TWI232278B

TWI232278B - Gate valve

Info

Publication number: TWI232278B
Application number: TW092133017A
Authority: TW
Inventors: Tsuneo Ishigaki
Original assignee: Smc Corp
Priority date: 2002-12-16
Filing date: 2003-11-25
Publication date: 2005-05-11
Also published as: US20060202147A1; US7234679B2; US20040129910A1; KR100543067B1; JP4304365B2; TW200419095A; JP2004197769A; KR20040055587A; CN1508462A; US7066443B2; CN100549477C

Description

1232278 玖、發明說明：【發明所屬之技術領域】本發明係關於配置於半導體製造裝置等真空腔Fe 製程腔與傳輸腔之間）的閘閥。【先前技術】在專利文獻1 (美國專利第6，3 9 0，4 4 8號說明書）有揭示在閘閥之閥體相對向壁上形成 P C (製程腔） TC(傳輸腔）開口，並利用具PC側閥體與TC側閥體閥體，選擇性地關閉PC開口與TC開口。所以，譬鎖TC開口而使用傳輸腔之情況下，將製程腔開放於便可進行製程腔内的修理。而且，在利用 TC側閥 TC側開口的狀態下，便可更換PC側閥體的密封件。可防止製程腔内的碎片、污染物質等侵入傳輸腔中在其中一真空腔修理中、或其中一閥體修理中，便在另一真空腔内進行動作。專利文獻1的閘閥係利用使單軸在上位置成傾斜使兩面閥體選擇性關閉PC開口與TC開口、或使兩位於左右兩開口部之中間位置、或將單軸移動至下將兩開口部全開啟而可使工件通過。為進行此種動將單軸固定於兩面閥體上，並利用3個氣缸來移動但是，因為使用3個氣缸，因此將造成閘閥大型化增加的現象。此外，雖可移開閥體上側的蓋體，清密封面，但是卻無法更換兩面閥體的密封件。所以理而在閥體與兩壁間設置間隔，並將閥體採用蝶形 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 3 (譬如：中，便開口與的兩面如在閉大氣中體關閉此外，。依此可繼績狀，可面閥體位置而作，係單軸。、成本理兩壁，為清栓進行 6 1232278 連結，因為閥體間的間隔較大，因而閥體前後寬度將較大。【發明内容】本發明之第1課題，係在具TC側閥體、PC側閥體的閘閥中，利用1台3位置化的氣缸操作單軸，便可選擇性關閉PC開口或TC開口，或將PC開口與TC開口全開啟俾能通過物體；第2課題則為當選擇性關閉PC開口或TC開口之時，更換未被關閉側之閥體的密封件。本發明為達上述課題，第1構造的閘閥係在閥體相對向壁上分別形成TC開口與PC開口，並在閥體内配設著連結於單軸上的TC側閥體與PC側閥體，藉由單軸的操作而使 TC側閥體關閉TC開口、或使PC側閥體關閉PC開口，或者使上述二閥體將上述二開口全開啟而可通過物體；其中，在單軸上固定著桿構件，使桿構件上所支撐的輥與凸輪構件維持於繫合狀態，支撐著凸輪構件的凸輪支撐構件係連結於3位置氣缸的活塞桿上，在凸輪構件與凸輪支撐構件之間介裝著彈簧，在活塞桿上有第1、第2、第3等3 位置，且在凸輪溝中有A、B、C位置，活塞桿的第1位置是位於二閥體全開位置處，藉由從活塞桿第1位置起移往第2位置，輥便從繫合於凸輪溝A位置轉變為繫合於B位置，藉由此變化（TC側閥體開啟TC開口的狀態）PC側閥體將關閉PC開口，藉由從活塞桿第2位置起移往第3位置，輥便從繫合於凸輪溝B位置轉變為繫合於C位置，藉由此變化（P C側閥體便開啟P C開口）T C側閥體將關閉T C開口。另外，2個輥便可支撐於桿構件左右二側，並繫合於2個 7 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 凸輪構件的凸輪溝中。本發明的第2構造係在第1構造中，桿構件上連結著軸，在閥體下側配設著樞軸承接溝槽，當上述輥從繫合凸輪溝之A位置變化為繫合於B位置，或者輥從繫合於輪溝之B位置變化為繫合於C位置之時，樞軸便將繫合樞軸承接溝槽中，並構成上述變化的支點。另外，在桿件的左右二側連結著2個樞軸，在閥體下面配設著2個軸承接溝槽。本發明的第3構造係在第1、第2構造中，凸輪構件接著溝形板，在桿構件上植設螺栓，使螺栓軸部位於溝板之框溝内。本發明第4構造的閘閥，係在閥體的相對向壁上，分形成TC開口與PC開口，在閥體内配設連結於單軸上的側閥體與PC側閥體，並在閥體内配設連結於單軸上的側閥體與PC側閥體，藉由單轴的操作，而使TC側閥體閉TC開口、或使PC側閥體關閉PC開口、或使上述二閥全部開啟上述二開口而可通過物體；其中，在PC側閥體或TC側闊體至少其中一閥體内側面上，轉動狀態地支撐著旋轉鉤具，在旋轉鉤具前端形成掛面，藉由對旋轉鉤具作用單一方向旋轉力，俾使掛鉤面單軸接合面賦予勢能，而將上述閥體掛鉤於單軸上，再由對旋轉鉤具作用與單一方向相反方向之旋轉力，使掛面離開單軸接合面，解除上述閥體的掛鉤。本發明的第5構造係在第4構造中，在旋轉鉤具上方 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 插於凸於構框連形別 TC TC 關體可釣對藉鉤位 8 1232278 置處於上述閥體内側面配設桿支撐構件，在桿支撐構件與旋轉鉤具後端部之間介裝著彈簧，利用彈簧的彈力對旋轉鉤具作用單一方向旋轉力，並在桿支撐構件的母螺絲中螺鎖著維修桿的公螺絲，維修桿的公螺絲前端將前進，並對旋轉鉤具作用與單一方向相反方向的旋轉力。本發明的第6構造係在第4、第5構造中，俯視觀將旋轉鉤具之掛鉤面與單軸接合面設為傾斜面，使傾斜的掛鉤面可接合於傾斜的接合面上。本發明的第7構造係在第4〜第6構造中，在閥體内側面上形成軸按壓構件，在軸按壓件前端形成按壓面，在單軸接合面的左右方向背面側形成第2接合面，俯視觀將軸按壓構件之按壓面與單軸第2接合面設為傾斜面，使傾斜的按壓面整面可接合於傾斜的第2接合面上。本發明的第8構造係在第4構造中，於旋轉鉤具上方配設桿支撐構件，在旋轉鉤具前方或後方其中一處上方的桿支撐構件上配設鉤形螺絲，同時在旋轉鉤具前方或後方之另一處上方的桿支撐構件上配設解除螺絲，利用鉤形螺絲之後退與解除螺絲之前進，對旋轉鉤具作用與單一方向相反方向的旋轉力。本發明的第9構造係在第8構造中，在桿支撐構件上形成上下鄰接的2組插通孔與母螺絲，在其中一母螺絲中螺鎖著上述鉤形螺絲，同時，在另一母螺絲中螺鎖著上述解除螺絲，在鉤形螺絲與解除螺絲上面形成繫合用溝（譬如圓錐六角穴），使工具前端繫合於繫合用溝，而可旋轉溝形螺 9 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 絲與解除螺絲。另外，亦可將插通穴内徑設定為較小於母螺絲外徑的小徑。本發明的第1 0構造係在第8、第9構造中，俯視觀將旋轉鉤具掛鉤面與單軸接合面設為傾斜面，俾使傾斜的掛鉤面可接合於傾斜的接合面上。本發明的第1 1構造係在第8〜1 0構造中，在閥體内側面形成軸按壓構件，在軸按壓件前端形成按壓面，在單軸接合面的左右方向背面側形成第2接合面，俯視觀將軸按壓構件之按壓面與單軸第2接合面設為傾斜面，使傾斜的按壓面整面可接合於傾斜的第2接合面上。構造1〜3的閘閥係在具有T C側閥體、P C側閥體的閘閥中，採用1台經3位置化的3位置氣缸，便可選擇性關閉 PC開口或TC開口，或者將PC開口與TC開口全開而能通過物體。所以，本發明的閘閥相較於專利文獻1的閘閥之下，因為利用1台致動器便可，因而達下述①、②效果。 ① 減少零件數並提昇可靠性而且降低成本，縮短操作體的長寬長度。 ② 因為訊號與位置檢測系統變為簡單，因而提昇可靠性，不致發生因錯誤訊號而造成閥體故障現象。構造4〜1 1的閘閥，係當選擇性關閉P C開口或T C開口之時，取下未被關閉側閥體（PC側閥體、TC側閥體中至少其中一個），俾可更換此閥體的密封件。所以，本發明的閥體，在相較於專利文獻 1的閘閥之下，將達下述（1 )〜（4 ) 的效果。 10 312/發明說明書(補件)/93-02/921330 Π 1232278 (1 )因為將閥體固定於單軸上的機構，採用厚度較薄的旋轉鉤具與軸按壓構件，因此不需要供栓裝卸用的空間。故，可縮小PC側閥體與TC側閘體間之間隔，因而可縮小 PC座面與TC側座面間之間隔，所以可縮小閥體前後寬度。相對於此，專利文獻1的閘閥則屬於2閥體間隔較大，閥體與壁間之間隔偏大，且閥體前後寬度較大。 (2 )閥體的裝卸可利用將部分維修桿伸入閥體内進行操作等而執行，因此便不需要譬如栓裝卸時將手伸入閥體内，因而不致造成閥體内受污染。 (3 )閥體之交換僅需將維修桿用手螺鎖入桿支撐構件中，或者使鉤形螺絲後退並使解除螺絲前進便將解除掛鉤，若拉上維修桿等便可取下閥體，若進行相反操作的話，便可安裝閥體，因此可縮短更換操作，可大幅縮短設備待機時間浪費。 (4 )在閥體更換中，萬一閘閥產生錯誤動作，仍不致發生手被閥體與座面夾傷等危險意外。【實施方式】圖1〜圖7顯示本發明閘閥的實施形態。圖1〜圖3中描述使單軸1 5進行上下移動或傾斜的構造。如圖1 A、圖1 B 所示，在由前壁11、後壁12、左壁18、右壁19、底壁20 所構成閥體1 0的上側固定著蓋帽（蓋體）2 2，在下側則連結著操作體2 7。在閘閥的閥體1 0前壁1 1上形成T C開口 1 3，並在後壁1 2上形成P C開口 1 4。連接於單軸1 5上部1 5 A 上的T C側閥體2 5、P C側閥體2 6係配設於閥體1 0内，單 11

312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 軸1 5上部1 5 A插通於底壁2 0之插通孔2 1中，單軸1 5並延伸至操作體2 7内。藉由單軸1 5的操作，TC側閥體2 5 之密封件6 3將按壓T C側密封面2 3而關閉T C開口 1 3、或 P C側閥體2 6之密封件6 4將按壓P C側密封面2 4而關閉P C 開口 1 4、或使T C側閥體2 5、P C側閥體2 6均下降而使二開口 1 3、1 4全開啟俾能通過物體（工件）。在T C開口 1 3上固定著桿構件3 0，並將桿構件3 0下端二側所支撐的2個輥3 1 A、3 1 Β、與2個凸輪構件3 2 A、3 2 Β 的凸輪溝3 3 A、3 3 B維持於繫合狀態。支撐著凸輪構件3 2 A、 3 2B 的凸輪支撐構件 34二端部分別連結著 3位置氣缸 3 5 A、3 5 B的活塞桿3 6 A、3 6 B，在桿構件3 0與凸輪支撐構件3 4之間介裝著彈簧3 7。T C開口 1 3利用未圖示通路而連通於 T C (傳輸腔），P C開口 1 4則利用未圖示通路連通於 P C (製程腔）。在單軸 15上從上起依序具有：上部15A、放大部15B、下部1 5 C、及公螺絲1 5 D，在桿構件3 0的具階段插通孔2 8 中，具有：上大徑孔2 8 A、中徑孔2 8 B、及下大徑孔2 8 C。單軸1 5之下部1 5 C插通於具階段插通孔2 8之中徑孔2 8 B 中，並在單軸1 5之公螺絲1 5 D上螺鎖著螺帽3 8，單軸1 5 之放大部 1 5 B下端則接觸於具階段插通孔 2 8之上大徑孔 2 8 A的階梯部。在閥體1 0下面的插通孔2 1周圍密封狀態固定著風箱3 9上端，風箱3 9下端則密封狀態固定於單軸 1 5之放大部1 5 B下端部外周面上。在操作體 2 7内的左右端部上方位置處，固定著 3位置 12 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 氣缸35A、35B，2個3位置氣缸35A、35B的2個活塞桿 3 6 A、3 6 B前端之公螺絲，插通於凸輪支撐構件3 4左右端部的插通孔4 0中，並在公螺絲上螺鎖著螺帽41而固定。在凸輪構件3 2 A、3 2 B上端連結著槽形板4 2 A、4 2 B，在桿構件3 0二側植設著螺栓4 4 A、4 4 B，且螺栓4 4 A、4 4 B軸部位於槽形板4 2 A、4 2 B的框溝4 3内。在桿構件3 0上端部二側將連結著樞軸（輥）4 5 A、4 5 B，在閥體1 0下側配設著樞軸承接溝槽4 6 A、4 6 B，樞軸4 5 A、4 5 B係在上升時便成繫合於樞軸承接溝槽4 6 A、4 6 B中的狀態。在3位置氣缸3 5 A、3 5 B的氣缸管4 8内側上方位置處形成環狀凸緣4 9，在環狀凸緣4 9上方位置處滑動自如地配設著活塞擋止5 0，在活塞擋止5 0下側形成朝下方突出的擋止5 1。在氣缸管4 8内側下方位置處氣密狀態配設著略圓筒狀直接作用滾珠軸承5 2，在直接作用滚珠軸承5 2上端形成法蘭5 3。在氣缸管4 8内之法蘭5 3與環狀凸緣4 9 之間滑動自如地配設活塞5 4，活塞5 4之活塞桿3 6 A ( 3 6 B ) 滑動自如且氣密狀態支撐於法蘭5 3中央孔。所以，活塞桿 3 6 A便利用直接作用滾珠軸承5 2而往返自如地支撐著，且對作用於活塞桿3 6 A的桿垂直施加荷重並支撐著。在3位置氣缸3 5 A、3 5 B之法蘭5 3與活塞5 4之間具有第1汽缸室5 5，在活塞5 4與活塞擋止5 0之間具有第2汽缸室5 6，在活塞擋止5 0與上側終板之間具有第3汽缸室 5 7。在操作體2 7側壁上，從上起依序開口狀態形成擋止埠 5 8、開啟埠5 9、關閉埠6 0，擋止埠5 8、開啟埠5 9、關閉 13 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 埠6 0分別通過簡略圖示的通路，連通於3位置翁 35Β之第3汽缸室57上部、第2汽缸室56上方汽缸室5 5下部。其次，針對單軸1 5之操作進行說明。在活塞桿上具有第1、第2、第3等3位置。當擋止埠5 8 5 9連通於壓縮空氣壓源，且關閉埠6 0連通於大塞桿3 6 A、3 6 Β便位於如圖1所示第1位置（下端4 活塞桿3 6 A、3 6 B的第1位置，T C側閥體2 5、P C 4 將位於全開位置，工件可自由地通過T C開口 1 3 1 4，俾執行工件對製程腔的搬入、搬出。如圖1 B 輪溝3 3 A ( 3 3 B )係彎曲形成反〈字狀，從上起依序置（上端位置）、B位置（中位置）、C位置（下端伯位置。A位置係位於左右方向的中央處，中位置中央靠右側處，下端位置係位於較中央靠左側處位置處，輥31A、31B將繫合於凸輪溝33A、33B上此外，框溝43形成三角形與長方形縱向排列的形端處具有可緊繫合螺栓4 4 A、4 4 B軸部程度的凹洞位置處，螺栓4 4 A、4 4 B軸部係位於槽形板4 2 A、溝4 3 A、4 3 B内的上端位置（凹洞）。其次，當關閉埠6 0、擋止埠5 8連通於壓縮空開啟埠5 9連通於大氣之時，活塞5 4便開始上升活塞5 4上的活塞桿3 6 A、3 6 B、凸輪支撐構件3 4 件3 2 A、3 2 B亦將同時上升。凸輪支撐構件3 4的將透過彈簧3 7而傳遞給桿構件3 0，桿構件3 0上 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 。缸 3 5 A、部、第1 36A、36B 、開啟埠氣時，活 &置）。在和閥體26 、PC 開口所示，凸具有A位 .置）等 3 係位於較。在第1 端位置。狀，在上。在第1 42B之框氣壓源，，連通於、凸輪構上升運動所連結的 14 1232278 單軸1 5、T C側閥體2 5、P C側閥體2 6便將同時上升。若利用桿構件3 0上升而使樞軸4 5 A、4 5 B抵接於樞轴承接溝槽 4 6 A、4 6 B的話，桿構件3 0便結束上升，並到達圖2 A的中間位置（第1位置與第2位置之中間位置）。TC側閥體2 5、 PC側閥體26在TC開口 13、PC開口 14形成半開口狀態下，雖可通過流體，但是工件卻無法通過T C開口 1 3、p C開口 14。在中間位置處，輥31A、31B應繫合於凸輪溝33A、33B 的A位置，螺栓44A、44B軸部應該位於槽形板42A、42B 的框溝43A、43B内之上端位置。及便在中間位置處桿構件3 0結束上升，凸輪構件3 2 A、 3 2 B仍將持續上升運動，而彈簧3 7將被壓縮，從報3丨A、 31B繫合於凸輪溝33A、33B的A位置處起，凸輪溝33八左側的第1凸輪6 1 (參照圖2 A )將被按壓，並移往繫合於位置 B處。所以，單軸1 5、桿構件3 0便以樞軸4 5 A、4 5 B為支點，開始朝圖2 A、圖2 B中觀之的逆時針方向（左旋轉方向）進行旋轉。若活塞5 4抵接於下降位置之擋止5〗的話，活塞5 4便停止上升，活塞桿3 6 A、3 6 B便到達圖2 β所示第2 位置。另外’因為活塞擋止5 0上側受壓面積大於活塞5 4 下側受壓面積，因此活塞擋止5 0便可停止活塞5 4的上升運動。但是，為求停止作用的更加確實，亦可將第3汽缸室5 7直徑與活塞擋止5 0直徑設為更大。藉由從活塞桿 3 6 A、3 6 Β中間位置移往第2位置’挺3 1 A、3 1 Β便將從繫合於凸輪溝33A、33B之A位置變化為繫合於B位置處，藉由此變化，PC側閥體26便關閉PC開口 1 4。當此第2位置 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 15 1232278 時，在製程腔内將執行半導體的處理。另外，當圖2B之第 2位置時，螺栓4 4 A軸部將位於靠框溝4 3上方且較左右方向的中央更靠右側位置處。通常，在第2位置執行半導體處理之後，活塞5 4便返回第1位置，並執行經處理過半導體的搬出，接著再搬入未處理物品，並移往第2位置。但是，當修理製程腔、或更換P C側閥體2 6之密封件6 4時，乃形成關閉埠6 0連通於壓縮空氣壓源，開啟埠5 9、擋止埠5 8連通於大氣的狀態，活塞5 4將更將上升而壓舉擋止5 1，活塞桿3 6 A、3 6 B 則從圖2 B的第2位置起移往圖2 C的第3位置（上端位置）。藉由活塞桿36A、36B的第2位置移往第3位置，輥31A、 3 1 B便將從繫合於凸輪溝3 3 A、3 3 B之B位置，變化為繫合於C位置。在此變化過程中，第2凸輪6 2 (參照圖2 A )將按壓輥3 1 A、3 1 B，單軸1 5、桿構件 3 0將以樞軸4 5 A、4 5 B 為支點，並開始朝圖 2 C中觀之順時針方向（右旋轉方向）進行轉動。藉此轉動，P C側閥體2 6將成半開口，並將P C 開口 1 4成半開狀態，TC側閥體25將關閉TC開口 1 3。另外，在圖2 C之第3位置處，螺栓4 4 A軸部將位於框溝4 3 下方且較左右方向中央更靠左側位置處。其次，參照圖4〜圖6，針對當選擇性關閉P C開口 14或 TC開口 1 3之時，為更換未被關閉側之閥體密封件，而取出閥體且進行更換後在安裝的構造第1例進行說明。在P C 側閥體 2 6與 T C側閥體 2 5至少其中一者閥體内側面（圖 4 A、圖4 B為二閥體2 5、2 6成相對向的面）上，可旋轉狀態 16 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 支撐著旋轉鉤具66，在旋轉鉤具66前端（圖5A中之右端）形成掛鉤面6 7。第1例與後述第2例共通事項在於藉由對旋轉鉤具6 6作用單一方向旋轉力，使掛鉤面6 7對單軸（之上部）1 5 A的接合面7 3賦予勢能，上述閥體便掛鉤於單軸 15A上，並藉由對旋轉鉤具66作用與單一方向相反方向的旋轉力，而使掛鉤面6 7離開單軸1 5 A之接合面7 3，俾解除上述閥體的掛鉤。在第1例中，利用彈簧6 8的彈力使旋轉鉤具6 6朝單一方向進行轉動，而使掛鉤面6 7對單軸1 5 A 之接合面 7 3賦予勢能，便可將上述閥體掛鉤於既定位置處。在上述閥體的内側面上配設著桿支撐構件7 7，並在貫通桿支撐構件7 7上下方向的母螺絲7 8 A中，螺鎖著維修桿 (裝卸用桿）8 2 A的公螺絲8 3 A。利用維修桿8 2 A之公螺絲 83A前端84A的前進，便使旋轉鉤具66朝單一方向的相反方向進行轉動，使掛鉤面6 7離開接合面7 3而解除閥體的掛鉤。在圖4〜圖6中，雖在PC側閥體2 6與TC側閥體2 5二者上均施行供換密封件的構造，在此乃以對P C側閥體2 6所施行的構造為中心進行說明。圖 4、圖5顯示掛鉤狀態，取下閥體1 0上面的蓋帽2 2。桿支撐構件7 7係在P C側閥體2 6内面側，配置於與桿支撐構件7 7上端面與P C側閥體 2 6 —致的位置處。亦可將桿支撐構件7 7與PC側閥體2 6 形成一體，亦可將桿支撐構件7 7設計成分開P C側閥體2 6 並另行利用螺栓、螺帽等進行固定。在桿支撐構件7 7下側配設成靠近單軸1 5 A上端，且在單軸1 5 A左側略離開桿支 17 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 撐構件 7 7下側的位置處配設著旋轉鉤具6 6。在單軸1 5 A 右側，離開桿支撐構件7 7下側位置處的PC側闊體2 6上配設著軸按壓構件9 0。在旋轉鉤具 66左右方向略中央位置且上方位置處，形成具階梯插通孔6 9，並在插通孔6 9中插通著旋轉軸7 0。在P C側閥體2 6内側形成母螺絲7 1，旋轉軸7 0前端的公螺絲便螺鎖於母螺絲7 1中。在旋轉鉤具6 6的後方部（圖 5 B中之左方部）形成下側彈簧座7 2，下側彈簧座7 2上方成開口狀態，在桿支撐構件7 7下側且左端部處形成上側彈簧座7 9。在下側彈簧座7 2與上側彈簧座7 9之間介裝著彈簧 6 8，利用彈簧6 8的彈力，旋轉鉤具6 6便被賦予逆時針方向（單一方向）的勢能。俯視（譬如在圖5 A中所觀看到），旋轉鉤具6 6之掛鉤面6 7與單軸1 5 A之接合面7 3形成傾斜面，傾斜的掛鉤面6 7整面可接合於傾斜的接合面7 3上。軸按壓構件9 0係形成於P C側閥體2 6内側面上，亦可如圖所示，將軸按壓構件9 0 —體成形於P C側闊體2 6上，亦可將軸按壓構件9 0與P C側閥體2 6分開為個體，另行利用螺栓、螺帽等進行固定。在軸按壓構件9 0前端形成按壓面9 1，在單軸1 5 A接合面7 3的左右方向背面形成第2接合面7 4。俯視（譬如在圖5 A中所觀看到），軸按壓構件9 0 之按壓面9 1、與單軸1 5 A之第2接合面7 4形成傾斜面，傾斜的按壓面9 1整面可接合於傾斜的第2接合面7 4上。在圖4、圖5的掛鉤狀態下，利用彈箐6 8的彈力，掛鉤面 6 7整面將按壓接合面7 3，而此反作用力便將透過旋轉鉤具 18 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 6 6、旋轉轴7 Ο、P C側閥體2 6、軸按塵構件9 0而傳遞壓面91。所以，按壓面91整面將形成按壓第2接合的狀態，單軸1 5 Α便從左右二側被掛鉤面6 7與按壓所包夾俾確實執行掛鉤。其次，針對在單軸1 5 A上掛鉤著T C側閥體2 5，且閥體25關閉TC開口 1 3的狀態下，解除PC側閥體26 鉤並取下之事項進行說明。在桿支撐構件7 7中形成貫向的2個母螺絲7 8 A、7 8 B，將另外準備的維修桿8 2 A 之公螺絲8 3 A、8 3 B，從上方插入母螺絲7 8 A、7 8 B中鎖。圖 5 B顯示螺合進行某種程度，公螺絲 8 3 A前端前進並抵接於旋轉鉤具 6 6前端側上端，公螺絲 8 3 B 8 4 B從桿支撐構件 7 7下端面突出的狀態。此時，維 8 2 A、8 2 B之公螺絲8 3 A、8 3 B上端的階梯部，將位於撐構件7 7上端面略靠上方位置處。

若從圖 5 B狀態更繼續進行公螺絲 8 3 A、8 3 B之螺話，公螺絲8 3 A前端8 4 A便將旋轉鉤具6 6之前端側上壓朝下方前進，並對抗彈簧6 8之彈力，使旋轉鉤具順時針方向（單一方向的相反方向）進行旋轉，而形成 6 A、圖6 B所示解除狀態。此時，維修桿8 2 A、8 2 B的絲8 3 A、8 3 B上端之階梯部，將接觸於桿支撐構件7 7 面，而無法螺鎖超過此極限。旋轉鉤具6 6之掛鉤面離開單軸1 5 A的接合面7 3，而解除對按壓面9 1之第合面7 4的按壓，俾解除掛鉤面6 7與接合面7 3間的挂在解除掛鉤的狀態下，若利用手動將維修桿8 2 A、8 2 B 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 給按面7 4 面9 1 TC側的掛通縱、82B 並螺 84A 前端修桿桿支鎖的端按 6 6朝如圖公螺上端 67將 2接卜鉤。移往 19 1232278 上方的話，P C側閥體2 6便將與維修桿8 2 A、8 2 B —起移動，便可將P C側閥體2 6從閥體1 0中取出。然後，在將P C側閥體2 6從閥體1 0中取出的狀態下，便可輕易地更換PC 側閥體2 6之密封件6 4。P C側閥體2 6之安裝，僅要依與取出相反順序執行的話便可。其次，參照圖7所示，針對當選擇性關閉PC開口 14或 TC開口 1 3之時，為對未被關閉側之閥體的密封件進行更換，而取出閥體並在進行更換後再安裝的構造第2例進行說明。在圖4〜圖6所示的第1例中，為對旋轉鉤具6 6賦予勢能，俾將掛鉤面6 7按壓於接合面7 3上且將閥體掛鉤於既定位置，而採用彈簧6 8，而且為解除此掛鉤而採用維修桿8 2 A、8 2 B。相對於此，在圖7的第2例中，並未採用彈簧，為對旋轉鉤具6 6賦予勢能，俾將掛鉤面6 7按壓於接合面 7 3上且將閥體掛鉤於既定位置，而採用鉤形螺絲 9 4，且為解除此掛鉤而採用解除螺絲9 3。此外，圖7的桿支撐構件 7 7雖橫向寬度較短於圖4〜圖 6的桿支撐構件 7 7，但是亦可如同圖4〜圖6的桿支撐構件7 7相同的橫向寬度。在圖7的說明中，就與圖4〜圖6共通的構件賦予如同圖4〜圖6相同的元件符號，且共通部分的說明將予省略或簡化。圖7之旋轉鉤具6 6乃利用如同圖4〜圖6相同的機構支撐成可轉動狀態，旋轉鉤具6 6之插通孔6 9係形成於旋轉鉤具66左右方向與上下方向的略中央位置處。如圖7A、圖7 B所示，旋轉鉤具6 6形狀由俯視觀之，具既定厚度， 20 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 由側面觀之，具橫長之略長方形，掛鉤面6 7則相對鉤具6 6上面成略直角。在單軸1 5 A右側配設著從體2 6上端面至下端面之朝縱向延伸的軸按壓構件是，如同圖4，將桿支撐構件7 7朝右側延長，並在支撐構件7 7下側位置的P C側閥體2 6上配設著軸按 90 ° 在旋轉鉤具6 6上方的桿支撐構件7 7上，形成2 鄰接的插通孔9 7、母螺絲9 5、及插通孔9 8、母螺其中一掛鉤用母螺絲 9 6上螺鎖著鉤形螺絲 9 4，同一解除用母螺絲9 5上螺鎖著解除螺絲9 3。鉤形螺；於旋轉鉤具66前方（圖7B中之右方）的上方，而解 9 3則位於旋轉鉤具6 6後方（圖7 B中之左方）的上；5 形螺絲 9 4上面形成繫合用圓錐六角穴8 8，而且在絲9 3上面形成繫合用圓錐六角穴8 7。將工具插通六角穴8 7 (或8 8 )、母螺絲9 5 (或9 6 )中，使工具前於圓錐六角穴8 7 (或8 8 )，便可使鉤形螺絲9 4 (或解 9 3 )進行旋轉，藉由此旋轉便可使鉤形螺絲9 4 (或解 9 3 )前進（或後退）。在圖7 A、圖7 B的掛鉤狀態下，鉤形螺絲9 4位於置，解除螺絲9 3則位於完全後退的位置，旋轉鉤J 單一方向進行轉動，旋轉鉤具6 6之掛鉤面6 7整面著單軸1 5 A的接合面7 3。其反作用力將透過旋轉鉤旋轉軸7 0、P C側閥體2 6、軸按壓構件9 0而傳遞給 9 1。所以，按壓面91整面便形成按壓第2接合面 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 於旋轉 PC側閥 9 0 〇但離開桿壓構件組上下絲96，時在另珠94位除螺絲「。在鉤解除螺於圓錐端繫合除螺絲除螺絲前進位 I* 66 朝將按壓具6 6、按壓面 74的狀 21 1232278 態，單軸1 5 A便從左右二側被掛鉤面6 7予按壓面9 1所包夾著，俾確實執行掛鉤。在圖7 A、圖7 B所示掛鉤狀態下，若使鉤形螺絲9 4後退，並使解除螺絲9 3前進的話，旋轉鉤具6 6將朝逆時針方向 (單一方向的相反方向）進行轉動，掛鉤面 6 7將離開單軸 1 5 A的接合面7 3，而形成圖7 C所示解除狀態。另外，因為插通孔9 7、9 8内徑，小於解除螺絲9 3、鉤形螺絲9 4外徑，因此便不致發生二螺絲9 3、9 4轉過頭，而脫離桿支撐構件 7 7，或在作業中產生脫落現象。在閥體的掛鉤被解除狀態下，使鉤拉工具前端繫合於桿支撐構件7 7或旋轉鉤具6 6 下側，再將鉤拉工具朝上方移動，便可將P C側閥體2 6從閥體1 0中取出。所以，在將PC側閥體2 6從閥體1 0中取出的狀態下，便可輕易地更換P C側閥體2 6之P C側閥體 2 6之密封件6 4。PC側閥體2 6的安裝係僅要依照安裝的相反順序便可進行。【圖式簡單說明】圖 1 A為顯示本發明閘閥之實施形態之部分剖面的前視圖（第1位置）。圖1 B為沿著圖1 A中I - I線所示處所之側剖圖。圖2A為活塞桿位於中間位置處的側剖圖。圖2B為活塞桿位於第2位置處的側剖圖。圖2C為活塞桿位於第3位置處的側剖圖。圖3為圖1A之重要部分放大圖。圖4 A〜C為當選擇性關閉P C開口或T C開口之時，為取 22 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 下未關閉側閥體之構造的第1例。圖4A為取下蓋帽之狀態的俯視圖。圖4 B為沿著後述圖4 C之Π - Π線所示處所的剖視圖。圖 4 C為沿著圖 4 A之！Π - ΠΙ線所示處所之掛鉤狀態側剖圖。圖5A為圖4B重要部分放大圖。圖5B為圖4C重要部分放大圖。圖6 A為解除掛鉤時之圖5 A所對應處所的重要部分放大圖。圖6 B為解除掛鉤時之圖5 B所對應處所的重要部分放大圖。圖7 A〜C為當選擇性關閉P C開口或T C開口之時，為取下未關閉側閥體之構造的第2例。圖7 A為沿著後述圖7 B之！V - IV線所示處所的剖視圖。圖7 B為沿著圖7 A之V - V線所示處所之掛鉤狀態側剖圖。圖7C為解除掛鉤時之圖7B所對應的側剖圖。 (元件符號說明） 10 閥體 11 前壁 12 後壁 13 TC 開口 14 PC 開口 15 單軸 1 5A 上部 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 23 1232278 1 5B 放大部 1 5C 下部 1 5D, 83A, 83B 公螺 18 左壁 19 右壁 20 底壁 2 1,4 0,6 9,9 7, 98 插通 22 蓋帽 23 TC 側密封面 24 PC 側密封面 25 TC 側閥體 26 PC 側閥體 27 操作體 28 具階段插通孔 28A 上大徑孔 28B 中徑孔 28C 下大徑孔 30 桿構件

31, 31 A, 31B 輥 3 2, 3 2 A, 32B 凸輪構件 3 3，3 3 A，3 3 B 凸輪溝 34 凸輪支撐構件 35,35A，35B 3位置氣缸 3 6，3 6 A，3 6 B 活塞桿 24 312/發明說明書(補件)/93-02/9213 3017 1232278 37,68 彈簧 38,4 1 螺帽 3 9 風箱 4 2 A , 4 2 B 槽形板 4 3，4 3 A，4 3 B 框溝 4 4 A，4 4 B 螺栓 4 5 A，4 5 B 枢軸 4 6 A，4 6 B樞軸承接溝槽 4 8 氣缸管 4 9 環狀凸緣 5 0 活塞擔止 5 1 擋止 5 2 直接作用滾珠軸承 53 法蘭 54 活塞 5 5 第1汽缸室 56 第2汽缸室 5 7 第3汽缸室 58 擋止埠 5 9 開啟埠 60 關閉埠 61 第1凸輪 6 2 第2凸輪 6 3,6 4 密封件 25

312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 66 旋轉鉤具 67 掛鉤面 70 旋轉軸 71，78 A, 78B，9 5, 9 6 母螺絲 72 下側彈簧座 73 接合面 74 第2接合面 77 桿支撐構件 79 上側彈簧座 82A, 82B 維修桿 84A, 84B 前端 87,88 圓錐六角穴 90 軸按壓構件 91 按壓面 93 解除螺絲 94 鉤形螺絲 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 26

Claims

1232278 拾、申請專利範圍： 1 . 一種閘閥，係在閥體相對向壁上分別形成 T C開口與 PC開口，並在閥體内配設著連結於單軸上的TC側閥體與 PC側閥體，藉由單軸的操作而使TC側閥體關閉TC開口、或使PC側閥體關閉PC開口，或者使上述二閥體將上述二開口全開啟而可通過物體，其特徵為：在單軸上固定著桿構件，使桿構件上所支撐的輥與凸輪構件維持於繫合狀態，支撐著凸輪構件的凸輪支撐構件係連結於3位置氣缸的活塞桿上，在凸輪構件與凸輪支撐構件之間介裝著彈簧，在活塞桿上有第1、第2、第3等3 位置，且在凸輪溝中有A、B、C位置，活塞桿的第1位置是位於二閥體全開位置處，藉由從活塞桿第1位置起移往第2位置，二閥體便將二開口形成半開啟狀態之後，再從輥繫合於凸輪溝的A位置轉變為繫合於B位置，藉由此變化，PC側閥體將關閉PC開口，藉由從活塞桿的第2位置起移往第3位置，輥便從繫合於凸輪溝的B位置轉變為繫合於C位置，藉由此變化，TC側閥體將關閉TC開口。 2 .如申請專利範圍第1項之閘閥，其中，桿構件係連結著樞軸，在閥體下側配設著樞軸承接溝槽，當上述輥從繫合於凸輪溝之A位置變化為繫合於B位置，或者輥從繫合於凸輪溝之B位置變化為繫合於C位置之時，枢軸便將繫合於樞軸承接溝槽中，並構成上述變化的支點。 3.如申請專利範圍第1或2項之閘閥，其中，凸輪構件係連接著溝形板，在桿構件上植設螺栓，使螺栓軸部位於 27 312/發明說明書(補件)/93 -02/92133017 1232278 溝形板之框溝内。 4. 一種閘閥，係在閥體的相對向壁上，分別形成 TC開口與p C開口，在閥體内配設連結於單軸上的T C側閥體與 PC側閥體，藉由單軸的操作，而使TC側閥體關閉TC開口、或使PC側閥體關閉PC開口、或使上述二閥體全部開啟上述二開口而可通過物體，其特徵為：在PC側閥體或TC側闊體至少其中一閥體内側面上，可轉動狀態地支撐著旋轉鉤具，在旋轉鉤具前端形成掛鉤面，藉由對旋轉鉤具作用單一方向旋轉力，使掛鉤面對單軸接合面賦予勢能，而將上述閥體掛鉤於單軸上，再藉由對旋轉鉤具作用與單一方向相反方向的旋轉力，使掛鉤面離開單軸接合面，解除上述閥體的掛鉤。 5 .如申請專利範圍第4項之閘閥，其中，在旋轉鉤具上方位置處於上述閥體内側面配設桿支撐構件，在桿支撐構件與旋轉鉤具後端部之間介裝著彈簧，利用彈簧的彈力對旋轉鉤具作用單一方向旋轉力，並在桿支撐構件的母螺絲中螺鎖著維修桿的公螺絲，維修桿的公螺絲前端將前進，並對旋轉鉤具作用與單一方向相反方向的旋轉力。 6 .如申請專利範圍第4或5項之閘閥，其中，俯視觀將旋轉鉤具之掛鉤面與單軸接合面設為傾斜面，使傾斜的掛鉤面可接合於傾斜的接合面上。 7.如申請專利範圍第4或5項之閘閥，其中，在閥體内側面上形成軸按壓構件，在軸按壓構件前端形成按壓面，在單軸接合面的左右方向背面側形成第2接合面，俯視觀 28 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 1232278 將軸按壓構件之按壓面與單軸第2接合面設傾斜的按壓面整面可接合於傾斜的第2接合 8 .如申請專利範圍第4項之閘閥，其中，方配設桿支撐構件，在旋轉鉤具前方或後方的桿支撐構件上配設鉤形螺絲，同時在旋轉方之另一處上方的桿支撐構件上配設解除螺螺絲之前進與解除螺絲之後退，對旋轉鉤具旋轉力，利用鉤形螺絲之後退與解除螺絲之鉤具作用與單一方向相反方向的旋轉力。 9 .如申請專利範圍第8項之閘閥，其中，上形成上下鄰接的2組插通孔與母螺絲，在中螺鎖著上述鉤形螺絲，同時，在另一母螺述解除螺絲，在鉤形螺絲與解除螺絲上面形使工具前端繫合於繫合用溝，而可旋轉溝形絲。 1 0 .如申請專利範圍第8或9項之閘閥，將旋轉鉤具掛鉤面與單軸接合面設為傾斜面鉤面可接合於傾斜的接合面上。 1 1 .如申請專利範圍第8或9項之閘閥，内側面形成軸按壓構件，在軸按壓構件前端在單軸接合面的左右方向背面側形成第2接將軸按壓構件之按壓面與單軸之第2接合面使傾斜的按壓面整面可接合於傾斜的第2接 312/發明說明書(補件)/93-02/92133017 為傾斜面，使面上。於旋轉鉤具上其中一處上方鉤具前方或後絲，利用鉤形作用單一方向前進，對旋轉在桿支撐構件其中一母螺絲絲中螺鎖著上成繫合用溝，螺絲與解除螺其中，俯視觀，使傾斜的掛其中，在閥體形成按壓面，合面，俯視觀設為傾斜面’ 合面上。 29