KR20060063438A - 웨이퍼 이송용 로봇암 - Google Patents

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KR20060063438A
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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 이송하는 도중 웨이퍼의 틀어짐 상태를 즉시 감지할 수 있는 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것으로서, 몸체와 몸체에 장착되고 웨이퍼가 안착되는 안착면이 마련된 안착부 및 안착부에 장착된 복수개의 광센서 등의 웨이퍼 감지센서를 구비한다. 따라서 공정 진행 중 웨이퍼가 안착부에서 틀어지는 경우 이를 즉시 감지하여 공정을 중지시킴으로서 웨이퍼가 틀어진 상태로 공정이 진행됨으로 인한 공정사고나 제품불량등의 문제를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
웨이퍼, 틀어짐, 센서

Description

웨이퍼 이송용 로봇암{Robot Arm Used to Transfer Wafer}
도 1은 종래의 웨이퍼 이송용 로봇암을 보여주는 부분사시도이다.
도 2는 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암을 보여주는 부분사시도이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호설명 **
200 : 로봇암
210 : 안착부
212 : 안착면
300, 330 : 웨이퍼 감지센서
310 : 발광부
320 : 수광부
본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 이송하는 도중 웨이퍼의 틀어짐 상태로 인한 공정사고를 미연에 방지할 수 있는 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조설비는 웨이퍼에 대한 공정을 진행하기 위해 공정챔버로 로딩하거나 또는 공정을 끝마친 후 언로딩하는 웨이퍼 이송용 로봇암이 설치된다.
예를 들면, 종래 반도체 제조설비에는 다수개의 프로세스 챔버(Process chamber)와, 이 다수개의 프로세스 챔버 사이에 위치되며 웨이퍼 이송용 로봇암이 설치된 로드락 챔버(Loadlock chamber) 및 다수개의 웨이퍼가 정렬되어 대기되는 웨이퍼 대기챔버가 구비되고 있으며, 웨이퍼 이송암은 이 웨이퍼 대기챔버와 다수개의 프로세스 챔버 사이에서 순차적으로 웨이퍼를 빠르게 로딩(Loading)/언로딩 (Unloading)시킴으로써 우수한 드루풋을 얻을 수 있으면서도 매우 정밀한 공정을 수행하게 된다.
도 1은 종래의 웨이퍼 이송용 로봇암을 보여주는 부분사시도이다.
도 1을 참조 하면, 종래 웨이퍼 이송용 로봇암(100)은 안착면(112)이 형성된 안착부(110)를 갖는 형태로 되고, 상기 안착부(110) 일측부에는 안착부(110)에 안착되는 웨이퍼(W)의 적재 상태를 감지하는 감지센서(130)가 부착된다.
상기와 같은 구성을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇암(100)은 모터등의 구동수단(미도시)에 의해 동력을 제공받아 구동하게 되며 이때, 웨이퍼 대기챔버(미도시)에 대기된 웨이퍼(W)를 다수개의 프로세스 챔버(미도시)로 빠르게 로딩 및 언로딩시킴과 아울러 웨이퍼 이송용 로봇암(100)이 상승과 하강 및 회전과 전후진의 동작으로 빠르게 반복하면서 웨이퍼(W)를 이송하게 된다.
그러나 이상과 같은 종래 웨이퍼 이송용 로봇암(100)을 이용하여 웨이퍼(W) 를 이송할 경우, 웨이퍼 이송용 로봇암(100)은 상승과 하강 및 회전과 전후진 등의 동작을 매우 빠르게 행하기 때문에 웨이퍼 이송용 로봇암(100) 상에는 원심력이나 진동 등이 발생되고, 이 원심력이나 진동 등은 웨이퍼(W)를 안착부(110)에서 외부로 이탈시켜 웨이퍼(W) 드롭이나 공정진행불량 등을 야기시킴과 아울러 감지센서(130)가 단일개로 장착되어 있기 때문에 도 1에 도시된 바와 같이 안착부(110) 일측에 걸쳐져 웨이퍼(W)가 불안정한 상태로 적재된 경우에도 공정을 계속 진행하여 종국에는 공정사고를 비롯한 제품불량을 야기시키는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼가 안착되는 안착부에 복수개의 웨이퍼 안착을 감지함과 아울러 웨이퍼 틀어짐을 감지할 수 있는 감지센서를 설치하여 이송전이나 또는 이송 중에 웨이퍼가 이탈되는 즉시 공정을 중지하도록 하여 그로 인한 공정사고를 미연에 방지할 수 있는 웨이퍼 이송용 로봇암을 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암은 외부로 부터의 동력을 제공받아 구동하는 몸체와; 상기 몸체에 장착되고, 웨이퍼가 안착되는 안착면이 마련된 안착부; 및 상기 안착부에 장착된 복수개의 웨이퍼 감지센서를 포함한다.
여기서 상기 위치감지센서는 상기 안착면 근방에 삽입 설치된다.
그리고 상기 위치감지센서는 초음파센서와 광센서와 근접센서와 무게센서 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
또한 상기 위치감지센서는 광을 발산하는 발광부와, 상기 발광부로부터의 광을 수광하는 수광부로 구성될 수도 있다.
나아가 상기 위치감지센서로부터 소정의 신호를 받아 상기 몸체의 구동을 제어하는 제어부가 더 설치되고 제어부로부터 신호를 받아 알람을 발생시키는 경보기가 더 설치되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암의 바람직한 실시예를 보여주는 부분사시도이다.
먼저, 도 2를 참조하여 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암의 구성을 좀 더 구체적으로 설명하도록 한다.
본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암(200)은 외부로 부터의 모터(미도시)를 통해 동력을 제공받아 구동하는 몸체(220)가 형성되고, 몸체(220)에 일측에 장착된 안착부(210)로 구성된다.
안착부(210)는 그 내측에 웨이퍼(W)가 안착되는 안착면(211)이 형성되고, 안착면(212) 근방에는 웨이퍼(W)의 안착을 감지하는 웨이퍼 감지센서(300)가 복수개 삽입 설치된다.
여기서 웨이퍼 감지센서(300)는 안착면(212)에 삽입 설치되거나, 안착면 (212) 내측벽에 삽입 설치될 수도 있다.
그리고 웨이퍼 감지센서(300)는 초음파센서와, 광센서와, 근접센서 중 어느 하나인 것이 바람직하고, 또한 무게센서를 사용할 경우 안착면(212)에 삽입 설치함이 바람직하다.
그리고 웨이퍼 감지센서(300)의 신호를 받아 로봇암(200)의 구동을 제어하는 제어부(미도시)가 설치된다.
한편, 상기 웨이퍼 감지센서(300)는 웨이퍼(W)의 안착상태를 감지하되, 한조로 구성된 웨이퍼 감지센서(330)일 수도 있다. 즉, 광을 발산하는 발광부(310)와 발광부(310)로부터 발산된 광을 수광하는 수광부(320)로 구성된 웨이퍼 감지센서(330)가 다수개의 안착면(212) 근방에 장착되는 것이다.
상기와 같이 구성을 통한 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암(200)의 동작 및 효과를 설명하도록 한다.
도 2를 참조하면, 몸체(220)가 구동하기 전에 안착부(210)에 웨이퍼(W)를 안착하거나, 안착부(210)에 웨이퍼(W)가 안착된 상태로 몸체(220)가 구동하는 도중, 웨이퍼(W)가 틀어지거나 이탈되는 경우 웨이퍼 감지센서(300)는 이를 감지한다.
즉, 안착부(210)의 안착면(212) 근방에 장착된 초음파센서 등의 웨이퍼 감지센서(300)는 웨이퍼(W) 일부에 반사되면서 웨이퍼(W) 안착상태를 감지하는데, 웨이퍼(W)가 안착면(212)에서 들뜨거나 안착부(210) 상부 일측에 걸쳐지는 경우, 어느 하나의 웨이퍼 감지센서(300)는 웨이퍼(W)가 없는 것으로 간주하여 제어부로 신호 를 전달하여 준다.
제어부는 상기와 같이 복수개의 웨이퍼 감지센서(300) 중 적어도 어느 하나로부터 신호를 받으면 모터의 동력을 중지시켜 몸체(220)의 구동을 중지시킨다.
또한 제어부에 의해 상기와 같이 몸체(220)의 구동이 중지됨과 아울러 별도로 설치된 경보기(미도시)를 통해 알람을 발생시켜 공정중지를 작업자에게 알린다.
상기와 같은 웨이퍼 감지센서(300)를 초음파센서 외에 물체의 근접상태를 감지하는 근접센서 또는 광으로 물체의 존재유무를 감지하는 광센서를 사용할 수도 있다.
그리고 상기의 웨이퍼 감지센서(300)를 무게감지센서를 사용할 수도 있는데 이는 웨이퍼(W)가 안착되어 웨이퍼(W)의 무게를 감지해야 하므로 안착부(210)의 안착면(212) 상에 복수위치에 설치되는 것이 바람직하다.
따라서 상기와 같은 센서(300)들로부터 웨이퍼(W)를 감지하지 못한 신호를 제어부가 전달 받을 경우 상기와 동일한 방법으로 공정을 중지시킨다.
한편, 상기의 웨이퍼 감지센서(330)를 발광부(310)와 수광부(320)로 구성된 한조의 센서를 안착면(212) 복수위치에 설치하여 사용할 수도 있는데, 이러한 경우 안착부(210)에 안착되는 웨이퍼(W)가 일측이 안착부(210) 상부에 걸쳐져 들뜨게 되면 수광부(320)에서는 발광부(310)의 광을 수신하게 되고 즉시 제어부로 신호를 전달시켜 몸체(220)의 구동을 중지시킨다. 그리고 상기와 같이 경보기를 통해 공정중지를 알리는 알람을 발생시킨다.
따라서 수광부(320)에서 발광부(310)의 광을 감지하지 못하면 웨이퍼(W)가 정상적으로 안착된 것으로 간주하여 공정을 진행한다.
따라서 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇암에 의하면, 공정을 진행하기 위한 웨이퍼를 로봇암의 안착부에 안착시키거나, 안착된 상태로 챔버측으로 이송되는 도중 진동으로 인해 웨이퍼가 안착부에서 틀어지는 경우 이를 즉시 감지하여 공정을 중지시킴으로서 웨이퍼가 틀어진 상태로 공정이 진행됨으로 인한 공정사고나 제품불량등의 문제를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 외부로 부터의 동력을 제공받아 구동하는 몸체;
    상기 몸체에 장착되고, 웨이퍼가 안착되는 안착면이 마련된 안착부; 및
    상기 안착부에 장착된 복수개의 웨이퍼 감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 위치감지센서는 상기 안착면 근방에 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 위치감지센서는 초음파센서와 광센서와 근접센서와 무게센서 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 위치감지센서는 광을 발산하는 발광부와, 상기 발광부로부터의 광을 수광하는 수광부로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 위치감지센서로부터 소정의 신호를 받아 상기 몸체의 구동을 제어하는 제어부가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암.
KR1020040102614A 2004-12-07 2004-12-07 웨이퍼 이송용 로봇암 KR20060063438A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180127686A (ko) * 2017-05-22 2018-11-30 오세덕 반도체 제조설비의 웨이퍼 맵핑장치

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