JPH11251396A - 位置出し機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】カセットステージの取付け作業を簡素化すると
共にコストの低減化を図る。 【解決手段】走行可能な走行台車４６が前後方向に位置
調整可能なアジャストバー５８を有し、該アジャストバ
ーに固定手段を介して筐体４９の固定ユニット５０に着
脱可能であり、アジャストバーにより走行台車の前後方
向の位置調整を行うと共に該走行台車を固定手段により
筐体の固定ユニットに着脱する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置の一
部であるカセットステージを筐体に取付ける際に位置出
しを行う為の位置出し機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置と外部間でのウェーハ搬
送はウェーハカセットに装填された状態で行われ、半導
体製造装置の筐体内部の前面側には外部との間でウェー
ハカセットの授受を行う為のカセットステージが設けら
れている。該カセットステージは前面側に位置する為、
カセットステージ自体のメンテナンス時だけでなく、カ
セットステージの後方に設けられた筐体内部機器のメン
テナンス時にも筐体からの取外し及び再取付作業が行わ
れる。再取付作業にはその都度正確な位置出し作業が必
要であり、その為、カセットステージは所定の位置に正
確に取付可能な位置出し機構を具備している。

【０００３】先ず、図８に於いて半導体製造装置の概略
を説明する。

【０００４】図中、１は筐体を示し、該筐体１の内部前
側にはカセットステージ２が設けられ、該カセットステ
ージ２の後方にはカセットローダ３が設けられている。
又、該カセットローダ３の後方にはカセットストッカ４
が設けられると共に該カセットストッカ４の上方にはバ
ッファカセットストッカ５が設けられ、前記カセットス
トッカ４の後方にはウェーハ移載機６が設けられてい
る。更に、前記筐体１の後側上部には反応炉７が設けら
れ、該反応炉７には下方から図示しないボートエレベー
タによりウェーハ８が水平姿勢で装填されたボート９が
装入可能となっている。

【０００５】前記ウェーハ８を装填したウェーハカセッ
ト１０は外部の自動搬送装置（図示せず）により前記筐
体１の前面に設けられたカセット搬入搬出口１１を介し
て前記カセットステージ２に載置される。前記カセット
ローダ３は前記ウェーハカセット１０を水平軸を中心に
９０度回転させ、横行動、昇降動の協働で前記カセット
ストッカ４、バッファカセットストッカ５の所要位置に
移載する。

【０００６】前記ウェーハ移載機６は前記カセットスト
ッカ４の前記ウェーハカセット１０から前記ウェーハ８
を受載し、昇降動、回転動、水平動の協働で前記ボート
９へ移載し、該ボート９に前記ウェーハ８を水平姿勢で
多段に装填する。

【０００７】図示しないボートエレベータにより前記ボ
ート９を前記反応炉７内に装入し、前記ウェーハ８に成
膜処理を行った後、再び前記ボートエレベータ（図示せ
ず）により前記ボート９を降下させ前記反応炉７より引
出す。

【０００８】前記ウェーハ移載機６は降下状態の前記ボ
ート９から前記カセットストッカ４の前記ウェーハカセ
ット１０へ処理済みの前記ウェーハ８を移載する。

【０００９】処理済みの前記ウェーハ８が装填された前
記ウェーハカセット１０は前記カセットローダ３等によ
り前述した手順と逆の手順で外部に搬出される。

【００１０】次に図８及び図９に於いて前記カセットス
テージ２及び該カセットステージ２の位置出し機構を説
明する。

【００１１】前記カセットステージ２は水平移動可能な
ステージ架台１２の上部にステージ１３が設けられた構
成を成し、該ステージ１３には前記ウェーハカセット１
０が載置可能となっている。

【００１２】前記ステージ架台１２は前面、上面が開放
された縦長の箱状であり、長方形状の底板１４と該底板
１４の両端に固着された右側板１５、左側板１６と、該
右側板１５、左側板１６の後方側の各下端部間を連結す
る幅木板１７と、前記右側板１５、左側板１６の後方側
の各上端部間を連結する背板１８を有している。

【００１３】前記右側板１５、左側板１６の外面下部に
はそれぞれ右水平板１９、左水平板２０が外側方向へ水
平に突設され、該右水平板１９、左水平板２０にはそれ
ぞれ上下方向調整ボルト２１が前後に２個宛上方から螺
合している。該各上下方向調整ボルト２１は６角の頭部
２２を有すると共に同心に通孔２３が穿設され、該通孔
２３に固定ボルト２４が挿通する。

【００１４】前記右水平板１９、左水平板２０の下側に
右車輪台板２５、左車輪台板２６が配設され、該右車輪
台板２５、左車輪台板２６は前記上下方向調整ボルト２
１の下端に当接すると共に前記固定ボルト２４が螺合し
ている。前記右車輪台板２５、左車輪台板２６の下面に
はそれぞれ車輪２７が２個宛設けられている。

【００１５】前記右側板１５、左側板１６の上端にはそ
れぞれ右ステージ受２８、左ステージ受２９が設けられ
ている。前記右側板１５、左側板１６の上部後方側には
それぞれ鉛直片３０が鉛直面を形成する様固着されてい
る。前記各鉛直片３０にはそれぞれ丸孔３１が穿設さ
れ、前記各鉛直片３０の後面には前記丸孔３１を閉塞可
能に補助プレート３２が固着される。又、前記丸孔３１
には前後方向調整ボルト３３が遊挿し、該前後方向調整
ボルト３３は前記補助プレート３２に前方から螺合す
る。

【００１６】前記前後方向調整ボルト３３は前記上下方
向調整ボルト２１と同様な構成を成し、前記前後方向調
整ボルト３３の通孔３４には固定ボルト３５が挿通し、
該固定ボルト３５は前記筐体１の固定部材（図示せず）
に螺着する。

【００１７】前記幅木板１７の所要位置には切欠部３６
が形成され、前記幅木板１７の後面には前記切欠部３６
を閉塞する様に補助プレート３７が固着される。又、前
記切欠部３６には前記前後方向調整ボルト３３が挿通可
能であり、該前後方向調整ボルト３３は前記補助プレー
ト３７に前方から螺合する。前記前後方向調整ボルト３
３の通孔３４には前記固定ボルト３５が挿通し、該固定
ボルト３５は前記筐体１の固定部材（図示せず）に螺着
する。

【００１８】又、前記背板１８の前面両端部分にはそれ
ぞれオリフラ合せ機３８が昇降可能に設けられ、該オリ
フラ合せ機３８の上端部にはウェーハカセット内のウェ
ーハとウェーハとの間に挿入可能な多数のウェーハ検知
センサ３９が櫛歯状に植設されている。

【００１９】前記カセットステージ２の位置出し及び着
脱手順を説明する。

【００２０】前記カセットステージ２を筐体１内にセッ
トし、前記カセットステージ２の上下方向の位置決めを
する。前記固定ボルト２４を緩めておき、前記各上下方
向調整ボルト２１を回転させ、該各上下方向調整ボルト
２１の前記右水平板１９、左水平板２０から下方への突
出長を変化させる。前記右水平板１９と前記右車輪台板
２５間及び前記左水平板２０と前記左車輪台板２６間の
上下方向の隙間を変化させ、前記ステージ１３を水平に
する。前記固定ボルト２４を締付け、前記ステージ架台
１２に前記右車輪台板２５、左車輪台板２６を固定す
る。

【００２１】次に水平方向の位置決めを行う。

【００２２】前記補助プレート３２と鉛直片３０及び前
記補助プレート３７と前記幅木板１７とを軽く止めてお
き、前記各補助プレート３２，３７の位置調整をして、
前記各固定ボルト３５を前記筐体１の固定部材に仮止め
する。３箇所の前記前後方向調整ボルト３３を回して前
記筐体１の固定部材に対する前記ステージ架台１２の前
後方向の位置、平行を合せる。前記ステージ架台１２の
左右方向の位置合せは、手作業で前記ステージ架台１２
を左右に変化させる。前記補助プレート３２を前記鉛直
片３０に、又、前記補助プレート３７を前記幅木１７に
固着する。前後、平行、左右の位置合せが終わると最後
に前記各固定ボルト３５を締付け固定する。

【００２３】又、前記カセットステージ２を前記筐体１
の固定部材から取外すには、前記各固定ボルト３５を回
転させ、前記筐体１の固定部材より抜脱し、前記カセッ
トステージ２を移動させる。

【００２４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の位置出
し機構では、メンテナンス等で前記カセットステージ２
を着脱する時に前記固定ボルト３５を回転させると、前
記前後方向調整ボルト３３が一緒に回転し、前記カセッ
トステージ２を前記筐体１の固定部材に取付ける度に該
カセットステージ２の位置出しを行う必要があった。
又、前記前後方向調整ボルト３３の回転操作や前記固定
ボルト３５の着脱にはレンチ等の工具が必要であり、前
記カセットステージ２の位置出しや着脱作業が容易では
なかった。更に、左右方向の位置出しをする機構はな
く、左右方向の位置出しは前記カセットステージ２を微
妙に移動させながら行っており、作業者の勘に頼るもの
であった。従って、前記カセットステージ２の着脱作業
は煩雑で多くの時間を要し、メンテナンスコスト等コス
トが増大していた。

【００２５】本発明は斯かる実情に鑑み、前記カセット
ステージ２の着脱作業を簡素化すると共にコストの低減
化を図るものである。

【００２６】

【課題を解決するための手段】本発明は、走行可能な走
行台車が前後方向に位置調整可能なアジャストバーを有
し、該アジャストバーに固定手段を介して筐体の固定ユ
ニットに着脱可能である位置出し機構に係り、アジャス
トバーにより走行台車の前後方向の位置調整を行うと共
に該走行台車を固定手段により筐体の固定ユニットに着
脱する。又、走行可能な走行台車と、該走行台車に高さ
位置を調整する位置調整手段を介して設けられたステー
ジ架台と、該ステージ架台に傾斜調整可能に設けられた
ステージと、筐体に左右方向に掛渡して設けられた固定
ユニットと、該固定ユニットと前記走行台車との間に設
けられた左右方向の位置を調整する位置調整手段と、前
後方向の位置を調整する位置調整手段を介して前記台車
に取付けられたアジャストバーと、該アジャストバーと
前記固定ユニット間に設けられた固定手段とを具備する
位置出し機構に係り、ステージ架台の高さ位置を調整す
ると共にステージの傾斜を調整し、前記走行台車の前記
固定ユニットに対する左右方向及び前後方向の位置調整
を行い、前記走行台車を固定手段により前記固定ユニッ
トに着脱する。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図７を参照しつつ本
発明の実施の形態を説明する。

【００２８】カセットステージ４５は水平移動可能な台
車４６と、該台車４６に上下方向に調整可能に設けられ
たステージ架台４７と、該ステージ架台４７に傾斜調整
可能に設けられた２組のステージ４８とで構成され、該
ステージ４８にはカセット収納ラック（図示せず）を介
してウェーハカセット（図示せず）が乗載可能になって
いる。

【００２９】前記カセットステージ４５は筐体４９内に
収納可能であり、前記台車４６は前記筐体４９内の固定
ユニット５０に着脱可能であると共に前後方向の位置調
整が可能となっている。

【００３０】先ず、前記台車４６を説明する。

【００３１】断面がコの字状の２本の主部材５１の両端
部に前端部連結材５２、後端部連結材５３が矩形を成す
様に連結されている。前記各主部材５１の下面にはそれ
ぞれ複数個（図示では２個）の車輪５４が鉛直軸心を中
心に回動自在に設けられている。

【００３２】前記左右の主部材５１にはそれぞれ前端縁
部に第１平板５５が立設されると共に中央部に前記第１
平板５５と平行に第２平板５６が立設されている。逆Ｌ
字型のステージ架台受材５７が前記各第１平板５５と前
記各第２平板５６の上端に掛渡って固着されている。

【００３３】又、前記各第２平板５６の前方にはアジャ
ストバー５８が設けられ、該アジャストバー５８は上端
部及び下端部が前方へ屈曲し断面がコの字状を成し、中
央部分には長方形状の開口部５９が穿設されている。前
記アジャストバー５８の左右両端部の後面にはそれぞれ
補強プレート６０が固着され、該補強プレート６０には
前方から前後方向調整ボルト６１が螺通している。該前
後方向調整ボルト６１は６角の頭部６２と該頭部６２に
連続する螺子部６３とから成り、同心に通孔６４が穿設
されている。該通孔６４に固定ボルト６５が挿通し、該
固定ボルト６５が前記第２平板５６に螺合し、前記アジ
ャストバー５８が前記第２平板５６に固定される様にな
っている。

【００３４】前記アジャストバー５８の前記各前後方向
調整ボルト６１より内側にそれぞれ位置出し孔６６が穿
設されていると共に該各位置出し孔６６より内側にそれ
ぞれラッチハンドル６７が設けられている。

【００３５】該各ラッチハンドル６７は平板形状の摘み
部６８と、該摘み部６８に連続する螺子部７０とを有
し、該螺子部７０の先端部７１は基端部７２より細い径
となっている。該基端部７２には第１ナット７３が螺合
し、該第１ナット７３と前記摘み部６８とで前記アジャ
ストバー５８を挾持し、前記ラッチハンドル６７は前記
アジャストバー５８に回転可能に取付けられている。前
記先端部７１には２個の第２ナット７４，７４が螺合
し、該２個の第２ナット７４，７４により係止金具７５
が挾持されている。該係止金具７５は帯状の薄片を相反
する方向に２回直角に屈曲したクランク状である。

【００３６】次にステージ架台４７を説明する。

【００３７】該ステージ架台４７は断面がＬ字型のアン
グル部材７９により直方体形状に形成され、前側上辺部
分及び後側上辺部分に位置する前記アングル部材７９の
中央部分には断面がＴ字型のステージ受材８０が渡設さ
れている。

【００３８】両側下辺部分に配設された前記各アングル
部材７９の両端には上方から第１上下方向調整ボルト８
１がそれぞれ所要数（図示では２個）ずつ螺合し、該第
１上下方向調整ボルト８１は前記前後方向調整ボルト６
１と同等の構成を成している。前記第１上下方向調整ボ
ルト８１に固定ボルト８２が挿通し、該固定ボルト８２
が前記ステージ架台受材５７に螺合し、前記ステージ架
台４７が前記台車４６に固定される様になっている。

【００３９】又、両側上辺部分に配設された前記各アン
グル部材７９には下方から第２上下方向調整ボルト８３
がそれぞれ所要数（図示では２個）ずつ螺合している。
該第２上下方向調整ボルト８３は前記前後方向調整ボル
ト６１と同等の構成を成し、固定ボルト８４が挿通可能
になっている。

【００４０】次に、前記ステージ４８を説明する。

【００４１】該ステージ４８は２分割されており、それ
ぞれ略正方形の平板状を成している。該各ステージ４８
の下面にはピボット軸８５が突設され、該ピボット軸８
５は前記アングル部材７９に設けられたピボット受け８
６に回転自在に嵌合している。前記各ステージ４８の前
記ピボット軸８５を頂点とする３角形の他の頂点に前記
固定ボルト８４が螺合し、前記各ステージ４８は前記第
２上下方向調整ボルト８３により傾斜調整可能であると
共に前記固定ボルト８４により前記ステージ架台４７に
固着される。

【００４２】次に、前記固定ユニット５０を説明する。

【００４３】前記筐体４９内の下部には前面に対して平
行な固定部材８７が配設されている。断面がコの字状の
該固定部材８７はＬ字型の連結具８８を介して両端部が
前記筐体４９に固着されている。前記固定部材８７の中
央部分には縦長長円形状の長孔８９が左右対称に２個穿
設されている。

【００４４】前記固定部材８７の前面には上端部及び下
端部が前方へ屈曲し断面がコの字状の固定ベース９０が
設けられ、該固定ベース９０を前方からボルト９１が貫
通している。該ボルト９１は前記長孔８９を所定レベル
で挿通し、前記固定部材８７の中央部後面に当接された
平板形状のナットプレート９２に螺合し、前記固定ベー
ス９０は前記固定部材８７に取付けられている。而し
て、前記ボルト９１の前記長孔８９を挿通するレベルを
調整することにより、前記固定ベース９０の取付高さの
調整が可能となっている。

【００４５】前記固定ベース９０の左右両端部前面には
それぞれ鉤受片９３が固着され、該各鉤受片９３の前記
ラッチハンドル６７に対向する位置にはそれぞれ内側よ
り矩形の欠切部９４が左右対称に切欠されている。該欠
切部９４は前記係止金具７５を内側に向けた状態でのみ
前記螺子部７０が挿通可能な形状となっている。又、前
記鉤受片９３には位置決めピン９６が突設され、該位置
決めピン９６は前記位置出し孔６６に嵌脱可能となって
いる。而して、前記位置決めピン９６を前記位置出し孔
６６に嵌合させると、前記係止金具７５を内側に向けた
状態の前記螺子部７０が前記欠切部９４を挿通し、更に
前記摘み部６８を９０度回転させると前記係止金具７５
が前記鉤受片９３に係止し、前記アジャストバー５８が
前記固定ベース９０に固定される様になっている。

【００４６】前記固定部材８７の両端部前面にはそれぞ
れＬ字型の補助部材９７がボルト９８により鉛直方向に
固着されている。前記各補助部材９７にはそれぞれ外側
方向から垂直に左右方向調整ボルト９９が螺合し、該左
右方向調整ボルト９９は前記前後方向調整ボルト６１と
同等の構成を成している。前記左右方向調整ボルト９９
に固定ボルト１００が挿通し、該固定ボルト１００が前
記ステージ架台受材５７に螺合し、前記カセットステー
ジ４５は前記固定ユニット５０に固定可能となってい
る。又、前記左右方向調整ボルト９９にはロックナット
１０１が螺合している。

【００４７】以下、前記カセットステージ４５の位置出
し及び着脱手順を説明する。

【００４８】前記各第１上下方向調整ボルト８１を回転
させ、該第１上下方向調整ボルト８１の下端部の前記両
側下辺部分のアングル部材７９からの突出長を変化させ
る。前記ステージ４８が略水平と成る様、前記ステージ
架台受材５７と前記アングル部材７９間の上下方向の隙
間を変化させる。前記固定ボルト８２を前記第１上下方
向調整ボルト８１に挿通し前記ステージ架台受材５７に
螺合させ締付け、前記ステージ架台４７を前記台車４６
に固定する。

【００４９】前記固定ボルト８４を緩め、前記各第２上
下方向調整ボルト８３を回転させ、該各第２上下方向調
整ボルト８３の上端部の前記両側上辺部分のアングル部
材７９からの突出長を変化させる。前記各第２上下方向
調整ボルト８３の上端で前記ステージ４８の下面を押圧
し、前記ピボット受け８６を支点に前記ステージ４８を
傾動させ傾斜を調整し、該各ステージ４８を水平にす
る。前記固定ボルト８４を締付け、前記ステージ４８を
前記ステージ架台４７に固定する。

【００５０】前記各位置決めピン９６を前記各位置出し
孔６６に嵌合させると共に前記係止金具７５を内側に向
けた状態の前記ラッチハンドル６７の前記螺子部７０を
前記欠切部９４に挿通する。前記開口部５９に前方から
作業者の手等を挿通させ、前記ラッチハンドル６７を９
０度回転させる。前記係止金具７５は前記鉤受片９３に
係止し、前記固定ベース９０は前記アジャストバー５８
に固定される。前記ボルト９１により前記固定ベース９
０を前記ナットプレート９２に仮止めすると共に前記固
定ボルト６５により前記アジャストバー５８を前記第２
平板５６に仮止めする。

【００５１】前記各前後方向調整ボルト６１を回転さ
せ、前記螺子部６３の前記補強プレート６０より後方へ
の突出長を変化させる。前記固定ボルト１００が前記ス
テージ架台受材５７の側面に螺合可能になる様、前記補
強プレート６０と前記第２平板５６間の前後方向の隙間
を変化させ、前記カセットステージ４５の前後方向の位
置出しを行う。前記ボルト９１を前記ナットプレート９
２に締付けると共に前記固定ボルト６５を前記第２平板
５６に締付け、該第２平板５６に前記アジャストバー５
８を固着する。

【００５２】更に、前記各左右方向調整ボルト９９を回
転させ、該左右方向調整ボルト９９の前記補助部材９７
から内側への突出長を変化させる。左右方向の位置出し
が完了すると、前記ロックナット１０１を締込み、前記
左右方向調整ボルト９９を固定し、前記固定ボルト１０
０を締付けて前記ステージ架台受材５７を前記固定ユニ
ット５０に固定する。

【００５３】前記カセットステージ４５を前記固定ユニ
ット５０から取外すには前記固定ボルト１００を取外
し、前記ラッチハンドル６７を回転させ、前記係止金具
７５と前記鉤受板９３との係止状態を解除する。前記ア
ジャストバー５８と前記台車４６とは一体であり、該台
車４６は前記アジャストバー５８と前記固定ベース９０
との間で切離される。

【００５４】更に、前記カセットステージ４５を前記固
定ユニット５０に再度取付けるには、前記ステージ架台
受材５７を前記左右方向調整ボルト９９の先端部に当接
させると共に前記位置決めピン９６を前記位置出し孔６
６に嵌合させる。前記ラッチハンドル６７を回転し、前
記係止金具７５を前記鉤受板９３に係止させた後、前記
固定ボルト１００を前記ステージ架台受材５７に締付け
る。而して、前記カセットステージ４５を前記固定ユニ
ット５０から取外した後、再度前記固定ユニット５０に
取付ける迄の一連の工程に於いて、前記左右方向調整ボ
ルト９９は前記ロックナット１０１により前記補助部材
９７に締込み固定されているので、前記左右方向調整ボ
ルト９９の先端部の前記補助部材９７からの突出長が変
化することはない。又、前記ラッチハンドル６７の回転
操作時に、前記前後方向調整ボルト６１に触れることが
ないので、前記先端部６３の前記補強プレート６０から
の突出長が変化することもない。従って、最初に行った
位置出しがずれることはなく、後に再度位置出しをする
必要はない。

【００５５】尚、上記実施の形態に於いては、前記ラッ
チハンドル６７が用いられているが、該ラッチハンドル
の代わりにボルト等他の固定手段を用いてもよい。

【００５６】又上記実施の形態に於いては、前記位置決
めピン９６を前記固定ユニット５０側に設け、前記位置
出し孔６６を前記アジャストバー５８に設けているが、
前記位置決めピン９６を前記アジャストバー５８に設
け、前記位置出し孔６６を前記固定ユニット側に設けて
もよい。

【００５７】上述した如く本発明は、前記固定ユニット
が筐体の左右に掛渡って設けられ、前記走行台車と前記
固定ユニットとの間に左右方向の位置を調整する位置調
整手段が設けられた構成を有し、前記走行台車の前記固
定ユニットに対する左右方向の位置調整を行う。又、前
記固定ユニットが取付高さ調整可能な固定ベースを有
し、前記アジャストバーが前記固定ベースに着脱される
構成を有し、固定ベースの取付高さを調整し、前記アジ
ャストバーを前記固定ベースに着脱する。更に、前記固
定ユニットと前記アジャストバーとの間に位置決めピン
を設けた構成を有し、位置決めピンにより前記走行台車
の左右方向の位置調整を行う。更に又、前記ステージが
２分割され、該分割された各ステージが独立して傾斜調
整可能な構成を有し、前記各ステージの傾斜をそれぞれ
調整し、該各ステージを水平にする。従って、固定ユニ
ットが取付位置調整可能な固定ベースを有している場合
には、前記固定ユニットと前記アジャストバー間の位置
合せが容易となり、該アジャストバーの前記固定ユニッ
トへの着脱作業が容易となる。又、前記固定ベースと前
記アジャストバーとの間に位置出しピンを設けた場合に
は、左右方向の位置出し作業が容易となる。更に、前記
ステージが２分割されている場合には、該各ステージが
独立して傾斜調整可能であり、該各ステージに対して動
作する他のユニット、例えば搬送機等に対する位置合せ
が容易となる。

【００５８】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、前後方
向の位置調整手段と固定手段とがそれぞれ別々に設けら
れている為、カセットステージの取外し時や再取付時に
前後方向位置出し手段の設定位置がずれることがなく、
前記前後方向位置出し手段を再設定する手間を省略する
ことができる。又、左右方向の位置調整手段が設けられ
ている場合には、左右方向の位置出しが容易となる。更
に、台車とステージ架台との間に高さ位置調整手段を設
けると共に該ステージ架台に傾斜調整可能にステージを
設けた場合には、前記ステージの傾斜の微調整が容易に
なり、該ステージの上下方向の位置出し作業が容易とな
る。

【００５９】従って、作業の効率化が図れると共にメン
テナンスコスト等コストの削減が図れる等種々の優れた
効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す図２のＤ−Ｄ矢視図
である。

【図２】同前実施の形態を示す図１のＡ−Ａ矢視図であ
る。

【図３】同前実施の形態を示す図１のＢ−Ｂ矢視図であ
る。

【図４】同前実施の形態を示す図１のＣ部拡大図であ
る。

【図５】同前実施の形態を示す図２のＥ部拡大図であ
る。

【図６】同前実施の形態を示す図３のＦ部拡大図であ
る。

【図７】本発明の実施の形態に於けるアジャストバーと
固定ベースを示す斜視図である。

【図８】半導体製造装置の概略を示す説明図である。

【図９】従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

４５ カセットステージ ４６ 台車 ４７ ステージ架台 ４８ ステージ ４９ 筐体 ５０ 固定ユニット ５８ アジャストバー ６１ 前後方向調整ボルト ６５ 固定ボルト ６６ 位置出し孔 ６７ ラッチハンドル ８１ 第１上下方向調整ボルト ８２ 固定ボルト ８３ 第２上下方向調整ボルト ８４ 固定ボルト ８５ ピボット軸 ９０ 固定ベース ９６ 位置決めピン ９９ 左右方向調整ボルト １００ 固定ボルト

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走行可能な走行台車が前後方向に位置調
   整可能なアジャストバーを有し、該アジャストバーに固
   定手段を介して筐体の固定ユニットに着脱可能であるこ
   とを特徴とする位置出し機構。
2. 【請求項２】 走行可能な走行台車と、該走行台車に高
   さ位置を調整する位置調整手段を介して設けられたステ
   ージ架台と、該ステージ架台に傾斜調整可能に設けられ
   たステージと、筐体に左右方向に掛渡して設けられた固
   定ユニットと、該固定ユニットと前記走行台車との間に
   設けられた左右方向の位置を調整する位置調整手段と、
   前後方向の位置を調整する位置調整手段を介して前記台
   車に取付けられたアジャストバーと、該アジャストバー
   と前記固定ユニット間に設けられた固定手段とを具備す
   る請求項１の位置出し機構。