CN100549477C - 闸阀 - Google Patents

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Abstract

将杆构件(30)固定到单一轴(15)上，保持支承在杆构件(30)上的滚轮(31)与凸轮构件(32)的凸轮槽(33)的配合状态，将支承凸轮构件(32)的凸轮支承构件(34)连接到三位置气缸(35)的活塞杆(36)上。在杆构件(30)与凸轮支承构件(34)之间加装弹簧(37)，在活塞杆(36)的第一(下端)位置，两个阀体(25)·(26)处于全开位置。通过从活塞杆(36)的第一位置向第二位置的转移，滚轮(31)从与凸轮槽(33)的上部位置配合变化为与中间位置的配合，借助这种变化，PC侧阀体将PC开口关闭。通过从活塞杆(36)的第二位置向第三(上端)位置的转移，滚轮(31)从与凸轮槽(33)的中间位置配合变化为与下部位置的配合，借助这种变化，TC侧阀体(25)将TC开口(13)关闭。

Description

闸阀
技术领域
本发明涉及配置在半导体制造装置等的真空室之间，例如处理室与传送室之间的闸阀。
背景技术
在专利文献1(美国专利第6,390,448号说明书)中，公开了在与闸阀的主体对向的壁上形成PC(处理室)开口与TC(传送室)开口、利用具有PC侧阀体与TC侧阀体的两面阀体，选择性地关闭PC开口和TC开口的闸阀。例如，可以一面关闭TC开口并使用真空的传送室，一面将处理室打开通向大气并进行处理室内部的修理。而且，在用TC侧阀体关闭TC侧的开口的状态下，可以更换PC侧阀体的密封件。此外，可以防止处理室内的碎片、污染物质等进入传送室。这样，在修理一方的真空室或一方的阀体的过程当中，在另一方的真空室内可以继续进行动作。
专利文献1的闸阀，通过使单一的轴在上部位置倾斜，双面阀体选择性地关闭PC开口和TC开口，使双面阀体位于左右两个开口的中间位置处，或者将单一轴移动到下部位置，将两个开口全部打开，可以使工件通过。为了进行这种动作，将单轴固定到双面阀体上，利用三个气缸使单一轴移动。但是，由于利用三个气缸，所以闸阀大型化并提高成本。此外，卸下主体的上侧的盖，可以清扫两个壁的密封面，但不能更换双面阀体的密封件。同时，为了清扫，在阀体与两个壁之间设置间隔，利用铰链销连接阀体，阀体之间的间隔大，所以加大阀主体的前后宽度。
发明内容
本发明，在具有TC侧阀体PC侧阀体的闸阀中，利用1台三位置化的气缸来操作单一轴，选择性地或者将PC开口和TC开口关闭、或者将PC开口和TC开口全部打开可以使物体通过，作为第一个课题，并且，在选择性地关闭PC开口或TC开口时，对未被关闭侧的阀体的密封件进行更换，作为第二个课题。
本发明为了解决上述课题，其第一种结构为，一种闸阀，在阀主体的相向的壁上分别形成TC开口及PC开口、连接到单一轴上的TC侧阀体及PC侧阀体配置在阀主体内、通过单一轴的操作，TC侧阀体关闭TC开口，或PC侧阀体关闭PC开口，或前述两个阀体使前述两个开口全部打开并能够使物体通过，
将杆构件固定到单一轴上，将支承在杆构件上的滚轮和凸轮构件的凸轮槽保持在配合状态，将支承凸轮构件的凸轮支承构件连接到三位置气缸的活塞杆上，在杆构件与凸轮支承构件之间加装弹簧，在活塞杆上具有下端、中间、上端这三个停止位置，在活塞杆位于下端的停止位置时的凸轮槽与滚轮的配合位置A是两个阀体从开口离开的全开位置，在活塞杆位于中间的停止位置时的凸轮槽与滚轮的配合位置B是保持在利用PC侧阀体关闭阀主体的PC侧开口的状态的位置，在活塞杆位于上端的停止位置时的凸轮槽与滚轮的配合位置C是保持在利用TC侧阀体关闭TC侧开口的状态的位置，还具有下述装置：在活塞杆在下端位置与中间位置之间移动时，使两阀体移动到相对于两开口成为半开口状态的位置。
本发明的第二种结构，在第一种结构中，将枢轴连接到杆构件上，在阀体的下侧配置枢轴承受槽，在前述滚轮从与凸轮槽的A位置的配合变化为与B位置的配合，以及滚轮从与凸轮槽的B位置的配合变化为与C位置的配合时，枢轴配合到枢轴承受槽内，成为前述变化的支点。此外，在杆构件的左右两侧上连接两个枢轴，在阀体的下面，配置两个枢轴承受槽。
本发明的第三种结构，在第一及第二种结构中，在凸轮构件上连接有槽板，在杆构件上埋没枢轴螺栓，将螺栓的轴部置于槽板的框形槽内。
本发明的第四种结构为，在与阀主体对向的壁上分别形成TC开口及PC开口、连接到单一轴上的TC侧阀体及PC侧阀体配置在阀主体内、通过单一轴的操作，TC侧阀体关闭TC开口，PC侧阀体关闭PC侧开口，前述两个阀体使前述两个开口全部打开并能够使物体通过的闸阀中，
旋转闩锁可转动地支承在PC侧阀体及TC侧阀体的至少一方阀体的内侧面上，在旋转闩锁的前端上形成锁定面，通过使一个方向的转动力作用到旋转闩锁上，将锁定面向单一轴的接合面上加载，将前述阀体锁定在单一轴上，通过使与一个方向相反的转动力作用到旋转闩锁上，锁定面脱离与单一轴的接合面，解除前述阀体的锁定。
本发明的第五种结构，在第四种机构中，在旋转闩锁的上方位置、在前述阀体的内侧面上配置杆支承构件，在杆支承构件与旋转闩锁的后端部之间加装弹簧，利用弹簧的弹性力，向旋转闩锁上作用一个方向的转动力，将保持杆的阳螺纹螺纹配合到杆支承构件的阴螺纹上，保持杆的阳螺纹的前端前进，将与前述一个方向相反的方向的转动力作用到旋转闩锁上。
本发明的第六种结构，在第四、五种结构中，在俯视图中，旋转闩锁的锁定面及单一轴的接合面是倾斜的面，倾斜的锁定面的整个面可以和倾斜的接合面进行接合。
本发明的第七种结构，在第四～第六种结构中，在阀体的内侧面上形成轴压紧构件，在轴压紧构件的前端上形成压紧面，在单一轴的接合面的左右方向的相反侧形成第二接合面，在俯视图中，轴压紧构件的压紧面及单一轴的第二接合面是倾斜的面，倾斜的压紧面的整个面可以和倾斜的第二接合面接合。
本发明的第八种结构，在第四种结构中，在旋转闩锁的上方配置杆支承构件，将锁定螺丝配置在旋转闩锁的前方·后方中的一方的上方的杆支承构件上的同时，在旋转闩锁的前方·后方中的另一方的上方的杆支承构件上配置解除螺丝，通过锁定螺丝的前进及解除螺丝的后退而使一个方向的转动力作用到旋转闩锁上，借助锁定螺丝的后退及解除螺丝的前进而使与所述一个方向相反方向的的转动力作用到旋转闩锁上。
本发明的第九种结构，在第八种结构中，在杆支承构件上形成上下邻接的两组通孔及阴螺纹，将前述锁定螺丝螺纹配合到一方的阴螺纹上的同时，将前述解除螺丝螺纹配合到另一方的阴螺纹上，在锁定螺丝及解除螺丝的上面形成配合用的槽(例如圆锥六角孔)，使工具的前端配合到配合用槽内，可以旋转锁定螺丝及解除螺丝。此外，通孔的内径可以是小于阴螺纹的外径的小直径。
本发明的第十种结构，在第八、第九种结构中，在俯视图中，旋转闩锁的锁定面及单一轴的接合面是倾斜的面，倾斜的锁定面的整个面能够与倾斜的接合面接合。
本发明的第十一种结构，在第八～第十种结构中，在阀体的内侧面上形成轴压紧构件，在轴压紧构件的前端上形成压紧面，在单一轴的接合面的左右方向的相反侧上形成第二接合面，在俯视图中，轴压紧构件的压紧面及单一轴的第二接合面是倾斜面，倾斜的压紧面的整个面能够与倾斜的第二接合面接合。
结构1～3的闸阀，在具有TC侧阀体和PC侧阀体的闸阀中，利用一台具有三个位置的三位置气缸，可以选择性的关闭PC开口与TC开口，或者将PC开口与TC开口全部打开，能够使物体通过。从而，本发明的闸阀与专利文献1的闸阀相比，由于用一台气缸即可，所以，具有下面的①②的效果。
①减少部件数目，提高可靠性，并且降低成本，缩短操作体的纵向和横向长度。
②简化信号和位置检测系统，提高可靠性，没有因错误信号引起的阀体的故障。
结构4～11的闸阀，在选择性地关闭PC开口或TC开口时，可以卸下未被关闭侧的阀体(PC侧阀体、TC侧阀体的至少一方)，更换该阀体的密封件。从而，本发明的闸阀，与专利文献1的闸阀相比，具有下面的(1)～(4)效果。
(1)作为将阀体固定到单一轴上的机构，由于采用厚度薄的旋转闩锁及轴压紧构件，所以无需螺栓拆装用的空间。因此，可以将PC侧阀体与TC侧阀体的间隔缩小，并且，可以缩小PC侧阀座面与TC侧阀座面的间隔，所以，可以缩小阀体的前后的宽度。与此相对，专利文献1的闸阀，两个阀体的间隔大，阀体与壁之间的间隔也大，阀体的前后的宽度大。
(2)阀体的拆装可以通过将保持杆的一部分插入到阀体内的操作进行，没有必要像螺栓的拆装那样将手进入阀体内，所以，不会污染阀体的内部。
(3)阀体的更换，只要将保持杆用手拧入杆支承构件内，或者，通过使锁定螺丝后退使解除螺丝前进来解除锁定，将保持杆向上拉，就可以将阀体卸下，如果进行相反的操作的话，可以安装阀体，所以能够缩短更换作业，大幅度缩短设备待机的等待时间。
(4)在阀体的更换过程中，万一闸阀进行错误动作，也不会有手被阀体及阀座面夹持等的危险。
附图说明
图1A是用本发明的闸阀的实施形式的部分剖面表示的正视图(第一位置)。
图1B是图1A的I-I线所示的部位的侧视剖面图。
图2A是活塞杆位于中间位置时的侧视剖面图。
图2B是活塞杆位于第二位置时的侧视剖面图。
图2C是活塞杆位于第三位置时的侧视剖面图。
图3是图1A的主要部分的放大图。
图4A～C是表示选择性地关闭PC开口或TC开口时，用于取出未被关闭侧的阀体的结构的第一个例子。
图4A是卸下阀盖后的状态的俯视图。
图4B是用后述的图4C的II-II线表示的部位的剖面图。
图4C是用图4A的III-III线表示的部位的锁定状态的侧视剖面图。
图5A是图4B的主要部分放大图。
图5B是图4C的主要部分的放大图。
图6A是与解除锁定时的图5A对应的部位的主要部分的放大图。
图6B是与解除锁定时的图5B对应的部位的主要部分的放大图。
图7A～C是表示选择性地关闭PC开口或TC开口时，用于取出未被关闭侧的阀体的结构的第二个例子。
图7A是用后述的图7B的IV-IV线所示的部位的剖面图。
图7B是用图7A的V-V线表示的部位的锁定状态的侧视剖面图。
图7C是对应于解除锁定时的图7B的侧视剖面图。
优选实施形式
图1～7表示本发明的闸阀的实施形式。图1～图3记载了使单一轴15或上下移动或倾斜的结构。如图1A、图1B所示，阀盖(盖体)22固定在由前壁11、后壁12、左壁18、右壁19、底壁20构成的阀主体10的上侧，操作体27连接到下侧上。在闸阀的阀主体10的前壁11上形成TC开口13，并且在后壁12上形成PC开口14。连接到单一轴15的上部15A上的TC侧阀体25·PC侧阀体26配置在阀主体10内，单一轴15的上部15A穿过底壁20的通孔21，单一轴在操作体27内延伸。通过单一轴15的操作，TC侧阀体25的密封件63推压TC侧密封面23，将TC开口13关闭，或者，PC侧阀体26的密封件64推压PC侧密封面24，将PC开口关闭，或者使TC侧阀体25及PC侧阀体26下降，使两个开口13、14全部打开，使物体(工件)能够通过。
杆构件30固定到单一轴15上，将支承在杆构件30的下端的两侧的两个滚轮31A、31B，两个凸轮构件32A、32B的凸轮槽33A、33B保持在配合状态。支承凸轮构件32A、32B的凸轮支承构件34的两个端部分别连接到三位置气缸35A、35B的活塞杆36A、36B上，在杆构件30与凸轮支承构件34之间加装弹簧37。TC开口13借助图中未示出的通路与TC(传送室)连通，PC开口14借助图中未示出的通路与PC(处理室)连通。
在单一轴15上，从上面起，依次具有上部15A、扩大部15B、下部15C及阳螺纹15D，在杆构件30的带有阶梯的通孔28上，具有上部大直径孔28A、中直径孔28B，下部大直径孔28C。单一轴15的下部15C穿过带有阶梯的通孔28的中直径孔28B，螺母38螺纹配合到单一轴15的阳螺纹15D上，单一轴15的扩大部15B的下端与带有阶梯的通孔28的上部大直径孔28A的阶梯部接触。波纹管39的上端以密封的状态固定到阀主体10的下表面的通孔21的周围，波纹管39的下端以密封的状态固定到单一轴15的扩大部15B的下端部的外周面上。
三位置气缸35A、35B固定到操作体27内的左右端部的上方位置上，两个三位置气缸35A、35B的两个活塞杆36A、36B的前端的阳螺纹，穿过凸轮支承构件34的左右端部的通过孔40，螺母41螺纹配合到阳螺纹上。槽板42A、42B连接到凸轮构件32A、32B的上端，在杆构件30的两侧埋没螺栓44A、44B，将螺栓44A、44B的轴部置于槽板42A、42B的框形槽43内。枢轴(滚轮)45A、45B连接到杆构件30的上端部两侧上，在阀主体10的下侧配置枢轴的承受槽46A、46B，枢轴45A、45B在上升时，与枢轴的承受槽46A、46B配合。
在三位置气缸35A、35B的气缸室48的内侧上方位置处，形成环状颚部49，在环状颚部49的上方位置可自由滑动地配置止动活塞50，在止动活塞50的下侧形成向下方突出的止动件51。在气缸室48的内侧下方位置上，气密性地设置大致圆筒状的循环式直动滚珠轴承52，在循环式直动滚珠轴承52的上端形成凸缘53。在气缸室48内的凸缘53与环状颚部49之间可自由滑动地配置活塞54，活塞54的活塞杆36A(36B)可自由滑动并且气密性地支承在凸缘53的中央孔内。同时，活塞杆36A利用循环式直动滚珠轴承52可自由往复地支承，支承施加到垂直地作用于活塞杆36A上的杆的负荷。
在三位置气缸35A、35B之间的凸缘35与活塞54之间，有第一气缸室55，在活塞54与止动活塞50之间具有第二气缸室56，在止动活塞50与上侧端板之间有第三气缸室57。在操作体27的侧壁上，从上面起，依次以开口的状态形成止动件孔58、开孔59、闭孔60，止动件孔58、开孔59、闭孔60分别通过图中简略地表示的通路与三位置气缸的35A、35B的第三气缸室57的上部、第二气缸室56的上方部，第一气缸室55的下部连通。
其次，对于单一轴15的操作进行说明。在活塞杆36A、36B上有第一、第二和第三的三个位置。当止动件孔58·开孔59连通压缩空气源，闭孔60连通大气时，活塞杆36A、36B位于图1所示的第一位置(下端位置)。通过使活塞杆36A、36B位于第一位置，TC侧阀体25·PC侧阀体26位于全开位置，工件可以自由通过TC开口13、PC开口14，进行工件相对于处理室的运入运出。如图1B所示，凸轮槽33A(33B)弯曲成倒く字形，从上面起，依次具有A位置(上端位置)、B位置(中间位置)、C位置(下端位置)三个位置。A位置位于左右方向的中央，中间位置位于比中央靠近右侧的位置，下端位置位于比中央更靠近左侧的位置。在第一位置，滚轮31A、31B与凸轮槽33A、33B的上端位置配合。此外，框形槽43呈三角形和长方形沿纵向排列的形状，在上端具有刚刚可以和螺栓44A、44B的轴部配合的凹部。在第一位置上，螺栓44A、44B的轴部位于槽板42A、42B的框形槽43A、43B内的上端位置(凹部)处。
其次，闭孔60、止动件孔58与压缩空气源连通、开孔59与大气连通时，活塞54开始上升，连接在活塞54上的活塞杆36A、36B、凸轮支承构件34、凸轮构件32A、32B同时上升。凸轮支承构件34的上升运动经由弹簧37传递给杆构件30，连接在杆构件30上的单一轴15、TC侧阀体25、PC侧阀体26同时上升。当借助杆构件30的上升，枢轴45A、45B与枢轴的承受槽46A、46B相接时，杆构件30的上升终止，到达图2A中的中间位置(第一位置和第二位置的中间位置)。TC侧阀体25·PC侧阀体26使TC侧开口13和PC侧开口14为半开的状态，流体能够通过，但工件不能通过TC开口13、PC开口14。在该中间位置，滚轮31A、31B仍然与凸轮槽33A、33B的A位置配合，螺栓44A、44B的轴部仍然位于槽板42A、42B的框形槽43A、43B内的上端位置处。
在中间位置即使杆构件30的上升终止，凸轮构件32A、32B的上升运动仍然继续，弹簧37被压缩，滚轮31A、31B从与凸轮槽33A、33B的A位置的配合，被压到凸轮槽33A的左侧的第一凸轮61(参照图2A)上、转为与B位置的配合。因此，单一轴15、杆构件30以枢轴45A、45B为支点，开始如图2A、图2B中所看到的那样向逆时针方向(左旋转方向)转动。当活塞54与下降位置的止动件51相接时，活塞54的上升停止，活塞杆36A、36B到达图2B所示的第二位置。此外，由于活塞54的下侧的受压面积比止动活塞50的上侧的受压面积小，所以，止动活塞50可以使活塞54的上升运动停止。但是，为了使停止作用更加可靠，可以进一步加大第三气缸室57的直径及止动活塞50的直径。通过从活塞杆36A、36B中间位置向第二位置的转移，从滚轮31A、31B与凸轮槽33A、33B的A位置的配合变化为与B位置的配合，借助这种变化，PC侧阀体26将PC开口14关闭。在处于该第二位置时，在处理室内，进行半导体的处理。此外，在处于图2B的第二位置时，螺栓44A的轴部靠近框形槽43的上方产位于左右方向的中央的右侧的位置上。
通常，在第二位置进行半导体的处理之后，活塞54返回第一位置，将处理过的半导体运出，接着将未处理的半导体运入，转移到第二位置。但是，在对处理室进行维修或者更换PC侧阀体26的密封件64时，闭孔60与压缩空气源连通，开孔59、止动件孔58与大气连通，活塞54进一步上升，将止动件51上推，活塞杆36A、36B从图2B的第二位置向图2C的第三位置(上端位置)移动。通过活塞杆36A、36B从第二位置向第三位置转移，滚轮31A、31B从与凸轮槽33A、33B的位置配合变化为与C位置的配合。在这种变化过程中，第二凸轮62(参照图2A)推压滚轮31A、31B，单一轴15、杆构件30以枢轴45A、45B为支点，开始向从图2B、图2C观察所见的顺时针方向(右旋转方向)转动。通过这种转动，PC侧阀体26成为半开口，PC开口14半开，TC侧阀体25将TC开口13关闭。此外，在图2C的第三位置，螺栓44A的轴部在框形槽43的下方并位于左右方向的中央的左侧位置。
其次，参照图4～图6，对于选择性地关闭PC开口14或TC开口13时、为了更换未关闭侧的阀体密封件、将阀体取出并且更换后进行安装的结构的第一个例子进行说明。旋转闩锁66以可转动的状态支承在PC侧阀体26及TC侧阀体25的至少一个阀体的内侧面(图4A、图4B中两个阀体25、26的对向面)上，在旋转闩锁66的前端(图5A的右端)上形成锁定面67。作为第一个例子与后面的第二个例子的共同点，通过使一个方向的转动力作用到旋转闩锁66上，将锁定面67向单一轴(的上部)15A的接合面73上加载，前述阀体锁定在单一轴15A上，通过将与前述一个方向相反的方向的转动力作用到旋转闩锁66上，锁定面67脱离单一轴15A的接合面73，解除前述阀体的锁定。在第一个例子中，借助弹簧68的弹性力，旋转闩锁66向一个方向转动，将锁定面67向单一轴15A的接合面73上加载，可以将前述阀体锁定在规定的位置。在前述阀体的内侧面上配置杆支承构件77，将保持杆(拆装用杆)82A的阳螺纹83A螺纹配合到贯穿杆支承构件77的上下方向的阴螺纹78A上。通过保持杆82A的阳螺纹83A的前端84A的前进，旋转闩锁66向与前述一个方向相反的方向转动，锁定面67脱离接合面73，解除阀体的锁定。
在图4～图6中，实施了对PC侧阀体26及TC侧阀体25两者进行密封件的更换的结构，但在这里，以对PC阀体26进行密封件的更换的结构为中心进行说明。在图4、图5中，表示锁定状态，将阀主体10的上面的阀盖22卸下。杆支承构件77，在PC侧阀体26的内侧面上，配置在与杆支承构件77的上端面与PC侧阀体26的上端面一致的位置上。也可以使杆构件77与PC侧阀体26成一体，也可以使杆支承构件77与PC侧阀体26分体设置，由螺母等加以固定。单一轴15A的上端靠近杆支承构件77的下侧配置，在单一轴15A的左侧，在支承构件77的下侧稍稍离开的位置上配置旋转闩锁66。在单一轴15A的右侧，在杆支承构件77的下侧并离开它的位置的PC阀体26上配置轴压紧构件90。
在旋转闩锁66的左右方向的大致中央位置且上方的位置上，形成带有阶梯的通孔69，旋转轴70穿过通孔69。在PC侧阀体26的内侧形成阴螺纹71，将旋转轴70的前端的阳螺纹螺纹配合到阴螺纹71上。在旋转闩锁66的后方部(图5B的左方部)上形成下侧弹簧座72，下侧弹簧座72的上方开口，在杆支承构件77的下侧，在左端部上形成上侧弹簧座79。在下侧弹簧座72与上侧弹簧座79之间加装弹簧68，借助弹簧68的弹性力使旋转闩锁66向逆时针方向(一个方向)加载。在俯视图中，例如在图5A中看到，旋转闩锁66的锁定面7及单一轴15A的接合面73是倾斜的面，倾斜的锁定面67的整个面能够与倾斜的接合面73接合。
轴压紧构件90形成在PC侧阀体26的内侧面上，如图所示，可以将轴压紧构件90与PC侧阀体26成一整体地构成，也可以将轴压紧构件90与PC侧阀体26分开构成，利用螺栓、螺母等固定。在轴压紧构件90的前端上形成压紧面91，在单一轴15A的接合面73的左右方向的相反侧形成第二接合面74。在俯视图中，例如，如图5A所示，轴压紧构件90的压紧面91及单一轴15A的第二接合面74是倾斜的面，倾斜的压紧面91的整个面能够与倾斜的第二接合面74接合。在图4、图5的锁定状态，借助弹簧68的弹性力锁定面67的整个面推压接合面73，其反作用力经由旋转闩锁66、旋转轴70、PC侧阀体26、轴压紧构件90，传递给压紧面91。从而，压紧面91的整个面推压第二接合面74，单一轴15A从左右两侧被锁定面67与压紧面91夹持，进行可靠地锁定。
其次，对在TC侧阀体25锁定在单一轴15A上、TC侧阀体25关闭TC开口13的状态下，解除PC侧阀体26的锁定并将其卸下的情况进行说明。在杆支承构件77上形成沿纵向方向贯通的两个阴螺纹78A、78B，将另外准备的保持杆82A、82B的阳螺纹83A、83B从上方插入阴螺纹78A、78B进行螺纹配合。在图5B表示：螺纹配合进展到某种程度，阳螺纹83A的前端84A前进并与旋转闩锁66的前端侧的上端相接，阳螺纹83B的前端84B从杆构件77的下端面上突出的状态。这时，保持杆82A、82B的阳螺纹83A、83B的上端的阶梯部，位于杆支承构件77的上端面稍稍上方的位置。
当从图5B所示的状态阳螺纹83A、83B进一步螺纹配合时，阳螺纹83A的前端84A将旋转闩锁66的前端侧的上端压向下方，克服弹簧68的弹性力使旋转闩锁66向顺时针方向(前述一个方向的相反方向)旋转，变成图6A、图6B所示的解除状态。这时，保持杆82A、82B的阳螺纹83A、83B的上端的阶梯差部与杆支承构件77的上端面接触，不能再进一步拧紧螺纹。旋转闩锁66的锁定面离开单一轴15A的接合面73，解除压紧面91对第二接合面74的压紧，解除锁定面67与接合面73的锁定。在锁定被解除的状态，通过手动使保持杆82A、82B向上方移动时，PC侧的阀体26与保持杆82A、82B一起移动，可以将PC侧阀体26从阀主体10上卸下。同时，在将PC侧阀体从阀主体10上取下的状态下，可以很容易更换PC侧26的密封件64。PC侧阀体26的安装，可以按照和取出时相反的顺序进行。
其次，参照图7，说明在选择性地关闭PC开口14或TC开口13时，为了更换未关闭侧的阀体的密封件，将阀体取出并且在更换后进行安装的结构的第二个例子。在图4～6的第一个例子中，为了对旋转闩锁66加载，将锁定面67推压到接合面73上，将阀体锁定到规定的位置上，而采用弹簧68，为了解除该锁定，采用保持杆82A、82B。与此相对，在图7的第二个例子中，不使用弹簧，利用锁定螺丝94对闩锁66加载，将锁定面67推压到接合面73上，以便将阀体锁定在规定的位置上，为了解除该锁定，使用解除螺丝93。此外，图7的杆支承构件77比图4～6的杆支承构件77的横向宽度窄，但也可以与图4～6的杆支承构件77具有相同的横向宽度。在图7的说明中，与图4～6共同的构件采用和图4～6相同的标号，省略或简化对共同部分的说明。
图7的旋转闩锁66，利用和图4～6相同的机构以可转动的状态进行支承，旋转闩锁66的通孔69，形成在旋转闩锁66的左右方向及上下方向的大致中央的位置上。如图7A、图7B所示，旋转闩锁66的形状在俯视图中，具有规定的厚度，在侧视图中，为横向长的大致长方形，锁定面67相对于旋转闩锁66的上面大致为直角。在单一轴15A的右侧，配置从PC侧阀体26的上端面至下端面的纵向方向延伸的轴压紧构件90。但是，也可以和图4同样，将杆支承构件77向右侧延长，在杆支承构件77的下侧、离开它的位置的PC阀体26上配置轴压紧构件90。
在旋转闩锁66的上方的杆支承构件77上，形成两组上下邻接的通孔97·阴螺纹95及通孔98·阴螺纹96，锁定螺丝94螺纹配合到在一方锁定用阴螺纹96上的同时，解除螺丝93螺纹配合到另一方解除用阴螺纹95上。锁定螺丝94位于旋转闩锁66的前方(图7B的右方)的上方，解除螺丝93位于旋转闩锁66的后方(图7B的左方)的上方。在锁定螺丝94的上面形成配合用的圆锥六角孔88的同时，在解除螺丝93的上面形成配合用圆锥六角孔87。将工具穿过通孔97或98，阴螺纹95或96，使工具的前端与圆锥六角孔87或88配合，可以使锁定螺丝94或解除螺丝93旋转，借助这种旋转，可以使锁定螺丝94或解除螺丝93前进或后退。
在图7A、图7B的锁定状态下，锁定螺丝94处于前进位置，解除螺丝93处于完全后退位置，将旋转闩锁66向一个方向旋转，旋转闩锁66的锁定面67的整个面推压单一轴15A的接合面73。其反作用力经由旋转闩锁66、旋转轴70、PC侧阀体26、轴压紧构件90传递给压紧面91。从而，压紧面91的整个面推压到第二接合面74上，单一轴15A被锁定面67和压紧面74从左右两侧夹持，进行可靠地锁定。
在图7A、图7B的锁定状态，当使锁定螺丝94后退，解除螺丝93前进时，旋转闩锁66向逆时针方向(前述一个方向的相反方向)转动，锁定面67变成脱离单一轴15A的接合面73的图7C所示的解除状态。此外，由于通孔97、98的内径，比解除螺丝93、锁定螺丝94的外径小，所以，不会将两个螺栓93、94旋转过度，从杆支承构件77上脱离，也不会在操作过程中脱离。在解除阀体锁定的状态，将勾挂工具的前端配合到杆支承构件77或旋转闩锁66的下侧，将勾挂工具向上方移动，可以将PC侧阀体26从阀主体10上取出。同时，在将PC侧阀体26从阀主体10上取出的状态下，可以很容易更换PC侧阀体26的密封件64。PC侧阀体的安装，以与取出相反的顺序进行。

Claims (11)

1.一种闸阀，在阀主体的相向的壁上分别形成传送室开口及处理室开口、连接到单一轴上的传送室侧阀体及处理室侧阀体配置在阀主体内、通过单一轴的操作，传送室侧阀体关闭传送室开口，或处理室侧阀体关闭处理室开口，或前述两个阀体使前述两个开口全部打开并能够使物体通过，其特征在于，
将杆构件固定到单一轴上，将支承在杆构件上的滚轮和凸轮构件的凸轮槽保持在配合状态，将支承凸轮构件的凸轮支承构件连接到三位置气缸的活塞杆上，在杆构件与凸轮支承构件之间加装弹簧，在活塞杆上具有下端、中间、上端这三个停止位置，在活塞杆位于下端的停止位置时的凸轮槽与滚轮的配合位置A是两个阀体从开口离开的全开位置，在活塞杆位于中间的停止位置时的凸轮槽与滚轮的配合位置B是保持在利用处理室侧阀体关闭阀主体的处理室侧开口的状态的位置，在活塞杆位于上端的停止位置时的凸轮槽与滚轮的配合位置C是保持在利用传送室侧阀体关闭传送室侧开口的状态的位置，
还具有下述装置：在活塞杆在下端位置与中间位置之间移动时，使两阀体移动到相对于两开口成为半开口状态的位置。
2.如权利要求1所述的闸阀，将枢轴连接到杆构件上，在阀主体的下侧配置枢轴承受槽，在从前述滚轮与凸轮槽的A位置的配合向与B位置的配合变化，以及从滚轮与凸轮槽的B位置的配合向与C位置的配合变化时，枢轴配合到枢轴承受槽内，成为前述变化的支点。
3.如权利要求1或2所述的闸阀，在凸轮构件上连接有槽板，在杆构件上安装螺栓，将螺栓的轴部置于槽板的框形槽内。
4.如权利要求1所述的闸阀，其特征在于，
旋转闩锁可转动地支承在处理室侧阀体及传送室侧阀体的至少一方的阀体的内侧面上，在旋转闩锁的前端上形成锁定面，通过使一个方向的转动力作用到旋转闩锁上，而使锁定面向单一轴的接合面上加载，将前述阀体锁定在单一轴上，通过使与一个方向相反的转动力作用到旋转闩锁上，锁定面脱离与单一轴的接合面，解除前述阀体的锁定。
5.如权利要求4所述的闸阀，在旋转闩锁的上方位置、在前述阀体的内侧面上配置杆支承构件，在杆支承构件与旋转闩锁的后端部之间加装弹簧，利用弹簧的弹性力，向旋转闩锁上作用一个方向的转动力，将保持杆的阳螺纹螺纹配合到杆支承构件的阴螺纹上，保持杆的阳螺纹的前端前进，将与前述一个方向相反的方向的转动力作用到旋转闩锁上。
6.如权利要求4或5所述的闸阀，俯视观察时，旋转闩锁的锁定面及单一轴的接合面是倾斜的面，倾斜的锁定面的整个面可以和倾斜的接合面进行接合。
7.如权利要求4或5所述的闸阀，在阀体的内侧面上形成轴压紧构件，在轴压紧构件的前端上形成压紧面，在单一轴的接合面的左右方向的相反侧形成第二接合面，俯视观察时，轴压紧构件的压紧面及单一轴的第二接合面是倾斜的面，倾斜的压紧面的整个面可以和倾斜的第二接合面接合。
8.如权利要求4所述的闸阀，在旋转闩锁的上方配置杆支承构件，将锁定螺丝配置在旋转闩锁的前方·后方中的一方的上方的杆支承构件上，并且，在旋转闩锁的前方·后方中的另一方的上方的杆支承构件上配置解除螺丝，通过锁定螺丝的前进及解除螺丝的后退而使一个方向的转动力作用到旋转闩锁上，借助锁定螺丝的后退及解除螺丝的前进而使与所述一个方向相反方向的的转动力作用到旋转闩锁上。
9.如权利要求8所述的闸阀，在杆支承构件上形成上下邻接的两组通孔及阴螺纹，将前述锁定螺丝螺纹配合到一方的阴螺纹上，并且将前述解除螺丝螺纹配合到另一方的阴螺纹上，在锁定螺丝及解除螺丝的上面形成配合用的槽，使工具的前端配合到配合用槽内，可以旋转锁定螺丝及解除螺丝。
10.如权利要求8或9所述的闸阀，俯视观察时，旋转闩锁的锁定面及单一轴的接合面是倾斜的面，倾斜的锁定面的整个面能够与倾斜的接合面接合。
11.如权利要求8或9所述的闸阀，在阀体的内侧面上形成轴压紧构件，在轴压紧构件的前端上形成压紧面，在单一轴的接合面的左右方向的相反侧上形成第二接合面，俯视观察时，轴压紧构件的压紧面及单一轴的第二接合面是倾斜的面，倾斜的压紧面的整个面能够与倾斜的第二接合面接合。
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