KR20230133308A

KR20230133308A - 벽에 있는 개구를 진공 밀폐하기 위한 폐쇄 장치

Info

Publication number: KR20230133308A
Application number: KR1020237026026A
Authority: KR
Inventors: 파비안 뷔헬; 플로리안 에르네
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2021-02-01
Filing date: 2022-01-24
Publication date: 2023-09-19
Also published as: DE102021102283A1; TW202307355A; JP2024504497A; CN116848347A; US20240309970A1; WO2022161909A1

Abstract

벽(3)에 있는 개구(2)를 진공 밀폐하기 위한 폐쇄 장치는 개구(2)를 폐쇄하고 개방하기 위한 밸브 플레이트(1)를 가지며, 상기 밸브 플레이트는 연결 장치에 의해 밸브 로드(4)에 연결된다. 연결 장치는 조인트 헤드(16)를 갖고, 상기 조인트 헤드의 적어도 외부 표면의 섹션들은 구면 형태로 형성되고, 상기 조인트 헤드는 조인트 바디(17)의 수용 공간(18) 내에 배치된다. 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)을 중심으로 하는 조인트 헤드(16)의 회전을 차단하기 위해, 조인트 헤드(16) 또는 조인트 바디(17)에 배치된 적어도 하나의 돌출 패그(16d)는 할당된 그루브(19a)로 돌출하고, 상기 그루브는 상기 2개의 부분 중 다른 부분에 배치되고, 연결 장치의 중앙 위치에서 밸브 로드(4)의 길이방향 축에 대해 평행한 평면(40)에서 연장된다.

Description

벽에 있는 개구를 진공 밀폐하기 위한 폐쇄 장치

본 발명은 밸브 플레이트가 개구를 밀봉하는 폐쇄 위치와 밸브 플레이트가 개구를 개방하는 개방 위치 사이에서 조절 가능하고, 연결 장치에 의해 길이방향 축을 가진 폐쇄 장치의 밸브 로드에 연결되는 밸브 플레이트를 가지며, 상기 연결 장치는 조인트 헤드를 갖고, 상기 조인트 헤드의 적어도 외부 표면의 섹션들은 구면 형태로 형성되고, 상기 조인트 헤드는 조인트 바디의 수용 공간 내에 배치되는, 벽에 있는 개구를 진공 밀폐하기 위한 폐쇄 장치에 관한 것이다.

진공 밸브의 밸브 플레이트를 밸브 로드에 고정하기 위해, 나사 결합부를 제공하는 것이 공개되어 있다. 진공 밸브의 폐쇄 상태에서 존재하는 공차에도 불구하고 진공 밸브의 폐쇄 상태에서 밸브 플레이트와 밸브 플레이트를 위한 밸브 시트 사이에 배치되며 일반적으로 밸브 플레이트에 부착되는 탄성 밀봉부의 균일한 압착을 달성하기 위해, 밸브 로드에 대한 밸브 플레이트의 이동을 가능하게 하는 것이 또한 공개되어 있다. 예를 들어 US 2002/0130288 Al호에 밸브 로드와 밸브 플레이트 사이의 연결 장치를 제시하며, 상기 연결 장치는 내부에 힘 전달부가 배치된 탄성 블록을 포함한다. 밸브 플레이트를 밸브 시트에 대해 압착 시 이로 인해 밸브 플레이트는 밸브 로드에 대해 약간 벗어날 수 있다.

밸브 로드에 대한 밸브 플레이트의 이동 가능성을 허용하는, 밸브 플레이트와 밸브 로드 사이의 추가 연결 장치는 US 7, 134, 642 B2호 및 US 3, 837, 617호에 제시된다.

US 2011/0108750 Al호에 비틀릴 수 있는 크로스 부재를 갖는, 밸브 로드와 밸브 플레이트 사이의 연결 장치를 제시한다. 밸브 로드에 대한 밸브 플레이트의 소정의 선회는 크로스 부재의 비틀림에 의해 가능해진다.

전술한 방식의 폐쇄 장치는 선사용에 의해 공개되어 있다. 구동 모터에 의해 회전 가능한 샤프트("밸브 로드"로 간주될 수 있음)는 샤프트의 길이방향 축에 대해 수직으로 연장되는 진자 암을 통해 밸브 플레이트에 연결되며, 상기 진자 암은 샤프트에서 멀리 떨어진 단부에 볼 조인트를 형성하며, 상기 볼 조인트에 밸브 플레이트가 장착된다. 이를 위해 진자 암은 조인트 헤드가 배치된 포트(pot)형 리세스를 가지며, 상기 조인트 헤드의 외부 표면의 섹션은 구면 형태로 형성된다. 상기 진자 암은 마주 놓인 측에서 조인트 헤드에 배치된 조인트 소켓부들과 상호 작용하고, 상기 조인트 소켓부들은 각각 내부 구면의 섹션 형태의 오목한 조인트 면을 가지며 마찬가지로 진자 암의 포트형 리세스에 배치된다. 진자 암에 나사로 고정되고 이쪽에 놓인 조인트 소켓부에 작용하는 스프링 시트에 의해 조인트 소켓부들이 조인트 헤드에 대해 압착된다. 조인트 헤드를 통과하는 관통 보어는 스프링 시트에 있는 개구도 관통하는 스크루에 의해 관통되며, 상기 스크루에 의해 밸브 플레이트는 스프링 시트의 개구 영역에서 조인트 헤드에 나사로 고정된다. 서로 수직인 3개의 축을 중심으로 볼 조인트의 이동 가능성과 관련하여, 밸브 플레이트의 이러한 지지 수단은 외경이 원형인 밸브 플레이트에만 적합하다.

볼 조인트는 다양한 기술 분야에서, 예를 들어 자동차의 차축 어셈블리에서 휠 캐리어와 횡방향 조인트 사이의 관절식 연결에도 사용된다. 이러한 유형의 특수한 볼 조인트는 DE 10 2015 213 298 Al호에 제시된다. 여기서 조인트 헤드에는 양측에 돌출한 패그를 가지며, 상기 패그는 각각의 할당된 그루브로 돌출하고, 상기 그루브는 하우징과 같은 조인트 바디의 수용 공간의 측벽에 배치된다. 이러한 디자인에 의해 볼 조인트에서 스티어링 토크가 지원될 수 있다.

본 발명의 과제는, 광범위한 이용 분야를 갖는 전술한 유형의 바람직한 폐쇄 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 따라 이는 청구항 제 1 항의 특징을 갖는 폐쇄 장치에 의해 해결된다.

본 발명에 따른 폐쇄 장치에서, 밸브 로드의 길이방향 축을 중심으로 하는 조인트 바디에 대한 조인트 헤드의 회전을 차단하기 위해, 조인트 헤드 또는 조인트 바디에 배치되어 이러한 두 부분 중 다른 부분에 배치된 할당된 그루브로 돌출하는 적어도 하나의 돌출 패그가 제공된다. 상기 그루브는 밸브 플레이트가 밸브 로드의 길이방향 축에 대해 수직으로 정렬되는 연결 장치의 중앙 위치에서 밸브 로드의 길이방향 축에 대해 평행한 평면에서 연장된다. 바람직하게는, 조인트 헤드 또는 조인트 바디의 마주 놓인 측에 각각 돌출 패그가 배치되고, 상기 패그는 이 두 부분 중 다른 부분에 있는 각각의 할당된 그루브에 맞물리고, 연결 장치의 중앙 위치에서 상기 그루브는 상기 평면에서 연장된다.

밸브 로드의 길이방향 축을 중심으로 하는 조인트 바디에 대한 조인트 헤드의 회전을 차단함으로써, 본 발명에 따른 폐쇄 장치는 원 형상이 아닌 형상, 특히 적어도 실질적으로 직사각형 형상(즉, 예를 들어 모서리가 둥근 직사각형 형상)을 갖는 밸브 플레이트의 설계에도 적합하다. 밸브 로드의 길이방향 축에 대한 및 밸브 플레이트에 의해 폐쇄될 수 있는 개구의 축에 대한 밸브 플레이트의 회전 위치가 고정되는 한편, 개구가 놓이는 평면에 대한 밸브 플레이트가 놓이는 평면의 압착은, 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서 밸브 시트에 대한 균일한 압착 및 원주 방향으로 밀봉링의 균일한 압착을 달성할 수 있다.

본 발명에 따른 폐쇄 장치는 밸브 하우징을 가진 진공 밸브일 수 있으며, 밸브 하우징의 벽은 밸브 플레이트에 의해 폐쇄될 수 있는 개구를 갖는다. 이러한 밸브 하우징은 밸브 플레이트의 개방 위치에서 밸브 하우징을 통과하는 관통 채널을 형성하기 위한 추가 개구를 갖는다. 다른 가능한 실시예에서 본 발명에 따른 폐쇄 장치는 진공 챔버의 벽에 있는 개구를 밀봉하는 데에도 이용될 수 있다. 이 실시예에서, 밸브 플레이트에 의해 폐쇄될 수 있는 개구가 있는 벽은 본 발명에 따른 폐쇄 장치의 구성부를 형성하지 않는다.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 바람직하게는 조인트 헤드를 통과하는 중앙 관통 보어를 관통하고 밸브 로드의 전면측 단부에 있는 나사산 보어 내로 조여지는 연결 스크루에 의해 밸브 플레이트는 조인트 바디에 연결되고 밸브 로드는 조인트 헤드에 연결된다. 또한 조인트 헤드에 나사산 볼트를 일체로 형성하는 것도 가능하고 고려될 수 있다.

조인트 바디는 바람직하게 조인트 헤드를 수용하는 포트형 홈을 갖는 포트부 부와 홈을 덮고 사이에 놓이는 밀봉부에 의해 포트부에 대해 밀봉되는 커버부를 갖는 하우징으로 설계된다. 밸브 로드는 이 경우 바람직하게 조인트 바디의 커버부에 있는 개구를 관통하며, 연결 장치의 중앙 위치에서 밸브 로드와 커버부에 있는 개구의 가장자리 사이에 환형 갭이 존재한다. 따라서, 조인트 바디에 대해 조인트 헤드의 이동 시 형성되는 입자는 바람직하게 적어도 대부분 하우징 형태의 조인트 바디에서 유지될 수 있다. 커버부의 개구를 둘러싸는 영역에서 커버부의 내부면에 접촉하는 밀봉링이 조인트 헤드에 배치되면, 특히 바람직하다. 이로 인해 하우징 형태의 조인트 바디의 내부 공간이 주변에 대해 효과적으로 밀봉될 수 있다.

조인트 헤드를 조인트 바디 내에서 안내하기 위해, 본 발명의 바람직한 실시예에서 제 1 및 제 2 조인트 소켓부는 조인트 바디 내에 배치된다. 이러한 조인트 소켓부들은 각각 내부 구면의 섹션 형태의 오목한 조인트 면을 가지며, 상기 조인트 소켓부의 오목한 조인트 면은 각각 조인트 헤드의 할당된 볼록한 조인트 면과 상호 작용한다. 조인트 헤드의 이러한 볼록한 조인트 면은 구면의 섹션들의 형태로 형성된 조인트 헤드의 외부 표면의 섹션들로 형성된다.

이 경우, 제 1 및 제 2 조인트 소켓부가 적어도 하나의 스프링 탄성 부재에 의해 조인트 헤드에 대해 압착되는 경우, 바람직하다. 이로 인해 조인트 헤드는 조인트 소켓부에 대한 그리고 따라서 조인트 바디에 대한 각각의 위치에서 마찰 결합 방식으로 지지될 수 있다. 조인트 헤드를 지지하는 지지력은 바람직하게, 조인트 헤드가 조인트 바디에 대해 조절되지 않고도, 밸브 플레이트의 무게로 인해 밸브 플레이트에 의해 가해지는 토크도 폐쇄 장치의 각각의 가능한 공간적 배치에서 흡수될 수 있을 정도로 크다. 폐쇄 장치가 처음으로 폐쇄되면, 밸브 플레이트는 밸브 시트에 대해 적절하게 정렬될 수 있으며, 따라서 이러한 정렬은 폐쇄 장치의 개방 후에도 바람직하게 유지된다.

조인트 헤드에 대한 조인트 소켓부를 압착하기 위해, 본 발명의 가능한 실시예에서 스프링 시트가 스프링 탄성 부재로서 제공될 수 있으며, 상기 스프링 탄성 부재는 조인트 바디의 커버부에 인접하게 놓이고, 조인트 헤드의 이러한 측에 배치된 조인트 소켓부에 대해 압착된다. 다른 조인트 소켓부는 조인트 바디의 포트부에 있는 포트형 홈의 바닥면에 놓일 수 있다.

이러한 스프링 시트는 예를 들어 스크루에 의해 조인트 바디의 포트부에 고정될 수 있다. 커버부의 개구 영역에서 스프링 시트는 대응하는 개구를 가지며, 상기 개구는 적어도, 커버부의 개구의 영역으로 (커버부에 있는 개구를 축방향으로 볼 때) 돌출하지 않을 정도로 크다.

본 발명의 다른 장점 및 세부 사항은 이하 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 밸브 플레이트의 개방 위치에서 본 발명에 따른 폐쇄 장치의 실시예를 비스듬하게 도시한 사시도;
도 2는 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서 도 1과 유사하게 비스듬하게 도시한 사시도;
도 3 및 도 4는 밸브 플레이트의 개방 위치에서 폐쇄 장치의 측면도 및 사시도;
도 5는 도 4의 선 A-A를 따른 단면도;
도 6은 연결 장치에 의해 밸브 로드에 연결된 밸브 플레이트를 포함한 밸브 로드의 전방 단부의 측면도;
도 7은 밸브 로드, 연결 장치 및 밸브 플레이트의 분해된 상태에서 이들의 전방 단부를 비스듬하게 도시한 사시도;
도 8은 연결 장치의 평면도;
도 9는 연결 장치에 연결된 밸브 로드의 섹션이 파선으로 개략적으로 표시된, 도 8의 B-B 선을 따른 연결 장치의 단면도;
도 10은 커버부 없이 연결 장치를 비스듬하게 도시한 사시도;
도 11 및 도 12는 상이한 방향에서 연결 장치를 도시한 분해도.

도면은 상이한 축척을 가지며, 부분적으로 단순화되어 도시된다.

본 발명에 따른 폐쇄 장치의 실시예가 이하 도 1 내지 도 12를 참조하여 설명된다.

폐쇄 장치는 개방 위치(도 1)와 폐쇄 위치(도 2) 사이에서 조절 가능한 밸브 플레이트(1)를 갖는다. 밸브 플레이트의 개방 위치에서 벽(3)에 있는 개구(2)는 개방되고, 폐쇄 위치에서 개구(2)는 밸브 플레이트(1)에 의해 진공 밀폐된다.

진공 밀폐는 적어도 10^-4 mbar 1/s 미만의 누설률 Q를 의미한다.

밸브 플레이트(1)는 길이방향 축(26)을 가진 밸브 로드(4)에 의해 지지된다. 실시예에서 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 밸브 플레이트(1)의 조절은 밸브 로드(4)의 축방향 조절에 의해서만 이루어진다. 본 발명의 변형된 실시예에서 밸브 플레이트는 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 공개된 바와 같이, L- 또는 J 이동의 방식으로도, 예를 들어 밸브 로드의 축방향 변위 및 후속 틸팅에 의해 또는 그 길이방향 축에 대해 수직으로 밸브 로드의 후속 변위에 의해 조정될 수 있다.

실시예에서 공압 피스톤-실린더 유닛에 의해 형성되는 드라이브(5)가 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 밸브 플레이트(1)를 조절하기 위해 밸브 로드(4)를 조절하는 데 이용된다. 밸브 로드(4)는 이 피스톤-실린더 유닛의 피스톤 로드에 연결되거나 이것과 일체형으로 형성된다.

폐쇄 장치의 폐쇄 상태에서 밸브 플레이트(1)와 벽(3) 사이를 밀봉하기 위해 탄성 재료로 이루어진 밀봉링(8)이 이용된다. 상기 밀봉링은 실시예에서 바람직하게 밸브 플레이트(1)에 부착된다. 벽(3)에 있는 개구(2)는 밸브 플레이트(1)의 폐쇄 위치에서 밀봉링(8)이 접촉하는 밀봉 시트를 형성하는 밀봉면으로 둘러싸여 있다. 반대 배치[벽(3)에 밀봉링, 밸브 플레이트(1)에 밀봉면]도 기본적으로 고려될 수 있고 가능하다.

벽(3)은 밸브 하우징의 부분일 수 있으며, 그 중 일부만 각각 도 1 내지 도 4에 도시된다. 밸브 하우징의 나머지 부분은 도 5에 파선으로 표시된다. 따라서 이러한 밸브 하우징은 밸브 플레이트(1)가 배치된 내부 공간을 갖는다. 또한, 이러한 밸브 하우징은, 밸브 플레이트(1)의 개방 위치에서 밸브 하우징을 통과하는 관통 채널을 형성하기 위해, 예를 들어 개구(2) 반대편에, 마찬가지로 도 5에 표시된 제 2 개구(9)를 갖는다. 따라서 이 실시예에서 폐쇄 장치는 또한 개구(2)가 있는 벽(3)을 가진 밸브 하우징도 포함하며 진공 밸브를 형성한다.

밸브 하우징은 밸브 로드(4)가 밸브 하우징의 내부 공간으로부터 유도되어 나오는 추가 개구(11)를 갖는다. 상기 개구(11)는 드라이브(5)가 설치된 접속 피스(10)에 의해 진공 밀폐되고, 상기 밸브 로드(4)는 접속 피스(10)를 통과하는 관통 채널을 관통하고 이것에 의해 축방향으로 안내된다. 밸브 하우징과 접속 피스(10) 사이의 밀봉을 위해 환형 밀봉부(12)가 이용된다. 실시예에서 밸브 로드(4)를 접속 피스(10)를 통과하는 관통 채널에 대해 밀봉하기 위해 벨로우즈(6)가 이용된다. 상기 벨로우즈의 한 단부는 환형 연결 피스(13)를 통해 진공 밀봉 방식으로 접속 피스(10)에 연결되며, 이 경우 접속 피스(10)와 연결 피스(13) 사이에 도면에 도시되지 않은 밀봉링이 배치된다. 벨로우즈(6)의 다른 단부는 진공 밀봉 방식으로 밸브 로드(4)에 연결된다. 벨로우즈 대신에, 밀봉을 위해 적어도 하나의 밀봉링이 있는 슬라이딩 밀봉부가 제공될 수도 있다.

변형된 실시예에서 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 즉 파선을 제외한 도 5에 도시된 바와 같이 설계된 폐쇄 장치는 또한 진공 챔버의 벽의 외부면에 설치될 수 있으며, 이 경우 개구(2)는 진공 챔버의 상기 벽에 있는 개구와 정렬되고, 벽(3)은 개구(2)를 둘러싸는 영역에서 진공 챔버의 벽에 대해 밀봉된다. 이러한 적용예에서 폐쇄 장치는 도어로도 지칭될 수 있다.

또 다른 실시예에서 개구(2)를 가진 벽(3)은 또한 진공 챔버의 부분일 수 있다. 상기 진공 챔버는 따라서 밸브 로드(4)가 진공 챔버의 내부 공간으로부터 유도되어 나오고 접속 피스(10)에 의해 폐쇄된 도면에 도시된 개구(11)에 상응하는 추가 개구를 갖고, 이 경우 접속 피스에 다시 드라이브(5)가 설치되고 밸브 로드는 접속 피스 내의 관통 채널을 통해 연장된다. 밸브 로드는 또한 벨로우즈에 의해 (또는 슬라이딩 밀봉부에 의해) 밀봉되어 진공 챔버의 진공 영역 내로 안내될 수 있다. 개구(2)를 가진 벽(3)은 이 실시예에서 즉, 본 발명에 따른 폐쇄 장치의 부분이 아니다.

또 다른 실시예에서 개구(2)를 가진 벽(3)은 진공 챔버의 벽의 내부면에도 배치될 수 있고, 이 경우 벽(3)의 개구(2)는 진공 챔버의 벽에 있는 개구와 정렬된다. 이러한 폐쇄 장치는 "인서트(insert)"로도 지칭된다. 바람직하게 밸브 로드(4)는 이 경우 또한 밀봉되어 진공 챔버로부터 유도되어 나오므로, 드라이브(5)는 진공 챔버의 진공 영역의 외부에 놓인다.

밸브 플레이트(1)는 실질적으로 직사각형의 원주 윤곽으로 형성된다. 여기서 "실질적으로 직사각형"이란, 밸브 플레이트가 모서리가 둥근 직사각형으로 설계되는 것을 의미한다.

개구(2)는 대응하는 윤곽을 가지며 밸브 플레이트(1)의 폐쇄 위치에서 밀봉링(8)이 압착되는 밀봉면(14)으로 둘러싸여 있다.

밸브 로드(4)를 밸브 플레이트(1)에 연결하기 위해 연결 장치(15)가 이용된다. 상기 연결 장치는 조인트 바디(17)의 내부 수용 공간(18) 내에 배치된 조인트 헤드(16)를 갖는다.

실시예에서 바람직하게 조인트 헤드(16)는 밸브 로드(4)에 고정 연결되고, 조인트 바디(17)는 밸브 플레이트(1)에 고정 연결된다.

조인트 바디(17)는 포트형 홈을 가진 포트부(17a)와 포트부를 폐쇄하는 커버부(17b)를 포함한다. 이로써 내부 수용 공간(18)은 적어도 실질적으로 커버부(17b)의 포트형 홈에 의해 형성된다. 커버부(17b)는 포트부(17a)와 커버부(17b) 사이에 배치된 환형 밀봉부(21)에 의해 포트부(17a)에 대해 밀봉된다. 커버부(17b)는 스크루(22)에 의해 포트부(17a)에 연결된다.

밸브 로드(4)는 연결 스크루(23)에 의해 조인트 헤드(16)에 연결되고, 상기 연결 스크루는 조인트 헤드(16)를 통과하는 중앙 관통 보어(24)를 관통하고 밸브 로드(4)의 전면측 단부에 있는 나사산 보어(25) 내로 조여진다. 밸브 로드는 적어도 실질적으로 정사각형 단면을 가진 연결 섹션(4a)을 갖고, 조인트 헤드(16)는 밸브 로드(4)의 연결 섹션(4a)이 돌출하는 대응하는 외부 윤곽을 갖는 홈(16a)을 가진다. 따라서, 밸브 로드(4)는 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)을 중심으로 밸브 로드(4)에 대한 조인트 헤드(16)의 회전과 관련하여 조인트 헤드에 대해 회전하지 않도록 고정된다. 정사각형 윤곽 대신에, 다른 다각형 윤곽 또는 원형이 아닌 다른 윤곽, 예를 들어 타원형 윤곽 또는 별 모양 윤곽도 제공될 수 있다. 그러나 회전 방지부는 다른 방식으로 설계될 수도 있다.

커버부(17b)는 하나의 단부 섹션에서 밸브 로드(4)가 돌출하는 윈도우 개구(27)를 갖는다. 밸브 플레이트(1)가 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)에 대해 수직으로 정렬되는 [즉, 밸브 플레이트(1)의 중앙 평면은 길이방향 축(26)에 대해 수직인] 연결 장치의 중앙 위치에서, 밸브 로드(4)와 커버부(17b) 내의 윈도우 개구(27)의 가장자리 사이에 환형 갭(s)이 존재하고, 즉 밸브 로드(4)의 전체 원주 주위에서 상기 밸브 로드는 윈도우 개구(27)의 가장자리로부터, 바람직하게 균일하게 이격되어 있다. 따라서 더 상세히 설명되는 바와 같이, 중앙 위치에서부터 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)에 대해 수직인 임의의 축을 중심으로 밸브 플레이트(1)의 (제한된) 선회가 가능해진다.

조인트 바디(17)를 밸브 플레이트(1)에 연결하기 위해, 밸브 플레이트(1)의 후면에 배치된 연결 섹션(29)은 홈(30)을 갖는다. 포트부(17a)는 홈(30)에 삽입될 수 있는 돌출 섹션을 갖는다. 포트부(17a)의 이러한 돌출 섹션과 이에 인접하는 섹션 사이에는 환형 밀봉부(31)가 배치되는 단(stage)이 있으며, 상기 밀봉부는 연결된 상태에서 홈(30)을 둘러싸는 연결 섹션(29)의 표면에 대해 압착된다. 연결 섹션(29)의 홈(30)은 마주 놓인 측면 확장부를 갖는다. 단의 영역의 외부에 있는 포트부(17a)의 나사산 보어 내로 조여지는 연결 핀(32)이 상기 확장부 내로 돌출한다. 각 연결 핀(32)의 샤프트는 수축부(32a)를 갖는다. 이러한 수축부 위로 고정 볼트(33)가 돌출하고, 상기 고정 볼트는 연결 핀(32)에 대해 횡방향으로 연장되는 연결 섹션(29)의 보어(34)에 삽입되며, 상기 보어(34)는 홈(30)의 측면 확장부의 영역 내로 통한다.

연결 섹션(29)은 연결 섹션(29)의 양측에서 밸브 플레이트의 플레이트 부분에 연결되고 사이에 있는 영역에서 밸브 플레이트의 플레이트 부분과 이격되어 있는 크로스 빔의 부분이다. 개구(2)를 가진 벽(3)이 소정의 곡률(밸브 플레이트의 종방향 길이와 관련하여)을 갖는 경우, 밸브 플레이트(1)는 이로 인해 소정의 범위에서 상기 곡률에 대해 조정될 수 있다. 이로써 밀봉링(8)의 균일한 가압이 추가로 지원된다.

제 1 및 제 2 조인트 소켓부(35, 36)는 조인트 바디(17)의 수용 공간(18) 내에 배치된다. 조인트 소켓부(35, 36)는 각각 오목한 조인트 면(35a, 36a)을 갖는다. 이러한 오목한 조인트 면(35a, 36a)은 각각 내부 구면의 섹션의 형상을 갖는다. 조인트 소켓부(35, 36)의 오목한 조인트 면(35a, 36a)은 마주 놓인 측에서 조인트 헤드(16) 상에 배치되고 조인트 헤드(16)의 각각 할당된 볼록한 조인트 면(16b, 16c)과 상호 작용한다. 볼록한 조인트 면(16b, 16c)은 각각 구면의 섹션의 형태로 설계되며, 각각 조인트 헤드(16)의 외부 표면의 섹션이다. 특히, 각각의 볼록한 조인트 면(16b, 16c)은 구형 와셔(washer)(= 구형 층)의 방사 방향으로 외부에 놓인 표면의 형상을 갖고, 즉 소위 구형 영역의 형상을 갖는다. 이에 상응하게, 오목한 조인트 면(35a, 36a)은 각각 중공 구형 와셔의 구면형 내부면의 형상을 갖는다. 따라서 조인트 소켓부(35, 36)는 적어도 실질적으로 중공 구형 와셔의 형상을 갖는다. 조인트 소켓부(35, 36)의 중앙 평면은 이 경우 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)에 대해 수직이다. 중앙 위치에서, 볼록한 조인트 면(16b, 16c)을 형성하는 조인트 헤드(16)의 구형 와셔 형상의 섹션의 중앙 평면도 길이방향 축(26)에 대해 수직인 평면에 놓인다.

조인트 소켓부(35, 36)는 스프링 탄성 부재(37)에 의해 조인트 헤드(16)에 대해 압착된다. 이러한 스프링 탄성 부재(37)는 실시예에서 커버부(17b)에 인접하게 배치되고 커버부의 윈도우 개구(27)의 영역에 개구(37a)를 갖는 스프링 와셔에 의해 형성된다. 스프링 탄성 부재(37)는 스크루(38)에 의해 포트부(17a)에 나사로 고정된다. 상기 스프링 탄성 부재는 개구(37a)에 인접하는 영역에 방사 방향 절개부를 갖고, 절개부로부터 분리된 세그먼트는 구부러져 있다. 이 영역에서 스프링 탄성 부재(37)는 제 2 조인트 소켓부(36)에 접촉하고 이를 조인트 헤드(16)로 가압하고, 그 결과 조인트 헤드(16)는 포트부(17a) 내의 포트형 홈의 바닥에 있는 바닥면에 배치된 제 1 조인트 소켓부(35)로 가압된다.

조인트 헤드는 이로 인해 마찰 결합 방식으로 현재의 위치에서 유지된다. 이러한 마찰 결합은, 폐쇄 장치의 공간적 위치에 관계없이 조인트 헤드(16)의 위치를 변경하지 않고도 밸브 플레이트(1)의 무게도 흡수될 수 있을 정도로 매우 강력하다.

스프링 탄성 부재(37)의 개구(37a)는 커버부(17b)의 윈도우 개구(27)보다 크다. 따라서 홈(16a)을 둘러싸는 영역에서 조인트 헤드(16)에 배치된 밀봉링(19)은 스프링 탄성 부재(37)의 개구(37a)를 관통하여 윈도우 개구(27)를 둘러싸는 영역에서 커버부(17b)의 내부면에 대해 압착될 수 있다. 반대로, 밀봉링(19)은 또한 커버부(17b)의 내부면에 부착될 수 있고, 개구(37a)를 통해 홈(16a)을 둘러싸는 영역에서 조인트 헤드(16)의 표면에 대해 압착될 수 있다.

조인트 헤드(16)는 맞은 편에 돌출하는 패그를 갖는다. 패그(16d)는 각각 길이방향 축(26)에 대해 수직인 방향으로 돌출하며, 상기 패그(16d)는 서로 동축이다. 각각의 패그(16d)는 조인트 바디(17)의 포트부(17a)에 있는 각각의 할당된 그루브(17c) 내로 돌출된다. 그루브들(17c) 중 각각 하나씩은 포트형 홈을 한정하는 벽에 형성되며, 즉 포트부(17a)의 이러한 포트형 홈을 확장시킨다. 그루브(17c)는 이 경우, 연결 장치의 중앙 위치에서 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)에 대해 평행한 평면(20; 도 11에 표시됨)에서 연장된다. 실시예에서 그루브(17c)는 연결 장치의 중앙 위치에서 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)에 대해 평행하게 직선으로 이어진다. 포트부(17a)의 포트형 홈을 한정하는 내벽은 밸브 로드에 대해 평행한 방향에 대해 만곡되어 형성될 수도 있으므로, 홈(17c)은 상응하게 만곡되어 연장될 수 있다.

패그(16d)는 조인트 헤드(16)의 조인트 면들(16b, 16c) 사이에 위치한 조인트 헤드(16)의 외부 표면의 환형 영역으로부터 시작된다. 특히, 상기 패그는 조인트 헤드(16)의 평분선(equator)에 위치하며, 상기 조인트 헤드(16)의 평분선은 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)에 대해 수직인 평분선 평면에 놓이며, 상기 평면은 조인트 헤드(16)를 중앙으로 관통한다.

조인트 헤드(16)는 그루브와 상호 작용하는 패그에 의해 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)을 중심으로 조인트 바디(17)에 대한 회전에 대해 차단된다. 그러나, 조인트 헤드(16)는 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)에 대해 수직인 임의의 축에 대해 틸팅될 수 있다[환형 갭(S)이 소진될 때까지].

따라서 연결 장치는 조인트 헤드(16)의 평분선 평면에 대해 수직인 축, 즉 조인트 헤드에 연결된 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)을 중심으로 하는 회전에 대해 차단된 볼 조인트를 형성한다.

조인트 헤드(16)의 볼록한 조인트 면(16b, 16c)과 평분선을 넘어 조인트 헤드(16)와 상호 작용하는 오목한 조인트 면(35a, 36a)이 상호 작용하기 때문에, 연결 장치에 의해 형성된 조인트는 조인트 헤드(16)의 평분선 평면에 대해 수직인 축, 즉 조인트 헤드에 연결된 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)을 중심으로 하는 회전에 대해 차단된 볼 소켓 조인트(ball and socket joint)라고도 할 수 있다.

수용 공간(18)은 커버부(17b)와 포트부(17a) 사이의 밀봉부(21) 및 커버부(17b)와 조인트 헤드(16) 사이의 밀봉링(19)에 의해 밀봉됨으로써, 그리고 뿐만 아니라 포트부(17a)는 밀봉부(31)에 의해 연결 섹션(29)에 대해 추가로 밀봉되기 때문에, 특히 조인트 소켓부(35, 36)에 대해 조인트 헤드(16)의 이동 시 발생하는 입자는 연결 장치 및 밸브 플레이트 주변 공간에 도달할 수 없다.

1 밸브 플레이트
2 개구
3 벽
4 밸브 로드
4a 연결 섹션
5 드라이브
6 벨로우즈
8 밀봉링
9 개구
10 접속 피스
11 개구
12 밀봉부
13 연결 피스
14 밀봉 면
15 연결 장치
16 조인트 헤드
16a 홈
16b 조인트 면
16c 조인트 면
16d 패그
17 조인트 바디
17a 포트부
17b 커버부
17c 그루브
18 수용 공간
19 밀봉링
20 평면
21 밀봉부
22 스크루
23 연결 스크루
24 관통 보어
25 나사산 보어
26 길이방향 축
27 윈도우 개구
29 연결 섹션
30 홈
31 밀봉부
32 연결 핀
32a 수축부
33 고정 볼트
34 보어
35 조인트 소켓부
35a 조인트 면
36 조인트 소켓부
36a 조인트 면
37 스프링 탄성 부재
37a 개구
38 스크루

Claims

벽(3)에 있는 개구(2)를 진공 밀폐하기 위한 폐쇄 장치로서,
밸브 플레이트(1)를 가지며, 상기 밸브 플레이트는 상기 밸브 플레이트(1)가 상기 개구(2)를 밀봉하는 폐쇄 위치와 상기 밸브 플레이트(1)가 상기 개구(2)를 개방하는 개방 위치 사이에서 조절 가능하고, 상기 밸브 플레이트는 연결 장치(15)에 의해 길이방향 축(26)을 가진 폐쇄 장치의 밸브 로드(4)에 연결되고, 상기 연결 장치(15)는 조인트 헤드(16)를 갖고, 상기 조인트 헤드의 적어도 외부 표면의 섹션들은 구면 형태로 형성되고, 상기 조인트 헤드는 조인트 바디(17)의 수용 공간(18) 내에 배치되고,
상기 밸브 로드(4)의 상기 길이방향 축(26)을 중심으로 하는 상기 조인트 헤드(16)의 회전을 차단하기 위해, 상기 조인트 헤드(16) 또는 상기 조인트 바디(17)에 배치된 적어도 하나의 돌출 패그(16d)는 할당된 그루브(17c)로 돌출하고, 상기 그루브는 이러한 2개의 부분 중 다른 부분에 배치되고, 상기 밸브 플레이트(1)가 상기 밸브 로드(4)의 길이방향 축(26)에 대해 수직으로 정렬되는 연결 장치의 중앙 위치에서 상기 그루브는 상기 밸브 로드(4)의 길이방향 축에 대해 평행한 평면(20)에서 연장되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 조인트 헤드(16) 또는 상기 조인트 바디(17)의 마주 놓인 측에 각각 돌출 패그(16d)가 배치되고, 상기 패그는 두 부분 중 다른 부분에 있는 각각의 할당된 그루브(17c)에 맞물리는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 조인트 바디(17)는 포트형 홈을 갖는 포트부(17a)와 커버부(17b)를 갖고, 상기 커버부(17b)는 사이에 놓이는 밀봉부(21)에 의해 상기 포트부(17a)에 대해 밀봉되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밸브 로드(4)는 상기 조인트 헤드(16)에 연결되고, 상기 밸브 플레이트(1)는 상기 조인트 바디(17)에 연결되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 밸브 로드(4)는 연결 스크루(23)에 의해 상기 조인트 헤드(16)에 연결되고, 상기 연결 스크루는 상기 조인트 헤드(16)를 통과하는 중앙 관통 보어(24)를 관통하고, 상기 밸브 로드(4)의 전면측 단부에 있는 나사산 보어(25) 내로 조여지는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 밸브 로드(4)의 연결 섹션(4a)은 원 형상이 아닌 단면을 갖고, 상기 조인트 헤드(16)는 상기 밸브 로드(4)의 단부 섹션이 돌출하는 대응하는 외부 윤곽을 갖는 홈을 가지며, 상기 밸브 로드(4)는 상기 조인트 헤드(16)에 대해 상기 밸브 로드(4)의 길이방향 축을 중심으로 회전하지 않도록 고정되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밸브 로드(4)의 단부 섹션은 상기 조인트 바디(17)의 상기 커버부(17b)에 있는 개구(11)를 관통하고, 상기 연결 장치(15)의 중앙 위치에서 상기 밸브 로드(4)와 상기 커버부(17b)에 있는 상기 개구(11)의 가장자리 사이에 환형 갭(s)이 존재하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 3 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 조인트 헤드(16)에 밀봉링(19)이 배치되고, 상기 밀봉링은 상기 커버부(17b)의 개구(11)를 둘러싸는 영역에서 상기 커버부(17b)의 내부면에 접촉하거나, 상기 커버부(17b)의 상기 개구(11)를 둘러싸는 영역에서 상기 커버부(17b)의 내부면에 밀봉링이 배치되고, 상기 밀봉링은 상기 조인트 헤드(16)에 접촉하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 조인트 헤드(16)는 서로 이격된 볼록한 조인트 면(16b, 16c)을 갖고, 상기 조인트 면은 각각 구면의 섹션의 형태로 형성된 상기 조인트 헤드(16)의 외부 표면의 섹션에 의해 형성되고, 이들 사이에 적어도 하나의 패그(16d)가 배치되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 9 항에 있어서,
상기 조인트 헤드(16)의 볼록한 조인트 면(16b, 16c)은 각각 구형 영역의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
상기 조인트 바디(17)의 수용 공간(18) 내에 제 1 및 제 2 조인트 소켓부(35, 36)가 배치되고, 상기 제 1 및 제 2 조인트 소켓부는 각각 내부 구면의 섹션 형태의 오목한 조인트 면(35a, 36a)을 갖고, 상기 조인트 소켓부(35, 36)의 오목한 조인트 면은 각각 상기 조인트 헤드(16)의 볼록한 조인트 면(16b, 16c) 중 할당된 조인트 면과 각각 상호 작용하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 조인트 소켓부 중 제 1 조인트 소켓부(35)는 상기 조인트 바디(17)의 상기 포트부(17a)의 바닥면에 배치되고, 상기 조인트 소켓부 중 제 2 조인트 소켓부(36)는 상기 제 1 조인트 소켓부(35)에 마주 놓인 측에서 상기 조인트 헤드(16)에 놓이는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 조인트 소켓부(35, 36)는 적어도 하나의 스프링 탄성 부재(37)에 의해 상기 조인트 헤드(16)에 대해 압착되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 13 항에 있어서,
상기 스프링 탄성 부재(37)는 상기 조인트 바디(17)의 상기 커버부(17b)에 인접하게 놓이는 스프링 시트이고, 상기 스프링 시트는 커버부(17)로부터 멀리 떨어진 측에서 상기 제 2 조인트 소켓부(36)에 대해 압착되고, 상기 스프링 시트는 상기 커버부(17b)의 개구 영역에 개구(11)를 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 8 항 및 제 14 항에 있어서,
상기 조인트 헤드(16)에 배치되고 상기 커버부(17b)의 상기 개구(11)를 둘러싸는 영역에서 상기 커버부(17b)의 내부면에 접촉하거나 상기 커버부(17b)의 상기 개구(11)를 둘러싸는 영역에서 상기 커버부(17b)의 내부면에 배치되고 상기 조인트 헤드(16)에 접촉하는 밀봉링(19)은 스프링 시트의 개구(37a)를 통해 돌출하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.