KR20060064391A - 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비 - Google Patents

카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비 Download PDF

Info

Publication number
KR20060064391A
KR20060064391A KR1020040103225A KR20040103225A KR20060064391A KR 20060064391 A KR20060064391 A KR 20060064391A KR 1020040103225 A KR1020040103225 A KR 1020040103225A KR 20040103225 A KR20040103225 A KR 20040103225A KR 20060064391 A KR20060064391 A KR 20060064391A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
stage
sensor
semiconductor manufacturing
unit
Prior art date
Application number
KR1020040103225A
Other languages
English (en)
Inventor
서문민
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020040103225A priority Critical patent/KR20060064391A/ko
Publication of KR20060064391A publication Critical patent/KR20060064391A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명의 카세트 감지유닛을 갖는 반도체 제조설비는 설비 내에 카세트를 로딩시키기위해 스테이지에 안착시킬 경우 카세트의 정상안착상태를 감지하여 공정을 진행하도록 한 기술로써, 웨이퍼를 로딩하는 로딩부가 설치된 본체와 본체에 설치되어 웨이퍼를 적재한 카세트를 안착시켜 로딩부로 안내하는 스테이지 및 스테이지 상에 안착되는 카세트의 안착상태를 감지하는 발광부와 수광부로 구성된 광센서 등의 카세트 감지장치를 구비한다. 따라서, 스테이지 상에 안착되는 카세트의 안착상태를 실시간으로 감지하여 공정을 제어하게 함으로써 공정 진행 중 웨이퍼가 파손되거나 스크래치가 발생함으로 인해 발생하는 제품불량을 방지하고, 그로 인해 작업생산성 및 제품 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
카세트, 스테이지, 웨이퍼

Description

카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비{Semiconductor Manufacturing Equipment Having a Cassette Sensing Apparatus}
도 1은 본 발명의 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비를 개략적으로 보여주는 부분사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 감지센서가 장착된 스테이지를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 스테이지 상에 감지센서의 다른 설치위치를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 감지센서의 다른 실시예를 보여주는 사시도이다.
도 5a는 도 4에 도시된 선 I-I’를 따르는 부분단면도이다.
도 5b는 도 2에 도시된 감지센서의 또 다른 실시예를 보여주는 부분단면도이다.
도 6은 본 발명에 따르는 카세트 감지센서의 동작을 보여주는 블럭도이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호설명 **
100 : 본체
120 : 도어부
150 : 카세트
170 : 로딩부
200 : 스테이지
300, 400, 410 : 감지센서
310 : 발광부
320 : 수광부
500 : 제어부
550 : 경보기
본 발명은 반도체 제조설비의 카세트 감지장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 스테이지에 안착되는 카세트의 안착상태를 감지하여 설비내로 안정적으로 로딩하여 공정을 진행하도록 하는 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼 상에 필요한 공정을 진행하기 위해 반도체 제조설비 내로 다수매의 웨이퍼가 적재된 카세트를 로딩시키는데, 이와 같은 카세트는 반도체 제조설비 내의 로딩부 근방의 스테이지 상에 안착되어 대기하게 된다.
먼저 카세트를 반도체 제조설비의 로딩부 근방에 대기하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
작업자는 상기 카세트를 로딩부 근방에 설치되는 스테이지 상에 안착시키게 되는데 이때, 장치의 오동작으로 인해 스테이지 벽면에 카세트의 일측부가 걸침으로 인해 기울어지는 경우, 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들도 기울어져 비정상적인 적재상태로 된다.
또한, 카세트가 상기와 같이 스테이지 상에 비정상 안착된 상태로 설비 내로 투입되는 경우, 설비 입구부에 충돌할 가능성이 있으며, 이와 같이 충돌이 발생하면 카세트 내에 적재된 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있다.
그리고 상기와 같은 상태에서 카세트가 본체내로 인입되어 로딩부에 의해 웨이퍼가 인출되는 경우, 웨이퍼가 카세트 내에서 기울어진 상태로 인출되므로 웨이퍼 표면에 스크레치가 발생되어 제품불량을 야기시키는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 웨이퍼가 적재된 카세트가 스테이지 상에 안착될 경우, 카세트의 기울어짐 상태를 감지하여, 카세트가 정상적으로 안착되었을 때만 설비내로 로딩시키고, 그렇지 못한 경우 공정을 중지하도록 하여 카세트가 스테이지상에 비정상적으로 안착됨으로 발생하는 웨이퍼 파손 및 스크레치를 방지하여 생산성을 향상시킴과 아울러 제품 수율을 향상시키도록 한 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비를 제공함에 있다.
본 발명은 웨이퍼를 로딩하는 로딩부가 설치된 본체와; 상기 본체에 설치되어 상기 웨이퍼를 적재한 카세트를 안착시켜 상기 로딩부로 안내하는 스테이지; 및 상기 스테이지 상에 설치되어 상기 카세트의 기울어짐을 감지하는 카세트 감지장치를 구비한다.
여기서 상기 카세트 감지장치는 상기 스테이지 상에 설치되어 상기 스테이지 상에 안착되는 상기 카세트의 기울어짐을 감지하는 복수개의 감지센서와, 상기 감지센서로로 부터 신호를 전달 받아 공정을 제어하는 제어부를 포함한다.
그리고 상기 감지센서는 상기 카세트와 상기 스테이지와의 접촉면을 경계로 대응되도록 설치되되, 일측은 신호를 발생시키는 발광부이고 타측은 상기 발광부로 부터의 신호를 전달받는 수광부로 구성된 광센서인 것이 바람직하다.
또한, 상기 감지센서는 상기 스테이지 바닥면에 상기 카세트 하면과의 접촉유무를 감지하도록 장착된 근접센서이거나, 상기 카세트의 중량을 감지하는 압력센서인 것이 바람직하다.
그리고, 상기 카세트 감지장치에는 상기 제어부로 부터 신호를 전달받아 공정 중지를 알리는 경보기가 추가로 장착되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비의 실시예를 설명하도록 한다.
먼저, 본 발명의 제 1실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 카세트 감지장치가 설치된 반도체 제조설비를 보여주는 부분사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 스테이지를 보여주는 부분사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 감지센서의 또 다른 설치위치를 보여주는 스테이지의 평면도를 보여 주고 있다.
도 1 및 도 2를 참조로 하면, 본 발명의 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비는 내부로 다수매의 웨이퍼(미도시)를 로딩하는 이송로봇등의 로딩부(170)가 설치된 본체(100)와, 로딩부(170) 근방의 본체(100) 입구부에 설치되어 다수매의 웨이퍼가 적재된 카세트(150)가 안착되고, 본체(100) 내부로 인입되도록 설치된 스테이지(200)와, 스테이지(200)를 본체 내부로 인입시키도록 회전하는 회전축(120)과, 스테이지(200) 상의 카세트(150)가 본체(100) 내로 로딩된 후 본체(100)를 밀폐하기 위해 승하강 동작하도록 설치된 도어부(110) 및 스테이지(200) 상에 안착되는 카세트(150)의 기울어짐을 감지하는 카세트 감지장치를 구비한다.
도 1 및 도 6을 참조하면, 카세트 감지장치는 스테이지(200)에 설치되고, 스테이지(200) 상에 안착되는 카세트(150)의 기울어짐을 감지하는 감지센서(300)와, 감지센서(300)로 부터 신호를 전달 받아 스테이지(200)를 로딩부(170)측으로 회전시킴과 아울러 공정을 진행하는 제어부(500)를 포함한다.
도 2를 참조하면, 감지센서(300)는 광센서로써, 카세트(150)와 스테이지(200)와의 접촉면을 경계로 대응되도록 설치되고, 일측은 신호를 출사하는 발광부(310)와, 타측은 발광부(310)로 부터 출사된 신호를 수신하여 제어부(500)로 신호를 전달하는 수광부(320)로 구성된다.
여기서 스테이지(200) 상에 장착되는 감지센서(300)는 카세트(150)의 양측면에서의 기울어짐을 감지하기 위해 카세트(150)와 스테이지(200)와의 접촉면을 경계로 대응되도록 설치된다.
물론, 감지센서(300)는 카세트(150)의 형상에 따라 스테이지(200) 바닥면에 접촉되는 카세트(150) 하면 외곽둘레를 기준으로 설치하는 것이 바람직하다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 제 1실시예에 따른 작동 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
도 2 및 도 6을 참조하면, 카세트(150)가 스테이지(200) 상에 안착될 경우, 장치의 오동작으로 인해 카세트(150) 일측이 스테이지(200) 벽면에 걸쳐 기울어지게 되면 스테이지(200) 바닥면과 카세트(150) 하면과의 사이에 공간이 형성되고, 그 공간 사이로 전달되는 발광부(310)로 부터의 신호는 수광부(320)에서 감지된다.
이어, 수광부(320)는 제어부(500)로 신호를 보내주게 되고, 제어부(500)는 신호를 보내 로딩부(170)의 동작을 정지시킴과 아울러 도어부(110)의 동작을 중지한다.
한편, 이와 아울러 제어부(500)와 연결되어 공정을 알리는 경보기(550)가 추가로 설치되어 상기와 같이 카세트(150)가 기울어져 스테이지(200) 바닥면에 비정상 안착되는 경우 작업자에게 이를 알리도록 하여 적절한 조치를 취할 수 있게 한다.
그러므로, 카세트(150)가 스테이지(200) 상에 비정상 안착되는 경우, 제어부(500)는 복수개의 감지센서(300) 중 어느 하나의 감지센서(300)로 부터 신호를 받게 되면 공정을 중지시킴과 이울러 경보기(550)로 신호를 보내주어 작업자에게 공정중지를 알리는 것이다.

다음은 도 3을 참조로 하여 본 발명의 제 2실시예를 설명하도록 한다.
도 3을 참조하면, 상기와 같은 감지센서(300)를 카세트(150)의 사방측 모서리면 기준으로 카세트(150)의 사방면에서의 기울어짐을 감지할 수 있도록 스테이지(200) 상에 설치한다.
따라서, 카세트(150)가 스테이지(200)상에 형성된 하나의 벽면에 접촉되어 걸친 상태로 기울어지는 경우 상기와 같이 발광부(310)로 부터 신호를 수광부(320)가 감지하여 제어부(500)로 신호를 주어 공정을 중지하게 하는 것이다.
한편, 상기에서 설명한 카세트(150)가 안착되는 스테이지(200) 바닥면에는 카세트(150)의 모서리부가 틀어지지 않고 정상적으로 안착되도록 가이드하는 가이드홈(미도시) 또는 가이드부재(미도시)가 형성되어 있을 수도 있다.
이와 같이 가이드홈이 형성된 경우, 감지센서(300)를 상기와 같이 설치하여도 무방하나, 가이드부재가 돌출되어 형성된 경우, 이 부분을 제외한 곳의 카세트(150) 하면 안착상태를 감지하도록 상기 광센서등의 감지센서(300)를 설치하여야 한다.
다음은 본 발명의 제 3실시예를 설명하도록 한다.
상기와 같이 스테이지(200) 상에 카세트(150)의 기울어짐 상태를 감지하기 위하여 카세트(150) 하면의 근접 상태를 감지하게 할 수도 있다.
도 4는 상기 감지센서를 근접센서로 사용하여 스테이지 바닥면에 복수개 삽입설치한 것을 보여주는 사시도이고, 도 5a는 도 4에 도시된 선 I-I’를 따르는 부분 단면도이다.
도 4 및 도 5a를 참조하면, 카세트(150)와 스테이지(200)와의 접촉면 근접센서등의 감지센서(400)를 삽입설치한다.
그리고 근접센서는 카세트(150) 하면이 근접함에 따라 신호를 발생시키는 구성을 갖고, 카세트(150)의 하면과 스테이지(200) 바닥면과의 최소한의 감지 높이(h)를 갖는다. 상기 감지 높이(h)는 실제로 카세트(150)가 기울어져 그 내부에 적재된 웨이퍼가 기울어지지 않는 상태이거나, 근접센서의 감지에러인 것이 바람직하다.
또한, 카세트(150)의 하면형상이 다양한 이유로 상기 근접센서 설치시, 카세트(150)의 하면 형상에 따라 접촉되는 스테이지(200) 바닥면에 설치하는 것이 바람직하다.
따라서 도 6을 참조하면, 카세트(150)가 스테이지(200) 상에 안착시 카세트(150) 하면을 감지하는 복수개의 근접센서중 어느 하나의 센서가 감지가 되지 않는 경우 제어부(500)를 통해 공정을 중지시키고, 경보기를 통해 알람을 발생시킨다.
즉, 복수개의 근접센서에서 상기 카세트(150)의 하면을 모두 감지하는 경우에만 제어부(500)로 신호를 보내주어 공정을 진행시키는 것이다.
다음은 본 발명의 제 4실시예를 설명하도록 한다.
도 5b는 스테이지 바닥면에 카세트의 중량을 감지하게 위해 복수개 삽입설치된 압력센서를 보여주는 부분 단면도이다.
도 5b 및 도 6을 참조하면, 도 5a에 도시된 스테이지(200) 바닥면에 근접센서 대신 카세트(150)의 하면이 접촉되는 스테이지(200) 바닥면에 압력센서등의 감지센서(410)를 설치한다.
압력센서는 스테이지(200) 바닥면에 홈(414)이 형성되어 홈(414) 상부에 소정 높이 돌출되도록 형성된 감지단(411)과 상기 감지단(411)으로 부터 전달되는 중량을 감지하는 감지기(413)로 구성되며, 감지단(411)과 감지기(413) 사이에는 스프링(412)이 개재된다.
따라서, 카세트(150)가 안착되는 경우, 카세트(150) 하면이 상기 압력센서의 감지단(411)을 누름으로써 복수개로 설치된 감지기(413)에서 중량이 감지되고, 이어 감지기(413)는 제어부(500)로 신호를 보내주어 공정을 진행하도록 한다.
여기서, 어느 하나의 압력센서에서 중량이 감지되지 않는 경우, 제어부(500)는 경보기(550)를 통해 공정을 중지시키는 알람을 발생시킴과 아울러 공정을 중지시킨다.
한편, 상기 실시예들에서 상술한 광센서와 근접센서 또는 광센서와 압력센서를 상기 스테이지(200) 상에 동시에 장착하여 제어부(500)를 통해 상기와 같이 공정을 제어하게 할 수도 있다.
따라서, 본 발명에 의하면, 작업자가 카세트를 스테이지 상에 안착 시킬 경 우, 카세트 안착상태를 실시간으로 감지하여 설비내로 이송시키는 공정을 제어하여 카세트가 스테이지 상에 정상적으로 안착된 경우에만 공정을 진행하도록 함으로써 웨이퍼 파손등으로 인한 공정사고를 줄이고, 작업시간을 단축하여 생산성을 향상시킴은 물론 공정사고로 인한 공수비용을 줄일수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 웨이퍼를 로딩하는 로딩부가 설치된 본체;
    상기 본체에 설치되어 상기 웨이퍼를 적재한 카세트를 안착시켜 상기 로딩부로 안내하는 스테이지; 및
    상기 스테이지 상에 설치되어 상기 카세트의 기울어짐을 감지하는 카세트 감지장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 카세트 감지장치은 상기 스테이지 상에 설치되어 상기 스테이지 상에 안착되는 상기 카세트의 기울어짐을 감지하는 복수개의 감지센서와, 상기 감지센서로 부터 신호를 전달 받아 공정을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 감지센서는 상기 카세트와 상기 스테이지와의 접촉면을 경계로 대응되도록 설치되되, 일측은 신호를 발생시키는 발광부이고 타측은 상기 발광부로 부터의 신호를 전달받는 수광부로 구성된 광센서인 것을 특징으로 하는 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 감지센서는 상기 스테이지 바닥면에서 상기 카세트 하면과의 접촉유무를 감지하도록 장착된 근접센서인 것을 특징으로 하는 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 감지센서는 상기 스테이지 바닥면에서 상기 카세트 하면의 중량을 감지하도록 장착된 압력센서인 것을 특징으로 하는 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 카세트 감지장치에는 상기 제어부로 부터 신호를 전달받아 공정 중지를 알리는 경보기가 추가로 장착되는 것을 특징으로 하는 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비.
KR1020040103225A 2004-12-08 2004-12-08 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비 KR20060064391A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040103225A KR20060064391A (ko) 2004-12-08 2004-12-08 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040103225A KR20060064391A (ko) 2004-12-08 2004-12-08 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060064391A true KR20060064391A (ko) 2006-06-13

Family

ID=37159962

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040103225A KR20060064391A (ko) 2004-12-08 2004-12-08 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060064391A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180000423A (ko) * 2016-06-23 2018-01-03 에스케이실트론 주식회사 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180000423A (ko) * 2016-06-23 2018-01-03 에스케이실트론 주식회사 반도체 제조 장비의 카세트 로딩 장치 및 이를 이용한 카세트 로딩 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100568869B1 (ko) 반도체 제조설비의 카세트 포지션 조절장치 및 그 방법
TW201448087A (zh) 基板運送裝置、基板運送方法及記憶媒體
KR20060064391A (ko) 카세트 감지장치를 갖는 반도체 제조설비
KR100212709B1 (ko) 반도체 제조 설비의 웨이퍼 이중 감지 시스템 및 방법
KR20100069893A (ko) 웨이퍼 이송 장치 및 그 방법
KR20070021802A (ko) 웨이퍼 이송용 로봇암
KR20100073296A (ko) 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서
KR100342397B1 (ko) 에스엠아이에프 장치의 웨이퍼 수량 산출장치 및 방법
KR102496544B1 (ko) 웨이퍼 안착 상태 감지기능을 구비하는 웨이퍼 버퍼
KR20070079138A (ko) 웨이퍼 이송 장치
KR20060124494A (ko) 반도체 소자 제조용 확산설비의 웨이퍼 카세트 스테이지
KR100208031B1 (ko) 잔류 웨이퍼 이중 감지 시스템 및 방법
KR20060063438A (ko) 웨이퍼 이송용 로봇암
KR20060092595A (ko) 웨이퍼 캐리어 로딩 방법 및 이를 수행하기 위한 장치
KR20070041963A (ko) 웨이퍼 이송장치
KR100790743B1 (ko) 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 충돌 방지 장치 및 그를이용한 웨이퍼 로딩 제어 방법
KR100583955B1 (ko) 반송 웨이퍼 위치감지기능을 갖는 반도체 제조 설비
KR20090040703A (ko) 웨이퍼 이탈 감지 유니트를 갖는 반도체 제조 설비
KR20070013038A (ko) 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지 및 이를이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법
JP2000114350A (ja) ウェーハの検出装置及び検出方法
KR20100079219A (ko) 웨이퍼 돌출 감지장치
KR20060037092A (ko) 반도체 소자 제조용 장비
KR20030024346A (ko) 반도체 제조설비의 웨이퍼 매핑에러 감지장치 및 방법
KR20060040272A (ko) 웨이퍼 이송 장치
KR20070062776A (ko) 반도체 소자 제조 설비

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination