CN104612488A - 自锁式真空舱门启闭装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种自锁式真空舱门启闭装置，包含：一框架、一驱动缸、一横杆、至少一第一杆件、至少一旋动杆件、至少一调整座、至少一第二杆件、至少一滑动块以及至少一阀杆，上述该等组件相互枢接以形成连杆组机构，且该阀杆可供连接于一真空舱的阀门；藉此，该驱动缸可带动上述组件产生连杆动作，以使阀杆带动阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换，并于该闭锁位置时自动产生一锁固力量，以抵抗阀门的反向作用力，防止阀门因驱动缸动力不足等因素，而造成真空舱失去真空密闭的意外。

Description

自锁式真空舱门启闭装置

技术领域

本发明与真空舱的阀门启闭装置有关，更详而言之，乃特指一种除可带动阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换外，更可于闭锁位置时自动产生一锁固力量的自锁式真空舱门启闭装置。

背景技术

晶圆、TFT LCD玻璃基板于制程中常需于真空环境下处理，一般多于一可抽真空的真空舱内进行，真空舱通常包含有一可开启/关闭的阀门，该阀门由一启闭装置驱动动作，当阀门开启时加工物件可自阀门进出真空舱，加工物件送入真空舱后，则关闭阀门使真空舱呈现密封状况后，再进行抽气动作使真空舱内产生真空状态。

习知的启闭装置大多由一气压缸或油压缸直接或透过齿条、齿轮等传动机构后，驱动阀门与真空舱密合。然而，当阀门与真空舱密合后，为保持真空舱的气密效果，气压缸或油压缸需持续以气压或油压将阀门抵紧于真空舱，以防止阀门与真空舱失去密合。然而，机器经使用一段时间后，难免会出现磨损问题，尤其气压缸或油压缸容易因为管路问题而出现气压/油压不足，而导致阀门与真空舱失去密合、无法维护真空状态。

与真空舱门启闭装置相关的前案如中国台湾TW430012号专利，一种真空舱门的启闭机构，其主要包含有一框架、一第一汽缸、一第二汽缸及一阀门，该第一汽缸固定于该框架上，该第二汽缸固定于该第一汽缸，该第二汽缸可相对该第一汽缸上下运动，该阀门与第二汽缸间设有一杠杆组。该第一汽缸推动第二汽缸及阀门向上，使阀门对正该真空舱门，再驱动第二汽缸缩回，使该杠杆组带动该阀门水平推向该真空舱门，而确实将该真空舱门加以密合。但此一专利阀门需要产生垂直及水平两段动作，会延长动作时间及增加结构体积、成本。

此外，CN 101787834B号专利，一种卧式舱的舱门启闭装置，在舱体开口端外侧壁的设置多组自动锁紧机构动作，以达到将舱门与舱体锁紧的目的。但此一专利需要分别驱动、控制舱门启闭装置以及自动锁紧机构，亦非完美解决的方案。

发明内容

本发明的目的在于解决上述习用技术产生的缺失与不便之处，提供一种自锁式真空舱门启闭装置，利用多个组件所组成的连杆机构来驱动阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换，并可于闭锁位置时自动产生一锁固力量以抵抗阀门的反向作用力，防止阀门因驱动缸动力不足等因素，而造成真空舱失去真空密闭的意外。

为实现上述目的，本发明公开了一种自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于包含：

一框架，其为以一座体、两侧框及一边框所组成的中空框体；

一驱动缸，其设置于该座体处，且具有一可活动伸出缩入的驱动轴；

一横杆，其设置于该驱动轴的一端处；

至少一第一杆件，其一端枢接于该横杆的一端处；

至少一旋动杆件，其上设有呈三角形分布的第一枢孔、第二枢孔及第三枢孔，其中，该第一枢孔供第一杆件相对于横杆的另一端枢接；

至少一调整座，其连接于该边框处，以枢接于该第二枢孔；

至少一第二杆件，其一端枢接于第三枢孔；

至少一滑动块，其可滑动地设置于该侧框处，并与该第二杆件相对于第三枢孔的另一端枢接；以及

至少一阀杆，该阀杆一端连接于该滑动块，另一端连接于一真空舱的一阀门以使阀杆带动该阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换。

其中，该两侧框分别设于座体的两端处，而该边框设于侧框相对于座体的另一端处。

其中，该驱动缸的驱动轴往边框方向产生伸出动作，而往座体方向产生缩入动作。

其中，该旋动杆件与第二杆件于闭锁位置时该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心于第一杆件侧的夹角为170度～190度。

其中，该旋动杆件与第二杆件于闭锁位置时该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心呈一直线排列且平行于驱动缸轴心。

其中，该调整座与边框间设有一调整调整座与边框的距离的调整螺件。

其中，该调整螺件的轴心平行于驱动轴轴心。

其中，该滑动块以一滑动件设置于侧框处，且该滑动件的轴心平行于驱动轴轴心。

其中，该滑动件为一线性滑轨。

其中，该阀门具有一门框架及一门板，该门框架连接于座体相对于驱动缸的另一侧，该门框架内设有一平行于驱动轴轴心方向的滑动槽，以及一穿设过该滑动槽的开口，该阀杆连接于该门板且该门板受阀杆的带动于滑动槽内移动以使门板于闭锁位置时密封于该开口而于开启位置时使该开口开启。

通过上述结构可知，本发明的自锁式真空舱门启闭装置实现了如下技术效果：

1、当驱动缸驱动阀门至闭锁位置时，该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线于第一枢孔侧的夹角为170度～190度。较佳者，该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心呈一直线排列，且平行于驱动缸轴心。使得阀门欲产生反向开启动作时，反作用力由阀杆、滑动块、第二杆件、旋动杆件以及调整座直线传导至框架处承受，而防止各组件及阀门产生动作，以达到自动锁固阀门的目的，免除驱动缸于闭锁位置时需额外动力锁固的问题。

2、本发明滑动块位移时可确保沿平行于驱动轴轴心顺畅滑动，而增进各组件间的位移顺畅效果，以及位移的精密度。

3、本发明调整座与边框间设有一调整螺件，可活动改变调整座与边框的距离，以因应不同的阀门尺寸，调整动作行程。

附图说明

图1：为本发明启闭装置的立体外观组合图。

图2：为本发明启闭装置的立体外观分解图。

图3：为本发明启闭装置的局部立体外观分解图。

图4：为本发明的开启位置实施状态平面示意图。

图5：为图4的局部放大示意图。

图6：为本发明的闭锁位置实施状态平面示意图。

图7：为图6的局部放大示意图。

具体实施方式

为便于说明本发明于上述发明内容一栏中所表示的中心思想，兹以具体实施例表达。实施例中各种不同物件系按适于说明的比例、尺寸、变形量或位移量而描绘，而非按实际元件的比例予以绘制，合先叙明。且以下的说明中，类似的元件是以相同的编号来表示。

如图1～图4所示，本发明一种自锁式真空舱门启闭装置，包含：

一框架10，其为以一座体11、两侧框12及一边框13所组成的中空框体；其中，该两侧框12分别设于座体11的两端处，而该边框13设于侧框12相对于座体11的另一端处。

一驱动缸20，其设置于该座体11处，且其具有一可活动伸出缩入的驱动轴21，该驱动缸20可为一般习知的气压缸或油压缸；其中，该驱动缸20的驱动轴21往边框13方向产生伸出动作，而往座体11方向产生缩入动作。

一横杆30，其设置于该驱动轴21的一端处，而与该驱动轴21轴心呈垂直方向。

至少一第一杆件40，其一端枢接于该横杆30的一端处。

至少一旋动杆件50，其上设有呈三角形分布的第一枢孔51、第二枢孔52及第三枢孔53，其中，该第一枢孔51供第一杆件40相对于横杆30的另一端枢接。

至少一调整座60，其连接于该边框13处，以供该第二枢孔52枢接；其中，该调整座60与边框13间设有一调整螺件61，且该调整螺件61的轴心平行于驱动轴21轴心，可活动改变调整座60与边框13的距离。

至少一第二杆件70，其一端枢接于该旋动杆件50的第三枢孔53处。

至少一滑动块80，其可滑动地设置于该侧框12处，并与该第二杆件70相对于第三枢孔53的另一端枢接；其中，该滑动块80以一滑动件81设置于侧框12处，该滑动件81可为一线性滑轨，而该滑动件81的轴心平行于驱动轴21轴心。以及

至少一阀杆90，该阀杆90一端连接于该滑动块80，另一端可供连接于一真空舱的阀门100，以使阀杆90可带动该阀门100于一开启位置以及一闭锁位置间切换。

再者，该阀门100具有一门框架101及一门板102，该门框架101连接于座体11相对于驱动缸20的另一侧，该门框架101内设有一平行于驱动轴21轴心方向的滑动槽103，以及一穿设过该滑动槽103的开口104，且该阀杆90穿设过该座体11而连接于该门板102，使该门板102可受阀杆90的带动于滑动槽103内移动，以使门板102于闭锁位置时密封于该开口104，而于开启位置时使该开口104开启。

其中，该旋动杆件50与第二杆件70于闭锁位置时，该第二枢孔52及第三枢孔53所呈的直线A与第二杆件70轴心B于第一枢孔51侧的夹角θ为170度～190度。较佳的实施例中，该旋动杆件50与第二杆件70于闭锁位置时，该第二枢孔52及第三枢孔53所呈的直线A与第二杆件70轴心B呈一直线排列，且平行于驱动缸20轴心。

且较佳的实施例中，该第一杆件40、旋动杆件50、调整座60、第二杆件70、滑动块80及阀杆90为成对设置，且以该驱动缸20为对称轴心对称设置。

明了上述本发明详细结构后，以下针对本发明的动作原理逐一详细说明：

如图4及图5所示，于开启位置时，该驱动缸20的驱动轴21往边框13方向产生伸出动作，而该阀杆90透过横杆30、第一杆件40、旋动杆件50、调整座60、第二杆件70及滑动块80的连杆动作，带动门板102于滑动槽103内往座体11的方向移动，进而使门板102与开口104呈开启状态。

反之，如图6及图7所示，欲由开启位置切换至闭锁位置时，该驱动缸20的驱动轴21往座体11方向产生缩入动作，透过该旋动杆件50的第一枢孔51受横杆30及第一杆件40的拉动，而以第二枢孔52与调整座60的枢接处为轴心转动，使第二杆件70将滑动块80往座体11方向压动，而使滑动块80沿滑动件81带动阀杆90往门框架101位移，进而使门板102与开口104呈密合状态。

当驱动缸20驱动阀门100至闭锁位置时，该第二枢孔52及第三枢孔53所呈的直线A与第二杆件70轴心B于第一枢孔51侧的夹角θ为170度～190度。更甚者，该旋动杆件50与第二杆件70于闭锁位置时，该第二枢孔52及第三枢孔53所呈的直线A与第二杆件70轴心B呈一直线排列，且平行于驱动缸20轴心。使得阀门100的门板102因反向作用力等因素欲往反向移动时，该反作用力由阀杆90、滑动块80、第二杆件70、第二枢孔52以及调整座60直线传导至框架10的边框13处承受，而防止各组件及阀门100产生动作，以达到自动锁固阀门100的目的，免除驱动缸20于闭锁位置时需额外动力锁固的问题。即使驱动缸20或管路发生泄漏或力量不足时，阀门100也不会松动、破坏真空舱的真空效果。

由以上详细说明，可使熟知本项技艺者明了本发明确实与习用的技术截然不同，具有相当的新颖性。且本发明具有习用技术所无法预期的功效，实已符合专利核准的积极要件，爰依法提出专利申请。

虽本发明是以一较佳实施例作说明，但精于此技艺者能在不脱离本发明精神与范畴下作各种不同形式的改变。以上所举实施例仅用以说明本发明而已，非用以限制本发明的范围。举凡不违本发明精神所从事的种种修改或变化，俱属本发明意欲保护的范畴。

Claims (10)

1.一种自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于包含：

一框架，其为以一座体、两侧框及一边框所组成的中空框体；

一驱动缸，其设置于该座体处，且具有一可活动伸出缩入的驱动轴；

一横杆，其设置于该驱动轴的一端处；

至少一第一杆件，其一端枢接于该横杆的一端处；

至少一旋动杆件，其上设有呈三角形分布的第一枢孔、第二枢孔及第三枢孔，其中，该第一枢孔供第一杆件相对于横杆的另一端枢接；

至少一调整座，其连接于该边框处，以枢接于该第二枢孔；

至少一第二杆件，其一端枢接于第三枢孔；

至少一滑动块，其可滑动地设置于该侧框处，并与该第二杆件相对于第三枢孔的另一端枢接；以及

至少一阀杆，该阀杆一端连接于该滑动块，另一端连接于一真空舱的一阀门以使阀杆带动该阀门于一开启位置以及一闭锁位置间切换。

2.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该两侧框分别设于座体的两端处，而该边框设于侧框相对于座体的另一端处。

3.如权利要求2所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该驱动缸的驱动轴往边框方向产生伸出动作，而往座体方向产生缩入动作。

4.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该旋动杆件与第二杆件于闭锁位置时该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心于第一杆件侧的夹角为170度～190度。

5.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该旋动杆件与第二杆件于闭锁位置时该第二枢孔及第三枢孔所呈的直线与第二杆件轴心呈一直线排列且平行于驱动缸轴心。

6.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该调整座与边框间设有一调整调整座与边框的距离的调整螺件。

7.如权利要求6所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该调整螺件的轴心平行于驱动轴轴心。

8.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该滑动块以一滑动件设置于侧框处，且该滑动件的轴心平行于驱动轴轴心。

9.如权利要求8所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该滑动件为一线性滑轨。

10.如权利要求1所述的自锁式真空舱门启闭装置，其特征在于，该阀门具有一门框架及一门板，该门框架连接于座体相对于驱动缸的另一侧，该门框架内设有一平行于驱动轴轴心方向的滑动槽，以及一穿设过该滑动槽的开口，该阀杆连接于该门板且该门板受阀杆的带动于滑动槽内移动以使门板于闭锁位置时密封于该开口而于开启位置时使该开口开启。