JP2002250470A - 真空バルブの弁プレート取付け装置 - Google Patents
真空バルブの弁プレート取付け装置Info
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- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
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- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】弁プレートのバルブシートへの接触を改良し、
弁構造を単純化し、材料を節約できるする真空バルブに
おける弁プレートの弁ロッドへの取付け装置を提供す
る。 【解決手段】弁プレートの弁ロッドへの取付け装置はゴ
ム弾性材からなるベアリングブロック（１６）を有し、
その一方の面（２１）に弁ロッド（６）またはそれに固
定されたプレート部材（１４）を接合し、他方の面（２
２）に弁プレート（５）またはそれに固定されたプレー
ト部材（１５）を接合する。ベアリングブロック（１
６）のゴム弾性材に非弾性力伝達部材(１７)を埋設し、
該非弾性力伝達部材はベアリングブロック(１６)の両面
（２１，２２）に対向して位置する点上、または線に沿
って配置される。
弁構造を単純化し、材料を節約できるする真空バルブに
おける弁プレートの弁ロッドへの取付け装置を提供す
る。 【解決手段】弁プレートの弁ロッドへの取付け装置はゴ
ム弾性材からなるベアリングブロック（１６）を有し、
その一方の面（２１）に弁ロッド（６）またはそれに固
定されたプレート部材（１４）を接合し、他方の面（２
２）に弁プレート（５）またはそれに固定されたプレー
ト部材（１５）を接合する。ベアリングブロック（１
６）のゴム弾性材に非弾性力伝達部材(１７)を埋設し、
該非弾性力伝達部材はベアリングブロック(１６)の両面
（２１，２２）に対向して位置する点上、または線に沿
って配置される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空バルブにおける
弁プレートの弁ロッドへの取付け手段に関する。更に本
発明は、バルブシートを備える弁ポートと弁ロッドに取
付けられた弁プレートとを有するバルブ体と駆動機構と
からなる真空バルブに関し、該駆動機構は、初期の開放
位置から弁ポートに対面するがバルブシートから離間し
た位置まで弁プレートを移動させ、次にバルブシートに
弁プレートを押圧する。
弁プレートの弁ロッドへの取付け手段に関する。更に本
発明は、バルブシートを備える弁ポートと弁ロッドに取
付けられた弁プレートとを有するバルブ体と駆動機構と
からなる真空バルブに関し、該駆動機構は、初期の開放
位置から弁ポートに対面するがバルブシートから離間し
た位置まで弁プレートを移動させ、次にバルブシートに
弁プレートを押圧する。
【０００２】
【従来の技術】弁ポート周囲のバルブシートに弁プレー
トを押圧することにより、弁ポートを閉塞するプレート
バルブ形式の真空バルブは多くの様々な構造の実施例に
より知られている。かかるプレートバルブ形式の第１の
慣用例はスライドバルブである。スライドバルブにおい
ては、バルブを閉塞するために、最初に駆動装置により
弁プレートはシーリング面を横断する方向に、弁ポート
に対面するがバルブシートから離間している位置まで直
線的に移動される。続いて、シーリング面に垂直に弁ポ
ートの軸方向への移動が行われ、弁プレートがバルブシ
ートに押圧される。かかる２段階の移動行程は、例えば
「Ｖｉｔｏｎ」のような弾性材からなるシール部材が許
容できない疲労をもたらす剪断ストレスに曝されないた
めに必要である。
トを押圧することにより、弁ポートを閉塞するプレート
バルブ形式の真空バルブは多くの様々な構造の実施例に
より知られている。かかるプレートバルブ形式の第１の
慣用例はスライドバルブである。スライドバルブにおい
ては、バルブを閉塞するために、最初に駆動装置により
弁プレートはシーリング面を横断する方向に、弁ポート
に対面するがバルブシートから離間している位置まで直
線的に移動される。続いて、シーリング面に垂直に弁ポ
ートの軸方向への移動が行われ、弁プレートがバルブシ
ートに押圧される。かかる２段階の移動行程は、例えば
「Ｖｉｔｏｎ」のような弾性材からなるシール部材が許
容できない疲労をもたらす剪断ストレスに曝されないた
めに必要である。
【０００３】スライドバルブにおける閉塞移動の第二段
階は、例えばリフト機構、弁プレートと支持プレート間
の楔型ギャップを案内される回転体、傾動エレメントな
ど様々な方法で行われる。第二移動段階（シーリング面
及び弁ポート面に対して垂直な移動）における弁ロッド
の曲がりを防止するために、通常、バルブシートに対向
する壁面に対して同時に移動するカウンタープレートが
備えられる。このようなスライドバルブは、例えばＵＳ
Ｐ４５６０１４１号、ＤＥ３２０９２１７号Ｃ２，ＤＥ
３２２４３８７号Ｃ２及びＵＳＰ３１８５４３５号に開
示されている。
階は、例えばリフト機構、弁プレートと支持プレート間
の楔型ギャップを案内される回転体、傾動エレメントな
ど様々な方法で行われる。第二移動段階（シーリング面
及び弁ポート面に対して垂直な移動）における弁ロッド
の曲がりを防止するために、通常、バルブシートに対向
する壁面に対して同時に移動するカウンタープレートが
備えられる。このようなスライドバルブは、例えばＵＳ
Ｐ４５６０１４１号、ＤＥ３２０９２１７号Ｃ２，ＤＥ
３２２４３８７号Ｃ２及びＵＳＰ３１８５４３５号に開
示されている。
【０００４】プレートバルブまたはスライドバルブの特
殊な形式においては、第二移動段階、即ちバルブシート
に向う弁プレートの移動は、弁ロッドを軸支点回りに傾
動させてシーリング面に基本的に垂直方向への移動によ
り行う。かかる軸支点は、ガイド溝に案内されて弁ロッ
ドの側方に配置されるピンまたはローラにより形成され
る。そのため弁ロッドは最初に直線的に移動しそれから
傾動するレバーのように構成される。このような構成は
弁プレートがバルブシートに押圧されたとき、対応して
弁ロッドの変形を防止する強固なものでなければならな
い。この種のバルブ構成の例は、ＵＳＰ５４１５３７６
号、ＵＳＰ５６４１１４９号、ＵＳＰ６０４５１１７
号、ＵＳＰ５９３４６４６号、ＵＳＰ５７５５２５５
号、ＵＳＰ６０８２７０６号及びＵＳＰ６０９５１８０
号に示されている。
殊な形式においては、第二移動段階、即ちバルブシート
に向う弁プレートの移動は、弁ロッドを軸支点回りに傾
動させてシーリング面に基本的に垂直方向への移動によ
り行う。かかる軸支点は、ガイド溝に案内されて弁ロッ
ドの側方に配置されるピンまたはローラにより形成され
る。そのため弁ロッドは最初に直線的に移動しそれから
傾動するレバーのように構成される。このような構成は
弁プレートがバルブシートに押圧されたとき、対応して
弁ロッドの変形を防止する強固なものでなければならな
い。この種のバルブ構成の例は、ＵＳＰ５４１５３７６
号、ＵＳＰ５６４１１４９号、ＵＳＰ６０４５１１７
号、ＵＳＰ５９３４６４６号、ＵＳＰ５７５５２５５
号、ＵＳＰ６０８２７０６号及びＵＳＰ６０９５１８０
号に示されている。
【０００５】プレートバルブの他の形式においては、第
一移動段階の弁プレートの直線移動がなく、弁ポートに
対面する位置に弁プレートを移動させるため円弧に沿う
回動によりおこなう。かかる目的のため、弁ロッドは弁
プレートの反対側の端部でシャフトに取付けられバルブ
面に垂直な軸の回りを回動する。バルブシート方向に弁
プレートが移動して閉塞する第二段階は前記シャフトの
垂直移動により行う。旋回ベアリングを用いてシャフト
に取付けられた弁プレートは既に知られており、バルブ
シートから離間した位置に弁プレートを付勢するスプリ
ング手段を備えている。閉塞移動の第二段階は、シャフ
トが直線的に弁ポートの中心軸と平行に弁ポートから離
れる方向に移動することにより行われる。弁ロッドの中
央部分に配設される一種の膨出部がバルブ体の壁に押圧
され壁に沿って回転し、弁プレートが弁ポートに向って
移動する。当該弁プレートは回転若しくは旋回ベアリン
グにより弁ロッドに接続されている。
一移動段階の弁プレートの直線移動がなく、弁ポートに
対面する位置に弁プレートを移動させるため円弧に沿う
回動によりおこなう。かかる目的のため、弁ロッドは弁
プレートの反対側の端部でシャフトに取付けられバルブ
面に垂直な軸の回りを回動する。バルブシート方向に弁
プレートが移動して閉塞する第二段階は前記シャフトの
垂直移動により行う。旋回ベアリングを用いてシャフト
に取付けられた弁プレートは既に知られており、バルブ
シートから離間した位置に弁プレートを付勢するスプリ
ング手段を備えている。閉塞移動の第二段階は、シャフ
トが直線的に弁ポートの中心軸と平行に弁ポートから離
れる方向に移動することにより行われる。弁ロッドの中
央部分に配設される一種の膨出部がバルブ体の壁に押圧
され壁に沿って回転し、弁プレートが弁ポートに向って
移動する。当該弁プレートは回転若しくは旋回ベアリン
グにより弁ロッドに接続されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、弁プ
レートのバルブシートへの接触を改良する真空バルブに
おける弁プレートの弁ロッドへの取付け装置を提供する
にある。本発明の他の目的は、弁構造を単純化し、材料
を節約できる弁プレートの弁ロッドへの取付け装置を提
供するにある。更に、本発明の他の目的は、弁プレート
のバルブシートへの接触を改良する弁プレートの弁ロッ
ドへの取付け装置を備え、シールが保護され、バルブ構
造が単純化され、材料に関して節約できる真空バルブを
提供するにある。
レートのバルブシートへの接触を改良する真空バルブに
おける弁プレートの弁ロッドへの取付け装置を提供する
にある。本発明の他の目的は、弁構造を単純化し、材料
を節約できる弁プレートの弁ロッドへの取付け装置を提
供するにある。更に、本発明の他の目的は、弁プレート
のバルブシートへの接触を改良する弁プレートの弁ロッ
ドへの取付け装置を備え、シールが保護され、バルブ構
造が単純化され、材料に関して節約できる真空バルブを
提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、記載に
基づくこれらまたは他の目的は下記の構成を有する弁プ
レートの弁ロッドへの取付け装置により実現する。即
ち、第１及び第２面を有するゴム弾性材からなるベアリ
ングブロックを備え、該面の一つが弁ロッドまたは該弁
ロッドに強固に接続されたプレート部材に固定され、他
の面は弁プレートまたは該弁プレートに強固に接続され
たプレート部材に固定され、前記ベアリングブロックの
ゴム弾性材に非弾性力伝達部材が埋設されて、当該非弾
性力伝達部材はベアリングブロックの対向する両面に位
置する点または線に沿って配置される。
基づくこれらまたは他の目的は下記の構成を有する弁プ
レートの弁ロッドへの取付け装置により実現する。即
ち、第１及び第２面を有するゴム弾性材からなるベアリ
ングブロックを備え、該面の一つが弁ロッドまたは該弁
ロッドに強固に接続されたプレート部材に固定され、他
の面は弁プレートまたは該弁プレートに強固に接続され
たプレート部材に固定され、前記ベアリングブロックの
ゴム弾性材に非弾性力伝達部材が埋設されて、当該非弾
性力伝達部材はベアリングブロックの対向する両面に位
置する点または線に沿って配置される。
【０００８】前記ベアリングブロックのゴム弾性材は弁
ロッドに対して弁プレートを傾動可能とし、力伝達部材
のベアリングブロックの両対向面に配置される点又は線
が、弁ロッドに対して弁プレートが傾動する回動点また
は回動線を形成する。更に、弁ロッドに対する弁プレー
トの僅かな縦方向の移動も、以下により詳細に述べるよ
うに可能である。バルブの多数回の閉塞及び開口行程を
伴う長期間の使用によっても、取付け装置の長期間に亘
る強度を確実なものとするために、ベアリングブロック
のゴム弾性材に埋設された非弾性力伝達部材も弁ロッド
の接触押圧力を弁プレートに伝達する。バルブを開口す
るときベアリングブロックの弾性材も弁プレートをゼロ
位置に戻すように付勢する。
ロッドに対して弁プレートを傾動可能とし、力伝達部材
のベアリングブロックの両対向面に配置される点又は線
が、弁ロッドに対して弁プレートが傾動する回動点また
は回動線を形成する。更に、弁ロッドに対する弁プレー
トの僅かな縦方向の移動も、以下により詳細に述べるよ
うに可能である。バルブの多数回の閉塞及び開口行程を
伴う長期間の使用によっても、取付け装置の長期間に亘
る強度を確実なものとするために、ベアリングブロック
のゴム弾性材に埋設された非弾性力伝達部材も弁ロッド
の接触押圧力を弁プレートに伝達する。バルブを開口す
るときベアリングブロックの弾性材も弁プレートをゼロ
位置に戻すように付勢する。
【０００９】更に、本発明にかかる取付け装置は、弁プ
レートが弁ロッドに対して回動するとき、あるいは弁プ
レートが弁ロッドに対して縦方向に移動するとき、不純
物に関して敏感な処理を行う室空間（例えば高純度の表
面を有するウエファを取り扱う）の機能を損なう粒子の
如何なる放出もしないという利点を有する。力の伝達要
素に接触する面が相対的に移動する場合、二つの部材が
相互に移動するときのかかる粒子の発生は原理的に防止
できない。しかしながら、本発明の取付け装置において
は、これら粒子はベアリングブロックの材質により封入
されて真空中に放出されることはない。
レートが弁ロッドに対して回動するとき、あるいは弁プ
レートが弁ロッドに対して縦方向に移動するとき、不純
物に関して敏感な処理を行う室空間（例えば高純度の表
面を有するウエファを取り扱う）の機能を損なう粒子の
如何なる放出もしないという利点を有する。力の伝達要
素に接触する面が相対的に移動する場合、二つの部材が
相互に移動するときのかかる粒子の発生は原理的に防止
できない。しかしながら、本発明の取付け装置において
は、これら粒子はベアリングブロックの材質により封入
されて真空中に放出されることはない。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明にかかる多くの特徴及び改
良は特許請求の範囲に記載される。他の利点および発明
の詳細は図面に示される実施形態を参照して以下により
充分に説明する。図１及び図２は本発明にかかるプレー
トバルブの一実施の形態を示す概略図で、バルブの開
口、閉塞状態を示す。図３は本発明にかかる取付け装置
の平面図で、弁ロッドの軸方向から見た図である。図４
は図３のＡ−Ａ断面図、図５は図３のＢ−Ｂ断面図であ
る。図６及び図７は本発明にかかる取付け装置の他の実
施形態の概略を示す斜視図及び断面図であり、図８及び
図９も本発明にかかる取付け装置の他の実施の形態の概
略を示す斜視図及び断面図である。図１０及び図１１は
本発明にかかるバルブの他の実施の形態を示す概略図
で、図１０はバルブの開口位置と閉塞位置の中間の位置
を示し、図１１はバルブの閉塞位置を示す。
良は特許請求の範囲に記載される。他の利点および発明
の詳細は図面に示される実施形態を参照して以下により
充分に説明する。図１及び図２は本発明にかかるプレー
トバルブの一実施の形態を示す概略図で、バルブの開
口、閉塞状態を示す。図３は本発明にかかる取付け装置
の平面図で、弁ロッドの軸方向から見た図である。図４
は図３のＡ−Ａ断面図、図５は図３のＢ−Ｂ断面図であ
る。図６及び図７は本発明にかかる取付け装置の他の実
施形態の概略を示す斜視図及び断面図であり、図８及び
図９も本発明にかかる取付け装置の他の実施の形態の概
略を示す斜視図及び断面図である。図１０及び図１１は
本発明にかかるバルブの他の実施の形態を示す概略図
で、図１０はバルブの開口位置と閉塞位置の中間の位置
を示し、図１１はバルブの閉塞位置を示す。
【００１１】図１及び図２に概略的に示されるプレート
バルブは、弁ポート２を備える弁体１を備える。弁ポー
ト２の中心軸３はバルブの貫流方向を示す。弁ポート２
の周囲にはバルブのシーリング面を形成するバルブシー
ト４が設けられ、シーリング面は軸３に垂直に延出す
る。弁プレート５が、例えば円形状に構成されて、弁ロ
ッド６に装着されている。図１、図２には詳細に図示し
ない駆動装置により、弁プレート５は図１に示す開口位
置から図２に示す閉塞位置まで移動される。
バルブは、弁ポート２を備える弁体１を備える。弁ポー
ト２の中心軸３はバルブの貫流方向を示す。弁ポート２
の周囲にはバルブのシーリング面を形成するバルブシー
ト４が設けられ、シーリング面は軸３に垂直に延出す
る。弁プレート５が、例えば円形状に構成されて、弁ロ
ッド６に装着されている。図１、図２には詳細に図示し
ない駆動装置により、弁プレート５は図１に示す開口位
置から図２に示す閉塞位置まで移動される。
【００１２】かかる目的のため、弁ロッド６の後端領域
に配設され、弁ロッド６のどちらかの面から突出（図の
面に垂直に）するピン８が、最初に、駆動装置により図
に破線で示す移動経路９に沿って直線的に変位する。更
に、図に破線で示す案内経路１１が弁ロッド６の直線的
変位のために設けられており、弁ロッド６の中間領域あ
るいは前半部に配設され、弁ロッド６のどちらかの面か
ら突出（図の面に垂直に）する案内ピン１２が、弁プレ
ートの閉塞移動の第一段階で、案内経路１１に案内され
る。ピン８の移動経路９の前端部において、弁プレート
５は弁ポート２に対面するがバルブシートとは離間して
いる位置を占める。
に配設され、弁ロッド６のどちらかの面から突出（図の
面に垂直に）するピン８が、最初に、駆動装置により図
に破線で示す移動経路９に沿って直線的に変位する。更
に、図に破線で示す案内経路１１が弁ロッド６の直線的
変位のために設けられており、弁ロッド６の中間領域あ
るいは前半部に配設され、弁ロッド６のどちらかの面か
ら突出（図の面に垂直に）する案内ピン１２が、弁プレ
ートの閉塞移動の第一段階で、案内経路１１に案内され
る。ピン８の移動経路９の前端部において、弁プレート
５は弁ポート２に対面するがバルブシートとは離間して
いる位置を占める。
【００１３】引き続いて、ピン８は駆動装置により図１
及び図２に破線で示す移動経路１０に沿って移動する。
そのため弁ロッド６は軸支点となる案内ピン１２の周り
に回動し、弁プレート５をバルブシート４方向に移動さ
せ押圧する。この種のプレートバルブの異なる実施例と
して、例えばＵＳＰ６０９５１８０号、ＵＳＰ５６４１
１４９号及び本明細書に引用した他の先行技術により知
られている。しかしながら、駆動装置、弁ロッド及びガ
イドの正確な構造について、ここでより詳細に記載する
必要はない。これらの部分は公知の技術であって、本発
明の主題ではない。
及び図２に破線で示す移動経路１０に沿って移動する。
そのため弁ロッド６は軸支点となる案内ピン１２の周り
に回動し、弁プレート５をバルブシート４方向に移動さ
せ押圧する。この種のプレートバルブの異なる実施例と
して、例えばＵＳＰ６０９５１８０号、ＵＳＰ５６４１
１４９号及び本明細書に引用した他の先行技術により知
られている。しかしながら、駆動装置、弁ロッド及びガ
イドの正確な構造について、ここでより詳細に記載する
必要はない。これらの部分は公知の技術であって、本発
明の主題ではない。
【００１４】本発明は弁プレートの弁ロッドへの取付け
装置、かかる形式のバルブに適用する取付け装置に関す
る。図１及び図２に、概略的にではあるが、示されてい
る当該取付け装置は、弁プレート５に背面が強固に接続
されているプレート部材１４と、弁ロッド６と強固に接
続されているプレート部材１５と、両プレート部材１
４，１５の対向する面に固定されるゴム弾性材からなる
ベアリングブロック１６とを備える。非弾性力伝達部材
１７がベアリングブロック１６に埋設されている。非弾
性力伝達部材１７は例えば円筒形状に構成され、弁ロッ
ド６の長手方向に垂直であり、軸３に対して垂直であ
る。力伝達部材１７の外面は、プレート部材１４，１５
の対面する点または線に沿って配置されこれら両プレー
ト部材１４，１５に接触している。
装置、かかる形式のバルブに適用する取付け装置に関す
る。図１及び図２に、概略的にではあるが、示されてい
る当該取付け装置は、弁プレート５に背面が強固に接続
されているプレート部材１４と、弁ロッド６と強固に接
続されているプレート部材１５と、両プレート部材１
４，１５の対向する面に固定されるゴム弾性材からなる
ベアリングブロック１６とを備える。非弾性力伝達部材
１７がベアリングブロック１６に埋設されている。非弾
性力伝達部材１７は例えば円筒形状に構成され、弁ロッ
ド６の長手方向に垂直であり、軸３に対して垂直であ
る。力伝達部材１７の外面は、プレート部材１４，１５
の対面する点または線に沿って配置されこれら両プレー
ト部材１４，１５に接触している。
【００１５】弁プレート５と弁ロッド６の取付け装置の
好ましい実施の形態は図３乃至図５に詳細を示す。プレ
ート部材１４は、底部で貫通孔１９と隣接する円錐形状
のテーパー開口１８を有する。開口１８は弁ロッド６の
前端部を収容し、該前端部は同様の円錐形状で先端にネ
ジ部を有する孔を備えている。弁ロッド６は貫通孔１９
に挿入されるネジにより開口１８内に固定される。開口
１８の両側において、ゴム弾性材製のベアリングブロッ
ク１６が弁プレート５が取付けられるプレート部材１４
の面に接合される。もう一方のプレート部材１５はベア
リングブロック１６のプレート部材１４と反対側の面に
接合される。これらのプレート部材１５はプレート部材
１４を超えて側方に延出し、延出領域に弁プレート５を
プレート部材１５にネジ止めするためのボア穴２０を備
える。
好ましい実施の形態は図３乃至図５に詳細を示す。プレ
ート部材１４は、底部で貫通孔１９と隣接する円錐形状
のテーパー開口１８を有する。開口１８は弁ロッド６の
前端部を収容し、該前端部は同様の円錐形状で先端にネ
ジ部を有する孔を備えている。弁ロッド６は貫通孔１９
に挿入されるネジにより開口１８内に固定される。開口
１８の両側において、ゴム弾性材製のベアリングブロッ
ク１６が弁プレート５が取付けられるプレート部材１４
の面に接合される。もう一方のプレート部材１５はベア
リングブロック１６のプレート部材１４と反対側の面に
接合される。これらのプレート部材１５はプレート部材
１４を超えて側方に延出し、延出領域に弁プレート５を
プレート部材１５にネジ止めするためのボア穴２０を備
える。
【００１６】円筒形の力伝達部材１７がベアリングブロ
ック１６のゴム弾性材に埋設される。該伝達部材１７は
ベアリングブロック１６の対向する面２１，２２の線に
沿って延出し、この線に沿って相互に対面する両プレー
ト部材１４，１５の面に接触し、線状のベアリングまた
は支点を形成する。
ック１６のゴム弾性材に埋設される。該伝達部材１７は
ベアリングブロック１６の対向する面２１，２２の線に
沿って延出し、この線に沿って相互に対面する両プレー
ト部材１４，１５の面に接触し、線状のベアリングまた
は支点を形成する。
【００１７】両プレート部材１４，１５は、図３乃至図
５に示す以外の形状にすることも可能であり、プレート
部材１５を独立した連続のプレートとすることもでき
る。更に、一つ又は複数の力伝達部材を埋設した独立し
た連続のベアリングブロックとしてもよい。更に、この
ようなベアリングブロックを二つ以上設けてもよい。
５に示す以外の形状にすることも可能であり、プレート
部材１５を独立した連続のプレートとすることもでき
る。更に、一つ又は複数の力伝達部材を埋設した独立し
た連続のベアリングブロックとしてもよい。更に、この
ようなベアリングブロックを二つ以上設けてもよい。
【００１８】単一の力伝達部材または複数の力伝達部材
は円筒形状以外の、例えば図６，７または図８、９にそ
の概略を示すような形状であってもよい。図６及び図７
に示す実施の形態において、力伝達部材１７は断面多角
形状であり、ベアリングブロック１６の面２１、２２上
の対向する線に沿って延出する。図８及び図９に示す実
施の形態においては、力伝達部材１７は球形に構成さ
れ、ベアリングブロック１６の面２１，２２上の対向す
る位置２５，２６に配置される。プレート部材１４，１
５の互いに直角をなす二つの軸回りの傾動はこのように
して可能となる。
は円筒形状以外の、例えば図６，７または図８、９にそ
の概略を示すような形状であってもよい。図６及び図７
に示す実施の形態において、力伝達部材１７は断面多角
形状であり、ベアリングブロック１６の面２１、２２上
の対向する線に沿って延出する。図８及び図９に示す実
施の形態においては、力伝達部材１７は球形に構成さ
れ、ベアリングブロック１６の面２１，２２上の対向す
る位置２５，２６に配置される。プレート部材１４，１
５の互いに直角をなす二つの軸回りの傾動はこのように
して可能となる。
【００１９】弁プレート５の弁ロッド６に対する傾動に
加えて、本発明による取付け装置は弁ロッド６に対して
弁プレート５の僅かな軸方向への移動をも可能にする。
弁プレート５が弁ロッド６に対して傾動が可能なため、
弁ロッド６に作用する閉塞力により引起される弁ロッド
６の曲がりが取付け装置により補償され、基本的に均一
な接触押圧がシール１３に作用する。更に、弁ロッド６
が曲がることにより、弁ロッド６は弁プレート５の直線
移動方向の長さが短くなるが、かかる弁ロッド６前端の
弁プレート５に対する軸方向変位もまた本発明による取
付け装置により吸収される。
加えて、本発明による取付け装置は弁ロッド６に対して
弁プレート５の僅かな軸方向への移動をも可能にする。
弁プレート５が弁ロッド６に対して傾動が可能なため、
弁ロッド６に作用する閉塞力により引起される弁ロッド
６の曲がりが取付け装置により補償され、基本的に均一
な接触押圧がシール１３に作用する。更に、弁ロッド６
が曲がることにより、弁ロッド６は弁プレート５の直線
移動方向の長さが短くなるが、かかる弁ロッド６前端の
弁プレート５に対する軸方向変位もまた本発明による取
付け装置により吸収される。
【００２０】本発明にかかるバルブの他の実施形態を図
１０および図１１に示す。弁ロッド６は、弁プレート５
から隔離した端部を軸支ベアリング２７によりシャフト
２８に装着される。シャフト２８は、弁ポート２の中心
軸３に平行な軸２９の回りに、図示しない駆動装置によ
り回動する。シャフト２８の回動により、弁ロッド６に
装着された弁プレート５は、弁ポート２の完全な開口位
置から図１０に示す位置へ回動する。図１０の位置にお
いては、弁プレート５は弁ポート２に対面するがバルブ
シートからは離れた位置に配置される。
１０および図１１に示す。弁ロッド６は、弁プレート５
から隔離した端部を軸支ベアリング２７によりシャフト
２８に装着される。シャフト２８は、弁ポート２の中心
軸３に平行な軸２９の回りに、図示しない駆動装置によ
り回動する。シャフト２８の回動により、弁ロッド６に
装着された弁プレート５は、弁ポート２の完全な開口位
置から図１０に示す位置へ回動する。図１０の位置にお
いては、弁プレート５は弁ポート２に対面するがバルブ
シートからは離れた位置に配置される。
【００２１】バルブを完全に閉塞するために、シャフト
２８は図１１の矢印３０の方向へ直線的に移動される。
凸状に外方に屈曲した弁ロッド６の外面３１が弁体の内
面３２に向って変位し、弁ロッド６は弁体内面３２に沿
って回動し、シャフト２８に対して回転する。外面３１
及び内面３２の接触領域は弁ロッド６の回転軸のように
作用し、弁ディスク５はバルブシートの方向に回動して
それに押圧される。かかる作動は、弁ディスク５の弁ロ
ッド６に対する非弾性力伝達部材１７回りの回動を伴
う。非弾性力伝達部材１７は弾性材料からなるベアリン
グブロック１６内に埋設されている。本実施形態におい
ては、ベアリングブロック１６は弁プレート５の背面に
直接固定されているが、好ましくはプレート部材を介し
て固定されてもよい。
２８は図１１の矢印３０の方向へ直線的に移動される。
凸状に外方に屈曲した弁ロッド６の外面３１が弁体の内
面３２に向って変位し、弁ロッド６は弁体内面３２に沿
って回動し、シャフト２８に対して回転する。外面３１
及び内面３２の接触領域は弁ロッド６の回転軸のように
作用し、弁ディスク５はバルブシートの方向に回動して
それに押圧される。かかる作動は、弁ディスク５の弁ロ
ッド６に対する非弾性力伝達部材１７回りの回動を伴
う。非弾性力伝達部材１７は弾性材料からなるベアリン
グブロック１６内に埋設されている。本実施形態におい
ては、ベアリングブロック１６は弁プレート５の背面に
直接固定されているが、好ましくはプレート部材を介し
て固定されてもよい。
【００２２】バルブを開口するためシャフト２８が最初
に矢印３０の反対方向に直線的に移動するとき、シャフ
ト２８と弁ロッド６の前端との間に作用するリーフスプ
リング３３形式のスプリング手段が弁ロッド６をシャフ
ト２８に対して回動させ初期の位置に戻す。
に矢印３０の反対方向に直線的に移動するとき、シャフ
ト２８と弁ロッド６の前端との間に作用するリーフスプ
リング３３形式のスプリング手段が弁ロッド６をシャフ
ト２８に対して回動させ初期の位置に戻す。
【００２３】本発明に係る取付け装置を製造するため
に、最初に、ベアリングブロック１６によって結合され
るプレート部材１４及び１５、弁プレート５、弁ロッド
６などの各部品が、対応する金型または冶具に配列され
る。単一または複数の力伝達部材１７は所定の位置に前
もって配置されている。続いて、ベアリングブロック１
６を製造するために、ゴム弾性材が各部品間に導入さ
れ、加硫されて各部品の面間を接合する。
に、最初に、ベアリングブロック１６によって結合され
るプレート部材１４及び１５、弁プレート５、弁ロッド
６などの各部品が、対応する金型または冶具に配列され
る。単一または複数の力伝達部材１７は所定の位置に前
もって配置されている。続いて、ベアリングブロック１
６を製造するために、ゴム弾性材が各部品間に導入さ
れ、加硫されて各部品の面間を接合する。
【００２４】加硫に代えて、ベアリングブロック１６と
各部品を接着剤により接合してもよい。原理的には接着
剤の代わりに、ベアリングブロック１６とプレート部材
１４，１５又は弁プレート５及び弁ロッド６それぞれを
機械的に結合することも考えられ、それも可能である。
各部品を接着剤により接合してもよい。原理的には接着
剤の代わりに、ベアリングブロック１６とプレート部材
１４，１５又は弁プレート５及び弁ロッド６それぞれを
機械的に結合することも考えられ、それも可能である。
【００２５】力伝達部材は金属製が好ましいが、原理的
には、例えばセラミックやプラスティックのような他の
材料を用いてもよい。力伝達部材はまた図示のものとは
異なる形状に構成することも出きる。ベアリングブロッ
クの対向両面に点接触又は線接触していることが必要で
あり、それによってベアリングブロックの面に接触して
いる部品が点状又は線状のベアリング支持面の回りに回
動可能となる。
には、例えばセラミックやプラスティックのような他の
材料を用いてもよい。力伝達部材はまた図示のものとは
異なる形状に構成することも出きる。ベアリングブロッ
クの対向両面に点接触又は線接触していることが必要で
あり、それによってベアリングブロックの面に接触して
いる部品が点状又は線状のベアリング支持面の回りに回
動可能となる。
【００２６】本発明に係る取付け装置はここに示す以外
のプレートバルブにも使用することが出きる。本発明に
係る取付け装置の使用は、例えばカウンターベアリング
を用いる設計により弁ロッドの曲がりを防止しているバ
ルブ装置においても、弁プレートとバルブシート間の整
合の製造誤差を補償し、この種の誤差のかなりな範囲を
許容するという利点がある。
のプレートバルブにも使用することが出きる。本発明に
係る取付け装置の使用は、例えばカウンターベアリング
を用いる設計により弁ロッドの曲がりを防止しているバ
ルブ装置においても、弁プレートとバルブシート間の整
合の製造誤差を補償し、この種の誤差のかなりな範囲を
許容するという利点がある。
【図１】本発明にかかるプレートバルブの一実施の形態
を示す概略断面図で、バルブの開口状態を示す。
を示す概略断面図で、バルブの開口状態を示す。
【図２】図１に示す実施の形態の閉塞状態を示す概略断
面図。
面図。
【図３】本発明にかかる取付け装置の一実施の形態の平
面図で、弁ロッドの軸方向から見た図である。
面図で、弁ロッドの軸方向から見た図である。
【図４】図３に示す取付け装置のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図３に示す取付け装置のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】本発明にかかる取付け装置の他の実施形態の概
略を示す斜視図である。
略を示す斜視図である。
【図７】図６に示す実施の形態の断面図である。
【図８】本発明にかかる取付け装置の他の実施の形態の
概略を示す斜視図である。
概略を示す斜視図である。
【図９】図８に示す実施の形態の断面図である。
【図１０】本発明にかかるプレートバルブの他の実施の
形態を示す概略断面図で、バルブの開口位置と閉塞位置
の中間の位置を示す。
形態を示す概略断面図で、バルブの開口位置と閉塞位置
の中間の位置を示す。
【図１１】図１０に示すプレートバルブのバルブの閉塞
位置を示す概略断面図である。
位置を示す概略断面図である。
１ 弁体、２ 弁ポート、４ バルブシート、５
弁プレート、６ 弁ロッド、８ ピン、１１
案内経路、１２ ピン、１４，１５ プレート部
材、１６ ベアリングブロック、１７ 力伝達部材
弁プレート、６ 弁ロッド、８ ピン、１１
案内経路、１２ ピン、１４，１５ プレート部
材、１６ ベアリングブロック、１７ 力伝達部材
Claims (6)
- 【請求項１】真空バルブにおける弁プレートの弁ロッド
への取付け装置において、 第１及び第２面を備え、その一方の面が弁ロッドまたは
該弁ロッドに強固に結合されたプレート部材に接合さ
れ、他方の面が弁プレートまたは該弁プレートに強固に
結合されたプレート部材に接合されるゴム弾性材からな
るベアリングブロックを有し、 前記ベアリングブロックのゴム弾性材に非弾性力伝達部
材が埋設され、該非弾性力伝達部材は前記ベアリングブ
ロックの両面上に対面して位置するラインに沿って、ま
たは当該両面上に対面して位置する点上に配置されるこ
とを特徴とする取付け装置。 - 【請求項２】前記ベアリングブロックの両面は、一面が
弁ロッドまたはそれと強固に結合されたプレート部材と
加硫により接合され、他面が弁プレートまたはそれと強
固に結合されたプレート部材と加硫により接合されてい
ることを特徴とする請求項１記載の取付け装置。 - 【請求項３】前記非弾性力伝達部材は、前記弁ロッドの
長手方向に対して垂直に配置され、前記真空バルブの弁
ポートの中心軸に対して垂直に配置される円筒形状に形
成されることを特徴とする請求項１記載の取付け装置。 - 【請求項４】前記非弾性力伝達部材は、金属からなるこ
とを特徴とする請求項１記載の取付け装置。 - 【請求項５】バルブシートを備える弁ポートと、弁ロッ
ドに取付けられた弁プレートと、駆動手段とを有し、該
駆動手段により前記弁プレートが初期の開放位置から前
記弁ポートに対面するがバルブシートから離間する位置
まで移動され、それから前記バルブシートに押圧される
真空バルブにおいて、 前記弁プレートの前記弁ロッドへの取付け装置はゴム弾
性材からなる少なくとも一つのベアリングブロックを備
え、 該ベアリングブロックは対向する両面を有し、その一面
に前記弁ロッドまたは該弁ロッドに強固に結合されたプ
レート部材が接合され、他の一面に前記前記弁プレート
または該弁プレートに強固に結合されたプレート部材が
接合され、 前記ベアリングブロックのゴム弾性材に埋設された非弾
性力伝達部材が、前記ベアリングブロックの両面上に対
面して位置するラインに沿って、または当該両面上に対
面して位置する点上に配置される取付け装置を備えるこ
とを特徴とする真空バルブ。 - 【請求項６】真空バルブの弁プレートを弁ロッドに取付
ける装置の製造方法において、 前記弁ロッドまたは該弁ロッドに強固に結合されたプレ
ート部材と、前記前記弁プレートまたは該弁プレートに
強固に結合されたプレート部材との間に、少なくとも１
個の力伝達部材を前記二つの部材の相互に対向する面に
点または線に沿って接触するように配置する工程と、 続いて、前記両部材を接合するとともに前記力伝達部材
を埋設するための加硫可能なゴム弾性材を前記両部材の
対面する両面間に導入し、前記両部材が加硫により接合
されるゴム弾性材からなるベアリングブロックを形成す
る工程とからなる取付け装置の製造方法
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/759027 | 2001-01-11 | ||
| US09/759,027 US6471181B2 (en) | 2001-01-11 | 2001-01-11 | Suspension of a valve plate of a vacuum valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002250470A true JP2002250470A (ja) | 2002-09-06 |
| JP2002250470A5 JP2002250470A5 (ja) | 2005-07-28 |
Family
ID=25054111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001392851A Pending JP2002250470A (ja) | 2001-01-11 | 2001-12-25 | 真空バルブの弁プレート取付け装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| US (1) | US6471181B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002250470A (ja) |
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