JPH0514047U - ウエハ検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 工程数を少なくして作業性を向上すると共
に、装置全体を小形化する。 【構成】 検出器本体２に、ウエハ検出部９を複数突設
して構成されたウエハ検出器１において、検出器本体２
に、投光素子６及び受光素子７から成るオリエンテーシ
ョンフラット検出部１０を設け、このオリエンテーショ
ンフラット検出部１０を、全てのウエハのオリエンテー
ションフラットが所定位置に揃った状態で投光素子６か
らの投光が受光素子７に受光され、ウエハのオリエンテ
ーションフラットが一つでも揃っていない状態では揃っ
ていないウエハにより投光素子６からの投光が遮光され
るように構成したものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウエハカセット内に収容されたウエハの枚数等を検出するウエハ検 出器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種のウエハ検出器は、ＩＣチップ等の半導体集積回路を製造するための各 種の機械に組込まれて使用される。このウエハ検出器の一例として、特開昭６４ −７４３号公報に示されたものがある。この構成では、検出器本体の上面に、投 光素子及び受光素子から成るウエハ検出部である検知素子対を複数突設している 。これら検知素子対は、ウエハカセット内に収容される複数のウエハと１対１で 対応するように配設されている。このようなウエハ検出器によりウエハを検出す る場合、検出器本体をウエハカセット内へ下方から挿入して、該ウエハカセット 内に収容されたウエハの周縁部を上記検知素子対によって検出することにより、 ウエハの有無を検出している。これにより、ウエハの位置や枚数等を検出してい る。

【０００３】 一方、各ウエハの周縁部にはオリエンテーションフラットが形成されており、 ウエハカセット内の全てのウエハについて、上記オリエンテーションフラットを 所定位置に揃える作業を行う必要がある。この場合、ウエハカセット内に収容し た各ウエハをローラにより回転させて、オリエンテーションフラットが所定位置 である例えば下方位置に達したところでそのウエハの回転を止めることにより、 全てのウエハのオリエンテーションフラットを所定位置に揃えるようにしている 。このとき、従来より、全てのオリエンテーションフラットが所定位置に揃った か否かを、投光素子及び受光素子から成るオリエンテーションフラット検出装置 により検出している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】 上記従来構成では、ウエハカセット内の全てのウエハについて、オリエンテー ションフラットを所定位置に揃えると共に、揃ったことをオリエンテーションフ ラット検出装置により検出する工程と、ウエハカセット内のウエハの位置や枚数 等をウエハ検出器により検出する工程とをそれぞれ実行しなければならないので 、工程数が多くなり、作業性が悪いという問題点があった。また、オリエンテー ションフラット検出装置とウエハ検出器とが別々に設けられているので、装置全 体が大形化するという欠点もあった。

【０００５】 そこで、本考案の目的は、工程数を少なくすることができて作業性を向上し得 ると共に、装置全体を小形化できるウエハ検出器を提供するにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案のウエハ検出器は、検出器本体に、投光素子及び受光素子から成るウエ ハ検出部を複数突設して構成されたウエハ検出器において、前記検出器本体に、 投光素子及び受光素子から成るオリエンテーションフラット検出部を設け、この オリエンテーションフラット検出部を、全てのウエハのオリエンテーションフラ ットが所定位置に揃った状態で前記投光素子からの投光が前記受光素子に受光さ れ、前記ウエハのオリエンテーションフラットが一つでも揃っていない状態では 揃っていないウエハにより前記投光素子からの投光が遮光されるように構成した ところに特徴を有する。

【０００７】

【作用】

上記手段によれば、検出器本体に複数のウエハ検出部を突設すると共に、オリ エンテーションフラット検出部を設ける構成としたので、オリエンテーションフ ラットを所定位置に揃える工程において、検出器本体をウエハカセットに装着す れば、オリエンテーションフラットが所定位置に揃ったことをオリエンテーショ ンフラット検出部により検出することができ、同時にウエハカセット内のウエハ の位置や枚数等をウエハ検出部により検出することができる。このため、工程数 を減少でき、作業性を大幅に向上できる。また、ウエハ検出部及びオリエンテー ションフラット検出部を検出器本体に一体的に設けるので、別々の構成に比べて 、装置全体を小形化できる。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案の一実施例につき図面を参照して説明する。まず、図１ないし図 ３において、ウエハ検出器１の検出器本体２は、全体としてほぼ矩形箱状をなし ている。この検出器本体２の図１中上面部には、複数枚の検出基板３がそれぞれ 所定の間隙を介して上方に向けて突設されている。これら検出基板３のうちの図 １中左端に位置するものには、図２にも示すように、上部の左右にウエハ検出用 の投光素子４及び受光素子５が設けられ、下部中央部にオリエンテーションフラ ット検出用の投光素子６が設けられている。これら投光素子４及び６は例えば発 光ダイオードから成り、受光素子５は例えばフォトトランジスタから成る。

【０００９】 上記検出基板３のうちの図１中右端に位置するものには、上部の左右にウエハ 検出用の受光素子５及び投光素子（図示しない）が設けられ、下部中央部にオリ エンテーションフラット検出用の受光素子７が設けられている。また、検出基板 ３のうちの図１中両端以外即ち中間部分に位置するものには、図３にも示すよう に、上部の左右にウエハ検出用の受光素子５及び投光素子４が設けられ、下部中 央部に貫通孔８が形成されている。

【００１０】 ここで、隣合う２枚の検出基板３は、ウエハ検出用の投光素子４及び受光素子 ５の位置が逆になるように設定されており、もって、一方の検出基板３の投光素 子４と他方の検出基板３の受光素子５とが対向するようになっている。この対向 する投光素子４及び受光素子５からウエハ検出部９が構成されている。この場合 、ウエハ検出部９は複数である例えば２５個設けられている。

【００１１】 また、上記したオリエンテーションフラット検出用の投光素子６及び受光素子 ７からオリエンテーションフラット検出部１０が構成されている。このオリエン テーションフラット検出部１０の投光素子６から発光された光ビームは検出基板 ３の貫通孔８を通って受光素子７に受光されるようになっている。

【００１２】 一方、図４に示すように、ウエハカセット１１内には、複数である例えば２５ 枚のウエハ１２が収納可能になっている。この場合、ウエハ１２は、ウエハカセ ット１１の左右の支持壁部１１ａ，１１ａに形成された溝部内に挿入されて収納 され、図５に示すように所定の間隙を介して並べられている。上記ウエハ１２の 周縁部には、オリエンテーションフラット１２ａが形成されている。尚、図５に は、ウエハカセット１１を図示することを省略した。このようなウエハカセット １１は、工程間の搬送に用いられたり、工程内及び工程間でのストッカーとして 用いられたりする他、洗浄工程ではウエハカセット１１ごと洗浄液中に浸される ものである。

【００１３】 また、図４に示すように、ウエハカセット１１の下面部には開口部１１ｂが形 成されており、この開口部１１ｂを通して上記検出器本体２がウエハカセット１ １内へ挿入可能即ち装着可能に構成されている。この場合、検出器本体２は、図 示しない駆動機構によってウエハカセット１１に対して上下動されるようになっ ている。

【００１４】 ここで、検出器本体２がウエハカセット１１内へ装着された状態では、図５に 示すように、ウエハカセット１１内のウエハ１２の周縁部がウエハ検出部９の投 光素子４と受光素子５との間に位置して、投光素子４からの投光を遮光するよう になっている。これにより、ウエハ１２がウエハ検出部９により検出される。こ の場合、２５個のウエハ検出部９と２５枚のウエハ１２とが１対１で対応するよ うに構成されており、各ウエハ１２の有無を検出することにより各ウエハ１２が 存在する位置及びウエハ１２の枚数を検出するようになっている。

【００１５】 また、検出器本体２からは図示しない引出線が導出されており、この引出線内 には、各ウエハ検出部９及びオリエンテーションフラット検出部１０から導かれ た出力ラインＣＨ１，ＣＨ２，………，ＣＨ２５及び出力ラインＯＦＯＵＴが含 まれている。尚、出力ラインＣＨ１，ＣＨ２，………，ＣＨ２５は、ウエハ検出 部９の図１中左端のものから順に対応している。

【００１６】 さて、図４及び図５に示すように、各ウエハ１２の上側には、ウエハ１２のオ リエンテーションフラット１２ａの位置を揃えるために各ウエハ１２を回転させ る駆動ローラ１３が配置され、各ウエハ１２の下側には、各ウエハ１２の回転を 支持するガイドローラ１４，１５が配置されている。駆動ローラ１３を右回り方 向へ回転させると、ウエハ１２が左回り方向へ回転するようになっている。

【００１７】 この場合、図６に示すように、ウエハ１２のオリエンテーションフラット１２ ａの位置が所定位置である下方位置にないときには、駆動ローラ１３の駆動力が ウエハ１２へ伝わってウエハ１２が回転される。そして、図７に示すように、ウ エハ１２のオリエンテーションフラット１２ａの位置が下方位置に達すると、オ リエンテーションフラット１２ａがガイドローラ１４，１５上に載置されてウエ ハ１２が全体として下降し、ウエハ１２が駆動ローラ１３から離れる。このため 、駆動ローラ１３の駆動力がウエハ１２へ伝わらなくなってウエハ１２の回転が 停止するようになっている。

【００１８】 次に、上記構成の作用を図８ないし図１１も参照して説明する。今、図９に示 すように、５枚のウエハ１２が左端から１番目、２番目、３番目、５番目、６番 目のウエハ検出部９に対応する位置にあるとする。このとき、各ウエハ１２のオ リエンテーションフラット１２ａは所定位置にまだ揃っていない。

【００１９】 この状態では、各ウエハ１２が対応するウエハ検出部９によって検出される。 具体的には、各ウエハ検出部９の投光素子４からの光ビームが各ウエハ１２によ って遮光されて受光素子５に受光されなくなる。従って、出力ラインＣＨ１，Ｃ Ｈ２，ＣＨ３，ＣＨ５，ＣＨ６からウエハ有りを示す検出信号例えばオン信号が 出力される。上記各出力ラインによりウエハ１２の位置が特定されるから、ウエ ハ１２の存在する位置がわかると共に、また、オン信号を出力する出力ラインの 総数によりウエハ１２の枚数がわかる。尚、出力ラインＣＨ４，ＣＨ７〜ＣＨ２ ５からは、ウエハ無しを示す検出信号例えばオフ信号が出力される。

【００２０】 また、上記状態では、図８及び図９に示すように、左から１番目のウエハ１２ のオリエンテーションフラット１２ａが下方位置にないから、オリエンテーショ ンフラット検出部１０の投光素子６から発光された光ビームが上記１番目のウエ ハ１２によって遮光され、受光素子７に受光されなくなる。この結果、出力ライ ンＯＦＯＵＴからオリエンテーションフラット１２ａが揃っていないことを示す 検出信号例えばオフ信号が出力される。

【００２１】 上記状態において、オリエンテーションフラット１２ａを揃えるために、駆動 ローラ１３を回転させると、各ウエハ１２が回転する。この後、図７に示すよう に、オリエンテーションフラット１２ａが下方位置に達したウエハ１２からその 回転が停止する。そして、全てのウエハ１２のオリエンテーションフラット１２ ａが下方位置に達して揃うと、図１０及び図１１に示すように、オリエンテーシ ョンフラット検出部１０の投光素子６から発光された光ビームがウエハ１２によ って遮光されなくなり、検出基板３の貫通口８を通って受光素子７に受光される 。この結果、出力ラインＯＦＯＵＴから、全てのウエハ１２のオリエンテーショ ンフラット１２ａが所定位置に揃っていることを示す検出信号例えばオン信号が 出力される。

【００２２】 このような構成の本実施例によれば、検出器本体２に複数のウエハ検出部９を 突設すると共に、オリエンテーションフラット検出部１０を設ける構成としたの で、ウエハ１２のオリエンテーションフラット１２ａを所定位置に揃える工程に おいて、検出器本体２をウエハカセット１１に装着するだけで、オリエンテーシ ョンフラット１２ａが所定位置に揃ったことをオリエンテーションフラット検出 部１０により検出することができ、同時に、ウエハカセット１１内のウエハ１２ の存在位置や枚数等をウエハ検出部９により検出することができる。このため、 二つの工程を実行する従来構成に比べて、工程数を減少できて、作業性を大幅に 向上できる。また、ウエハ検出部９及びオリエンテーションフラット検出部１０ を検出器本体２に一体的に設けるので、ウエハ検出装置とオリエンテーションフ ラット検出装置とが別々である従来構成に比べて、装置全体を小形化できる。

【００２３】 尚、上記実施例では、両端の検出基板３に設けた投光素子６及び受光素子７に よりオリエンテーションフラット検出部を構成したが、これに限られるものでは なく、検出器本体２の両端に支持基板を、その先端部がウエハの上側にまで延び るように突設し、これら両支持基板に投光素子及び受光素子を設け、これら投光 素子及び受光素子によって、ウエハのオリエンテーションフラットの位置が下方 位置に達したときにウエハが全体として下降することを検出する構成としても良 い。

【００２４】 この構成の場合、ウエハのオリエンテーションフラットの位置が一つでも下方 位置に達していないときには、そのウエハが全体として下降していないので、投 光素子からの光ビームがウエハにより遮光される。そして、全てのウエハのオリ エンテーションフラットの位置が下方位置に達したときには、全てのウエハが全 体として下降しているので、投光素子からの光ビームがウエハにより遮光されな くなって受光素子に受光されるようになる。

【００２５】 また、図１２は本考案の変形例を示すものであり、上記実施例と異なるところ は、カセットケース１１に代えて、図示するような形状のカセットケース１６を 用いた点である。この変形例においても、上記実施例と同一の作用効果を得るこ とができる。

【００２６】

【考案の効果】

本考案は以上の説明から明らかなように、検出器本体に、投光素子及び受光素 子から成るオリエンテーションフラット検出部を設け、このオリエンテーション フラット検出部を、全てのウエハのオリエンテーションフラットが所定位置に揃 った状態で投光素子からの投光が受光素子に受光され、ウエハのオリエンテーシ ョンフラットが一つでも揃っていない状態では揃っていないウエハにより投光素 子からの投光が遮光されるように構成したので、工程数を少なくすることができ て作業性を向上し得ると共に、装置全体を小形化できるという優れた効果を奏す る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示すウエハ検出器の一部破
断側面図

【図２】ウエハ検出器の正面図

【図３】中間部分の検出基板の部分正面図

【図４】ウエハカセット、ウエハ及びウエハ検出器を示
す縦断面図

【図５】ウエハ及びウエハ検出器周辺の部分斜視図

【図６】ウエハのオリエンテーションフラットが所定位
置に位置していない状態を示すウエハ及びローラの正面
図

【図７】ウエハのオリエンテーションフラットが所定位
置に位置した状態を示すウエハ及びローラの正面図

【図８】ウエハ及びウエハ検出器の正面図

【図９】ウエハ及びウエハ検出器の部分側面図

【図１０】全てのウエハのオリエンテーションフラット
が所定位置に位置した状態を示すウエハ及びウエハ検出
器の正面図

【図１１】全てのウエハのオリエンテーションフラット
が所定位置に位置した状態を示すウエハ及びウエハ検出
器の部分側面図

【図１２】本考案の変形例を示す図４相当図

【符号の説明】

１はウエハ検出器、２は検出器本体、４は投光素子、５
は受光素子、６は投光素子、７は受光素子、９はウエハ
検出部、１０はオリエンテーションフラット検出部、１
２はウエハ、１２ａはオリエンテーションフラットを示
す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 検出器本体に、投光素子及び受光素子か
   ら成るウエハ検出部を複数突設して構成されたウエハ検
   出器において、 前記検出器本体に、投光素子及び受光素子から成るオリ
   エンテーションフラット検出部を設け、 このオリエンテーションフラット検出部を、全てのウエ
   ハのオリエンテーションフラットが所定位置に揃った状
   態で前記投光素子からの投光が前記受光素子に受光さ
   れ、前記ウエハのオリエンテーションフラットが一つで
   も揃っていない状態では揃っていないウエハにより前記
   投光素子からの投光が遮光されるように構成したことを
   特徴とするウエハ検出器。