JP2018107312A

JP2018107312A - 加工装置

Info

Publication number: JP2018107312A
Application number: JP2016252963A
Authority: JP
Inventors: 祐司紀; Yuji Nori
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-12-27
Filing date: 2016-12-27
Publication date: 2018-07-05

Abstract

【課題】加工装置に設定されたカセットがカセットステージに正常に載置されているか否かを確認する。【解決手段】加工装置１０は、カセットステージ２０と通知手段３０とを備え、カセットステージ２０は、カセット１，１Ａが載置される載置面２１と位置決めブロック２２とカセット１，１Ａが位置決めされ載置面２１の正常な載置位置Ｐに載置されたらＯＮとなり載置位置Ｐに載置されていなければＯＦＦとなるスイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃとを備え、例えば載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１が載置されたときにスイッチ２３ａ，２３ｂが押し下げられたらＯＮであると通知手段３０がオペレータに通知でき、載置位置Ｐにカセット１が載置されたときにスイッチ２３ａ，２３ｂが押し下げられなかったらＯＦＦであると通知手段３０がオペレータに通知でき、加工装置１０が加工開始可能か否かを容易に判断できる。【選択図】図１

Description

本発明は、複数の被加工物を収容するカセットが載置されるカセットステージを備える
加工装置に関する。

ウエーハなどの被加工物は、上下方向に複数段の棚部が形成されたカセットに収容される（例えば、下記の特許文献１を参照）。複数のウエーハが収容されたカセットは、例えば、ウエーハに切削、研削等などを施す加工装置に搭載される。加工装置は、複数のウエーハが収容されたカセットが載置されるカセットステージと、ウエーハを保持する保持テーブルと、カセットに対するウエーハの搬出入を行う搬送ロボットとを備えている。そして、搬送ロボットによって、カセットステージに載置されたカセットから保持テーブルへウエーハを搬送し加工が終了したら、搬送ロボットが加工テーブルからカセットへウエーハを収容している。

ここで、下記の特許文献２に示すカセットステージにおいては、カセットが正常に載置されているか否かを認識するスイッチが載置面に配設されている。また、カセットステージに載置されるカセットの種類（カセットのサイズや形状）に応じ、カセットステージの載置面に複数のスイッチが配設され、スイッチのＯＮ／ＯＦＦの組み合わせによってカセットの種類を判別している。そして、カセットステージにカセットを載置する際には、予めオペレータがカセットのサイズや形状などの仕様を加工装置に設定しておき、カセットによって押し下げられたスイッチの組み合わせに基づいて判別したカセットの仕様と予め設定したカセットの仕様とが一致したら、カセットステージにカセットが正常に載置されていると判断している。

特開平９−０２７５４３号公報特開２０１５−１１５５４５号公報

しかし、一見してカセットがカセットステージに正常に載置されていても、予め加工装置に設定されたカセットの仕様と異なるカセットを間違えてカセットステージに載置した場合は、例えば加工装置のモニターなどにエラーメッセージが表示される。また、僅かに
カセットがずれた状態でカセットステージに載置されオペレータが気づかない場合やスイッチが故障したときは、オペレータの目視確認では正常であるものの加工装置は異常であると判断して加工装置を稼働することができない。この場合は、オペレータがカセットをカセットステージの正常な位置に載置したり、加工装置の操作画面で設定の確認や変更などの作業を繰り返したりする必要があり、オペレータの作業負担が大きいという問題がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、加工装置に設定されたカセットがカセットステージに正常に載置されているか否かを確認できるようにすることを目的としている。

本発明は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段が保持した被加工物を加工する加工手段と、被加工物を収容するカセットが載置されるカセットステージと、該カセットステージに載置された該カセットと該保持手段との間で被加工物を搬送する搬送手段とを備える加工装置であって、該カセットステージは、該カセットが載置される載置面と、該載置面上で該カセットの載置面方向の位置を位置決めする位置決めブロックと、該カセットが該位置決めブロックによって位置決めされ該載置面の正常な載置位置に載置されたらＯＮとなり該載置面の正常な載置位置に載置されていなければＯＦＦとなるスイッチと、を備え、該スイッチのＯＮ／ＯＦＦの状態をオペレータに通知する通知手段を備え、該カセットステージに該カセットが載置されたときの該通知手段による通知によって該加工装置が加工開始可能か否かをオペレータに知らせることができる。

また、本発明は、上記カセットステージの上記載置面に３つ以上のスイッチが配設され、該カセットの仕様の違いによって少なくとも２つの該スイッチを押し下げ、押し下げられた該スイッチによって該カセットを判別する判別手段を備え、該判別手段が判別した該カセットと予めオペレータが設定した該カセットとを比較して一致している場合は該スイッチがＯＮのときと同じ通知をオペレータに知らせ、一致していない場合は該スイッチがＯＦＦのときと同じ通知をオペレータに知らせることができる。

本発明にかかる加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、保持手段が保持した被加工物を加工する加工手段と、被加工物を収容するカセットが載置されるカセットステージと、カセットステージに載置されたカセットと保持手段との間で被加工物を搬送する搬送手段とを備え、カセットステージは、カセットが載置される載置面と、載置面上でカセットの載置面方向の位置を位置決めする位置決めブロックと、カセットが位置決めブロックによって位置決めされ載置面の正常な載置位置に載置されたらＯＮとなり載置面の正常な載置位置に載置されていなければＯＦＦとなるスイッチとを備え、スイッチのＯＮ／ＯＦＦの状態をオペレータに通知する通知手段を備えたため、カセットステージにカセットが載置されたときにスイッチが押し下げられたら、スイッチがＯＮとなり、かかる状態を通知手段によってオペレータに通知することができる。また、カセットステージにカセットが載置されたときにスイッチが押し下げられなかったら、スイッチがＯＦＦとなり、かかる状態を通知手段によってオペレータに通知することができる。これにより、オペレータは、加工装置が加工開始可能か否かを容易に判断することができ、オペレータの作業負担を軽減することができる。

また、本発明にかかる加工装置は、カセットステージの載置面に３つ以上のスイッチが配設され、カセットの仕様の違いによって少なくとも２つのスイッチを押し下げ、押し下げられたスイッチによってカセットを判別する判別手段を備え、判別手段が判別したカセットと予めオペレータが設定したカセットとを比較して一致している場合はスイッチがＯＮのときと同じ通知をオペレータに知らせ、一致していない場合はスイッチがＯＦＦのときと同じ通知をオペレータに知らせるように構成したため、カセットステージの載置面に所望の仕様のカセットが載置されているか否かを容易に判断することができる。

加工装置の構成を示す斜視図である。加工装置の第１の動作例を説明する平面図である。加工装置の第２の動作例を説明する平面図である。

１加工装置の構成
図１に示す加工装置１０は、被加工物に切削加工を施す加工装置の一例であり、装置基台１００と、装置基台１００の−Ｘ方向側に配設された筐体１０１とを有している。装置基台１００の上面中央には、被加工物を保持する保持面１１ａを有する保持手段１１を備えている。保持手段１１は、Ｘ軸方向に移動可能な移動ベース１２によって下方から支持されている。そして、移動ベース１２が蛇腹１３の伸縮をともないＸ軸方向に移動することにより、保持手段１１をＸ軸方向に移動させることができる。

筐体１０１の側面１０１ａには、保持手段１１に保持された被加工物を切削加工する一対の加工手段１５と、一対の加工手段１５をそれぞれＹ軸方向に割り出し送りする２つの割り出し送り手段１６と、一対の加工手段１５をそれぞれＺ軸方向に昇降させる２つの昇降手段１７とを備えている。２つの加工手段１５は、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドル１５０と、スピンドル１５０を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング１５１と、スピンドル１５０の先端に着脱自在に装着された切削ブレード１５２とをそれぞれ備えている。

２つの割り出し送り手段１６は、Ｙ軸方向に延在する２本のボールネジ１６０と、それぞれのボールネジ１６０の先端に接続されたモータ１６１と、ボールネジ１６０と平行に配設された一対のガイドレール１６２と、一方の面が昇降手段１７に取り付けられた移動板１６３とをそれぞれ備えている。一対のガイドレール１６２には移動板１６３の他方の面が摺接し、移動板１６３の内部に形成されたナットにはボールネジ１６０が螺合している。そして、モータ１６１がボールネジ１６０を回動させることによりそれぞれの移動板１６３がガイドレール１６２にガイドされてＹ軸方向にそれぞれ移動し、昇降手段１７及び加工手段１５を同方向に移動させることができる。

２つの昇降手段１７は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ１７０と、ボールネジ１７０の一端に接続されたモータ１７１と、ボールネジ１７０と平行に配設された一対のガイドレール１７２と、下端部に加工手段１５が装着された昇降板１７３とをそれぞれ備えている。一対のガイドレール１７２には昇降板１７３が摺接し、昇降板１７３の内部に形成されたナットにはボールネジ１７０が螺合している。そして、モータ１７１によって駆動されてボールネジ１７０が回動することにより、昇降板１７３がガイドレール１７２にガイドされてＺ軸方向に移動し、加工手段１５を同方向に移動させることができる。

加工装置１０は、被加工物を収容するカセット１が載置されるカセットステージ２０と、カセットステージ２０に載置されたカセット１と保持手段１１との間で被加工物の搬送を行う搬送手段１４と、加工手段１５によって加工された被加工物を洗浄する洗浄手段１８と、少なくともＣＰＵ及び記憶部１９０を有し各種動作機構を制御する制御手段１９とを備えている。

カセット１は、一対の側板２と、側板２と直交する方向において一対の側板２の下部に連結されたプレート３と、一対の側板２の上部に連結された上板４と、側板２の内壁において上下方向に所定の間隔を設けて形成された複数の収容溝５と、側板２の外壁に取り付けられた取っ手６とにより構成されている。カセット１には、収容溝５において被加工物を水平な状態で収容することが可能となっている。このカセット１は、オペレータが取っ手６を把持して持ち運び可能となっている。カセットステージ２０に載置されるカセットとしては、図示したカセット１に限定されず、加工対象となる被加工物の大きさや形状に応じ、大きさや形状などの仕様を変更したカセットも含まれる。加工装置１０を稼働する際には、カセットステージ２０に載置されるべきカセットの仕様がオペレータによって予め制御手段１９の記憶部１９０に設定される。

カセットステージ２０は、例えば矩形状の載置台であって、カセット１が載置される載置面２１と、載置面２１上でカセット１の載置面方向の位置を位置決めする位置決めブロック２２と、カセット１が位置決めブロック２２によって位置決めされ載置面２１の正常な載置位置Ｐに載置されたらＯＮとなり載置面２１の正常な載置位置Ｐに載置されていなければＯＦＦとなるスイッチ２３ａ，２３ｂ，２３ｃとを備えている。

位置決めブロック２２は、例えば断面略Ｌ字形状のブロックである。位置決めブロック２２は、カセットステージ２０の載置面２１におけるカセットの正常な載置位置Ｐに沿ってその外側の四隅の位置に例えば４つ固定されている。位置決めブロック２２の内側面にカセット１の側板２の角部を当接させることにより、カセット１を載置面２１の載置面方向において位置決めすることができる。なお、位置決めブロック２２の個数は、本実施形態に示した個数に限られない。

カセットステージ２０の載置面２１に配設されるスイッチの個数は特に限定されないが、好ましくは３つ以上のスイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃが載置位置Ｐの内側において任意の位置に配設されている。つまり、３つのスイッチ２３ａ〜２３ｃは、カセットステージ２０に載置されるカセットの大きさや形状に応じた位置にそれぞれ配設されている。スイッチ２３ａは、例えば、図２に示すように、平面視における載置面２１に配設された左上の位置決めブロック２２の近傍の位置に配設されている。スイッチ２３ｂは、平面視における載置面２１の中央付近から右方側の位置に配設されている。かかるスイッチ２３ａ，２３ｂは、二点鎖線に示すカセット１の輪郭の内側に収まる位置に位置付けられ、カセット１の仕様に対応している。一方、スイッチ２３ｃは、例えば、図３に示すように、平面視における載置面２１の下方側で、かつ左下の位置決めブロック２２と右下の位置決めブロック２２との間の位置に配設されている。かかるスイッチ２３ｃは、例えば、プレート３よりも大きいプレート７を有する二点鎖線に示すカセット１Ａの輪郭の内側に収まる位置に位置付けられ、カセット１Ａの仕様に対応している。

図１に示すように、カセットステージ２０の近傍には、スイッチ２３ａ〜２３ｃのＯＮ／ＯＦＦの状態をオペレータに通知する通知手段３０を備えている。通知手段３０は、例えば、ＬＥＤや所定の音を鳴らすスピーカなどによって構成されている。カセット１がカセットステージ２０の載置面２１に載置されたときにスイッチ２３ａ，２３ｂが押し下げられたときは、通知手段３０によりオペレータにスイッチ２３ａ，２３ｂがＯＮの状態であると知らせて、載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１が載置されているとオペレータが認識することができる。また、カセット１がカセットステージ２０の載置面２１に載置されたときにスイッチ２３ａ，２３ｂの双方または一方が押し下げられないときは、通知手段３０によりオペレータにスイッチ２３ａ，２３ｂがＯＦＦの状態であると知らせて、載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１が載置されていないとオペレータが認識することができる。

図３に示すカセット１Ａがカセットステージ２０の載置面２１に載置されたときにスイッチ２３ａ〜２３ｃが押し下げられたときは、通知手段３０によりオペレータにスイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＮの状態であると知らせて、載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１Ａが載置されているとオペレータが認識することができる。また、カセットステージ２０の載置面２１にカセット１Ａが載置されたときにスイッチ２３ａ〜２３ｃの全部またはいずれか１つが押し下げられないときは、通知手段３０によりオペレータにスイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＦＦの状態であると知らせて、載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１Ａが載置されていないとオペレータが認識することができる。

加工装置１０は、例えば通知手段３０の隣接した位置にカセットの仕様の違いによって少なくとも２つのスイッチ２３ａ〜２３ｃを押し下げて、スイッチ２３ａ〜２３ｃのうちどれが押し下げられたかによって、カセットステージ２０に載置されたカセットの仕様を判別する判別手段３１を備えている。カセット１又は１Ａがカセットステージ２０の載置面２１に載置されたときに、判別手段３１が判別したカセット１又は１Ａの仕様と予めオペレータが記憶部１９０に設定したカセット１又は１Ａの仕様とを比較して一致している場合は、通知手段３０と同様に、スイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＮのときと同じ通知を判別手段３１によってオペレータに知らせることが可能となっている。一方で、カセット１又は１Ａがカセットステージ２０の載置面２１に載置されたときに、判別手段３１が判別したカセット１又は１Ａの仕様と予めオペレータが記憶部１９０に設定したカセット１又は１Ａの仕様とを比較して一致していない場合は、通知手段３０と同様に、スイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＦＦのときと同じ通知を判別手段３１によってオペレータに知らせることが可能となっている。判別手段３１についても、例えば、ＬＥＤやスピーカなどによって構成されている。

２加工装置の第１の動作例
次に、加工装置１０において、カセットステージ２０の載置面２１の正常な載置位置Ｐに所望のカセットが載置されているか否かを判断する第１の動作例について説明する。図１に示すウエーハＷは、円形板状の被加工物の一例であって、テープＴを介して環状のフレームＦと一体となった状態でカセット１に複数収容されている。第１の動作例では、制御手段１９の記憶部１９０に予めカセット１の仕様が設定されているものとする。

オペレータによって、カセット１をカセットステージ２０の載置面２１に載置するときに、位置決めブロック２２によって正常な載置位置Ｐにカセット１が位置決めされて載置されると、図２に示すように、平面視における左上の位置決めブロック２２と左下の位置決めブロック２２との間に位置付けられた側板２によってスイッチ２３ａが押し下げられるとともに、プレート３によってスイッチ２３ｂが押し下げられる。これにより、スイッチ２３ａ，２３ｂがＯＮの状態となり、通知手段３０によってスイッチ２３ａ，２３ｂの状態（ＯＮ）をオペレータに知らせる。通知手段３０がＬＥＤである場合は、所定の色（例えば緑色）の光を発光してオペレータに知らせることができる。また、通知手段３０がスピーカである場合は、所定の音を鳴らすことでオペレータに知らせることができる。そして、オペレータは、載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１が載置されていると認識し、加工装置１０が加工開始可能であると判断することができる。

一方、オペレータがカセット１をカセットステージ２０の載置面２１に載置するときに、例えば、載置面２１においてカセット１が僅かにずれてスイッチ２３ａ，２３ｂの一方が押し下げられない場合は、スイッチ２３ａ，２３ｂの一方がＯＦＦの状態となり、通知手段３０によってスイッチ２３ａ，２３ｂの状態（ＯＦＦ）をオペレータに知らせることができる。通知手段３０がＬＥＤである場合は、スイッチ２３ａ，２３ｂがＯＮのときと異なる色（例えば赤色）の光を発光してオペレータに知らせることができる。また、通知手段３０がスピーカである場合は、所定の警告音を鳴らすことでオペレータに知らせることができる。そして、オペレータは、載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１が載置されていないと認識し、加工装置１０が加工開始不可能であると判断することができる。この場合、オペレータは、カセット１を把持して載置面２１の正常な載置位置Ｐに載置しなおせばよい。

また、オペレータがカセット１をカセットステージ２０の載置面２１に載置して２つのスイッチ２３ａ，２３ｂを押し下げた場合は、判別手段３１によって判別されたカセット１の仕様と予めオペレータが制御手段１９の記憶部１９０に設定したカセット１の仕様とを比較して一致しているため、スイッチ２３ａ，２３ｂがＯＮのときと同じ通知を判別手段３１によってオペレータに知らせる。すなわち、判別手段３１がＬＥＤである場合は、所定の色（例えば緑色）の光を発光することでオペレータに適切なカセット１が載置面２１に載置されていることを知らせることができる。また、判別手段３１がスピーカである場合は、所定の音を鳴らすことでオペレータに適切なカセット１が載置面２１に載置されていることを知らせることができる。

一方、オペレータがカセット１と異なる仕様のカセット（例えば図３に示すカセット１Ａ）を誤って載置面２１に載置して３つのスイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃを押し下げた場合は、判別手段３１によって判別されたカセット１Ａの仕様と予めオペレータが制御手段１９の記憶部１９０に設定したカセット１の仕様とを比較しても一致していないため、スイッチ２３ａ，２３ｂがＯＦＦのときと同じ通知を判別手段３１によってオペレータに知らせる。すなわち、判別手段３１がＬＥＤである場合は、スイッチ２３ａ，２３ｂがＯＮのときと異なる色（例えば赤色）の光を発光してオペレータに不適切なカセット１Ａが載置面２１に載置されていることを知らせることができる。また、判別手段３１がスピーカである場合は、所定の警告音を鳴らすことでオペレータに不適切なカセット１Ａが載置面２１に載置されていることを知らせることができる。この場合、オペレータは、カセットステージ２０から不適切なカセット１Ａを取り出して、制御手段１９の記憶部１９０に設定されたカセット１をカセットステージ２０に載置すればよい。

このようにして、カセットステージ２０の載置面２１に所望のカセット１が載置されたら、ウエーハＷの加工を開始する。具体的には、搬送手段１４によって、フレームＦと一体となったウエーハＷをカセット１から引き出して保持手段１１に搬送する。続いて、移動ベース１２とともに保持手段１１を例えば−Ｘ方向に移動させ、加工手段１５の下方に移動させつつ、スピンドル１５０が回転し、切削ブレード１５２を所定の回転速度で回転させるとともに、昇降手段１７によって加工手段１５を−Ｚ方向に切り込み送りさせる。そして、回転する切削ブレード１５２をウエーハＷの上面に切り込ませて切削を行い、ウエーハＷを個々のデバイスに分割する。ウエーハＷの加工が完了した後、切削後のウエーハＷを洗浄手段１８に搬送し、洗浄手段１８でウエーハＷを洗浄後、搬送手段１４によって、ウエーハＷをカセット１に収容する。このようにして、カセット１に収容された全てのウエーハＷに対して加工、搬出入及び洗浄を行う。

３加工装置の第２の動作例
次に、加工装置１０において、カセットステージ２０の載置面２１の正常な載置位置Ｐに所望のカセットが載置されているか否かを判断する第２の動作例について説明する。第２の動作例では、制御手段１９の記憶部１９０に予め図３に示すカセット１Ａの仕様が設定されているものとする。

オペレータによって、カセット１をカセットステージ２０の載置面２１に載置するときに、位置決めブロック２２によって正常な載置位置Ｐにカセット１Ａが位置決めされて載置されると、図３に示すように、平面視における左上の位置決めブロック２２と左下の位置決めブロック２２との間に位置付けられた側板２によってスイッチ２３ａが押し下げられるとともに、プレート７によってスイッチ２３ｂ及び２３ｃが押し下げられる。これにより、スイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＮの状態となり、第１の動作例と同様に、通知手段３０によってスイッチ２３ａ〜２３ｃの状態（ＯＮ）をオペレータに知らせる。このようにして、通知手段３０による通知を受けたオペレータは、載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１Ａが載置されていると認識し、加工装置１０が加工開始可能であると判断することができる。

一方、オペレータがカセット１Ａをカセットステージ２０の載置面２１に載置するときに、例えば、載置面２１においてカセット１Ａが僅かにずれてスイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃのいずれか１つが押し下げられない場合は、スイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃのいずれか１つがＯＦＦの状態となり、第１動作例と同様に、通知手段３０によってスイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃの状態（ＯＦＦ）をオペレータに知らせる。このようにして、通知手段３０による通知を受けたオペレータは、載置面２１の正常な載置位置Ｐにカセット１Ａが載置されていないと認識し、加工装置１０が加工開始不可能であると判断することができる。この場合、オペレータは、カセット１Ａを把持して載置面２１の正常な載置位置Ｐに載置しなおせばよい。

また、オペレータがカセット１Ａをカセットステージ２０の載置面２１に載置して３つのスイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃを押し下げた場合は、判別手段３１によって判別されたカセット１Ａの仕様と予めオペレータが制御手段１９の記憶部１９０に設定したカセット１Ａの仕様とを比較して一致しているため、スイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＮのときと同じ通知を判別手段３１によってオペレータに知らせて、適切なカセット１Ａが載置面２１に載置されていることをオペレータに知らせることができる。

一方、オペレータがカセット１Ａと異なる仕様のカセット（例えば図２に示すカセット１）を誤って載置面２１に載置して２つのスイッチ２３ａ，２３ｂを押し下げた場合は、判別手段３１によって判別されたカセット１の仕様と予めオペレータが制御手段１９の記憶部１９０に設定したカセット１Ａの仕様とを比較しても一致していないため、スイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＦＦのときと同じ通知を判別手段３１によってオペレータに知らせて、不適切なカセット１が載置面２１に載置されていることをオペレータに知らせることができる。この場合、オペレータは、カセットステージ２０から不適切なカセット１を取り出して、制御手段１９の記憶部１９０に設定されたカセット１Ａをカセットステージ２０に載置すればよい。そして、カセットステージ２０の載置面２１に所望のカセット１Ａが載置されたら、第１の動作例と同様の動作によってウエーハＷの加工を開始し、カセット１Ａに収容された全てのウエーハＷに対して加工、搬出入及び洗浄を行う。

このように、本発明にかかる加工装置１０は、被加工物を保持する保持手段１１と、保持手段１１が保持した被加工物を加工する加工手段１５と、被加工物を収容するカセット１，１Ａが載置されるカセットステージ２０と、カセットステージ２０に載置されたカセット１，１Ａと保持手段１１とにおいて被加工物を搬送する搬送手段１４とを備え、カセットステージ２０は、カセット１，１Ａが載置される載置面２１と、載置面２１上でカセット１，１Ａの載置面方向の位置を位置決めする位置決めブロック２２と、カセット１，１Ａが位置決めブロック２２によって位置決めされ載置面２１の正常な載置位置Ｐに載置されたらＯＮとなり載置面２１の正常な載置位置Ｐに載置されていなければＯＦＦとなるスイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃとを備え、スイッチ２３ａ〜２３ｃのＯＮ／ＯＦＦの状態をオペレータに通知する通知手段３０を備えたため、例えば、カセットステージ２０にカセット１が載置されたときにスイッチ２３ａ，２３ｂが押し下げられたら、スイッチ２３ａ，２３ｂがＯＮとなり、かかる状態を通知手段３０によってオペレータに通知することができる。また、カセットステージ２０にカセット１が載置されたときにスイッチ２３ａ，２３ｂが押し下げられなかったら、スイッチ２３ａ，２３ｂがＯＦＦとなり、かかる状態を通知手段３０によってオペレータに通知することができる。これにより、オペレータは、加工装置１０が加工開始可能か否かを容易に判断することができ、オペレータの作業負担を軽減することができる。
また、加工装置１０は、カセットステージ２０の載置面２１に３つ以上のスイッチ２３ａ，２３ｂ及び２３ｃが配設され、カセット１，１Ａの仕様の違いによって少なくとも２つのスイッチ２３ａ〜２３ｃを押し下げ、スイッチ２３ａ〜２３ｃのうちどれが押し下げられたかによってカセット１，１Ａを判別する判別手段３１を備え、判別手段３１が判別したカセット１，１Ａと予めオペレータが設定したカセット１，１Ａとを比較して一致している場合はスイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＮのときと同じ通知をオペレータに知らせ、一致していない場合はスイッチ２３ａ〜２３ｃがＯＦＦのときと同じ通知をオペレータに知らせるように構成したため、カセットステージ２０の載置面２１に所望の仕様のカセット１，１Ａが載置されているか否かを容易に判断することができる。なお、カセットの仕様は、段数が異なっていたり、段の高さが異なっていたり、リングフレームの大きさが異なっていたり、リングフレームを収容しないでウエーハのみを収容する場合であったりすることによってカセットの形状（カセットの下部分）が異なっており、カセットの仕様が異なることを利用して押し下げるスイッチの数や配設位置がカセットステージにおいて異なることで、複数のカセットの仕様を判別する事ができる。

上記実施形態に示した加工装置１０は、切削装置として説明したが、カセット１，１Ａを搭載できる加工装置であれば特に限定されない。したがって、本発明は、研削装置やレーザ加工装置等にも適用することができる。

１，１Ａ：カセット２：側板３：上板４：プレート５：収容溝６：取っ手
７：プレート
１０：加工装置１００：装置基台１０１：筐体１０１ａ：側面
１１：保持手段１１ａ：保持面１２：移動ベース１３：蛇腹１４：搬送手段
１５：加工手段１５０：スピンドル１５１：スピンドルハウジング
１５２：切削ブレード１６：割り出し送り手段１６０：ボールネジ１６１：モータ
１６２：ガイドレール１６３：移動板１７：昇降手段１７０：ボールネジ
１７１：モータ１７２：ガイドレール１７３：昇降板１８：洗浄手段
１９：制御手段１９０：記憶部
２０：カセットステージ２１：載置面２２：位置決めブロック
２３ａ，２３ｂ，２３ｃ：スイッチ
３０：通知手段３１：判別手段

Claims

被加工物を保持する保持手段と、該保持手段が保持した被加工物を加工する加工手段と、被加工物を収容するカセットが載置されるカセットステージと、該カセットステージに載置された該カセットと該保持手段との間で被加工物を搬送する搬送手段とを備える加工装置であって、
該カセットステージは、該カセットが載置される載置面と、
該載置面上で該カセットの載置面方向の位置を位置決めする位置決めブロックと、
該カセットが該位置決めブロックによって位置決めされ該載置面の正常な載置位置に載置されたらＯＮとなり該載置面の正常な載置位置に載置されていなければＯＦＦとなるスイッチと、を備え、
該スイッチのＯＮ／ＯＦＦの状態をオペレータに通知する通知手段を備え、
該カセットステージに該カセットが載置されたときの該通知手段による通知によって該加工装置が加工開始可能か否かをオペレータに知らせる加工装置。
前記カセットステージの前記載置面に３つ以上のスイッチが配設され、
該カセットの仕様の違いによって少なくとも２つの該スイッチを押し下げ、押し下げられた該スイッチによって該カセットを判別する判別手段を備え、
該判別手段が判別した該カセットと予めオペレータが設定した該カセットとを比較して一致している場合は該スイッチがＯＮのときと同じ通知をオペレータに知らせ、一致していない場合は該スイッチがＯＦＦのときと同じ通知をオペレータに知らせる請求項１記載の加工装置。