JP2021520624A - 安全装置、少なくとも1つの安全装置を備えたウェハ輸送容器、安全装置を備えた安全システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
さらに、ウェハ輸送容器、特に少なくともウェハ輸送容器開口要素は、少なくとも1つのポジティブフィット凹部を含み、ポジティブフィット凹部は、安全装置の追加のさらなるチャンバの排気のために構成されるさらなる圧力接続チャネルを実装することが提案される。これにより、安全装置の少なくとも1つのチャンバ、特に安全装置の追加のさらなるチャンバと真空ポンプシステムとの単純な結合を容易にすることが有利に可能になる。
Claims (25)
- 安全装置、特にウェハ輸送容器の安全装置であって、
閉鎖機構(12)によって閉鎖位置に保持される、ウェハ輸送容器(16)のウェハ輸送容器開口要素(14)を少なくとも保護するように構成されている少なくとも1つのポジティブフィットユニット(10)を備えている、安全装置。 - 前記ポジティブフィットユニット(10)が、少なくとも1つのポジティブフィット凹部(18)および少なくとも1つのポジティブフィット要素(20)を含み、ポジティブフィット凹部(18)およびポジティブフィット要素(20)が、適切に保護された状態で非接触方式で互いに結合するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の安全装置。
- 前記ウェハ輸送容器(16)との少なくとも部分的な一体的実装を特徴とする、請求項1または2に記載の安全装置。
- 前記ポジティブフィットユニット(10)を少なくとも部分的に保護位置に再偏向させ、かつ/または、該ポジティブフィットユニット(10)を保護位置に保持するように構成された少なくとも1つのリセット要素(22)を特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の安全装置。
- 少なくとも1つのチャンバ(24)であって、基準圧力に対するチャンバ(24)の内圧の変動を許容するように構成された圧力接続チャネル(26)を含む少なくとも1つのチャンバ(24)を特徴とし、差圧が、チャンバ(24)の内圧および基準圧力から計算され、かつ、前記ポジティブフィットユニット(10)の保護状態に影響を与えるように構成される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の安全装置。
- 前記少なくとも1つのリセット要素(22)が、少なくとも大部分において、前記チャンバ(24)の内部に配置されることを特徴とする、請求項4および5に記載の安全装置。
- 前記ポジティブフィットユニット(10)が少なくとも1つの移動可能に支持されたポジティブフィット要素(20)を備え、前記チャンバ(24)の少なくとも1つのチャンバ壁(28)に対するポジティブフィット要素(20)の位置が差圧に依存することを特徴とする、少なくとも請求項5に記載の安全装置。
- 差圧が限界差圧を超える場合、前記ポジティブフィットユニット(10)が非保護位置をとるように構成されることを特徴とする、少なくとも請求項5に記載の安全装置。
- 安全装置の保護状態および非保護状態において、周囲圧力と同じ内圧を有する少なくとも1つのさらなるチャンバ(30)を特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の安全装置。
- 少なくとも部分的に前記チャンバ(24)および前記さらなるチャンバ(30)を区切る、少なくとも1つの移動可能に支持された設定要素(32)を特徴とする、少なくとも請求項5および9に記載の安全装置。
- 前記設定要素(32)が、前記チャンバ(24)および前記さらなるチャンバ(30)の内圧の圧力差に応じて、前記チャンバ(24)の内部容積(34)および/または前記さらなるチャンバ(30)の内部容積(36)を変化させるように構成されることを特徴とする、請求項10に記載の安全装置。
- 少なくとも1つの動作状態において、周囲圧力とは異なる内圧を有するように構成された、少なくとも1つの追加のさらなるチャンバ(38)を特徴とする、少なくとも請求項5に記載の安全装置。
- 前記ポジティブフィットユニット(10)の並進運動を可能にするように構成された線形軸受(40)を特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の安全装置。
- 前記圧力接続チャネル(26)が、少なくとも前記チャンバ(24)を装填および/または取出しステーション(44)の真空クランプ装置(42)と結合するように構成されることを特徴とし、装填および/または取出しステーション(44)が、少なくとも1枚のウェハ(46)をウェハ輸送容器(16)に装填および/またはウェハ輸送容器(16)から取り出すように構成されている、少なくとも請求項5に記載の安全装置。
- 安全装置の手動の緊急保護および/または手動の緊急解放用に構成された少なくとも1つの緊急保護および/または緊急解放要素(48)を特徴とする、請求項1〜14のいずれか一項に記載の安全装置。
- 前記緊急保護および/または緊急解放要素(48)が少なくとも部分的に前記さらなるチャンバ(30)内に配置されることを特徴とする、少なくとも請求項9および15に記載の安全装置。
- 安全装置の保護状態を感知するように構成された少なくとも1つの状態センサ(50)を特徴とする、請求項1〜16のいずれか一項に記載の安全装置。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の少なくとも1つの安全装置を備えるウェハ輸送容器(16)であって、保護状態において、ウェハ輸送容器(16)の本体(52)からウェハ輸送容器開口要素(14)が完全に取り除かれることを防止するように構成されている、ウェハ輸送容器(16)。
- 少なくとも1つの安全装置が、ウェハ輸送容器(16)の本体(52)と一体的に具体化されることを特徴とする、請求項18に記載のウェハ輸送容器(16)。
- ウェハ輸送容器(16)が、少なくとも1つのポジティブフィット凹部(18)を含み、ポジティブフィット凹部(18)が、安全装置の追加のさらなるチャンバ(38)を排気するように構成されるさらなる圧力接続チャネル(54)を実装することを特徴とする、請求項18または19に記載のウェハ輸送容器(16)。
- 安全システム(56)、特に真空安全システムであって、
請求項1〜17のいずれか一項に記載の少なくとも1つの安全装置と、請求項18〜20のいずれか一項に記載のウェハ輸送容器(16)と、ウェハ(46)をウェハ輸送容器(16)に装填および/またはウェハ輸送容器(16)から取り出すように構成されている装填および/または取出しステーション(44)と、を備えている、安全システム(56)。 - 少なくとも、装填および/または取出し位置における装填および/または取出しステーション(44)上のウェハ輸送容器(16)を真空クランプするために、およびチャンバ(24)の内圧を変化させるために、構成された真空ポンプユニット(58)を特徴とする、請求項21に記載の安全システム。
- 特に請求項1〜17のいずれか一項に記載の安全装置と、請求項18〜20のいずれか一項に記載のウェハ輸送容器(16)と、および/または請求項21または22に記載の安全システム(56)と、少なくとも1つのポジティブフィットユニット(10)と、を備える方法であって、
ウェハ輸送容器(16)のウェハ輸送容器開口要素(14)が、閉鎖機構(12)によってその閉鎖位置に保持され、前記ポジティブフィットユニット(10)によって保護される、方法。 - 前記ポジティブフィットユニット(10)の保護が、安全装置のチャンバ(24)の内圧の変化によって実現されることを特徴とする、請求項23に記載の方法。
- 閉鎖機構(12)の故障のない通常の動作において、前記ウェハ輸送容器開口要素(14)が、非接触方式で前記ポジティブフィットユニット(10)によって保護され、
閉鎖機構(12)の機能不全の場合、前記ウェハ輸送容器開口要素(14)を閉鎖位置の近くに保持するために、前記ポジティブフィットユニット(10)、特に該ポジティブフィットユニット(10)のポジティブフィット要素(20)のタッチ接触が確立されることを特徴とする、請求項23または24に記載の方法。
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