JP3771041B2 - 真空ゲート弁 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、隣接する真空容器同士の連通部を開閉して両真空容器間を連通状態又は連通遮断状態に切り換えるための真空ゲート弁に関する技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、この種の真空ゲート弁として、例えば実開昭６４―７７０号公報等に示されるものが知られている。このものでは、隣接する１対の真空容器に連通する弁箱内に弁板支持体を、その背面に軸支したガイドローラで案内しながら昇降可能に配置し、この弁板支持体の一方の真空容器側の側面に、弁箱と一方の真空容器との間の連通部を開閉する弁板を平行リンク機構を介して接離可能に支持し、弁箱内の下部に、弁板支持体の下降時に弁板に当接して弁板を支持体に対し閉じ方向に相対移動させるストッパを設け、弁箱上壁外面に、該上壁を上下方向に気密状に貫通するピストンロッドを有するシリンダを取り付けて、そのピストンロッドの下端部を弁箱内の弁板支持部に連結し、シリンダの伸縮作動により弁板支持体を弁箱内で昇降移動させて弁板を開閉させ、シリンダの収縮作動により弁板支持体を上昇させたときには、その弁板支持体と共に弁板を上昇させて弁箱の真空容器との連通部を開き、両真空容器同士を連通させる一方、シリンダの伸長動作により弁板支持体を下降させたときには、その途中で、弁板支持体と共に下降する弁板をストッパに当接させて平行リンク機構により弁板支持体から離隔させ、この離隔により弁板を弁箱と真空容器との連通部の周りに押し付けて両真空容器同士の連通を遮断するようになされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のように、弁板支持体と弁板とが対のリンクからなる平行リンク機構を介して連結されていると、各リンクが弁板及び弁板支持体間に位置して両者により外部から遮られることとなる。このため、平行リンク機構をその動きが正常になるように調整するために、例えば各リンクの端部を軸支している取付部がそれぞれねじ部材により弁板及び弁板支持体に取付固定されている取付構造において、その各取付部のねじ部材を一旦少し弛め、平行リンク機構を作動させてリンク間の動きを調整した後に各取付部のねじ部材を増し締めしようとしても、上記弁板や弁板支持体が邪魔になって取付部のねじを弛めたり締めたりすることが難しい。特に、真空容器との連通部を開閉するための弁板にはリンク取付部用の貫通状の開口を開けられないことから、その弁板の背面側（弁板支持体側）からでしかリンク取付部のねじ部材を操作することができず、その作業は極めて困難であった。
【０００４】
また、各リンクやリンク軸の点検や摩耗等による交換のためにリンクを取り外す場合、各リンクと弁板支持体との連結を解除して弁板支持体を弁板から分離した状態でないと、その各リンクを弁板から取り外すことができない。従って、弁板及び弁板支持体を弁箱外に取り出して分離する必要があり、その手間が面倒となる。
【０００５】
本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、上記平行リンク機構における各リンクの取付構造を変更することで、弁板及び弁板支持体を弁箱内に配置したままで容易に、平行リンク機構の取付部の調整や交換等を行い得るようにすることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的の達成のため、この発明では、平行リンク機構の各リンクを弁板支持体に軸支するための取付部に工具挿通孔を貫通形成し、この工具挿通孔を経て、各リンクを弁板に軸支するための取付部のねじを調整操作するようにした。
【０００７】
具体的には、請求項１の発明では、隣接する第１及び第２真空容器間に各真空容器と連通口を介して連通する弁箱が配設され、この弁箱内に、両真空容器の配列方向と略直交する方向に移動可能な弁板支持体と、この弁板支持体の真空容器側の側面に、対なるリンクを有する平行リンク機構を介して接離可能に支持され、弁箱の連通口を開閉可能な弁板と、弁板支持体の閉弁移動時に弁板に当接して弁板を弁板支持体から離隔する方向に相対移動させるストッパとが設けられ、弁板支持体の移動により弁板を弁板支持体から接離させ、該弁板により弁箱の連通口を開閉して両真空容器同士を連通又は連通遮断させるようにした真空ゲート弁が前提である。
【０００８】
そして、上記弁板支持体に、弁板支持体を貫通する開口部を形成する。また、上記弁板の弁板支持体側の側面にねじ部材により取付固定され、各リンクの弁板側端部を軸支する弁板側受け部材と、弁板支持体の開口部周りに、弁板支持体の弁板と反対側から操作されるねじ部材により取付固定され、各リンクの弁板支持体側端部を軸支する支持体側受け部材とを設け、上記支持体側受け部材に、弁板側受け部材固定用のねじ部材を弁板支持体の弁板と反対側から螺合操作するための工具挿通孔を貫通形成する。
【０００９】
上記の構成によると、平行リンク機構を調整するときには、各リンク毎に、支持体側受け部材を弁板支持体の開口部周りに取付固定しているねじ部材、及び弁板側受け部材を弁板に取付固定しているねじ部材をそれぞれ少し弛め、その状態で平行リンク機構を作動させてリンク間の動きを調整した後に、上記各ねじ部材を増し締めする。そして、上記前者の支持体側受け部材固定用のねじ部材を弛めたり増し締めしたりする際には、そのねじ部材を弁板支持体の弁板と反対側から操作する一方、後者の弁板側受け部材固定用のねじ部材を弛め又は増し締めする際には、支持体側受け部材に形成されている工具挿通孔に弁板支持体の弁板と反対側から工具を挿通して、その工具によりねじ部材を操作すればよい。従って、弁板及び弁板支持体同士が平行リンク機構の各リンクにより一体的に連結されていても、そのままの状態で平行リンク機構を調整することができ、その調整を極めて容易に行うことができる。
【００１０】
請求項２の発明では、上記支持体側受け部材は弁板支持体の弁板と反対側の側面の開口部周りにねじ部材により取付固定されているものとする。また、弁板側受け部材は、リンクを軸支した状態で上記弁板支持体の開口部を挿通可能とされている構成とする。
【００１１】
こうすると、平行リンク機構の点検や交換等を行うためにリンクを取り外すときには、支持体側受け部材については、ねじ部材を弛めることで開口部周りの弁板支持体から弁板と反対側に取り外される。一方、弁板側受け部材についても、そのねじ部材を上記支持体側受け部材の工具挿通孔を挿通した工具により弛めることで弁板の弁板支持体側の側面から取り外される。この弁板側受け部材は、リンクを軸支した状態で上記弁板支持体の開口部を挿通可能であるので、その後、リンクを弁板側受け部材及び支持体側受け部材に軸支したままでそれらの一体物を弁板支持体の弁板と反対側に取り出すことができる。逆に、リンクを軸支した弁板側受け部材及び支持体側受け部材を取り付けるときには、それら一体物を上記とは逆の手順で取り付ければよい。従って、弁箱内で弁板及び弁板支持体を連結したままで平行リンク機構を容易に点検又は交換することができる。
【００１２】
請求項３の発明では、上記支持体側受け部材は、弁板支持体の弁板側の側面の開口部周りに配置されて各リンクの弁板支持体側端部を軸支する第１受け部材と、弁板支持体の弁板と反対側の側面の開口部周りに配置され、上記第１受け部材に弁板支持体を挟んでねじ部材により締結されて該第１受け部材を弁板支持体に固定する第２受け部材とを備えたものとする。
そして、上記弁板側受け部材及び第１受け部材は、リンクを軸支した状態で上記弁板支持体の開口部を挿通可能とする。
【００１３】
このことで、平行リンク機構の点検や交換等のためにリンクを取り外すときには、支持体側受け部材におけるねじ部材を弛めることで、弁板支持体の弁板側にある第１受け部材と、弁板支持体の弁板と反対側にある第２受け部材とが分離され、その第２受け部材は弁板支持体から弁板と反対側に取り外される。一方、弁板側受け部材についても、そのねじ部材を、支持体側受け部材（第１及び第２受け部材）の工具挿通孔を通る工具により弛めることで弁板の弁板支持体側の側面から取り外される。この弁板側受け部材と上記第１受け部材とはいずれも、両者間にリンクを軸支した状態で弁板支持体の開口部を挿通可能であるので、リンクを弁板側受け部材及び第１受け部材に軸支したままでそれらの一体物を弁板支持体の弁板と反対側に取り出すことができる。また、弁板側受け部材及び支持体側受け部材を取り付けるときには、それらにリンクを軸支したままで上記とは逆の手順により取り付ければよい。従って、この発明でも、弁箱内で平行リンク機構の点検や交換を行うことができる。
【００１４】
また、上記支持体側受け部材は、弁板支持体の弁板側の第１受け部材と、弁板支持体の弁板と反対側の側の第２受け部材とに分割され、第１受け部材にリンクの弁板支持体側端部が軸支されているので、ゲート弁の閉弁時に弁板からリンクを介して弁板支持体に伝達される力を直接弁板支持体で受けることとなり、ねじ部材は単に第１及び第２受け部材同士を連結するだけのものでよく、支持体側受け部材を安定して確実に弁板支持体に取付固定することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（実施形態１）
図１５〜図１７は本発明の実施形態１を示し、１は前側に位置する第１真空容器、２は第１真空容器１の後側に隣接する第２真空容器であって、各真空容器１，２はそれぞれ互いに対向配置された略矩形状の開口３，４を有する。この両真空容器１，２間には両真空容器１，２の内部空間（真空空間）同士を連通又は連通遮断するための真空ゲート弁５が配設されている。この真空ゲート弁５は、両真空容器１，２間に気密状に挟まれた薄厚矩形状の弁箱６を備え、この弁箱６の前壁（図１６及び図１７で左側壁）の下部には上記第１真空容器１の開口３に対応する前側連通口７が、また後壁（図１６及び図１７で右側壁）の下部には第２真空容器２の開口４に対応する後側連通口８がそれぞれ開口されており、この連通口７，８を介して弁箱６内の真空空間が各真空容器１，２と連通している。
【００１６】
上記弁箱６内の上部には、左右方向に所定間隔離れた位置を前後方向（図１６及び図１７で左右方向）に互いに平行に延びる左右１対の支持軸１１，１１がそれぞれ弁箱６の前後壁に形成した軸孔６ａ，６ａを貫通して回転可能に支持されている。つまり、この弁箱６前後壁の軸孔６ａ，６ａにはそれぞれ軸受１０，１０が気密シールされて嵌合固定され、この両軸受１０，１０には各支持軸１１が軸受１０，１０にそれぞれ内挿したシール部材（図示せず）を介して回転可能にかつ気密状にシールされて挿通されている。
【００１７】
上記左右の支持軸１１，１１において弁箱６内に位置する中間部にはそれぞれ前後方向に２股状に分かれた左右アーム１２，１２の基端部が回転一体に取付固定され、この両アーム１２，１２の各先端部にはアーム１２と略同じ長さの板状の左右内側リンク１３，１３の各一端部（上端部）がそれぞれ前後方向の軸１４，１４により揺動可能に支持されている。この内側リンク１３，１３の各他端部（下端部）は、上記弁箱６下部の連通口７，８よりも若干大きくかつ弁箱６内の後側（第２真空容器２側）にオフセット配置した弁板支持体１５上端に対し、その左右方向に離れた位置にある前後方向に２股状に分かれた取付部２０，２０にてそれぞれ前後方向の軸１７，１７により揺動可能に連結されている。つまり、弁板支持体１５は、左右の両アーム１２，１２の先端部にそれぞれ内側リンク１３，１３を介して吊り下げられていて、左右の両支持軸１１，１１が互いに逆方向に同期して回転することで弁箱６内を昇降し、左側（図１５で左側）の支持軸１１が図１５で時計回り方向に、また右側支持軸１１が図１５で反時計回り方向にそれぞれ同期回転したときに上昇するようになっている。
【００１８】
上記弁板支持体１５を弁箱６内で昇降案内する複数種類のガイドローラ１８，１９が設けられている。すなわち、図１３及び図１４に示すように、弁板支持体１５の左右側部の上下端部にはそれぞれ弁箱６の前後壁内面間の間隔よりも若干小さい外径を有しかつ弁箱６の連通孔７，８の左右両側の前後壁内面上を転動するガイドローラ１８，１８，…（１つのみ図示する）が左右方向の回転軸心をもって回転可能に支持されている。また、上記弁板支持体１５の第２真空容器２側（図１６及び図１７で右側）である後側面の左右中央の上下端部にはそれぞれ弁箱６の後壁内面上を転動可能な複数のガイドローラ１９，１９，…が左右方向に並んだ状態で水平軸心をもって軸支されている。さらに、図示しないが、弁板支持体１５の左右側部の上下中間部にはそれぞれ弁箱６の左右側壁内面上を転動するガイドローラが前後方向の回転軸心をもって回転可能に支持されており、これらガイドローラ１８，１９により弁板支持体１５が弁箱６内で前後方向及び左右方向に殆ど位置ずれすることなく昇降するようになっている。
【００１９】
一方、弁板支持体１５の前側面（図１６及び図１７で左側面）には弁板支持体１５と略同じ大きさ（弁箱６下部の前側連通口７よりも若干大）の弁板２１が平行リンク機構３６，３６，…を介して接離可能に支持されている。この弁板２１は、弁箱６と第１真空容器１との間の連通部つまり弁箱６の前側連通口７を開閉して第１及び第２真空容器１，２同士を連通又は連通遮断させるもので、その前側面外周部には弁箱６の前壁内面における連通口７周りに当接してシールする金属製等のシール部材２２が取付固定されている。
【００２０】
図１３及び図１４に示すように、上記弁板２１の前側面における左右側部下端にはそれぞれ弁板前ローラ２４，２４，…（１つのみ図示する）が左右方向の軸心をもって回転可能に支承されている。また、弁箱６の前壁内面における左右側部の下端には、弁板２１が弁箱６の前側連通口７を閉じた閉弁状態にあるときの上記各弁板前ローラ２４に対応して有底の凹部６ｂが形成されており、弁板２１が前側連通口７を開いた状態では、弁板前ローラ２４は前側連通口７の左右両側の前壁内面上を転動するが、閉じた状態では、弁板前ローラ２４が弁箱６の凹部６ｂ内にその底面から浮いた状態で落ち込むようになっている。
【００２１】
さらに、上記弁箱６内の下部には上記各弁板前ローラ２４の真下位置にそれぞれストッパ２５，２５が左右方向に並んだ状態で取り付けられている。この各ストッパ２５はブロック状のもので、弁板支持体１５が下降端位置近傍まで下降したときに弁板前ローラ２４に当接して弁板２１の下降移動を停止させ、その後の弁板支持体１５の下降移動に伴い、弁板２１を平行リンク機構３６，３６，…によって弁板支持体１５から離隔する前方向つまり閉じ方向に相対移動させるように案内する。
【００２２】
上記各支持軸１１の前端部は弁箱６の前壁外面よりも前側（弁箱６外）に延び、その前端部には、前側（支持軸１１の軸方向）から見て弁箱６の左右中央側に上記アーム１２と直角となるように延びる板状のレバー２７が基端部にて回転一体に取付固定されている。このレバー２７の先端部にはレバー２７と略同じ長さの１対の平行な板材からなる外側リンク２８の一端部が前後方向の軸２９により揺動可能に支持されている。また、弁箱６よりも前側の左右中央部には上下方向の軸線を有するリニアアクチュエータとしてのシリンダ３１が配置固定されている。このシリンダ３１は、シリンダボディから上方に突出して直線運動をするピストンロッド３１ａを有し、このピストンロッド３１ａの上端部には左右方向に延びる板状の連結部３２が中央にて移動一体に取付固定され、この連結部３２の両端部にそれぞれ上記外側リンク２８，２８の他端部が前後方向の軸２９により揺動可能に連結されている。すなわち、シリンダ３１のピストンロッド３１ａは各レバー２７の先端部に外側リンク２８を介して連結されており、シリンダ３１の伸縮作動によりピストンロッド３１ａを昇降させて両支持軸１１，１１を同期して逆方向に回転させることにより、弁板支持体１５及び弁板２１を昇降させ、シリンダ３１を収縮作動させたときには、左側支持軸１１を図１５で時計回り方向に、また右側支持軸１１を図１５で反時計回り方向にそれぞれ回転させて弁板支持体１５及び弁板２１を上昇させ、ゲート弁５を開弁状態とする一方、シリンダ３１を伸長作動させたときには、左側支持軸１１を図１５で反時計回り方向に、また右側支持軸１１を図１５で時計回り方向にそれぞれ回転させて弁板支持体１５及び弁板２１を下降させ、ゲート弁５を閉弁状態とするようにしている。
【００２３】
そして、上記アーム１２とレバー２７とは、各支持軸１１の軸方向から見て直交方向に延びていて、弁板支持体１５が上昇端位置近傍にあるときにアーム１２が略水平状態になる一方、弁板支持体１５が下降端位置近傍にあるときにレバー２７が略水平状態になるように配置されている。
【００２４】
本発明の特徴は、上記弁板支持体１５に対し弁板２１を接離可能に支持する平行リンク機構３６，３６，…の各々のリンク取付構造にある。すなわち、弁板支持体１５の上下中間部には、弁板支持体１５を前後方向に貫通しかつ上下１対を１組とした例えば４組の開口部１６，１６，…がそれぞれ左右方向に並んだ状態で形成され、この各開口部１６内でリンク３７の後端部（弁板支持体１５側の端部）が弁板支持体１５の移動方向と直交する水平左右方向の軸心回りに揺動可能に軸支されている。また、弁板２１の後側面には上記弁板支持体１５の各開口部１６に略対応して凹部２３が形成され、この各凹部２３内で上記各リンク３７の前端部（弁板２１側の端部）が水平左右方向の軸心回りに揺動可能に軸支されている。そして、上記上下に対応する１対のリンク３７，３７で平行リンク機構３６，３６，…が構成されており、この平行リンク機構３６を介して弁板２１が弁板支持体１５の前側面（第１の真空容器１側の側面）に接離可能に支持されている。
【００２５】
具体的には、図１及び図３に拡大詳示するように、上記弁板２１の後側面（弁板支持体１５側の側面）の各凹部２３には、各リンク３７の前端部を軸支する弁板側受け部材４３がねじ部材としてのボルト４４，４４，…により取付固定されている。この弁板側受け部材４３は、図４〜図６に示すように、弁板２１の凹部２３内に嵌合される断面矩形状の本体４３ａと、この本体４３ａの後端部（図５で右端部）に左右方向に延びるように一体に形成され、弁板２１後側面の凹部２３周りに当接する左右フランジ４３ｂ，４３ｂとからなる。各フランジ４３ｂにはそれぞれ上下１対のボルト挿通孔４３ｃ，４３ｃが貫通形成されており、図１及び図３に示す如く、この各ボルト挿通孔４３ｃに挿通した例えば六角穴付ボルト等のボルト４４を弁板２１後側面のねじ穴からなるボルト穴２１ａに螺合することで、弁板側受け部材４３を弁板２１の後側面に取付固定している。上記本体４３ａないし各フランジ４３ｂには前後方向に貫通する断面矩形状のリンク収容部４３ｄが形成され、このリンク収容部４３ｄの上側の側面は後側に向かって上側に所定角度で傾斜する傾斜面とされている。リンク収容部４３ｄの左右側壁に相当する本体４３ａには左右方向の軸孔４３ｅ，４３ｅが貫通形成されており、この軸孔４３ｅ，４３ｅ及びリンク３７の前端部に形成した軸孔３８（図１参照）にリンク軸４０を挿通させることにより、リンク３７の前端部が弁板側受け部材４３により鉛直面内で回動可能に軸支されている。
【００２６】
これに対し、上記弁板支持体１５の開口部１６周囲面のうち上下側面にはそれぞれ弁板支持体１５の厚さ方向中央部に左右方向に延びる突起部１６ａ，１６ｂが上下に対向して形成されている。また、この上側の突起部１６ａよりも前側の開口部１６上側面は後側の上側面よりも高くなっている。
【００２７】
上記弁板支持体１５の開口部１６周りには、各リンク３７の後端部を軸支する支持体側受け部材４６が弁板支持体１５の後側つまり弁板２１と反対側から操作されるボルト４９，４９，…（ねじ部材）により取付固定されている。すなわち、この支持体側受け部材４６は、弁板支持体１５の前側面（弁板２１側の側面）の開口部１６周りに配置されてリンク３７の後端部を軸支する第１受け部材４７と、弁板支持体１５の後側面（弁板２１と反対側の側面）の開口部１６周りに配置された第２受け部材４８とからなる。第１受け部材４７は、図７〜図９に示すように、弁板支持体１５の開口部１６内の上下突起部１６ａ，１６ｂ間にスペースを空けて遊嵌合される断面矩形状の本体４７ａと、この本体４７ａの前端部（図８で左端部）に上下及び左右方向に延びるように一体に形成され、上記開口部１６内の上下突起部１６ａ，１６ｂ前面に当接するフランジ４７ｂとからなり、フランジ４７ｂの隅角部にはねじ孔からなる４つのボルト孔４７ｃ，４７ｃ，…が貫通形成されている。上記本体４７ａないしフランジ４７ｂには前後方向に貫通する断面矩形状のリンク収容部４７ｄが形成され、このリンク収容部４７ｄの下側の側面は前側に向かって下側に所定角度で傾斜する傾斜面とされている。リンク収容部４７ｄの左右側壁に相当する本体４７ａには左右方向の軸孔４７ｅ，４７ｅが貫通形成されており、この軸孔４７ｅ及びリンク３７の後端部に形成した軸孔３９にリンク軸４１（図１参照）を挿通させることにより、リンク３７の後端部が第１受け部材４７により鉛直面内で回動可能に軸支されている。
【００２８】
一方、第２受け部材４８は、図１０及び図１１に示すように、弁板支持体１５の開口部１６内の上下突起部１６ａ，１６ｂ間に嵌合される断面矩形状の本体４８ａと、この本体４８ａの後端部（図１１で右端部）に上下方向に延びるように一体に形成され、上記開口部１６内の上下突起部１６ａ，１６ｂ後面に当接するフランジ４８ｂ，４８ｂとからなる。上記本体４８ａないしフランジ４８ｂには前後方向に貫通する受け部材嵌合部４８ｃが形成されており、この受け部材嵌合部４８ｃに上記第１受け部材４７の本体４７ａを密着状態に嵌合するようにしている。また、フランジ４８ｂないし本体４８ａの隅角部には４つのボルト挿通孔４８ｄ，４８ｄ，…が上記第１受け部材４７のボルト孔４７ｃ，４７ｃ，…に対応して貫通形成されており、図１に示す如く、この各ボルト挿通孔４８ｄに挿通した六角穴付等のボルト４９を第１受け部材４７の対応するボルト孔４７ｃに螺合することで、第１及び第２受け部材４７，４８同士を両者間に弁板支持体１５（開口部１６の上下突起部１６ａ，１６ｂ）を挟んで締結し、第１受け部材４７を弁板支持体１５に取付固定するようにしている。
【００２９】
また、上記支持体側受け部材４６を構成する第１受け部材４７には、上記弁板側受け部材４３固定用の各ボルト４４を弁板支持体１５の後側（弁板２１と反対側）から螺合操作する六角棒スパナ等の工具（図示せず）を挿通するための工具挿通孔４７ｆ，４７ｆ，…が、また第２受け部材４８には同様の工具挿通孔４８ｅ，４８ｅ，…がそれぞれ前後に対応して貫通形成されている。第１受け部材４７の各工具挿通孔４７ｆは上記ボルト４４のヘッド部を挿通可能な内径を有する一方、第２受け部材４８の各工具挿通孔４８ｅはボルト４４の本体部のみを挿通可能な内径（尚、ボルト４４のヘッド部を挿通可能な内径でもよい）を有する。
【００３０】
そして、上記弁板側受け部材４３は、上記弁板支持体１５の開口部１６よりも小さくて傾動等のない取付状態のままの姿勢で開口部１６を挿通可能とされている。また、第１受け部材４７は、弁板支持体１５の開口部１６と略同じ大きさで、取付状態のままの姿勢では弁板支持体１５の開口部１６を挿通不能であるが、図１２に示す如くリンク軸４０，４１回りに前傾した姿勢では開口部１６を挿通可能とされている。すなわち、弁板側受け部材４３及び第１受け部材４７は、両者間にリンク３７を軸支した状態で上記弁板支持体１５の開口部１６を挿通可能とされている。
【００３１】
尚、図１中、５１は弁板２１の後側面と弁板支持体１５との間に伸装された引張ばねで、弁板２１を弁板支持体１５に接近する後側に付勢してその踊り（揺れや振れ）を防止するためのものである。
【００３２】
次に、上記実施形態の作動について説明する。
図１５で実線及び図１７に示す閉弁状態にある真空ゲート弁５を開くときには、シリンダ３１の収縮作動によりピストンロッド３１ａを下降移動させる。このことで、ピストンロッド３１ａ上端の連結部３２に外側リンク２８，２８及びレバー２７，２７を介して連結されている両支持軸１１，１１が同期して互いに逆方向に回転し、左側支持軸１１は図１５で時計回り方向に、また右側支持軸１１は同反時計回り方向にそれぞれ回転する。この支持軸１１，１１の回転駆動により該支持軸１１，１１と一体のアーム１２，１２も回動し、その先端に内側リンク１３，１３を介して連結されている弁板支持体１５が弁箱６内を上昇する。この弁板支持体１５の上昇により、弁箱６と第１真空容器１との間の連通部つまり前側連通口７を気密状に閉じていた弁板２１が平行リンク機構３６，３６，…により引き上げられて、その前側連通口７が開かれる。
【００３３】
その際、上記弁板２１が前側連通口７を閉じている状態では、その弁板２１前側面の左右側部下端に軸支されている各弁板前ローラ２４は、弁箱６前壁内面の左右側部下端の凹部６ｂ内にその底面から浮いた状態で落ち込んでおり、弁板２１が平行リンク機構３６，３６，…により引き上げられると、上記各弁板前ローラ２４が凹部６ｂの開口上端縁を越えながら弁箱６の前壁内面に乗り上げる。この弁板前ローラ２４の凹部６ｂ内から弁箱６の前壁内面への乗上げに伴い、弁板前ローラ２４が弁板２１を弁箱６の前壁内面から離す後方向に押すことになる。このことで、ゲート弁５の閉弁時に、たとえ弁板２１の前側面外周部のシール部材２２が弁箱６の前壁内面における連通口７周りにロック状態となって食い付いていたとしても、弁板２１を弁板支持体１５側に常時引き寄せている引張ばね５１の付勢効果と相俟って、弁板２１を弁箱６の前壁内面から確実に離して開くことができる。
【００３４】
そして、上記シリンダ３１の収縮ストロークエンド近傍で、図１５で仮想線及び図１６に示すように弁板支持体１５により弁板２１が下端部を弁箱６の連通口７，８の上端位置に略一致させるように移動して、両真空容器１，２の内部空間同士が弁箱６内を介して連通状態となる。
【００３５】
これに対し、上記開弁状態から逆にゲート弁５を閉じるときには、シリンダ３１の伸長作動によりピストンロッド３１ａを上昇させる。このことで、両支持軸１１，１１が同期して互いに逆方向に回転し、左側支持軸１１は図１５で反時計回り方向に、また右側支持軸１１は時計回り方向にそれぞれ回転する。この支持軸１１，１１の回転駆動により該支持軸１１，１１と一体のアーム１２，１２も回動して、その先端に内側リンク１３，１３を介して連結されている弁板支持体１５が弁板２１と共に弁箱６内を下降する。そして、弁板支持体１５の下降端位置近傍で弁板２１下端の上記各弁板前ローラ２４がストッパ２５に当接すると、弁板２１のそれ以上の下降移動が停止され、弁板支持体１５のさらなる下降移動により弁板２１が今度は平行リンク機構３６，３６，…における各リンク３７の立上がり動作により弁板支持体１５から離隔するように前側に移動案内される。図１５で実線及び図１７に示すように、上記シリンダ３１の伸長ストロークエンド近傍で弁板支持体１５が下降端位置に達すると、弁板２１はガイドローラ１８，１９により後側面を移動規制されている弁板支持体１５によりリンク３７，３７，…を介して前側に押されて弁箱６と第１真空容器１との間の連通部つまり弁箱６の前側連通口７の周りに気密シール状態で押し付けられ、両真空容器１，２の内部空間同士の連通が弁板２１によって遮断される。尚、この状態では、上記各弁板前ローラ２４が弁箱６の前壁内面の凹部６ｂ内に落ち込む。
【００３６】
そして、この実施形態においては、上記弁板支持体１５と弁板２１とを連結している平行リンク機構３６，３６，…を調整する場合、その調整を以下の手順で行うことができる。まず、平行リンク機構３６，３６，…の各リンク３７毎に、その支持体側受け部材４６においてリンク３７後端部を軸支している第１受け部材４７と、この第１受け部材４７に弁板支持体１５を挟んで配置されている第２受け部材４８とを締結している４つのボルト４９，４９，…、及び、弁板側受け部材４３を弁板２１の後側面に取付固定している４つのボルト４４，４４，…をそれぞれ少し弛める。その状態で、弁板２１が弁板支持体１５に対し接離するように各リンク機構３６を作動させてリンク３７，３７，…間の動きを調整し、この調整後に、上記各ボルト４４，４９を増し締めすればよい。このようなリンク機構３６の調整により、例えば各リンク３７の揺動に伴うリンク軸４０，４１との間のこじりによる異音等を調整によってなくすことができる。
【００３７】
そのとき、上記第１及び第２受け部材４７，４８同士を連結固定している各ボルト４９を弛めたり増し締めしたりする際には、その各ボルト４９を弁板支持体１５の後側（弁板２１と反対側）から工具により操作する。一方、弁板側受け部材４３を締結固定している各ボルト４４を弛めかつ増し締めする際には、上記第１及び第２受け部材４７，４８にそれぞれ上記弁板側受け部材４３固定用の各ボルト４４の位置に対応して工具挿通孔４７ｆ，４８ｅが貫通形成されているので、この各工具挿通孔４７ｆ，４８ｅに弁板支持体１５の後側（弁板２１と反対側）から工具を挿通して、その工具により上記各ボルト４４を回し操作すればよい。従って、弁箱６内で弁板２１及び弁板支持体１５同士が平行リンク機構３６，３６，…の各リンク３７により一体的に連結されていても、そのままの状態で上記各平行リンク機構３６を調整することができ、その調整が容易となる。
【００３８】
また、各平行リンク機構３６の点検や交換等を行うために各リンク３７を取り外す場合の手順は次のとおりである。すなわち、図１に示すように、弁板２１の後側面を弁板支持体１５の前側面に当接させた位置規制状態で、上記平行リンク機構３６の調整時と同様にして、第１及び第２受け部材４７，４８の各工具挿通孔４７ｆ，４８ｅに弁板支持体１５の後側（弁板２１と反対側）から工具を挿通し、その工具により弁板側受け部材４３固定用の各ボルト４４を回し操作して弛め、弁板側受け部材４３を弁板２１の後側面から取り外す。次いで、第１及び第２受け部材４７，４８同士を連結固定している各ボルト４９を弁板支持体１５の後側（弁板２１と反対側）から工具により操作して弛め、第２受け部材４８を第１受け部材４７から取り外す。このことで第１受け部材４７は弁板支持体１５への取付固定が外れたフリー状態になる。しかる後、図１２（ａ）に示すように、上記第１受け部材４７の後面上部を前側に押すと、この受け部材４７がリンク３７後端部のリンク軸４１を中心として前回りに回動するとともに、このリンク３７自体も弁板側受け部材４３におけるリンク収容部４３ｄの上側の側面に当接するまで前側のリンク軸４０回りに前回りに回動し、このリンク３７が上記リンク収容部４３ｄの上側の側面に当接した状態では第１受け部材４７のフランジ４７ｂ下端部が弁板支持体１５における開口部１６の下側突起部１６ｂを越えて後側に移動可能となる。この後、図１２（ｂ）に示す如く、上記第１受け部材４７を弁板支持体１５の開口部１６を通って後側に引き出せばよい。また、この第１受け部材４７にリンク３７により連結されている弁板側受け部材４３の大きさは上記開口部１６よりも小さいので、上記第１受け部材４７の引出しに伴って弁板側受け部材４３も弁板支持体１５の開口部１６を通って後側に引き出される。つまり、リンク３７に弁板側受け部材４３及び第１受け部材４７を軸支したままでそれらの一体物を弁板２１及び弁板支持体１５から取り外すことができる。
【００３９】
また逆に、点検や交換の後に各リンク３７、弁板側受け部材４３、第１及び第２受け部材４７，４８を取り付けるときには、それらを上記取外し時とは逆の手順で取り付ければよい。従って、弁箱６内で弁板２１及び弁板支持体１５を連結したままで平行リンク機構３６を容易に点検又は交換することができる。
【００４０】
また、この実施形態では、上記支持体側受け部材４６は、弁板支持体１５の前側に配置されてリンク３７の後端部を軸支する第１受け部材４７と、後側に配置される第２受け部材４８とに分割され、上記第１受け部材４７のフランジ４７ｂが弁板支持体１５の開口部１６における上下の突起部１６ａ，１６ｂに当接するので、ボルト４９，４９，…は単に第１及び第２受け部材４７，４８同士を連結するだけの機能があればよく、ゲート弁５の閉弁時に弁板２１から各リンク３７を介して伝達される力を直接に弁板支持体１５で受けることができ、支持体側受け部材４６を安定して確実に弁板支持体１５に取付固定することができる。
【００４１】
（実施形態２）
図１８及び図１９は本発明の実施形態２を示し（尚、図１〜図３、図１５〜図１７と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する）、上記実施形態１では、支持体側受け部材４６を第１及び第２の２つの受け部材４７，４８に分割しているのに対し、１つとしたものである。
【００４２】
すなわち、この実施形態では、弁板支持体１５の開口部１６内には上記実施形態１の如き上下の突起部１６ａ，１６ｂはなく、弁板支持体１５の後側面において開口部１６の上下両側には凹陥状の段差部１５ａ，１５ａが形成されている。
【００４３】
また、支持体側受け部材４６′は、基本的に上記実施形態１の第１受け部材４７と略同様のもので、弁板支持体１５の開口部１６内に嵌合される断面矩形状の本体４６ａ′と、この本体４６ａ′の後端部（図１８で左端部）に上下方向に延びるように一体に形成され、上記開口部１６上下の段差部１５ａ，１５ａ内に嵌合される上下フランジ４６ｂ′，４６ｂ′とからなり、各フランジ４６ｂ′には左右方向に並んだ３つずつのボルト挿通孔４６ｃ′，４６ｃ′，…が貫通形成されており、この各ボルト挿通孔４６ｃ′を挿通してボルト４９を弁板支持体１５後側面のボルト穴１５ｂに螺合することで、支持体側受け部材４６′を弁板支持体１５の後側面（弁板２１と反対側の側面）の開口部１６周りに取付固定している。上記本体４６ａ′ないしフランジ４６ｂ′には前後方向に貫通するリンク収容部４６ｄ′が形成され、このリンク収容部４６ｄ′の下側の側面は前側に向かって下側に傾斜する傾斜面とされている。リンク収容部４６ｄ′の左右側壁の本体４６ａ′には左右方向の軸孔４６ｅ′，４６ｅ′が貫通形成されており、この軸孔４６ｅ′及びリンク３７後端部の軸孔３９にリンク軸４１を挿通させることで、リンク３７の後端部が支持体側受け部材４６′により鉛直面内で回動可能に軸支されている。また、支持体側受け部材４６′には、弁板側受け部材４３固定用の各ボルト４４のヘッド部を挿通可能な内径を有しかつ該各ボルト４４を弁板支持体１５の後側（弁板２１と反対側）から螺合操作するための工具挿通孔４６ｆ′，４６ｆ′，…が貫通形成されている。
【００４４】
その他の構成は上記実施形態１と同様である。また、弁板側受け部材４３は、弁板支持体１５の開口部１６よりも小さくて、リンク３７を軸支した状態で開口部１６を挿通可能とされている。
【００４５】
したがって、この実施形態においては、平行リンク機構３６の点検や交換等のためにリンク３７の着脱を行う場合、弁板支持体１５の後側から、支持体側受け部材４６′の工具挿通孔４６ｆ′，４６ｆ′，…を通して弁板側受け部材４３固定用のボルト４４，４４，…を回して該弁板側受け部材４３を弁板２１から取り外した後、ボルト４９，４９，…を回して上記支持体側受け部材４６′を弁板支持体１５から取り外し、これらの両受け部材４３，４６′をリンク３７による連結状態のまま後側に引き出せばよい。よって、この実施形態でも上記実施形態１と同様の作用効果が得られる。
【００４６】
尚、上記各実施形態では、リニアアクチュエータをシリンダ３１としているが、その他、直線運動をする出力部を有するものであればよく、また回転型のアクチュエータにより支持軸１１を直接に回転駆動するようにしてもよい。
【００４７】
また、上記各実施形態では、シリンダ３１から弁板支持体１５に至る駆動連絡系を２つとしているが、３つ以上又は１つに増減変更することもできる。
【００４８】
さらに、上記各実施形態では、弁板支持体１５及び弁板２１を上昇移動させて開弁し、下降移動させて閉弁するようにしているが、逆に弁板支持体１５及び弁板２１の下降移動により開弁し、上昇移動により閉弁するようにしてもよい。また、弁板支持体１５及び弁板２１の開閉動作の向きを必ずしも上下方向に限定する必要はない。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明した如く、請求項１の発明によると、隣接する１対の真空容器間に配設されて各真空容器に連通する弁箱内に、弁箱内面を移動する弁板支持体と、この弁板支持体に平行リンク機構を介して接離可能に支持され、弁箱の真空容器側の連通口を開閉する弁板とが設けられた真空ゲート弁に対し、上記平行リンク機構における各リンクの弁板側端部を軸支する弁板側受け部材を弁板の弁板支持体側の側面にねじ部材により取付固定する一方、リンクの弁板支持体側端部を軸支する支持体側受け部材を弁板支持体の開口部周りに、弁板支持体の弁板と反対側から操作されるねじ部材により取付固定し、この支持体側受け部材に、上記弁板側受け部材固定用のねじ部材を弁板支持体の弁板と反対側から螺合操作する貫通状の工具挿通孔を形成したことにより、弁箱内で、弁板及び弁板支持体同士が平行リンク機構により一体的に連結されたままの状態で平行リンク機構を調整でき、その調整の容易化を図ることができる。
【００５０】
請求項２の発明では、支持体側受け部材を弁板支持体の弁板と反対側の側面の開口部周りに取付固定し、弁板側受け部材は弁板支持体の開口部を挿通可能とした。また、請求項３の発明では、支持体側受け部材は、弁板支持体の弁板側の側面の開口部周りに配置されて各リンクの弁板支持体側端部を軸支する第１受け部材と、弁板支持体の弁板と反対側の側面の開口部周りに配置され、上記第１受け部材に弁板支持体を挟んでねじ部材により締結される第２受け部材とを備えたものとし、弁板側受け部材及び第１受け部材を弁板支持体の開口部を挿通可能とした。従って、これらの発明によると、弁箱内で弁板及び弁板支持体を連結したままで平行リンク機構の点検や交換を行って、その容易化を図ることができる。特に、請求項３の発明によると、閉弁時に弁板からリンクを介して弁板支持体に伝達される力を直接弁板支持体で受けて、支持体側受け部材の弁板支持体への取付固定の安定化及び確実化を図りながら、平行リンク機構の点検や交換の容易化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係る平行リンク機構を示す拡大側面断面図である。
【図２】平行リンク機構のリンク部分を後側から見た状態を示す拡大正面図である。
【図３】図１のIII−III線断面図である。
【図４】弁板側受け部材の正面図である。
【図５】弁板側受け部材の側面図である。
【図６】図４のVI−VI線断面図である。
【図７】第１受け部材の正面図である。
【図８】第１受け部材の側面図である。
【図９】図７のIX−IX線断面図である。
【図１０】第２受け部材の正面図である。
【図１１】第２受け部材の側面図である。
【図１２】リンクの着脱状態を示す断面図である。
【図１３】弁板前ローラ及びその周縁部分の拡大側面図である。
【図１４】弁板前ローラ及びその周縁部分の拡大正面図である。
【図１５】真空ゲート弁の要部を示す正面図である。
【図１６】真空ゲート弁の開弁状態を示す断面図である。
【図１７】真空ゲート弁の閉弁状態を示す断面図である。
【図１８】本発明の実施形態２を示す図１相当図である。
【図１９】実施形態２を示す図２相当図である。
【符号の説明】
１ 第１真空容器
２ 第２真空容器
５ 真空ゲート弁
６ 弁箱
７ 前側連通口
８ 後側連通口
１５ 弁板支持体
１６ 開口部
１６ａ，１６ｂ 突起部
２１ 弁板
２３ 凹部
２４ 弁板前ローラ
２５ ストッパ
３６ 平行リンク機構
３７ リンク
４３ 弁板側受け部材
４３ｃ ボルト挿通孔
４４ ボルト（ねじ部材）
４６，４６′ 支持体側受け部材
４６ｃ′ ボルト挿通孔
４６ｆ′ 工具挿通孔
４７ 第１受け部材
４７ｃ ボルト孔
４７ｆ 工具挿通孔
４８ 第２受け部材
４８ｄ ボルト挿通孔
４８ｅ 工具挿通孔
４９ ボルト（ねじ部材）

Claims (3)

1. 隣接する第１及び第２真空容器間に各真空容器と連通口を介して連通する弁箱が配設され、
   上記弁箱内に、両真空容器の配列方向と略直交する方向に移動可能な弁板支持体と、該弁板支持体の真空容器側の側面に、対なるリンクを有する平行リンク機構を介して接離可能に支持され、弁箱の連通口を開閉可能な弁板と、弁板支持体の閉弁移動時に弁板に当接して弁板を弁板支持体から離隔する方向に相対移動させるストッパとが設けられ、
   上記弁板支持体の移動により弁板を弁板支持体から接離させ、該弁板により弁箱の連通口を開閉して両真空容器同士を連通又は連通遮断させるようにした真空ゲート弁において、
   上記弁板支持体には弁板支持体を貫通する開口部が形成されており、
   上記弁板の弁板支持体側の側面にねじ部材により取付固定され、各リンクの弁板側端部を軸支する弁板側受け部材と、
   上記弁板支持体の開口部周りに、弁板支持体の弁板と反対側から操作されるねじ部材により取付固定され、各リンクの弁板支持体側端部を軸支する支持体側受け部材とを備え、
   上記支持体側受け部材に、上記弁板側受け部材固定用のねじ部材を弁板支持体の弁板と反対側から螺合操作するための工具挿通孔が貫通形成されていることを特徴とする真空ゲート弁。
2. 請求項１の真空ゲート弁において、
   支持体側受け部材は弁板支持体の弁板と反対側の側面の開口部周りにねじ部材により取付固定され、
   弁板側受け部材は、リンクを軸支した状態で上記弁板支持体の開口部を挿通可能とされていることを特徴とする真空ゲート弁。
3. 請求項１の真空ゲート弁において、
   支持体側受け部材は、弁板支持体の弁板側の側面の開口部周りに配置されて各リンクの弁板支持体側端部を軸支する第１受け部材と、
   弁板支持体の弁板と反対側の側面の開口部周りに配置され、上記第１受け部材に弁板支持体を挟んでねじ部材により締結されて該第１受け部材を弁板支持体に固定する第２受け部材とを備え、
   上記弁板側受け部材及び第１受け部材は、リンクを軸支した状態で上記弁板支持体の開口部を挿通可能とされていることを特徴とする真空ゲート弁。

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