JP2011247324A - 真空用バルブ - Google Patents

Abstract

【課題】弁体をヒーターで直接かつ効率良く加熱することができると共に、弁体及びシャフトに対するヒーターの取り付けが容易で該ヒーターの交換も簡単に行うことができる真空用バルブを提供する。
【解決手段】弁体６に連結したシャフト１０の内部のヒーター孔内にカートリッジヒーター３０を収容し、該カートリッジヒーター３０の先端の発熱部３０ａを上記シャフト１０と弁体６との連結部３２の位置に配置し、該連結部３２においては、上記弁体６とシャフト１０との相互に当接し合う面の相対する位置に上記ヒーター孔に通じる受熱溝と加圧部とを形成し、上記受熱溝には上記カートリッジヒーター３０の発熱部３０ａの半径と等しい半径を有する円弧状の溝部分を形成し、上記発熱部３０ａを上記受熱溝と加圧部との間に配置した状態で相互に固定することにより、該発熱部３０ａが上記加圧部４に加圧されて上記受熱溝の円弧状の溝部分の内周に面接触で密着させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体製造装置における真空チャンバに取り付けられて該真空チャンバに通じる開口の開閉に使用される真空用バルブに関するものである。

半導体製造装置においては、真空チャンバに通じる開口の開閉に真空用バルブが使用される。この真空用バルブは、上記開口を有する弁箱内に弁体が収容され、該弁体にシャフトの先端部が連結され、該シャフトが弁体駆動部で駆動されることによって上記弁体が上記開口を開閉するように構成されている。

上記真空用バルブにおいては、反応ガスと接触する部分に反応物が生成して付着し、これが弁体の開閉動作に悪影響を及ぼすため、反応物が付着しないようにすることが重要である。このため従来では、特許文献１や特許文献２に記載されているように、弁体やシャフトなど反応ガスと接触する部分にヒーターを取り付け、このヒーターで上記各部分特に弁体を加熱するようにしている。

ところが、上記特許文献１及び特許文献２に記載されている弁体の加熱方式のうち、シャフトの内部にヒーターを設けると共に、弁体の背面にホットプレートを設け、上記ヒーターの熱を該ホットプレートを介して弁体に伝えるという方式は、ホットプレートを介した間接加熱であるため伝熱効率が悪いという問題がある。また、弁体の背面に該弁体の周縁を取り巻くループ状の溝を形成し、この溝内にヒーターを収容して弁体を加熱する方式のものは、弁体に対するループ状の溝の形成が面倒であるだけでなく、弁体の背面にシールプレート及びホットプレートを取り付けて上記溝を密閉しなければならないため、ヒーターの取付構造が複雑で、該ヒーターの交換もできないという問題がある。

特開平９−２６９０７２号公報 特開１１−３２５３１３号公報

本発明の目的は、弁体をヒーターで直接かつ効率良く加熱することができると共に、弁体及びシャフトに対するヒーターの取り付けが容易で該ヒーターの交換も簡単に行うことができる真空用バルブを提供することにある。

上記目的を達成するため本発明によれば、開口を有する弁箱内に弁体が収容され、該弁体にシャフトの先端部が連結され、該シャフトが弁体駆動部で駆動されることによって上記弁体が上記開口を開閉するように構成された真空用バルブにおいて、上記シャフトの内部に該シャフトの軸線方向に延びる円形のヒーター孔が形成され、該ヒーター孔内に円柱状のカートリッジヒーターが収容されると共に、該カートリッジヒーターの先端の発熱部が上記シャフトと弁体との連結部の位置に配置され、上記連結部においては、上記弁体とシャフトとの相互に当接し合う面の相対する位置に上記ヒーター孔に通じる受熱溝と加圧部とが形成され、上記受熱溝は上記カートリッジヒーターの発熱部の半径と等しい半径を有する円弧状の溝部分を有し、上記発熱部を上記受熱溝と加圧部との間に配置した状態で上記弁体とシャフトとをボルトで相互に固定することにより、該発熱部が上記加圧部に加圧されて上記受熱溝の円弧状の溝部分の内周に面接触で密着させられていることを特徴とするものである。

本発明は、上記連結部において、上記弁体の内部に該弁体の横幅方向に延びる連結孔が形成され、上記シャフトの先端には、該シャフトの軸線方向に延在して上記連結孔内に嵌合する連結杆が形成され、上記連結孔と連結杆との相互に当接し合う孔壁面と杆壁面とに上記受熱溝と加圧部とが形成されていることが望ましい。
本発明においては、上記シャフトに上記受熱溝と対向する加圧溝が形成されていて、該加圧溝の溝面に上記加圧部が形成されていることが好ましい。

また、本発明において、上記ヒーター孔の先端部が上記シャフトと弁体との連結部の位置で上記受熱溝を通じて弁箱内に連通し、該ヒーター孔の基端部は気密に塞がれており、それにより、上記弁箱内が真空状態にあるとき上記受熱溝及びヒーター孔が真空状態になるように構成されていても良い。
本発明において好ましくは、上記弁体がアルミニウム合金製であり、上記シャフトはステンレス製である。

本発明によれば、弁体に形成した円弧状の受熱溝の内周に、カートリッジヒーターの発熱部の外周を面接触で密着させ、熱伝導によって直接弁体に熱を伝えるようにしているので、ふく射で熱を伝える場合に比べて伝熱性に勝れ、弁体を効率良く加熱することができる。また、上記カートリッジヒーターをシャフトのヒーター孔内に挿入して発熱部を弁体の受熱溝とシャフトの加圧部との間に配置し、ボルトで上記弁体とシャフトとを固定することにより上記発熱部が加圧部で加圧されて受熱溝に密着するようにしたので、カートリッジヒーターの取り付けが容易で、交換も簡単に行うことができる。

本発明に係る真空バルブの一実施形態を一部を破断して弁体の背面側から見た背面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線での断面図である。 弁体の要部拡大平面図である。 図１のＩＶ−ＩＶ線での断面図である。 図４の縦断面図で、カートリッジヒーターを仮想線で表したものである。 弁体とシャフトとカートリッジヒーターとを分離して示す要部斜視図である。 弁体とシャフトとの連結部の異なる構成例を示す要部断面図である。

図１は本発明に係る真空用バルブの一実施形態をその一部を破断して概略的に示したものである。この真空用バルブは、半導体製造装置の真空チャンバに接続されて該真空チャンバに通じる開口３を開閉するもので、該真空チャンバの排気や、該真空チャンバに対する半導体ウエハの出し入れの際などに上記開口３を開閉するものである。

上記真空用バルブは、上記真空チャンバに接続される弁箱１と、該弁箱１の下部に配設された弁体駆動部２とを有している。

上記弁箱１は、横に長い四角な箱形をしていて、図２に示すように、相対する前後の壁１ａ及び１ｂに上記真空チャンバに通じる横に長い矩形の第１開口３と第２開口４とが形成され、該弁箱１の内部の弁室５内に、前方の壁１ａの第１開口３を開閉する横に長い矩形の弁体６が収容されている。そして、上記前方の壁１ａの内面に、上記第１開口３を取り囲むように矩形あるいは長円形の弁シート部７が形成され、上記弁体６の前面に、該弁シート部７に当接して上記第１開口３を閉じる矩形あるいは長円形の弁シール８が装着されている。

上記弁体６の長手方向の中央位置にはシャフト１０の先端部（上端部）が連結され、該シャフト１０の基端部（下端部）は、上記弁箱１の底壁１ｃと該底壁１ｃに固定された駆動部上壁２ａとを非接触状態に貫通して上記弁体駆動部２の内部にまで延びている。

上記シャフト１０の基端部には、垂直断面が略Ｈ字形で上面視形状が略長方形のキャップ体１４が、上記基端部を該キャップ体１４の取付孔１５内に嵌合させることにより取り付けられている。

上記キャップ体１４の中央孔１６の内底部の位置には、シャフト１０を気密に取り囲む第１支持リング１７が取り付けられ、また、上記駆動部上壁２ａには、上記シャフト１０を取り囲む第２支持リング１８がＯリングを介して気密に取り付けられ、これらの第１支持リング１７と第２支持リング１８とに、シャフト１０を取り囲むベローズ１９の一端と他端とがそれぞれ気密に固定されている。
上記ベローズ１９の内側とシャフト１０の外側との間の空間２０は、上記弁室５と連通しているが、大気からは遮断されている。従って上記弁室５は、上記２つの開口３，４を除いて密閉された空間である。

上記弁体駆動部２は、本出願人が提案した特開平１１−３２５３１５号公報掲載の高真空バルブにおける弁体駆動部と実質的に同じ構成を有するものであって、その構成自体は既に公知であるから、ここではその構成及び作用について簡単に説明する。

上記弁体駆動部２は、上記駆動部上壁２ａに取り付けられた左右一対のエアシリンダ２３ａ，２３ｂを有し、このエアシリンダ２３ａ，２３ｂのピストンロッド２４ａ，２４ｂが伝動部材２５に連結され、この伝動部材２５が上記キャップ体１４に図示しない連結機構を介して連結されている。この連結機構は、上記伝動部材２５とキャップ体１４とを、シャフト１０の軸線方向に相対的に移動可能であるが設定距離以上は離れないように連結すると共に、上記伝動部材２５とキャップ体１４との間に介在するスプリングの付勢力で該伝動部材２５とキャップ体１４とを、通常は設定距離だけ離れた状態に保持するものである。

そして、上記弁体駆動部２は、上記エアシリンダ２３ａ，２３ｂのピストンロッド２４ａ，２４ｂを伸縮させて上記シャフト１０を、上記伝動部材２５及びキャップ体１４を介して図１の上下方向に駆動することにより、該シャフト１０の先端に連結された上記弁体６を、上記第１開口３を全開にする全開位置（図２の鎖線位置）と、該第１開口３に対向するが閉鎖はしない対向位置（図２の実線位置）と、弁シール８を弁シート部７に押し付けて第１開口３を閉鎖する閉鎖位置とに移動させるものである。

図１中の符号２６ａ，２６ｂは、上記キャップ体１４の両側面の上端寄りの位置に取り付けられた支点ローラ、符号２７ａ，２７ｂは、上記キャップ体１４の両側面の下端寄りの位置に取り付けられたガイドローラ、符号２８ａ，２８ｂは、上記伝動部材２５に取り付けられたカム板を示し、該カム板２８ａ，２８ｂは上記ガイドローラ２７ａ，２７ｂと係合するカム溝を有しており、上記支点ローラ２６ａ，２６ｂ、ガイドローラ２７ａ，２７ｂ、及びカム板２８ａ，２８ｂは、弁体６の開閉動作のため次のように機能する。

上記支点ローラ２６ａ，２６ｂは、弁体６が上記全開位置にある状態からピストンロッド２４ａ，２４ｂが短縮し、上記シャフト１０及びキャップ体１４が伝動部材２５と一緒に上記対向位置まで移動したとき、エアシリンダ２３ａ，２３ｂの側面のストッパに当接して該シャフト１０及びキャップ体１４を上記対向位置に停止させる。

上記キャップ体１４が上記対向位置に停止したあと、上記連結機構の介在によって伝動部材２５はピストンロッド２４ａ，２４ｂでなおも駆動され、キャップ体１４に対して図１の上方へさらに移動するため、該伝動部材２５に設けられた上記カム板２８ａ，２８ｂがガイドローラ２７ａ，２７ｂに対して移動する。その結果、該カム板２８ａ，２８ｂに設けられたカム溝の傾斜に沿ったガイドローラ２７ａ，２７ｂの変位によってシャフト１０が支点ローラ２６ａ，２６ｂを中心に傾動し、弁体６の弁シール８が弁シート部７に押し付けられて該弁体６が上記閉鎖位置に至るものである。
上記弁体６を閉鎖位置から全開位置に移動させて第１開口３を全開にするときは、上記動作と逆の動作が行われる。

上記弁体６に反応ガスによる生成物が付着するのを防止するため、真空用バルブにカートリッジヒーター３０が設けられている。このカートリッジヒーター取り付けのため、上記シャフト１０の内部には、該シャフト１０の中心を軸線方向に真っ直ぐ延びる円形のヒーター孔３１が形成され、該ヒーター孔３１内に、真っ直ぐな円柱状をした上記カートリッジヒーター３０が収容されると共に、該カートリッジヒーター３０の先端の発熱部３０ａが、上記シャフト１０と弁体６との連結部３２の位置に、該弁体６と直接接触するように配置されている。

上記連結部３２において上記シャフト１０と弁体６とは、次のようにして連結されている。即ち、図２〜図６から分かるように、上記弁体６の内部には、該弁体６を横幅方向（シャフト１０の軸線方向）に貫通する連結孔３４が形成され、これに対して上記シャフト１０の先端には、該シャフト１０の軸線方向に延びる連結杆３５が形成され、この連結杆３５が、上記連結孔３４内に嵌合されて弁体６に４つのボルト３６で固定されることにより、該弁体６と上記シャフト１０とが相互に連結されている。

上記連結孔３４は、平らで相互に平行する第１孔壁面３４ａ及び第２孔壁面３４ｂと、円周の一部からなる円弧状の２つの側壁面３４ｃとで囲まれたもので、上記第１孔壁面３４ａを弁体６の横幅の中央に位置させることにより、該弁体６の背面側に偏寄した状態に形成されている。上記第１孔壁面３４ａには、上記ボルト３６の雄螺子部３６ａが螺着される４つの螺子孔３７が、弁体６の上端側と下端側とにおける左右相対する位置に形成され、上記第２孔壁面３４ｂ側には、上記ボルト３６を挿入するための４つのボルト挿入孔３８が形成されている。

また、上記連結杆３５は、平らで相互に平行する第１杆壁面３５ａ及び第２杆壁面３５ｂと、シャフト１０の円周の一部からなる円弧状の２つの側壁面３５ｃとで囲まれたもので、上記第１杆壁面３５ａをシャフト１０の中心軸線に沿って配置することにより、該シャフト１０の中心から一側に偏寄した状態に形成されている。上記連結杆３５には、上記ボルト３６の雄螺子部３６ａが嵌合する小径孔部３９ａとボルト頭３６ｂが嵌合する大径孔部３９ｂとからなる４つのボルト取付孔３９が、上記螺子孔３７に対応させて形成されている。

上記連結杆３５は、上記連結孔３４と略相似の断面形状を有していて、該連結孔３４より僅かに小径に形成されることによって該連結孔３４内に少しの余裕を持って嵌合し、上記ボルト３６を締め付けていない状態では、第１杆壁面３５ａが連結孔３４の第１孔壁面３４ａから僅かに離間した位置を占めるようになっている。

上記連結孔３４と連結杆３５との相互に当接し合う第１孔壁面３４ａと第１杆壁面３５ａとには、シャフト１０の軸線を挟んで相対する位置に、円弧状をした受熱溝４１と加圧溝４２とが互いに向き合うように形成され、この受熱溝４１と加圧溝４２とによって上記ヒーター孔３１に通じる円形の受熱孔４０が該ヒーター孔３１と同心状に形成され、この受熱孔４０内に上記カートリッジヒーター３０の発熱部３０ａが嵌合している。

上記受熱溝４１及び加圧溝４２は、何れも円を二分割した半円状のもので、その半径は上記カートリッジヒーター３０の発熱部３０ａの半径と実質的に等しく形成されており、従って上記受熱孔４０の孔径は発熱部３０ａの直径と実質的に等しい。しかし、上記ヒーター孔３１の孔径は、上記受熱孔４０の孔径即ちカートリッジヒーター３０の直径より若干大きく形成されている。

このため、上記受熱溝４１と加圧溝４２との間に発熱部３０ａを介在させた状態でボルト３６を締め付け、シャフト１０と弁体６とを相互に固定すると、該ボルト３６の締着力で発熱部３０ａが上記受熱溝４１と加圧溝４２とによって両側から挟持され、該加圧溝４２の溝面が加圧部４２ａとなって該発熱部３０ａを受熱溝４１側に向けて強く加圧することにより、該発熱部３０ａの半周部分が受熱溝４１の内周全体に面接触して密着する。このとき、該発熱部３０ａの残りの半周部分は上記加圧溝４２の内周全体に面接触して密着する。一方、上記ヒーター孔３１の内周と上記カートリッジヒーター３０の外周との間には、それらの径差に基づく空間４３が形成される。

上記カートリッジヒーター３０の上端からはシースセンサー（サーモカップル）４５が連結孔３４内に延出し、このシースセンサー４５は側方に折り曲げられてシャフト１０の連結杆３５の上端に接触させられている。
図示の例では上記連結孔３４の頂部は開放しているが、図６に鎖線で示すように、該頂部に該連結孔３４と受熱溝４１とを覆う蓋板４４を取り付け、この蓋板４４で上記シースセンサー４５を連結杆３５の上端に押し付けても良い。この蓋板４４は、上記連結杆３５の頂面に螺子で固定することができる。しかし、この蓋板４４で上記連結孔３４の頂部を気密に密閉する必要はない。

図１において、上記カートリッジヒーター３０の基端部には、ヒーター孔３１より大径のヒーターフランジ４６が一体に取り付けられていて、このヒーターフランジ４６がシャフト１０の下端面にヒーターパッキン４７を介して固定されており、このヒーターフランジ４６とヒーターパッキン４７とによって上記ヒーター孔３１の下端が気密に閉鎖されている。そして、上記カートリッジヒーター３０及びシースセンサー４５に接続された導線４８が上記ヒーターフランジ４６を気密に貫通して外部に延出している。

これに対して上記ヒーター孔３１の先端部は、上記弁体６とシャフト１０との連結部３２の位置で、連結孔３４の内面と連結杆３５の外面との間に介在する微小隙間や、受熱溝４１及び加圧溝４２の内周面と発熱部３０ａの外周面との間に介在する微小隙間等を通じて上記弁室５に連通している。従って、上記弁室５内が真空状態にあるとき、上記受熱溝４１及び加圧溝４２の内部とヒーター孔３１の内部は真空状態になる。

上記カートリッジヒーター３０はこのように取り付けられているので、真空用バルブの動作時に上記カートリッジヒーター３０に通電して発熱部３０ａを発熱させると、該発熱部３０ａで弁体６が加熱され、反応ガスによる生成物が該弁体６に付着するのが防止される。この場合、弁体６に形成した円弧状の受熱溝４１の内周に発熱部３０ａの外周を面接触で密着させているので、上記発熱部３０ａからの熱を弁体６に熱伝導によって直接伝えることができると共に、広い面積での伝熱を行うことができ、加熱効率に勝れる。

上述したカートリッジヒーター３０による加熱構造は、上記弁体６及びシャフト１０が何れもアルミニウム合金製である場合でもステンレス製である場合でも加熱効率に勝れるものであるが、特に、弁体６がアルミニウム合金製でシャフト１０がステンレス製である場合に有効である。
即ち、一般にステンレスの熱伝導率は約１４Ｗ／ｍｋであるのに対し、アルミニウム合金の熱伝導率は約１７０Ｗ／ｍｋで、ステンレスの約１２倍と高い。一方、ふく射率については、ステンレスのふく射率が約０．４であるのに対し、アルミニウム合金のふく射率は０．０４で、ステンレスの約１／１０である。また、ステンレスは、ふく射率が大きい分だけふく射熱を受け易いが、ふく射放熱も大きい。
従って、ヒーターから弁体への伝熱を主として熱伝導により行い、ふく射による放熱ができるだけ行われないようにすれば、熱をアルミニウム合金製の弁体に効率良く伝えることが可能になる。

そこで、上記実施形態は、弁体６の受熱溝４１を円弧状に形成し、カートリッジヒーター３０の発熱部３０ａを該受熱溝４１に面接触で密着させることにより、主として熱伝導による伝熱が行われるようにしている。この場合、上記発熱部３０ａはシャフト１０の加圧溝４２に対しても面接触しているが、上述したようにステンレスの熱伝導率はアルミ合金に比べて非常に小さいので、シャフト１０に伝わる熱量は少ない。
この結果、上述したように、発熱部３０ａからの熱の大半を弁体６に伝えて該弁体６を効率良く加熱することができる。特に、アルミニウム合金製の弁体６は熱伝導率が良いので、上記受熱溝４１の位置において部分的に加熱されるだけで全体が均一な温度になり易く、一方、ステンレスのシャフト１０は熱伝導率は悪いので、該シャフト１０を通じて外部に放出される熱は少なく、このため熱ロスが少ない。
さらに、上記加熱部３０ａと弁体６との接触面は円周面であるため、線膨張差や熱変形での接触不良等が生じにくい。

なお、真空用バルブの動作時に、上記弁室５内が真空状態になることによって上記受熱溝４１及び加圧溝４２の内部も真空状態になるが、この場合にも、上記カートリッジヒーター３０の発熱部３０ａからの熱は熱伝導によって直接弁体６に伝えられるので、該発熱部３０ａによる弁体６の加熱は良好に行われる。

上記カートリッジヒーター３０の取り外しは、シャフト１０と弁体６とを固定しているボルト３６を緩めるか又は取り外すと共に、ヒーターフランジ４６をシャフト１０から取り外し、蓋板４４が取り付けられている場合にはそれも取り外し、該カートリッジヒーター３０をヒーター孔３１から下方に抜き取ることにより行うことができる。

上記実施形態では、上記受熱溝４１と加圧溝４２とが何れも半円状をしているが、少なくとも受熱溝４１が円弧状好ましくは半円状をしていて発熱部３０ａと面接触できるようになっていれば良く、加圧溝４２は円弧状であっても円弧状でなくても構わない。例えば図７に示すように、受熱溝４１が、発熱部３０ａの半径と等しい半径を持つ円弧状好ましくは半円状の溝部分４１ａを一部に有していて、加圧溝４２は、上記発熱部３０ａの半径より大きい半径を有する浅い円弧状をしていても良い。この場合、上記加圧溝４２の上記発熱部３０ａと接触する部分が加圧部４２ａとなる。

また、上記受熱溝４１及び加圧溝４２と発熱部３０ａとの間に隙間５０が形成され、この隙間５０の部分ではふく射による伝熱が行われるが、このふく射によって発熱部３０ａから弁体６及びシャフト１０に伝わる熱量より、受熱溝４１の円弧状の溝部分４１ａにおいて熱伝導により発熱部３０ａから弁体６に伝わる熱量の方がずっと多いため、伝熱効果は高い。
なお、図３及び図４に示す実施形態において、半円状をした上記受熱溝４１は、溝全体が円弧状の溝部分４１ａであり、また加圧溝４２は、溝全体が円弧状の加圧部４２ａであるということができる。

さらに、弁体６に上述したような連結孔３４を設ける代わりに、該弁体６の背面側から窪みを形成し、この窪みの内部においてシャフト１０を該弁体６に当接させてボルト３６で固定することも、あるいは、このような連結孔３４や窪みを設けることなく、弁体６の背面にシャフト１０を当接させてボルト３６で固定することもできる。

１ 弁箱
２ 弁体駆動部
３ 開口
６ 弁体
１０ シャフト
３０ カートリッジヒーター
３０ａ 発熱部
３１ ヒーター孔
３２ 連結部
３４ 連結孔
３４ａ 孔壁面
３５ 連結杆
３５ａ 杆壁面
３６ ボルト
４１ 受熱溝
４１ａ 溝部分
４２ 加圧溝
４２ａ 加圧部

Claims (5)

1. 開口を有する弁箱内に弁体が収容され、該弁体にシャフトの先端部が連結され、該シャフトが弁体駆動部で駆動されることによって上記弁体が上記開口を開閉するように構成された真空用バルブにおいて、
   上記シャフトの内部に該シャフトの軸線方向に延びる円形のヒーター孔が形成され、該ヒーター孔内に円柱状のカートリッジヒーターが収容されると共に、該カートリッジヒーターの先端の発熱部が上記シャフトと弁体との連結部の位置に配置され、
   上記連結部においては、上記弁体とシャフトとの相互に当接し合う面の相対する位置に上記ヒーター孔に通じる受熱溝と加圧部とが形成され、上記受熱溝は上記カートリッジヒーターの発熱部の半径と等しい半径を有する円弧状の溝部分を有し、上記発熱部を上記受熱溝と加圧部との間に配置した状態で上記弁体とシャフトとをボルトで相互に固定することにより、該発熱部が上記加圧部に加圧されて上記受熱溝の円弧状の溝部分の内周に面接触で密着させられていることを特徴とする真空用バルブ。
2. 上記連結部において、上記弁体の内部に該弁体の横幅方向に延びる連結孔が形成され、上記シャフトの先端には、該シャフトの軸線方向に延在して上記連結孔内に嵌合する連結杆が形成され、上記連結孔と連結杆との相互に当接し合う孔壁面と杆壁面とに上記受熱溝と加圧部とが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空用バルブ。
3. 上記シャフトに上記受熱溝と対向する加圧溝が形成されていて、該加圧溝の溝面に上記加圧部が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空用バルブ。
4. 上記ヒーター孔の先端部は、上記シャフトと弁体との連結部の位置で上記受熱溝を通じて弁箱内に連通し、該ヒーター孔の基端部は気密に塞がれており、それにより、上記弁箱内が真空状態にあるとき上記受熱溝及びヒーター孔が真空状態になるように構成されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の真空用バルブ。
5. 上記弁体はアルミニウム合金製であり、上記シャフトはステンレス製であることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の真空用バルブ。

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