JP2021067352A - バタフライバルブ - Google Patents
バタフライバルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021067352A JP2021067352A JP2019195330A JP2019195330A JP2021067352A JP 2021067352 A JP2021067352 A JP 2021067352A JP 2019195330 A JP2019195330 A JP 2019195330A JP 2019195330 A JP2019195330 A JP 2019195330A JP 2021067352 A JP2021067352 A JP 2021067352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stem
- valve
- cam groove
- tilting
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 33
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 20
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 14
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
Abstract
Description
このバルブを弁閉状態から弁開動作させるときには、弁体に対してシートリングを流路方向に平行移動させて離間させ、続いて弁体を回転させることにより、シートリングに対して無摺動の状態で弁体を回転させて流路内の流量(圧力)を制御するようになっている。これにより、真空チェンバ内をソフト排気しながら高精度に圧力制御可能となる。
バルブを閉塞位置から駆動すると、リンク機構と、ジャーナル及びローラとの係合により、弁ロッドが傾動軸回りに傾動して弁プレートが弁座から傾動し、次いで、弁ロッドが縦軸回りに回動して弁プレートが回動するようになっている。
このバタフライバルブは、複動式のエアシリンダ構造であり、エア操作にて単に弁の開閉動作をおこなうON/OFFバルブとして使用される。
これに加えて、シートリングがボデー内を流路方向に往復動してスロー排気する構造であるため、ボデーにはシートリングの往復のストローク分の距離と、このシートリングを往復動させるためのピストン、シリンダなどの機構が流路方向に必要になってバルブ全体の面間距離が長くなり、重量も増加するという問題も有している。
しかしながら、このバルブでは、弁ロッドがスリーブと同心上に配置され、このスリーブの傾斜溝にジャーナル、ローラを介して弁ロッドが取付けられてボデーの流路方向の中心位置に配置されている。そのため、弁ロッドの中心がボデー側弁座面に近い位置になることで、弁プレートと弁座面との離間状態を長く確保するためには、弁ロッドの傾動角度を大きくする必要がある。このことから、傾斜溝の傾斜角度を大きくすることにつながり、これによって傾斜溝が流路方向に長くなってバルブ全体の面間寸法が長尺化して重量も増加する。
また、前述の2つの昇降動ガイドローラ29が空隙部Gの幅W2方向の内壁に当接することで、この昇降動ガイドローラ29の案内によりステム3に対してスムーズに駆動体5が昇降動可能になり、弁体4の全開動作時にもステム3が駆動体5に対してがたつくことがない。
回転ローラ21の外周面は、駆動体5の外周面と略同じ円弧形状に形成され、この回転ローラ21が、駆動体5とともに回転軸P2を中心に回転するときには、荷重受け部22(ボデー内周面)との摩擦抵抗が抑えられた状態でスムーズに摺動可能になっている。
電動駆動部43は、電動モータ45、プーリ46、ベルト47を備え、電動モータ45からの回転は、ベルト47、プーリ46を通してボールネジナット40に伝達される。
図1、図2は、バルブ本体1の弁閉状態を示している。この場合、駆動体5が電動駆動部43によりボデー2内の昇降動範囲において最も降下した状態にあり、このとき、図5(a)、図5(b)に示すように、傾動用カム溝31の傾斜部33の上端側に傾動用カムローラ23、回転用カム溝32の鉛直部35の上端側に回転ガイドローラ20がそれぞれ位置している。この状態では、傾斜部33に傾動用カムローラ23が案内されることでステム3には鉛直状態に動作する方向の力が働き、ステム3先端側の弁体4がすり鉢状の弁座シール面11に同心状態で押し付けられる。これにより、弁体シール部27が弁座シール面11に強く当接シールして弁座漏れが確実に防がれる。
この場合、回転ローラ21から荷重受け部材22に弁座締切荷重が伝わることで、駆動体5の位置が保持される。
さらに、駆動体5が上昇したときには、図5(e)、図5(f)に示すように、傾動用カムローラ23は、鉛直部33に案内される。
この場合、傾動用カムローラ23が鉛直部34の終点位置まで鉛直方向に案内されることでステム3のそれ以上の傾動が防がれ、ステムの角度θ2による傾動が維持された状態で弁体4が全開状態まで回転し、弁体シール部27の弁座シール面11や流路10内部への接触が防がれている。
一方、弁開状態から弁閉状態とする場合には、電動駆動部43によりボールネジ41を駆動体5が下降する方向に回転させるようにすればよく、これにより上述の場合と反対に、駆動体5を最上端から最下端の位置まで下降させ、ステム3並びに弁体4を回転及び傾動させて全開状態から弁閉状態まで動作させることができる。
ここで、仮に、ステム支承部12(ステム中心軸P1)を駆動体回転軸P2と同心位置に設ける場合には、図2において、ステム中心軸P1の位置に対応して駆動軸回転軸P2を一致させるために駆動体5を右側にずらすことになり、これによってボデー面間距離Lが偏心量Sの分だけより増加することになる。そのため、バルブ本体1が大型化し、大口径化を図る場合には一層の重量増加にもつながる。
また、傾斜部33の終点付近と、傾斜溝部36の始点付近とを一致させた場合には、ステム3の傾動により弁体4を弁座シール面11から離間させてスロー排気をおこなった後に、弁体4を回転させて所定流量に制御可能な状態で全開状態まで駆動できる。
この実施形態におけるバルブ本体50では、駆動体51の上部にバルブ開閉駆動用のエアピストン機構52が設けられる。
駆動体51をエアピストン、軸装部53をエアシリンダとし、これらをエアピストン機構52の部品として兼用していることで部品点数を削減できる。
2 ボデー
3 ステム
4 弁体
5 駆動体
6 ボールネジ駆動機構
11 弁座シール面
12 支承部
20 回転ガイドローラ
21 回転ローラ
23 傾動用カムローラ
31 傾動用カム溝
32 回転用カム溝
33 傾斜部
36 傾斜溝部
40 ボールネジナット
41 ボールネジ
43 電動駆動部
51 エアピストン(駆動体)
52 エアピストン機構
53 エアシリンダ
55、56 エア供給口
P1 (ステムの)回転軸
P2 (駆動体の)中心軸
S 偏心量
X ストローク
Claims (7)
- ボデーに支承部を介してステムが傾動及び回転自在に取付けられ、このステムの先端側に設けられた弁体でボデー内に形成された弁座シール面を開閉するバタフライバルブにおいて、前記ステムの支承部を挟んで前記弁体との反対側に弁体駆動用の略円筒状の駆動体が設けられ、この駆動体は、ステム傾動用の傾動用カム溝とステム回転用の回転用カム溝とを備え、前記傾動用カム溝には傾動用カムローラ、前記回転用カム溝には回転ガイドローラがそれぞれ係合されて前記ステムが傾動及び回転可能にこのステムの軸装方向に昇降動自在に取付けられ、前記ステムの支承部は、前記駆動体が昇降動するときの中心軸に対して前記弁座シール面との反対方向に偏心した位置に設けられていることを特徴とするバタフライバルブ。
- 前記駆動体の昇降動方向には、この駆動体の前記中心軸を中心とする前記回転用カム溝と、前記支承部により支承された前記ステムを傾動させる前記傾動用カム溝とが並列して形成され、前記ステムは、前記傾動用カム溝に前記傾動用カムローラが案内されることにより前記支承部から偏心した状態で傾動し、前記回転用カム溝に前記回転ガイドローラが案内されることにより前記駆動体とともに前記中心軸回りに回転可能な状態に取付けられた請求項1に記載のバタフライバルブ。
- 前記傾動用カム溝と前記回転用カム溝とが前記駆動体の昇降動方向に略同じストロークで形成され、前記傾動用カム溝の一部に形成された前記ステム傾動用の傾斜部の終点付近と、前記回転用カム溝の一部に形成された前記ステム回転用の傾斜溝部の始点付近とが、前記駆動体の昇降動方向で一致するか、又は一部が重なった状態に設けられた請求項2に記載のバタフライバルブ。
- 前記駆動体の外周側には、前記ボデー内周面を昇降動方向に転がって摩擦力を低減する回転ローラが設けられ、この回転ローラの外周面は、前記駆動体の外周面と略同じ円弧形状に形成されている請求項2又は3に記載のバタフライバルブ。
- 前記駆動体がエアで駆動するエアピストンにより設けられ、このエアピストンと、エアピストンの外周囲に設けられたエア供給口を有するエアシリンダとによるエアピストン機構が設けられ、前記エア供給口からのエアにより前記エアピストンを昇降動して前記ステムを傾動及び回転するようにした請求項1乃至4の何れか1項に記載のバタフライバルブ。
- ボデーに支承部を介してステムが傾動及び回転自在に取付けられ、このステムの先端側に設けられた弁体でボデー内に形成された弁座シール面を開閉するバタフライバルブにおいて、前記ステムの支承部を挟んで前記弁体との反対側に弁体駆動用の略円筒状の駆動体が設けられ、この駆動体は、ステム傾動用の傾動用カム溝とステム回転用の回転用カム溝とを備え、前記傾動用カム溝には傾動用カムローラ、前記回転用カム溝には回転ガイドローラがそれぞれ係合されて前記ステムが傾動及び回転可能にこのステムの軸装方向に昇降動自在に取付けられると共に、前記駆動体の上部にボールネジ駆動機構が取り付けられ、このボールネジ駆動機構は、前記駆動体の上部に同軸に固定されるボールネジナットと、このボールネジナットに螺合された状態で電動駆動部により回転駆動されるボールネジとからなり、前記ボールネジ駆動機構を介して前記駆動体を昇降動して前記ステムを傾動及び回転するようにしたことを特徴とするバタフライバルブ。
- 前記ステムの支承部が、前記駆動体が昇降動するときの中心軸に対して前記弁座シール面との反対方向に偏心した位置に設けられた請求項6に記載のバタフライバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019195330A JP7352438B2 (ja) | 2019-10-28 | 2019-10-28 | バタフライバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019195330A JP7352438B2 (ja) | 2019-10-28 | 2019-10-28 | バタフライバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021067352A true JP2021067352A (ja) | 2021-04-30 |
JP7352438B2 JP7352438B2 (ja) | 2023-09-28 |
Family
ID=75636922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019195330A Active JP7352438B2 (ja) | 2019-10-28 | 2019-10-28 | バタフライバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7352438B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113566012A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-10-29 | 品孚罗特过滤设备(北京)有限公司 | 快速开关脉冲阀气动执行器结构 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59212579A (ja) * | 1984-04-24 | 1984-12-01 | Fujikin:Kk | 制御弁 |
JPS6138359U (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-10 | 大阪機器製造株式会社 | 弁の開閉駆動機構 |
JP4271905B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2009-06-03 | バット ホールディング アーゲー | バタフライ・バルブ |
-
2019
- 2019-10-28 JP JP2019195330A patent/JP7352438B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59212579A (ja) * | 1984-04-24 | 1984-12-01 | Fujikin:Kk | 制御弁 |
JPS6138359U (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-10 | 大阪機器製造株式会社 | 弁の開閉駆動機構 |
JP4271905B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2009-06-03 | バット ホールディング アーゲー | バタフライ・バルブ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113566012A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-10-29 | 品孚罗特过滤设备(北京)有限公司 | 快速开关脉冲阀气动执行器结构 |
CN113566012B (zh) * | 2021-07-29 | 2023-07-14 | 品孚罗特过滤设备(北京)有限公司 | 快速开关脉冲阀气动执行器结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7352438B2 (ja) | 2023-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3889277B2 (ja) | 真空バルブ | |
JP4271905B2 (ja) | バタフライ・バルブ | |
KR101425948B1 (ko) | 두 개의 드라이브를 구비한 셔틀 밸브 | |
JP2001173805A (ja) | ゲートバルブ | |
US20040124392A1 (en) | Pendulum valve assembly | |
US10364901B2 (en) | Vacuum gate valve | |
KR20100015597A (ko) | 플레이트 회전 장치, 배기로 개폐도 변경 장치, 피배기 장치, 반송 장치, 비임 장치, 및 게이트 밸브 | |
JPH028153B2 (ja) | ||
EP0357782B1 (en) | Control apparatus for variable-capacity compressors | |
JP2021067352A (ja) | バタフライバルブ | |
CN104074712B (zh) | 可变排量型斜盘式压缩机 | |
KR101655129B1 (ko) | 배기가스 재순환밸브 | |
LU92837B1 (en) | Sealing valve arrangement for a shaft furnace charging installation | |
US4990063A (en) | Control cylinder device in variable displacement compressor | |
JPH08200521A (ja) | ゲートバルブ装置 | |
TWI743783B (zh) | 閘閥 | |
JP2001041330A (ja) | ゲートバルブ | |
JPS6338770A (ja) | バタフライバルブ | |
JP2593763Y2 (ja) | 複合移動形高真空バルブ | |
CN118257901A (zh) | 电动阀 | |
JP2024505684A (ja) | 弁、特に真空弁 | |
JP2019148294A (ja) | 開度調整バルブ | |
JPS58221077A (ja) | 操作用アクチユエ−タ付きプラグ弁 | |
KR20160103432A (ko) | 배기가스 재순환밸브 | |
JPH045479A (ja) | 可変容量斜板式圧縮機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221004 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230828 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230905 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230915 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7352438 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |