KR20030039910A - 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터가 개시되어 있다.

본 발명에 따른 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터는, 몸체부, 상기 몸체부 상부에 설치되어 안착된 웨이퍼를 회전시킬 수 있는 드라이버 롤러 및 상기 몸체부 양측부에 각각 설치되고, 상기 웨이퍼가 삽입 위치하도록 소정간격 이격된 복수의 센서로 이루어지는 센서부를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

따라서, 웨이퍼 카운터 상에 수납된 웨이퍼의 개수 및 웨이퍼의 정렬상태를 용이하게 파악할 수 있으므로 웨이퍼의 정렬불량에 따른 후속 공정불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터{Wafer counter of apparatus for manufacturing semiconductror device}

본 발명은 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 웨이퍼를 플랫존(Flat zone)을 기준으로 일방향으로 정렬하고, 웨이퍼의 개수를 카운팅(Counting)할 수 있는 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터에 관한 것이다.

통상, 반도체소자는 산화공정, 확산공정, 이온주입공정, 식각공정 및 금속공정 등의 일련의 반도체 제조공정이 반복적으로 수행됨으로써 웨이퍼 상에 완성된다.

그리고, 각 단위공정 과정의 웨이퍼는 플랫존을 기준으로 일방향으로 정렬되고, 웨이퍼의 개수가 카운팅되는 웨이퍼 카운터를 통과하여 후속 반도체 제조설비로 이동된다.

종래의 웨이퍼 카운터(2)는, 도1에 도시된 바와 같이 몸체부(10) 상부에 안착하는 웨이퍼(20)를 회전시켜 플랫존을 기준으로 일방향으로 정렬할 수 있는 한쌍의 롤로(Roller)로 이루어지는 드라이버 롤러(Driver roller : 12)가 구비되어 있다.

그리고, 상기 드라이버 롤더(12) 일측부에는 드라이버 롤러(12)에 의해서 회전하는 웨이퍼(20)의 플랫존의 하면과 접촉함으로써 드라이버 롤러(12)와 웨이퍼(20)가 소정간격 이격되어 서로 접촉하는 것을 방지하는 가이드(Guide : 14)가 구비되어 있다.

또한, 상기 드라이버 롤러(12) 타측부에는 서로 소정간격 이격되어 나열 설치됨으로써 이격공간 내부에 웨이퍼(20)를 수납하는 복수의 센서를 구비하는 센서부(16)가 구비되어 있다.

이때, 상기 센서부(16)의 센서는 한쌍의 발수광센서로 이루어짐으로써 발광센서에서 주사된 빛을 수광센서가 수광하여 센서와 센서의 이격공간 내부에 웨이퍼(20)가 존재하는지의 유무를 센싱하도록 되어 있다.

따라서, 일련의 반도체 제조공정이 수행된 웨이퍼(20)는 로봇아암 등의 이동수단에 의해서 웨이퍼 카운터(20)의 몸체부(10) 상부에 위치하게 된다.

이때, 도2a에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼(20)는 센서부(16)의 센서와 센서 사이의 이격공간에 위치하게 된다. 또한, 상기 드라이버 롤러(12)는 회전함에 따라 몸체부(10) 상의 웨이퍼(20)는 드라이버 롤러(12)의 회전에 의한 회전력을 받아 소정각도 회전하여 웨이퍼(20)의 플랫존은 가이드(14)와 접촉함으로써 웨이퍼(20)는 플랫존을 기준으로 일방향으로 정렬된다.

그리고, 센서부(16)의 발수광센서로 이루어지는 센서의 센싱동작에 의해서 웨이퍼 카운터(2)에 웨이퍼(20)가 수납됨을 확인하여 웨이퍼(2)를 카운팅한다.

그러나, 도2b에 도시된 바와 같이 초기 투입되는 웨이퍼(20)의 정렬불량, 드라이버 롤러(12)의 동작불량 등의 다양한 원인에 의해서 웨이퍼의 플랫존이 정상위치를 벗어나는 경우가 빈번하게 발생하고 있다.

이때, 상기 센서부(16)는 웨이퍼 카운터(20)에 웨이퍼(20)가 정상적으로 안착 수납되었음은 확인할 수 있으나 웨이퍼(20)의 정렬불량은 감지할 수 없었다.

따라서, 정렬 불량된 웨이퍼가 후속 공정설비 내부로 투입됨으로써 웨이퍼의 정렬 불량에 따른 공정불량이 필연적으로 발생하는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 웨이퍼의 정량불량 및 웨이퍼의 카운팅을 동시에 수행할수 있도록 함으로써 웨이퍼의 정렬불량에 따라 후속 공정불량이 발생하는 것을 방지할 수 있는 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터를 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터의 사시도이다.

도2a 및 도2b는 종래의 웨이퍼 카운터의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.

도3는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터의 사시도이다.

도4a 내지 도4c는 본 발명에 따른 웨이퍼 카운터의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

2, 4 : 웨이퍼 카운터 10, 40 : 몸체부

12, 42 : 드라이버 롤러 14, 44 : 가이드

16, 46 : 센서부20, 50 : 웨이퍼

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터는, 몸체부; 상기 몸체부 상부에 설치되어 안착된 웨이퍼를 회전시킬 수 있는 드라이버 롤러; 및 상기 몸체부 양측부에 각각 설치되고, 상기 웨이퍼가 삽입 위치하도록 소정간격 이격된 복수의 센서로 이루어지는 센서부;를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 몸체부 상부 일측부에 상기 드라이버 롤러와 평행하게 가이드가 더 설치될 수 있고, 상기 센서부의 센서는 한쌍의 발수광센서로 이루어질 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명한다.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터의 사시도이다.

본 발명에 따른 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터(4)는, 도3에 도시된 바와 같이 몸체부(40) 상부에 안착하는 웨이퍼(50)를 회전시켜 플랫존을 기준으로 일방향으로 정렬할 수 있는 한쌍의 롤러로 이루어지는 드라이버 롤러(42)를 구비한다.

그리고, 상기 드라이버 롤러(42) 일측부에는 드라이버 롤러(42)에 의해서 회전한 웨이퍼(50)의 플랫존이 위치함으로써 드라이버 롤러(42)와 웨이퍼(50) 사이를소정간격 이격시켜 드라이버 롤러(42)의 회전력이 더 이상 웨이퍼(50)에 가해지는 것을 방지하는 가이드(44)가 구비되어 있다.

또한, 상기 드라이버 롤러(42) 일측 및 타측부에는 웨이퍼(50)가 삽입 위치하도록 서로 소정간격 이격되어 이웃하는 복수의 센서가 일렬로 나열 설치된 제 1 센서부(46a) 및 제 2 센서부(42b)가 각각 구비되어 있다.

이때, 상기 드라이버 롤러(42) 양측부에 구비된 제 1 센서부(46a) 및 제 2 센서부(46b)의 센서는 한쌍의 발수광센서로 이루어짐으로써 발광센서에서 주사된 빛을 수광센서가 수광하여 센서와 센서 사이의 이격공간 내부에 웨이퍼(50)가 존재하는지의 유무를 센싱하여 웨이퍼(50)를 카운팅할 수 있도록 되어 있다.

따라서, 일련의 반도체 제조공정이 수행된 웨이퍼(50)는 로봇아암 등의 이동수단에 의해서 웨이퍼 카운터(4)의 몸체부(40) 상부의 제 1 센서부(46a) 및 제 2 센서부(46b)의 센서와 센서 사이의 이격공간에 안착된다.

이때, 상기 드라이버 롤러(42)는 회전함에 따라 몸체부(40) 상의 웨이퍼(50)는 도4a에 도시된 바와 같이 드라이버 롤러(42)의 회전에 의한 회전력을 받아 소정각도 회전함으로써 가이드(44)와 접촉하며 플랫존을 기준으로 일방향으로 정렬된다.

그리고, 제 1 센서부(46a) 및 제 2 센서부(46b)의 발광센서와 수광센서의 센싱동작에 의해서 제 1 센서부(46a) 및 제 2 센서부(46b)의 센서와 센서 사이에 웨이퍼(50)가 수납되었는지의 유무가 확인됨으로써 웨이퍼(50)의 카운팅 및 웨이퍼의 정렬불량을 바로 확인할 수 있다.

또한, 도4b에 도시된 바와 같이 초기 투입되는 웨이퍼(50)의 정렬불량, 드라이버 롤러(42)의 회전력의 미전달 등의 다양한 원인에 의해서 웨이퍼(50)의 플랫존이 제 2 센서부(46b)의 센서와 센서 사이의 이격공간을 벗어나 정렬될 경우에는, 제 1 센서부(46a)의 발광센서 및 수광센서의 센싱동작에 의해서 제 1 센서부(46a)의 센서와 센서 사이에 웨이퍼(50)가 수납됨이 확인됨으로써 웨이퍼(50) 카운팅이 이루어진다.

그리고, 제 2 센서부(46b)의 발광센서 및 수광센서의 센싱동작에 의해서 제 2 센서부(46b)의 센서와 센서 사이에 웨이퍼(50)가 수납되지 않은 것으로 확인됨으로써 웨이퍼(50)의 정렬불량을 감지할 수 있다.

그리고, 도4c에 도시된 바와 같이 초기 투입되는 웨이퍼(50)의 정렬불량, 드라이버 롤러(42)의 회전력의 미전달 등의 다양한 원인에 의해서 웨이퍼(50)의 플랫존이 제 1 센서부(46a)의 센서와 센서 사이의 이격공간을 벗어나 정렬될 경우에는, 제 2 센서부(46b)의 발광센서 및 수광센서의 센싱동작에 의해서 제 2 센서부(46b)의 센서와 센서 사이에 웨이퍼(50)가 수납됨이 확인됨으로써 웨이퍼(50) 카운팅이 이루어진다.

그리고, 제 1 센서부(46a)의 발광센서 및 수광센서의 센싱동작에 의해서 제 1 센서부(46a)의 센서와 센서 사이에 웨이퍼(50)가 수납되지 않은 것으로 확인됨으로써 웨이퍼(50)의 정렬불량을 감지할 수 있다.

본 발명에 의하면, 웨이퍼를 카운팅하면서 동시에 웨이퍼의 정렬불량을 확인할 수 있으므로 웨이퍼의 정렬불량에 따라 후속공정의 공정불량이 발생하는 것을 조기에 제거할 수 있는 효과가 있다.

이상에서는 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (3)

1. 몸체부;

   상기 몸체부 상부에 설치되어 안착된 웨이퍼를 회전시킬 수 있는 드라이버 롤러; 및

   상기 몸체부 양측부에 각각 설치되고, 상기 웨이퍼가 삽입 위치하도록 소정간격 이격된 복수의 센서로 이루어지는 센서부;

   를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 몸체부 상부 일측부에 상기 드라이버 롤러와 평행하게 가이드가 더 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 센서부의 센서는 한쌍의 발수광센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 웨이퍼 카운터.