KR20190041649A - 밸브 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 챔버의 배기 라인에 용이하게 설치 가능하며, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 밸브 조립체에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 밸브 조립체는, 진공 챔버 배기 라인의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되며, 상기 배기 라인의 연통 방향으로 개구되고 상기 연통 방향과 수직한 방향으로 일정한 내부 공간을 가지는 밸브 하우징; 상기 밸브 하우징 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 밸브 하우징 내부에서 수평이동하면서 상기 배기 라인을 연통시키거나 차단하는 밸브; 상기 밸브 하우징의 일측에 상기 밸브와 연결되어 설치되며, 상기 밸브를 상기 배기 라인에 직교하는 방향으로 수평 이동시키는 밸브 구동부; 상기 밸브 하우징 내부에 설치되어 상기 밸브의 이동 경로를 안내하는 밸브 이동 안내부;를 포함한다.

Description

밸브 조립체{A VALVE COMPLEX}
본 발명은 밸브 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버의 배기 라인에 용이하게 설치 가능하며, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 밸브 조립체에 관한 것이다.
반도체, LCD, LED, 태양전지 등의 정밀 제조 분야에서는 장비 내부의 압력을 대기압 보다 낮게 유지하면서 제조 공정을 진행하는 진공 장비가 많이 사용된다. 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 기체를 흡입 배출하여 진공 장비 내부의 압력을 낮게 유지하는 진공 펌프 및 이 진공 펌프와 진공 장비를 연결하는 배기 라인이 설치된다.
그리고 이 배기 라인에는 배기 라인 자체의 개폐를 위하여 게이트 밸브가 설치된다. 종래의 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 배기 라인(10)의 중간에 설치되며, 밸브 하우징(40), 밸브(20) 및 밸브 구동부(도면에 미도시)를 포함하여 구성된다.
먼저 밸브(20)는 상기 배기 라인(10)을 가로막아서 차단하는 구성요소이며, 상기 배기 라인(10)에 대하여 직교하는 방향으로 이동한다. 그리고 상기 밸브 하우징(40)은 상기 밸브(20)가 이동하는 경로를 제공하며, 배기 라인(10)에 설치되어 배기 라인을 통하여 배출되는 배기 가스의 외부 유출을 방지하는 역할을 한다. 마지막으로 밸브 구동부는 상기 밸브(20)의 후단에 결합되어 상기 밸브(20)를 구동하는 역할을 한다.
그런데 이러한 구조의 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브 내에서 밸브(20)와 밸브 하우징(40) 사이의 공간이 차단되지 아니하여, 배기 라인(10)을 통하여 배출되는 공정 부산물 또는 오염물질(30)이 상기 밸브 하우징(40) 내부 및 밸브(20) 표면에 쌓이는 문제점이 있다.
이렇게 밸브 하우징(40) 내부나 밸브(20)에 공정 부산물 또는 오염물질(30)이 쌓이면 배브 하우징(40)이나 밸브(20)가 부식되어 구동 불량이 발생하고 잦은 수리가 요구되는 치명적인 문제가 있고, 불필요한 마찰로 인하여 배기 능력이 저하되는 문제점도 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 진공 챔버의 배기 라인에 용이하게 설치 가능하며, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 밸브 조립체를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 밸브 조립체는, 진공 챔버 배기 라인의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되며, 상기 배기 라인의 연통 방향으로 개구되고 상기 연통 방향과 수직한 방향으로 일정한 내부 공간을 가지는 밸브 하우징; 상기 밸브 하우징 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 밸브 하우징 내부에서 수평이동하면서 상기 배기 라인을 연통시키거나 차단하는 밸브; 상기 밸브 하우징의 일측에 상기 밸브와 연결되어 설치되며, 상기 밸브를 상기 배기 라인에 직교하는 방향으로 수평 이동시키는 밸브 구동부; 상기 밸브 하우징 내부에 설치되어 상기 밸브의 이동 경로를 안내하는 밸브 이동 안내부;를 포함한다.
그리고 본 발명에서 상기 밸브 하우징은, 상기 밸브의 수평 이동 공간을 제공하는 하우징 본체; 상기 하우징 본체 중 상기 배기 라인에 결합된 상태에서 상기 배기 라인의 연통 방향으로 개구되는 한 쌍의 개구부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 밸브는, 상기 한 쌍의 개구부 중 상측 개구부를 연통시키거나 차단하는 상부 블레이드; 상기 상부 블레이드 하측에 상부 블레이드와 나란하게 설치되며, 상기 한 쌍의 개구부 중 하측 개구부를 연통시키거나 차단하는 하부 블레이드; 상기 상부 플레이드와 하부 블레이드 사이에 설치되며, 상기 상부 블레이드와 하부 블레이드 사이의 간격이 자유 변동될 수 있도록 상기 상부 블레이드와 하부 블레이드를 연결하는 블레이드 연결부; 상기 상하부 블레이드의 각 측면에 돌출되도록 설치되며, 상기 밸브이동 안내부에 슬라이딩 가능하게 결합되는 다수개의 돌기부; 를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 상부 블레이드는, 상기 상부 블레이드를 두께 방향으로 관통하여 형성되는 연통홀; 상기 연통홀에 인접하게 형성되며, 상기 연통홀과 동일한 크기의 밀폐부재 삽입홈이 형성되는 밀폐부; 상기 밀폐부재 삽입홈에 삽입되어 설치되며, 상기 밀폐부가 상기 밸브 하우징의 개구부를 차단시에 상기 상부 블레이드와 밸브 하우징 사이에 틈을 차단하는 밀폐부재;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 밸브 구동부는, 상기 밸브 하우징 내부에 설치되며, 상기 상하부 블레이드에 각각 결합되는 블레이드 연결부; 상기 밸브 하우징 외부에 설치되며, 상기 블레이드 연결부를 수평 이동시키는 동력을 제공하는 동력 제공부; 상기 동력 제공부와 상기 블레이드 연결부를 연결하는 연결 샤프트;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 블레이드 연결부는, 수평 이동 방향과 동일한 방향으로 일정 간격 이격되어 형성되는 한 쌍의 설치 장공들을 구비하는 연결 블럭; 상기 설치 장공 각각에 슬라이딩 가능하게 설치되는 한 쌍의 슬라이딩 블럭; 일단이 상기 각 슬라이딩 블럭에 회동가능하게 결합되고, 타단은 상기 상하부 블레이드의 내면에 각각 회동가능하게 결합되는 한 쌍의 연결핀;을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 밸브 조립체에는, 상기 하우징 본체 중 개구부 근처에 설치되며, 상기 밸브 하우징 내부를 가열하는 가열부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 밸브 조립체에는, 상기 하우징 본체에 설치되며, 상기 하우징 본체와 밸브 사이의 공간으로 불활성 기체를 분사하는 양압 유지부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 밸브 조립체에는, 상기 하우징 본체를 관통하여 설치되며, 상기 배기 라인 중 챔버측 배기 라인으로 일단이 개구되고 타단은 상기 배기 파인 중 펌프측 배기라인으로 개구되는 압력 유지 라인; 상기 압력 유지 라인 중에 설치되며, 상기 압력 유지 라인을 단속하는 슬로우 펌핑 밸브;가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 하우징 본체는, 상면이 개방되고 일정한 내부 공간을 가지는 통형상의 하측 본체; 상기 하측 본체의 상면에 결합되어 상기 하측 본체의 개방된 상면을 덮는 본체 덮개;를 포함하고, 상기 한 쌍의 개구부는 상기 하측 본체 및 본체 덮개에 각각 하나씩 형성되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 밸브 조립체에는, 상기 상하부 블레이드의 측면에 각각 설치되며, 상기 상하부 블레이드 측면과 상기 밸브 하우징 내면 사이에 마찰력을 감소시키는 베어링부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 한 쌍의 연결핀은, 상기 한 쌍의 슬라이딩 블럭이 마주보는 방향으로 예각이 형성되도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 밸브 조립체에는, 압력 유지 라인 중간에 연통되며, 상기 밸브 하우징 내부 공간과 연통되는 하우징 연결라인이 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 밸브 조립체에는, 상기 밸브 하우징과 동력 제공부 사이에 설치되며, 상기 밸브 하우징과 동력 제공부 사이의 열전달을 차단하는 단열 플레이트가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 이동 안내부는, 상기 하우징 본체의 내면에 음각되어 형성되며, 상기 밸브를 연통 위치 및 차단 위치로 안내하도록 수평 구간 및 경사 구간이 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 밸브 조립체에 의하면 진공 챔버의 배기 라인에 용이하게 설치 가능하며, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 장점이 있다.
도 1은 종래의 밸브 조립체의 구조를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 조립체의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 하우징의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 조립체의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 블레이드의 구조를 도시하는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브이동 안내부의 구조를 도시하는 도면이다.
도 7, 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 구동부의 구동 과정을 도시하는 도면들이다.
도 9은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 유지 라인 및 슬로우 펌핑 밸브의 구조를 도시하는 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 밸브 조립체(1)는 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 밸브 하우징(100), 밸브(200), 밸브 구동부(300) 및 밸브이동 안내부(400)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 밸브 하우징(100)은 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 챔버 배기 라인(10)의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인(10)의 제거된 부분에 삽입되어 설치되며, 밸브 조립체(1)의 다른 구성요소들이 설치되는 공간을 제공하는 구성요소이다. 또한 상기 밸브 하우징(100)은 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 상기 배기 라인(10)의 연통 방향으로 개구되고 상기 연통 방향과 수직한 방향으로 일정한 내부 공간을 가진다. 여기에서 연통 방향이라 함은 도 2에 도시된 바와 같이, 배기 라인(10)의 배기 가스가 흐르는 방향을 말하는 것으로서, 도면 상에서 상측에서 하측으로 향하는 방향(D1)이다.
이를 위하여 본 실시예에서 상기 밸브 하우징(100)은 구체적으로 도 3에 도시된 바와 같이, 하우징 본체(110)와 한 쌍의 개구부(120)로 구성될 수 있다. 상기 하우징 본체(110)는 내부에 밸브(200)가 수평 이동할 수 있는 일정한 공간을 구비하며, 상기 한 쌍의 개구부(120)는 상기 하우징 본체(110) 중 상기 배기 라인(10)에 결합된 상태에서 상기 배기 라인(10)의 연통 방향으로 개구된다.
따라서 상기 하우징 본체(110)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상면이 개방되고 일정한 내부 공간을 가지는 통형상의 하측 본체(112)와, 본체 덮개(114)로 구성되며, 상기 본체 덮개(114)는 상기 하측 본체(112)의 상면에 결합되어 상기 하측 본체(112)의 개방된 상면을 덮는 구성요소이다. 그리고 상기 한 쌍의 개구부(120)는 상기 하측 본체(112) 및 본체 덮개(114)에 각각 하나씩 형성된다.
다음으로 상기 밸브(200)는 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(100) 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 밸브 하우징(100) 내부에서 수평이동하면서 상기 배기 라인(10)을 연통시키거나 차단하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 밸브(200)는 연통 과정 및 차단 과정에서 완벽한 기밀 유지를 위하여 이중 블레이드 구조를 가지는데, 구체적으로 상기 밸브(200)는 상부 블레이드(210), 하부 블레이드(220), 블레이드 연결부(230) 및 돌기부(240)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 상하부 블레이드(210, 220)는 상하측에 대칭구조로 설치되며, 상기 블레이드 연결부(230)에 의하여 그 간격이 변동될 수 있는 구조로 결합된다. 따라서 상기 상하부 블레이드(210, 220)는 상기 하우징 본체(110)에 형성되어 있는 개구부(120)를 연통시키거나 차단하는 기능을 수행하므로, 상기 상하부 블레이드(210, 220)에는 각각 연통홀(212, 222)과 밀폐부(214, 224)가 형성된다. 그리고 각 연통홀(212, 222)는 서로 슬라이딩 가능하게 연결되어 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 배기 라인(10)의 잘린 부분을 연장하는 구조를 가진다.
여기에서 상기 연통홀(212)은 상기 상부 블레이드(210)를 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 밀폐부(214)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 연통홀(212)에 인접하게 형성되며, 상기 연통홀(212)과 동일한 크기의 밀폐부재 삽입홈(216)이 형성되는 구성요소이다. 물론 상기 연통홀(212)의 외주부 측에도 밀폐부재 삽입홈(215)이 형성되고, 밀폐부재가 설치된다.
그리고 상기 블레이드 연결부(230)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 상부 플레이드(210)와 하부 블레이드(220) 사이에 설치되며, 상기 상부 블레이드(210)와 하부 블레이드(220) 사이의 간격이 자유 변동될 수 있도록 상기 상부 블레이드(210)와 하부 블레이드(220)를 연결하는 구성요소이다. 따라서 상기 블레이드 연결부(230)는 단순하게 핀 형태를 가질 수 있으며, 상기 상부 블레이드(210)와 하부 블레이드(220)에 각각 형성되어 있는 삽입홈에 삽입된 상태로 설치된다. 이 상태에서 상기 블레이드 연결부(230)는 상하 방향으로 슬라이딩 가능한 구조를 가진다.
다음으로 상기 돌기부(240)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 상부 블레이드(210)의 각 측면에 돌출되도록 설치되며, 상기 밸브이동 안내부(400)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 구성요소이다. 따라서 상기 돌기부(240)는 상기 상부 블레이드(210)의 일측에 최소 2개씩 다수개가 설치된다. 이때 상기 돌기부(240)는 상기 밸브이동 안내부(400)에 삽입될 수 있는 직경을 가지며, 외면에 마찰력 감소를 위한 베어링(도면에 미도시)이 설치되는 구조를 가질 수 있다. 그리고 상기 돌기부(240)는 상기 하부 블레이드(220)에도 상부 블레이드(210)와 동일하게 설치된다.
또한 상기 상부 블레이드(210)의 측면에는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 상부 블레이드(210) 측면과 상기 하우징 본체(110) 내면 사이에 마찰력을 감소시키는 베어링부(250)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 베어링부(250)는 볼베어링 등의 구조를 가질 수 있으며, 상기 하우징 본체(110)와의 마찰을 감소시켜 파티클 발생을 억제한다.
다음으로 상기 밸브 구동부(300)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(100)의 일측에 상기 밸브(200)와 연결되어 설치되며, 상기 밸브(200)를 상기 배기 라인(10)에 직교하는 방향으로 수평 이동시키는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에서 상기 밸브 구동부(300)는 구체적으로 도 2에 도시된 바와 같이, 블레이드 연결부(310), 동력 제공부(320) 및 연결 샤프트(330)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 블레이드 연결부(310)는 상기 밸브 하우징(100) 내부에 설치되며, 상기 상하부 블레이드(210, 220)에 각각 결합되어 상기 동력 제공부(320)에 의하여 동력에 의하여 상하 블레이드(210, 220)를 각각 구동시킨다. 구체적으로 상기 블레이드 연결부(310)는, 도 7, 8에 도시된 바와 같이, 연결 블럭(311)과 연결핀(312)으로 구성될 수 있다. 상기 연결 블럭(311)은, 수평 이동 방향과 동일한 방향으로 일정 간격 이격되어 형성되는 한 쌍의 설치 장공(313)들을 구비하는 구성요소이며, 일단이 상기 연결 샤프트(330)에 연결되어 수평 이동한다. 그리고 각 장공(313)에는 슬라이딩 블럭(314)이 슬라이딩 이동 가능하게 설치된다.
그리고 상기 연결핀(312)은 도 7, 8에 도시된 바와 같이, 일단이 상기 각 슬라이딩 블럭(314)에 회동가능하게 결합되고, 타단은 상기 상하부 블레이드(210, 220)의 내면에 각각 회동가능하게 결합되는 구성요소이며, 하나의 장공(313)에 상하부 블레이드(210, 220)에 각각 연결되도록 한 쌍의 연결핀(312)이 설치된다. 이러한 한 쌍의 연결핀(312)들은 서로 마주보는 방향에 대칭되도록 총 4개의 연결핀(312)이 도 7, 8에 도시된 바와 같이, 설치된다.
이때 상기 한 쌍의 연결핀(312)은, 도 7, 8에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 슬라이딩 블럭(314)이 마주보는 방향으로 작은 각이 형성되도록 설치되는 것이 바람직하다. 이렇게 마주보는 방향으로 180˚보다 작은 각을 가지도록 연결핀(312)들이 설치되면, 도 7, 8에 도시된 바와 같이, 전진 과정이나 후진 과정에서 모두 전방 또는 후방 중 어느 한 쪽의 연결핀(312)들이 충분히 힘을 받아서 용이한 구동이 가능한 장점이 있다.
다음으로 상기 동력 제공부(320)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(100) 외부에 설치되며, 상기 블레이드 연결부(310)를 수평 이동시키는 동력을 제공하는 구성요소이다. 이 동력 제공부(320)는 에어 실린더, 모터 등 수평 이동 동력을 제공할 수 있는 다양한 구성을 가질 수 있다.
그리고 상기 연결 샤프트(330)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 동력 제공부(320)와 상기 블레이드 연결부(310)를 연결하는 구성요소이며, 단순한 샤프트 구조를 가질 수 있다.
한편 본 실시예에서 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(100)과 동력 제공부(320) 사이에 설치되며, 상기 밸브 하우징(100)과 동력 제공부(320) 사이의 열전달을 차단하는 단열 플레이트(340)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 단열 플레이트(340)는 열에 안정한 피크(PEEK) 등의 엔지니어링 플라스틱으로 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 밸브 하우징(100)과의 접촉 면적을 감소시키기 위하여 도 4에 도시된 바와 같이, 이격홈(342)을 가지는 것이 더욱 바람직하다.
다음으로 상기 밸브이동 안내부(400)는 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(100) 내부에 설치되어 상기 밸브(200)의 이동 경로를 안내하는 구성요소이다. 이 밸브 이동 안내부(400)는 밸브 하우징(100) 내면을 음각하여 상기 밸브 하우징(100)에 직접 형성될 수도 있고, 별도로 플레이트에 형성된 상태에서 그 플레이트를 상기 밸브 하우징(100) 내측에 결합시키는 구조를 가질 수도 있다.
이때 상기 밸브이동 안내부(400)는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 밸브(200)를 연통 위치 및 차단 위치로 안내하도록 수평 구간(411) 및 경사 구간(412, 413)이 형성되는 구조를 가진다. 구체적으로 상기 차단 위치에서는 도 6에 도시된 바와 같이, 경사 구간(413) 경과 후에 짧은 수평 구간(414)이 형성된다. 따라서 차단 위치에서는 상하부 블레이드(210, 220)가 이 수평 구간(414)에 걸려서 안정적으로 상하 개구부(120)들을 차단한다.
반면 상기 연통 위치에서는 도 6에 도시된 바와 같이, 경사 구간(412)만이 형성된 구조를 가진다. 따라서 상기 상하부 블레이드(210, 220)가 이 경사 구간(412)의 말단에 걸린 상태에서 연통된다. 연통 위치에서는 상기 배기 라인(10)을 통하여 배기 가스가 배출되는 중이므로 밸브 하우징(100)과 밸브(200) 사이에 기밀 유지가 매우 중요하다. 따라서 이 연통 위치에서는 상기 동력 제공부(320)에 의하여 상기 상하부 블레이드(210, 220)를 지속적으로 가압하는 동작을 수행하여 기밀 유지를 더욱 확실하게 하는 것이다.
물론 수평 구간(411)을 통과하는 동안에는 상하부 블레이드(210, 220) 사이의 간격이 가까워져서 상기 상하부 블레이드(210, 220)가 밸브 하우징(100)의 내면과 접촉하지 않고 안정적으로 수평 이동할 수 있다.
한편 본 실시예에 따른 밸브 조립체(1)에는 가열부(500)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 가열부(500)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하우징 본체(110) 중 개구부(120) 근처에 설치되며, 상기 밸브 하우징(100) 내부를 가열한다. 진공 챔버 내부에서 고온의 공정이 수행되는 경우, 배기 가스도 가열된 상태이다. 따라서 이 배기가스가 동일한 온도를 유지하면서 밸브 조립체(1) 구간을 통과하여야만 밸브 조립체(1)에 파티클이 발생하지 않기 때문에 밸브 하우징(100)과 밸브(200) 등을 가열하는 것이다.
또한 본 실시예에 따른 밸브 조립체(1)에는 도 2에 도시된 바와 같이, 양압 유지부(600)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 양압 유지부(600)는 상기 하우징 본체(110)에 설치되며, 상기 하우징 본체(110)와 밸브(200) 사이의 공간으로 불활성 기체를 분사하는 구성요소이다. 상기 밸브 하우징(100) 내부의 압력이 상기 밸브(200) 또는 배기라인(10)의 압력보다 높게 유지되면 밸브 하우징(100) 내부로 배기 가스가 유입될 가능성이 낮아지므로 상기 양압 유지부(600)가 상기 배기 라인(10)의 압력에 따라 불활성 기체의 분사 압력을 변동시키면서 밸브 하우징(100) 내부의 압력이 더 높도록 유지하는 것이다.
또한 본 실시예에 따른 밸브 조립체(1)에는 압력 유지 라인(710)과 하우징 연결라인(720) 및 슬로우 펌핑 밸브(730)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 압력 유지 라인(710)은 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 하우징 본체(110)를 관통하여 설치되며, 상기 배기 라인(10) 중 챔버측 배기 라인(10a)으로 일단이 개구되고 타단은 상기 배기 라인 중 펌프측 배기라인(10b)으로 개구되는 기체 통과 라인이다. 그리고 상기 하우징 연결라인(720)은, 압력 유지 라인(710) 중간에 연통되며, 상기 밸브 하우징(100) 내부 공간과 연통되는 기체 통과 라인이다. 이 압력 유지 라인(710)과 하우징 연결 라인(720)에 의하여 상기 밸브 하우징(110) 내부 압력과 배기 라인(10)의 압력이 항상 동일하게 조정할 수 있는 것이다.
그리고 상기 슬로우 펌핑 밸브(730)는 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 압력 유지 라인(710) 중에 설치되며, 상기 압력 유지 라인(710)을 단속하는 구성요소이다. 밸브(200)의 차단 상태를 연통 상태로 변동시키기 전에 슬로우 펌핑 밸브(730)는 차단 상태에서 개방 상태로 변환되고, 상기 하우징 본체(110) 내부 압력이 배기 라인의 압력과 동일해지는 과정이 진행된다. 그리고나서 밸브(200)를 개방 상태로 변환시키면 밸브 하우징(100) 내부의 압력 차이로 인한 고장, 장애 등을 방지할 수 있다.
1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 조립체
100 : 밸브 하우징 200 : 밸브
300 : 밸브 구동부 400 : 밸브이동 안내부

Claims (10)

  1. 진공 챔버 배기 라인의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되며, 상기 배기 라인의 연통 방향으로 개구되고 상기 연통 방향과 수직한 방향으로 일정한 내부 공간을 가지는 밸브 하우징;
    상기 밸브 하우징 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 밸브 하우징 내부에서 수평이동하면서 상기 배기 라인을 연통시키거나 차단하는 밸브;
    상기 밸브 하우징의 일측에 상기 밸브와 연결되어 설치되며, 상기 밸브를 상기 배기 라인에 직교하는 방향으로 수평 이동시키는 밸브 구동부;
    상기 밸브 하우징 내부에 설치되어 상기 밸브의 이동 경로를 안내하는 밸브 이동 안내부;를 포함하는 밸브 조립체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 밸브 하우징은,
    상기 밸브의 수평 이동 공간을 제공하는 하우징 본체;
    상기 하우징 본체 중 상기 배기 라인에 결합된 상태에서 상기 배기 라인의 연통 방향으로 개구되는 한 쌍의 개구부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
  3. 제2항에 있어서, 상기 밸브는,
    상기 한 쌍의 개구부 중 상측 개구부를 연통시키거나 차단하는 상부 블레이드;
    상기 상부 블레이드 하측에 상부 블레이드와 나란하게 설치되며, 상기 한 쌍의 개구부 중 하측 개구부를 연통시키거나 차단하는 하부 블레이드;
    상기 상부 플레이드와 하부 블레이드 사이에 설치되며, 상기 상부 블레이드와 하부 블레이드 사이의 간격이 자유 변동될 수 있도록 상기 상부 블레이드와 하부 블레이드를 연결하는 블레이드 연결부;
    상기 상하부 블레이드의 각 측면에 돌출되도록 설치되며, 상기 밸브이동 안내부에 슬라이딩 가능하게 결합되는 다수개의 돌기부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
  4. 제3항에 있어서, 상기 상부 블레이드는,
    상기 상부 블레이드를 두께 방향으로 관통하여 형성되는 연통홀;
    상기 연통홀에 인접하게 형성되며, 상기 연통홀과 동일한 크기의 밀폐부재 삽입홈이 형성되는 밀폐부;
    상기 밀폐부재 삽입홈에 삽입되어 설치되며, 상기 밀폐부가 상기 밸브 하우징의 개구부를 차단시에 상기 상부 블레이드와 밸브 하우징 사이에 틈을 차단하는 밀폐부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
  5. 제3항에 있어서, 상기 밸브 구동부는,
    상기 밸브 하우징 내부에 설치되며, 상기 상하부 블레이드에 각각 결합되는 블레이드 연결부;
    상기 밸브 하우징 외부에 설치되며, 상기 블레이드 연결부를 수평 이동시키는 동력을 제공하는 동력 제공부;
    상기 동력 제공부와 상기 블레이드 연결부를 연결하는 연결 샤프트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
  6. 제5항에 있어서, 상기 블레이드 연결부는,
    수평 이동 방향과 동일한 방향으로 일정 간격 이격되어 형성되는 한 쌍의 설치 장공들을 구비하는 연결 블럭;
    상기 설치 장공 각각에 슬라이딩 가능하게 설치되는 한 쌍의 슬라이딩 블럭;
    일단이 상기 각 슬라이딩 블럭에 회동가능하게 결합되고, 타단은 상기 상하부 블레이드의 내면에 각각 회동가능하게 결합되는 한 쌍의 연결핀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 하우징 본체 중 개구부 근처에 설치되며, 상기 밸브 하우징 내부를 가열하는 가열부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 하우징 본체에 설치되며, 상기 하우징 본체와 밸브 사이의 공간으로 불활성 기체를 분사하는 양압 유지부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 하우징 본체를 관통하여 설치되며, 상기 배기 라인 중 챔버측 배기 라인으로 일단이 개구되고 타단은 상기 배기 파인 중 펌프측 배기라인으로 개구되는 압력 유지 라인;
    상기 압력 유지 라인 중에 설치되며, 상기 압력 유지 라인을 단속하는 슬로우 펌핑 밸브;가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
  10. 제2항에 있어서, 상기 하우징 본체는,
    상면이 개방되고 일정한 내부 공간을 가지는 통형상의 하측 본체;
    상기 하측 본체의 상면에 결합되어 상기 하측 본체의 개방된 상면을 덮는 본체 덮개;를 포함하고,
    상기 한 쌍의 개구부는 상기 하측 본체 및 본체 덮개에 각각 하나씩 형성되는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
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