KR102427175B1 - 진공 게이트밸브용 밸브조립체 - Google Patents

Abstract

본 발명은 일측에 공정챔버와 연통되는 개구가 길이방향을 따라 형성된 밸브하우징의 내부에 설치되되, 승강 및 상기 개구방향으로 회동 가능하게 설치되고 원통형상의 제1연결부와 상기 제1연결부의 하부에 다각형상의 제2연결부가 형성된 밸브로드의 상단부에 결합되는 진공 게이트밸브용 밸브조립체에 관한 것으로서, 블록형상으로서 저면 중앙 일측으로부터 상부방향을 따라 상기 제2연결부의 외주면과 이격되는 제2결합홀과 상기 제1연결부가 결합되는 제1결합홀이 연속적으로 형성되고, 일측면에 상기 개구를 차폐하는 차폐면이 형성된 밸브플레이트 및 상기 제2연결부의 외주면과 상기 제2결합홀의 내주면에 개재되고, 일측에 상기 제2연결부가 삽입되는 삽입홀이 형성된 완충부재를 포함하여 이루어진다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 밸브로드와 밸브플레이트의 결합구조를 개선하여 밸브하우징의 개구를 차폐하는 밸브플레이트의 수평정렬이 자동으로 이루어짐에 따라 밸브플레이트의 차폐상태를 보다 확실하게 유지할 수 있다.
또한, 본 발명은 실링부재가 설치되는 밸브플레이트의 설치홈 구조를 개선하여 장기간 사용에도 실링부재가 밸브플레이트로부터 쉽게 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

Description

진공 게이트밸브용 밸브조립체{Valve assembly for vacuum gate valve}

본 발명은 밸브조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 밸브로드와 밸브플레이트의 결합구조 및 실링부재가 설치되는 밸브플레이트의 설치홈 구조를 개선하여 밸브하우징의 개구를 차폐하는 밸브플레이트의 수평정렬이 자동으로 이루어질 뿐 아니라, 장기간 사용에도 실링부재가 쉽게 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 한 진공 게이트밸브용 밸브조립체에 관한 것이다.

일반적으로 게이트 밸브는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치 또는 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설인 챔버의 일측에 설치되어 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 개방 시 챔버의 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동시키기 위한 통로를 제공하고, 차폐 시 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 역할을 한다.

이러한 종래 게이트 밸브의 기본 구성은 도 1a 내지 도 1c에서 보는 바와 같이, 일측에 공정챔버와 연통되는 개구(101)가 형성된 밸브하우징(100)과, 밸브하우징(100)의 내부에 승강 및 밸브하우징(100)의 개구(101) 방향으로의 회동이 가능하게 설치되는 밸브로드(200)와, 블록형상으로서 밸브로드(200)의 상단부에 결합되고 개구(101)와 대응되는 일측에 형성된 차폐면(301)의 가장자리에 실링부재(301a)가 설치되며 밸브하우징(100)의 내벽면에 밀착되어 개구(101)를 차폐하는 밸브블록(300)을 포함하여 이루어진다.

위와 같은 종래 게이트밸브는 도 1a의 상태에서 도 1b와 같이, 밸브로드(200)가 상승하여 밸브블록(300)의 차폐면(301)을 개구(101)와 대응되는 위치에 배치시킨 후, 밸브로드(200)가 개구(101) 방향으로 회동되어 밸브블록(300)의 차폐면(301)에 설치된 실링부재(301a)를 밸브하우징(100)의 내벽면에 밀착시킴으로써, 밸브하우징(100)의 개구(101)을 차폐시키게 된다.

그러나, 상기한 종래 게이트밸브는 밸브로드(200)의 상단부와 밸브블록(300)이 고정결합되는 구조로 밸브로드(200)를 기준으로하여 밸브블록(300)의 양측에 설치된 실링부재(301a)가 장기간 사용에 의해 비대칭적으로 마모되는 경우, 밸브블록(300)의 실링부재(301a)를 통해 밸브하우징(100)의 개구(101)를 차폐할 수 없는 문제가 발생될 수 있다.

이러한 이유로 한국등록특허 제10-0960030호에는 밸브블록의 하부 중앙에 밸브로드가 결합되는 리셉터클을 형성하되, 리셉터클의 상부와 이와 대응되는 밸브로드의 상단부는 원통형상으로 형성하여 부분적으로 회전할 수 있는 래디얼 베어링 세그먼트를 형성하고, 리셉터클의 하부와 이와 대응되는 밸브로드의 상단부는 일정 간극을 갖는 다각형상으로 형성하여 정해진 각도범위에서는 회전할 수 있는 회전각 제한 세그먼트를 형성하여 밸브블록의 양측에 설치된 실링부재의 비대칭적인 마모가 발생되더라도 밸브블록의 실링부재가 개구가 형성된 밸브하우징의 내벽에 밀착되도록 하여 이를 해결하고 있다.

그러나, 상기한 한국등록특허 제10-0960030호는 래디얼 베어링 세그먼트가 원통형상의 리셉터클과 밸브로드의 축결합 구조로 이루어져 공정챔버로부터 밸브블록으로 전달되는 열이 밸브로드로 쉽게 전도되므로 밸브로드의 과열로 액추에터가 손상되는 문제가 발생될 수 있다.

또한, 상기한 한국등록특허 제10-0960030호는 회전각 제한 세그먼트가 일정 간극을 갖는 다각형상의 리셉터클과 밸브로드의 결합으로 형성됨에 따라 장기간 사용하는 경우, 리셉터클의 내면과 밸브로드의 외면 간의 잦은 접촉에 의한 마모가 발생되어 제한된 회전각 이상으로 밸브로드가 회전하는 문제가 발생될 수 있으며, 이는 밸브블록의 실링부재가 개구가 형성된 밸브하우징의 내면에 밀착시 과도한 응력을 유발할 수 있어 실링부재가 손상되는 문제가 발생될 수 있다.

아울러, 상기한 한국등록특허 제10-0960030호 공정 중 발생되는 진동을 감쇠하는 구조가 전무하여 공정 중 발생되는 진동에 의해 밸브블록과 밸브하우징 간의 차폐상태가 일부 해제되거나, 밸브로드를 통해 액추에이터로 전달되는 지속적인 진동에 의해 액추에이터가 손상되는 문제가 발생될 수 있다.

한국등록특허 제10-0960030호

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 밸브로드와 밸브플레이트의 결합구조 및 실링부재가 설치되는 밸브플레이트의 설치홈 구조를 개선하여 밸브하우징의 개구를 차폐하는 밸브플레이트의 수평정렬이 자동으로 이루어질 뿐 아니라, 장기간 사용에도 실링부재가 쉽게 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 한 진공 게이트밸브용 밸브조립체를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 일측에 공정챔버와 연통되는 개구가 길이방향을 따라 형성된 밸브하우징의 내부에 설치되되, 승강 및 상기 개구방향으로 회동 가능하게 설치되고 원통형상의 제1연결부와 상기 제1연결부의 하부에 다각형상의 제2연결부가 형성된 밸브로드의 상단부에 결합되는 진공 게이트밸브용 밸브조립체에 있어서, 블록형상으로서 저면 중앙 일측으로부터 상부방향을 따라 상기 제2연결부의 외주면과 이격되는 제2결합홀과 상기 제1연결부가 결합되는 제1결합홀이 연속적으로 형성되고, 일측면에 상기 개구를 차폐하는 차폐면이 형성된 밸브플레이트 및 상기 제2연결부의 외주면과 상기 제2결합홀의 내주면에 개재되고, 일측에 상기 제2연결부가 삽입되는 삽입홀이 형성된 완충부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브용 밸브조립체가 제공된다.

여기서, 상기 완충부재는 상기 밸브플레이트의 길이방향을 따라 대향하는 양측부의 두께가 상기 개구방향으로 갈수록 증가하는 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 제1결합홀은 상기 제1연결부의 외주면이 내접하는 다각형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 밸브플레이트는 상기 차폐면의 가장자리를 따라 실링부재가 융착설치되는 설치홈이 형성되되, 상기 설치홈은 상기 차폐면의 가장자리를 따라 하방으로 함몰 형성되는 메인설치홈 및 상기 밸브플레이트의 일정간격 이격된 각각의 측면 일측과 상기 메인설치홈을 연통하는 다수개의 연통홀 및 상기 메인설치홈이 형성된 상기 밸브플레이트의 일정간격 이격된 각각의 내측면 일측으로부터 상기 밸브플레이트의 내측방향으로 연장형성되는 다수개의 걸림홀을 포함하는 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 실링부재는 상기 밸브플레이트의 길이방향의 중심을 기준으로 양측방향으로 갈수록 돌출높이가 증가되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 본 발명에 의하면, 밸브로드와 밸브플레이트의 결합구조를 개선하여 밸브하우징의 개구를 차폐하는 밸브플레이트의 수평정렬이 자동으로 이루어짐에 따라 밸브플레이트의 차폐상태를 보다 확실하게 유지할 수 있다.

또한, 본 발명은 실링부재가 설치되는 밸브플레이트의 설치홈 구조를 개선하여 장기간 사용에도 실링부재가 밸브플레이트로부터 쉽게 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

도 1a 내지 1c는 종래 진공 게이트밸브의 개략적인 구성 및 동작을 설명하기 위한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브조립체가 밸브로드에 결합된 상태의 사시도.
도 3은 도 2의 분해사시도.
도 4는 도2를 하부에서 바라본 분해사시도.
도 5는 도 2의 A-A' 단면도.
도 6a 및 6b는 도 2를 하부에서 바라본 도면.
도 7a 및 도7b는 도 6a의 B-B' 단면도.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브조립체의 동작을 설명하기 위한 도면.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브조립체가 밸브로드에 결합된 상태의 사시도이고, 도 3은 도 2의 분해사시도이고, 도 4는 도2를 하부에서 바라본 분해사시도이고, 도 5는 도 2의 A-A' 단면도이고, 도 6a 및 6b는 도 2를 하부에서 바라본 도면이고, 도 7a 및 도7b는 도 6a의 B-B' 단면도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브조립체(1)는 일측에 공정챔버와 연통되는 개구가 길이방향을 따라 형성된 밸브하우징의 내부에 설치되되, 승강 및 개구방향으로 회동가능하게 설치되고 원통형상의 제1연결부(81)와 제1연결부(81)의 하부에 사각형상의 제2연결부(82)가 형성된 밸브로드(80)의 상단부에 결합되어 밸브로드(80)의 승강 및 회동에 따라 밸브하우징의 개구를 개폐하기 위한 것으로서, 밸브플레이트(10), 완충부재(20) 및 실링부재(30)를 포함한다.

밸브플레이트(10)는 일정 폭과 길이를 갖는 직사각형의 블록형상으로 형성되고, 저면 중앙 일측으로부터 상부방향을 따라 밸브로드(80)의 제2연결부(82)의 외주면과 이격되는 제2결합홀(12)과, 밸브로드(80)의 제1연결부(81)가 결합되는 제1결합홀이 연속적으로 형성된다.

여기서, 본 발명은 원통형상의 밸브로드(80)의 제1연결부가(81)가 결합되는 제1결합홀(11)의 형상이 도 5에서 보는바와 같이, 제1연결부(81)의 외주면이 내접하는 팔각형상으로 형성되어 제1연결부(81)의 외주면과 제1결합홀(11)의 내주면 사이에 이격공간(S)이 형성된다.

위와 같은 이격공간(S)은 공정 중에 공정챔버 내부에서 밸브플레이트(10)로 전달되는 열이 밸브로드(80)의 제1연결부(81)로 전달되는 것을 최소함과 아울러, 제1연결부(81)로 전달된 열이 방열되는 공간을 제공함으로써, 밸브로드(80)로 과도한 열이 전달되지 않아 밸브로드(80)를 통해 전달되는 과도한 열에 의해 밸브로드(80)를 구동시키는 액추에이터가 손상되는 것을 방지하는 역할을 한다.

그리고, 밸브플레이트(10)는 일측면에 밸브하우징의 개구를 차폐하는 차폐면(13)이 형성된다.

완충부재(20)는 연질의 고무재질로서 밸브로드(80)의 제2연결부(82)의 외주면과 밸브플레이트(10)의 제2결합홀(12)의 내주면에 개재되고, 중앙에 제2연결부(82)가 삽입되는 삽입홀(21)이 형성된다.

그리고, 완충부재(20)는 밸브플레이트(10)의 길이방향을 따라 대향하는 양측부(22)의 두께가 밸브하우징의 개구방향으로 갈수록 증가하는 사다리꼴 형상으로 형성된다.

이러한 완충부재(20)는 공정 중 공정챔버로부터 밸브로드(80)로 전달되는 진동을 감쇠시킴으로써, 밸브로드(80)로부터 전달되는 진동에 의해 액추에이터 및 후술하는 실링부재(30)가 손상되는 것을 방지하는 역할을 한다.

특히, 완충부재(20)는 밸브로드(80)의 구동에 의해 밸브플레이트(10)가 밸브하우징의 개구를 차폐하는 경우, 도 6a에서 보는 바와 같이, 밸브하우징의 개구방향으로 갈수록 두께가 증가하는 양측부(22)로부터 밸브로드(80)로 인가되는 탄성복원력에 의해 밸브플레이트(10)가 밸브하우징에 대해 수평한 상태로 자동정렬 됨에 따라 밸브하우징의 개구를 차폐하는 밸브플레이트(10)의 차폐상태가 보다 확실하게 유지되도록 하는 역할을 한다.

실링부재(30)는 밸브플레이트(10)의 차폐면(13)의 가장자리를 따라 형성되는 설치홈(13a)에 융착설치되어 개구가 형성된 밸브하우징의 내벽과 밸브플레이트(10)의 차폐면(13) 간을 밀폐하는 역할을 한다.

이러한 실링부재(30)는 도 6b의 확대도에서 보는 바와 같이, 밸브플레이트(10)의 길이방향의 중앙을 기준으로 양측방향으로 갈수록 두께가 증가하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.

이는 밸브플레이트(10)의 하부 중심에 결합되는 밸브로드(80)의 구동력에 따른 밸브플레이트(10)의 가압력이 밸브플레이트(10)의 중심에 크게 작용하고, 양측방향으로 갈수록 약해짐에 따라 밸브플레이트(10)의 양측방향을 따라 설치되는 실링부재(30)가 밸브하우징의 내벽에 밀착되지 않는 것을 방지하기 위함이다.

여기서, 밸브플레이트(10)에 형성된 설치홈(13a)은 6b 및 도 7a에서 보는 바와 같이, 차폐면(13)의 가장자리를 따라 하방으로 함몰 형성되는 메인설치홈(13aa)과, 밸브플레이트(10)의 일정간격 이격된 각각의 측면 일측과 메인설치홈(13aa)을 연통하는 다수개의 연통홀(13ab)과, 메인설치홈(13aa)이 형성된 밸브플레이트(10)의 일정간격 이격된 각각의 내측면 일측으로부터 밸브플레이트(10)의 내측방향으로 연장형성되는 다수개의 걸림홀(13ac)을 포함하여 이루어진다.

본 발명은 위와 같은 설치홈(13a)의 구조를 통해 메인설치홈(13aa) 내에 융착설치된 실링부재(30)가 다수개의 연통홀(13ab) 및 걸림홀(13ac)에 융착설치된 실링부재(30)와 연결되어 설치홈(13a)의 내부에 견고하게 고정됨에 따라 가혹한 공정 환경에 노출되는 실링부재(30)가 장시간 사용에도 설치홈(13a)으로부터 이탈되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

그리고, 본 발명은 메인설치홈(13aa) 내에 융착설치된 실링부재(30)에 응력이 인가되는 경우, 인가되는 응력이 다수개의 연통홀(13ab) 및 걸림홀(13ac)에 융착설치된 실링부재(30)로 분산됨에 따라 실링부재(30)가 인가되는 응력에 의해 손상되는 것을 최소화할 수 있다.

또한, 본 발명은 공정챔버로부터 메인설치홈(13aa) 내에 융착설치된 실링부재(30)로 열이 전달되는 경우, 전달되는 열이 다수개의 연통홀(13ab)에 융착설치된 실링부재(30)를 통해 외부로 방열하는 방열구조를 제공할 수 있다.

아울러, 본 발명은 실링부재(30)를 융착하기 전에 실링부재(30)가 설치홈(13a) 내에 보다 견고하게 고정설치될 수 있도록 설치홈(13a)이 형성된 밸브플레이트(10)의 내면에 가류접착제를 도포하게 되는데, 위와 같은 설치홈(13a)의 구조를 통해 가류접착제의 도포면적이 현저하게 증가함에 따라 가류접착제에 의한 실링부재의 고정력이 크게 증가하게 된다.

한편, 본 실시예에서는 메인설치홈(13aa)의 형상이 차폐면(13)의 가장자리에 ‘∪’자 형태로 형성되는 것을 일예로 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 도 7b에서 보는 바와 같이, 메인설치홈(13aa)의 형상이 측면이 개방된 ‘ㄴ’자 형태로 형성될 수도 있다.

위와 같이, ‘ㄴ’자 형태로 형성되는 메인설치홈(13aa)은 측면이 개방됨에 따라, 연통홀(13ab)이 밸브플레이트(10)의 일정간격 이격된 측면 일측으로부터 밸브플레이트(10)의 내측방향으로 연장형성되는 제1연통홀(13aba)과, 메인설치홈(13aa)이 형성된 밸브플레이트(10)의 상면 일측과 제1연통홀(13aba)을 연통하는 제2연통홀(13abb)을 포함하여 이루어지며, 걸림홀(13ac)의 구조는 전술한 실시예와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

전술한 바와 같이, 본 발명은 밸브로드와 밸브플레이트의 결합구조를 개선하여 밸브하우징의 개구를 차폐하는 밸브플레이트의 수평정렬이 자동으로 이루어짐에 따라 밸브플레이트의 차폐상태를 보다 확실하게 유지할 수 있다.

또한, 본 발명의 실링부재가 설치되는 밸브플레이트의 설치홈 구조를 개선하여 가혹한 공정환경에서 장기간 사용하더라도 실링부재가 밸브플레이트로부터 쉽게 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브조립체의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 밸브조립체(1)는 도 8a에서 보는 바와 같이, 밸브플레이트(10)의 차폐면이 밸브로드(80)의 구동력에 의해 개구(71)가 형성된 밸브하우징(70)의 내벽에 밀착되는 경우, 고무재질의 완충부재(20)의 양측부(22)에서 탄성복원력이 동시에 작용함에 따라 밸브플레이트(10)의 수평정렬이 자동으로 이루어진다.

이에 따라 밸브하우징(70)의 내벽과 밸브플레이트(10)의 차폐면에 설치된 실링부재(30) 간의 차폐상태가 보다 확실하게 유지된다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브조립체(1)는 도 8b에서 보는 바와 같이, 장기간의 사용으로 좌측 확대도에 도시한 실링부재(30)가 우측 확대도에 도시한 실링부재(30) 보다 더 많이 마모되어 좌측 확대도에 도시한 실링부재(30)의 높이(d1)가 우측 확대도에 도시한 실링부재(30)의 높이(d2) 보다 낮아지는 문제가 발생될 수 있습니다.

이러한 경우, 좌측 확대도에 도시한 높이가 낮은 실링부재(30)와 밸브하우징(70)의 내벽 간의 차폐상태가 해제될 수 있다.

그러나, 본 발명은 밸브플레이트(10)의 차폐면이 밸브로드(80)의 구동력에 의해 개구(71)가 형성된 밸브하우징(70)의 내벽에 밀착되는 경우, 고무재질의 완충부재(20)의 탄성에 의해 밸브플레이트(10)가 시계방향으로 미세하게 회동되면서 우측 확대도에 도시한 실링부재(30)와 밸브하우징(70)의 내벽 간의 밀착 상태는 유지하면서 좌측 확대도에 도시한 실링부재(30)와 밸브하우징(70)의 내벽 간이 상호 밀착되도록 함으로써, 밸브플레이트(10)의 설치된 양측 실링부재(30)의 높이 차이가 발생되더라도 밸브플레이트(10)의 차폐면과 밸브하우징(70)의 내벽 간의 밀착상태를 확실하게 유지할 수 있다.

비록 본 발명이 상기 바람직한 실시 예들과 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서, 첨부된 특허 청구범위는 본 발명의 요지에 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

1 : 밸브조립체 10 : 밸브플레이트
11 : 제1결합홀 12 : 제2결합홀
13 : 차폐면 13a : 설치홈
13aa : 메인설치홈 13ab : 연통홀
13aba : 제1연통홀 13abb : 제2연통홀
13ac : 걸림홀 20 : 완충부재
21 : 삽입홀 22 : 양측부
30 : 실링부재 70 : 밸브하우징
71 : 개구 80 : 밸브로드
81 : 제1연결부 82 : 제2연결부
S : 이격공간

Claims (5)

1. 일측에 공정챔버와 연통되는 개구가 길이방향을 따라 형성된 밸브하우징의 내부에 설치되되, 승강 및 상기 개구방향으로 회동 가능하게 설치되고 원통형상의 제1연결부와 상기 제1연결부의 하부에 다각형상의 제2연결부가 형성된 밸브로드의 상단부에 결합되는 진공 게이트밸브용 밸브조립체에 있어서,
   블록형상으로서 저면 중앙 일측으로부터 상부방향을 따라 상기 제2연결부의 외주면과 이격되는 제2결합홀과 상기 제1연결부가 결합되는 제1결합홀이 연속적으로 형성되고, 일측면에 상기 개구를 차폐하는 차폐면이 형성된 밸브플레이트와;
   상기 제2연결부의 외주면과 상기 제2결합홀의 내주면에 개재되고, 일측에 상기 제2연결부가 삽입되는 삽입홀이 형성되며, 상기 밸브플레이트의 길이방향을 따라 대향하는 양측부의 두께가 상기 개구방향으로 갈수록 증가하는 사다리꼴 형상으로 형성된 완충부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브용 밸브조립체.
   
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1결합홀은 상기 제1연결부의 외주면이 내접하는 다각형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브용 밸브조립체.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 밸브플레이트는
   상기 차폐면의 가장자리를 따라 실링부재가 융착설치되는 설치홈이 형성되되,
   상기 설치홈은
   상기 차폐면의 가장자리를 따라 하방으로 함몰 형성되는 메인설치홈과;
   상기 밸브플레이트의 일정간격 이격된 각각의 측면 일측과 상기 메인설치홈을 연통하는 다수개의 연통홀과;
   상기 메인설치홈이 형성된 상기 밸브플레이트의 일정간격 이격된 각각의 내측면 일측으로부터 상기 밸브플레이트의 내측방향으로 연장형성되는 다수개의 걸림홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브용 밸브조립체.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 실링부재는 상기 밸브플레이트의 길이방향의 중심을 기준으로 양측방향으로 갈수록 돌출높이가 증가되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브용 밸브조립체.
   
   
   

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