폐부(60)의 일단에 설치되어, 상기 개폐부(60)의 폐쇄시 상기 제1 텐션부(70)와 밀착되는 제2 텐션부(80);를 포함하는 것을 특징으로 하는 텐션형 게이트 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 텐션부(70)는,
상기 밸브몸체부(10)의 내부에 설치된 제1 지지블럭;
상기 제1 지지블럭에서 일방으로 돌출하도록 설치된 제1 지지대;
상기 제1 지지대의 외부에 설치된 제1 탄성편; 및
상기 제1 지지대의 일단에 상기 제1 탄성편에 의해 탄지되도록 설치된 제1 접촉편;을 포함하는 것을 특징으로 하는 텐션형 게이트 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 제2 텐션부(80)는,
상기 개폐부(60)의 일단에 설치된 제2 지지블럭;
상기 제2 지지블럭에서 일방으로 돌출하도록 설치된 제2 지지대; 및
상기 제2 지지대의 일단에 상기 제1 텐션부(70)와 밀착되도록 설치된 제1 접촉편;을 포함하는 것을 특징으로 하는 텐션형 게이트 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드부(90); 및
상기 제2 통로부(30)의 내부둘레에 설치된 제2 쉴드부(100);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 텐션형 게이트 밸브.
제 4 항에 있어서,
상기 제1 쉴드부(90)는,
상기 제1 통로부(20)의 내부둘레에 설치된 제1 쉴드편;
상기 제1 쉴드편의 내주면에 형성된 제1 쉴드면;
상기 제1 쉴드편의 일단 둘레에 형성된 제1 쉴드턱;
상기 제1 쉴드편의 타단 둘레에 형성된 제1 쉴드홈; 및
상기 제1 쉴드면의 일방에 관통 형성된 제1 슬로우 펌프홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 텐션형 게이트 밸브.