JP2000077490A

JP2000077490A - 半導体ウェハー観察装置

Info

Publication number: JP2000077490A
Application number: JP10247407A
Authority: JP
Inventors: Yoshiharu Sugano; 芳春菅野
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1998-09-01
Filing date: 1998-09-01
Publication date: 2000-03-14
Anticipated expiration: 2018-09-01
Also published as: JP3218015B2

Abstract

(57)【要約】【課題】３００ｍｍウェハー収納容器や他のサイズの
ウェハー収納容器でも固定台を交換せずに共用できるよ
うにする。【解決手段】カセット固定台１は３００ｍｍ、２００
ｍｍ、１５０ｍｍウェハー用の各カセット２を単一カセ
ット固定台１で共用する。カセット２内にあるウェハー
５は搬送機構３によって取り出される。ウェハー５は搬
送機構３の先端のロボットハンド３ａよってカセット２
から取り出され、アライナー４に搬送される。アライナ
ー４によってウェハー５のサイズと向きが検出され、常
に一定の向きになるように調整される。向きが定められ
たウェハー５は搬送機構３によってステージ７上の試料
台６に搬送され載置される。試料観察室８内のウェハー
５はステージ７によってウェハー観察位置に移動され、
表面形状や異物観察および欠陥検査などが行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハー表
面の形状や欠陥および異物、ウェハー内部の欠陥さらに
はパターン付きウェハーの線幅や電気特性などを測定す
るウェハー搬送機構を有する半導体ウェハー観察装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体技術は急速に進展しその集
積度が飛躍的に向上してきている。同時に半導体の各製
造工程においては歩留まりの向上が大きな課題となって
おり、その解決策の一つとして半導体ウェハーサイズ
（直径）を拡大してきている。最近では３００ｍｍ（１
２インチ）ウェハーの研究開発が進み、量産技術がほぼ
確立されつつある。

【０００３】従来の２００ｍｍ（８インチ）サイズまで
のウェハーはそれぞれのサイズごとに専用のカセットに
収納されている。ウェハーが収納されたカセットは走査
型電子顕微鏡や光学式異物検査装置などの各種の観察装
置や検査装置に搭載され、ウェハー搬送機構によって所
定の位置に搬送される。このときカセットはウェハーサ
イズに応じた専用台に載置される。市販されているウェ
ハー用カセットは各ウェハーサイズに応じて１００ｍｍ
（４インチ）、１２５ｍｍ（５インチ）、１５０ｍｍ
（６インチ）、２００ｍｍ（８インチ）のカセットがあ
る。カセット固定台は特定のカセットサイズのみ対応し
た専用型と複数カセットサイズに対応可能な共用型があ
る。図７（ａ）に示すように専用型はカセット底部を保
持するためにカセット底部前後壁に接する凸上または凹
上のガイドを設け、左右および前後への動きを規制して
いる。さらに、図７（ｂ）に示すように共用型では専用
型と同様にカセット底部を保持するために凸または凹の
階段状のガイドをカセットの前後に設け、左右および前
後への動きを規制している。このとき、ガイドを階段状
にすることによって、複数のカセットサイズに対応する
ことが可能である。

【０００４】３００ｍｍウェハー対応のカセットは半導
体国際標準化組織Semiconductor Equipment and Materi
als International （ＳＥＭＩ）や日本の３００ｍｍ半
導体技術連絡会Japan 300mm Semiconductor Technology
Conference （J ３００）が中心となって「３００ｍｍ
Physical Interface and Carrie SEAJ/SEMI Joint Sem
inar（1997.4.30 ）」で国際標準がまとめられている。
この中でカセットの形状およびカセット固定台に付属し
カセットを固定するためのピンの配置や形状が明確に示
されている。図８に示すように３００ｍｍウェハー対応
のカセットはそれまでの２００ｍｍまでのカセットとは
形状や構造が大きく異なる。そのため、これまでの３０
０ｍｍウェハー対応のカセットは前記のＳＥＭＩやＪ３
００の標準に示されているようにカセット固定台に３本
のピンを立てその上にカセットを置く構造となってい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に示した
ように、３００ｍｍカセットは従来の２００ｍｍまでの
カセットとは形状が大きく異なっている。同様に３００
ｍｍカセット固定台の形状も２００ｍｍカセットまでの
固定台とは大きく異なっているために一つの固定台で両
方を共用することができないという問題点があった。ま
た、３００ｍｍウェハーと２００ｍｍまでのウェハーを
任意に搬送し、観察しようとする場合にはカセット固定
台を取り外して交換する必要があった。カセット固定台
を交換した場合にはウェハー搬送機構でカセットからウ
ェハー取り出す位置を設定するためのティーチング作業
をその都度行わなければならず操作性が悪いという問題
点もあった。ところが、現在半導体の研究開発段階で
は、同一のウェハー観察装置で３００ｍｍウェハーと２
００ｍｍ以下のウェハーを任意に観察したいという要求
がある。

【０００６】そこで、本発明の目的は上記のような問題
点を解決するために、３００ｍｍウェハーと同様に２０
０ｍｍ以下のウェハーの観察も可能なように、それぞれ
のカセットの載置および固定さらには両方の共用が可能
なカセット固定台を有する半導体ウェハー観察装置を提
供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明では、以下のような手段を講じた点に特
徴がある。 (1) 複数の半導体ウェハーを収納するウェハー収納容
器とこのウェハー収納容器を所定の位置に固定するウェ
ハー収納容器固定台とウェハーのサイズを検出するウェ
ハーサイズ判別機構とウェハーを載置する試料台とウェ
ハーを任意の場所に搬送するウェハー搬送機構と試料台
上に搬送したウェハーを所望の位置に移動する移動機構
とウェハーを観察する観察手段とを備え、サイズの異な
るウェハー収納容器を単一または複数のウェハー収納容
器固定台で共用するようにした。

【０００８】(2) 前記ウェハー収納容器固定台は３０
０ｍｍ、２００ｍｍ、１５０ｍｍのウェハー収納容器を
単一のウェハー収納容器固定台で共用するようにした。 (3) 前記３００ｍｍウェハー用収納容器固定台の上面
に２００ｍｍと１５０ｍｍウェハー用収納容器の共用の
ウェハー収納容器固定台を載置するようにした。

【０００９】(4) 前記３００ｍｍウェハー用収納容器
固定台の上面に２００ｍｍまたは１５０ｍｍウェハー用
収納容器いずれか単一のウェハー収納容器固定台を載置
するようにした。 (5) 前記ウェハー収納容器固定台および３００ｍｍウ
ェハー収納容器固定台に収納容器有無検出器と収納容器
サイズ検出器を有するようにした。

【００１０】

【作用】上記のように構成された半導体ウェハー観察装
置において３００ｍｍウェハー対応カセットと２００ｍ
ｍ以下のカセットを共用することにより、目的とするサ
イズのウェハー用カセットをカセット固定台の交換をす
ることなしに所定の位置にカセットを載置し固定するこ
とができる。この定められたカセット内のウェハーの各
位置をあらかじめ記憶しておくことにより、搬送機構に
よって決められたシーケンスに従って、ウェハーはカセ
ットからウェハーサイズ判別機構に送られ、ここで自動
的にウェハーのサイズが検出され同時に所定の向きに揃
えられ、ウェハーは移動機構上の試料台上面に搬送さ
れ、この移動機構によってウェハー観察手段の観察位置
に移動される。また、カセット有無用検出器を有してい
るため、誤動作により搬送装置が損傷することを防ぐこ
とができる。さらに、カセットサイズ検出器を有してい
るために、カセットサイズが自動的に識別され、搬送機
構がそれぞれのカセットサイズに応じてあらかじめ定め
られた位置に動作し、カセット内のウェハーはウェハー
サイズ判別機構とウェハーの移動機構上に搬送され、ウ
ェハーが観察された後に再びカセット内に戻るように動
作する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態を図１
に基づいて説明する。図１は、本発明の、ウェハーの表
面形状や異物観察および欠陥検査を行う走査型電子顕微
鏡の構成を示した模式図である。走査型電子顕微鏡の測
定部９の主な構成要素は、試料である半導体ウェハー５
を収納し、保持するためのウェハーカセット２と、この
カセット２を固定するためのカセット固定台１と、ウェ
ハー５を搬送するための搬送機構３と、ウェハーのサイ
ズを検出するアライナー４とウェハーを観察位置に移動
するためのステージ機構７である。試料となる半導体ウ
ェハー５には単一のＳｉ結晶から裁断・加工・研磨の工
程を経て得られる鏡面ウェハー（ベアウェハー）や、こ
の鏡面ウェハー上にＳｉ酸化膜や誘電膜などが付いた膜
付きウェハー、さらには鏡面ウェハー上に配線のパター
ンを記録したパターン付きウェハーなどがある。図1 で
ウェハーカセット２内にウェハー５が収納されている。
ウェハーカセット２は１５０ｍｍ（6 インチ）、２００
ｍｍ（8 インチ）、３００ｍｍ（１２インチ）などウェ
ハー５のサイズに応じてその形状や大きさがほぼ決まっ
ている。このウェハーカセット２はこれを保持し固定す
るためのカセット固定台１に載置される。カセット固定
台１は３００ｍｍ、２００ｍｍ、１５０ｍｍ用ウェハー
のカセット２を単一固定台で共用される。カセット２内
にあるウェハー５はカセット固定台１の横に設置された
ウェハー用の搬送機構３によって取り出される。搬送機
構３の先端に付属しているロボットハンド３ａの上面に
は真空吸着口３ｂが取り付けられており、ウェハー５の
下面がこの真空吸着口３ｂによって吸着保持される。そ
のため、ウェハー５はロボットハンド３ａから落下する
なく搬送機構３によって搬送される。ウェハー５は搬送
機構３によってカセット２から取り出され、アライナー
４に搬送される。アライナー４には吸着口４ａが付属し
ており、この吸着口４ａによってウェハー５の中心付近
の下面が真空吸着される。

【００１２】吸着口４ａを中心としてウェハーが回転
し、ウェハー５のサイズが光学式検出器４ｂによって自
動的に判定される。同時に、ウェハー５のオリフラまた
はノッチの位置が光学式検出器４ｂによって検出され、
常に一定の向きになるように調整される。アライナー４
で向きが定められたウェハー５は搬送機構３によってス
テージ７上に固定されている試料台６上に搬送され載置
される。試料台６は静電チャックになっており、静電気
力によってウェハーを吸着している。ウェハー５の吸着
はこの静電チャック以外に真空を使用した真空吸着も可
能である。ステージ７はＸＹＺの３軸またはＸＹＺに回
転、チルトを加えた５軸ステージがある。

【００１３】試料観察室８内にあるウェハー５はステー
ジ７によってウェハー観察位置に移動され、ウェハー観
察手段によってウェハー５の表面形状や異物観察および
欠陥検査などが行われる。測定部９内にある搬送機構
３、アライナー４、ステージ７はコントロール部１０と
通信する。カセット２はウェハー５のサイズとその種類
によって異なるため、搬送機構５でウェハーを取り出す
または戻す位置は各カセット２に応じて記憶しておく必
要がある。あらかじめ、各カセット２の種類に応じてウ
ェハーの取り出し位置をコントロール部に記憶しておく
ことにより、カセット２が交換されても搬送機構３がウ
ェハー５に衝突して破損することなく、確実にカセット
２からウェハー５を取り出すことができる。コントロー
ル部１０は搬送機構３やアライナー４およびステージ７
の一連のシーケンス動作を記憶し制御を行うとともに、
コンピュータ１１と通信し、コンピュータ１１からの命
令を受ける。コンピュータ１１は表示器となるディスプ
レイ１２と記憶装置１３とに連結される。ディスプレイ
１２では電子顕微鏡で観察された画像を表示し、この画
像はデータとして記憶装置１３に保存される。

【００１４】

【実施例】図２は本発明の第一の実施例を示す模式図で
あり、図１で説明したカセット固定台１とカセット２の
詳細な説明図である。例えば、走査型電子顕微鏡で３０
０ｍｍウェハーを観察する場合には、３００ｍｍウェハ
ーカセット１４は、３００ｍｍ共用カセット固定台１７
上に載置され固定される。３００ｍｍウェハーカセット
１４には３００ｍｍウェハー１６が１３枚入るものと２
５枚入るものがあり、その形状は円筒状になっており、
従来の２００ｍｍウェハーまでのカセット１５とは形状
が異なっている。この３００ｍｍウェハーカセット１４
が載置される３００ｍｍ共用カセット固定台１７には３
００ｍｍウェハーカセット１４の位置決めと固定を行う
３本のピン１７ａが取り付けられてある。この３本のピ
ン１７ａは先端が円錐状になっており、それらの中心に
対しほぼ１２０°間隔で並んでおり、３００ｍｍウェハ
ー用カセット１４の下面にある３ヶ所のＶ字型溝とそれ
ぞれ一致し、位置決めされる。３００ｍｍ共用カセット
固定台１７には、３本のピン１７ａの他に階段状のガイ
ド１７ｂが取り付けられている。２００ｍｍウェハーま
でのカセット１５の前端または後端をガイド１７ｂに押
し当てることによってカセット１５の位置決めと固定を
行うことができる。ガイド１７ｂは前方と後方の２つま
たは３つに別れており、それぞれ前後左右に微調整が可
能な構造となっているため、２００ｍｍウェハーまでの
カセット１５の大きさが異なっていても固定可能とな
る。また、ガイド１７ｂの形状は凸状を採用したが凹状
であってもよい。このように、３００ｍｍ共用カセット
固定台１７は３００ｍｍウェハーカセット１４の固定が
可能であると同様に、従来の２００ｍｍウェハーまでの
カセット１５も固定可能な構造となっている。すなわ
ち、３００ｍｍカセットと２００ｍｍまでのカセットの
異なる種類の複数のカセットを一つの固定台で兼用する
ことができる。

【００１５】図３は本発明の第二の実施例を示す模式図
である。３００ｍｍ専用カセット固定台１９は前記の３
００ｍｍ兼用カセット固定台１７と同様に固定板上に３
本のピンがほぼ１２０°間隔で並んでいる。これに対
し、２００ｍｍまでのカセット兼用固定台１８は、固定
板上に前記の３００ｍｍ共用カセット固定台１７と同様
のガイド１８ａが取り付けてあり、１５０ｍｍ、２００
ｍｍのウェハーカセットに対応している。さらに、２０
０ｍｍまでのカセット兼用固定台１８には、３００ｍｍ
専用カセット固定台１９上にある３本のピン１９ａと同
位置に３個の位置決め穴１８ｂが開いている。ピン１９
ａと位置決め穴１８ｂとははめあいになっており、ピン
１９ａに位置決め穴１８ｂが嵌合する構造となってい
る。すなわち、３００ｍｍウェハー１６を観察する場合
には、３００ｍｍウェハーカセット１４が固定可能なよ
うに、３００ｍｍ専用カセット固定台１９を使用し、２
００ｍｍ以下のウェハーを観察する場合には、２００ｍ
ｍウェハーまでのカセット１５が固定可能なように、３
００ｍｍ専用カセット固定台１９の上に２００ｍｍまで
のカセット兼用固定台１８を重ね合わせて使用する。こ
のように、３００ｍｍ専用カセット固定台１９上にある
３本のピン１９ａを３００ｍｍウェハーカセット１４の
固定と２００ｍｍまでのカセット兼用固定台１８との位
置決めおよび固定との兼用としている。さらに、二つの
固定台が重ねられた後に、取り外すときの作業性を向上
するために、３００ｍｍ専用カセット固定台１９の左右
中央部に切り欠き１９ｂが付けてある。

【００１６】図４は本発明の第三の実施例を示す平面図
である。２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット専用固定
台２０は、前記２００ｍｍまでのカセット兼用固定台１
８と同様に板状で、その中央部に２００ｍｍまたは１５
０ｍｍカセット２１を保持するためガイド２０ａが取り
付けられている。ガイド２０ａは前方、中央、後方の３
ヶ所に分かれており、中央部のガイドでカセット２１の
底面に加工されているＨバーを支持し、前方と後方のガ
イドはカセット２１の前後を固定するような構造となっ
ている。また、２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット専
用固定台２０には、前記２００ｍｍまでのカセット兼用
固定台１８と同様に３００ｍｍ専用カセット固定台１９
上のピン１９ａに嵌合するための位置決め穴２０ｂが３
ヶ所開いている。すなわち、前記の２００ｍｍまでのカ
セット兼用固定台１８の場合と同様に３００ｍｍウェハ
ー１６を観察する場合には、３００ｍｍウェハーカセッ
ト１４が固定可能なように、３００ｍｍ専用カセット固
定台１９を使用し、２００ｍｍまたは１５０ｍｍのウェ
ハーを観察する場合には、２００ｍｍまたは１５０ｍｍ
カセット専用固定台２０が固定可能なように、３００ｍ
ｍ専用カセット固定台１９の上に２００ｍｍまたは１５
０ｍｍカセット専用固定台２０を重ね合わせて使用す
る。さらに、３００ｍｍ専用カセット固定台１９上に２
００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット専用固定台２０重ね
合わせたとき、これら両方を固定するために、固定ネジ
２０ｃが２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット専用固定
台２０の四隅取り付けられており、３００ｍｍ専用カセ
ット固定台１９の四隅ネジ穴１９ｃにねじ込まれる。

【００１７】図５は本発明の第四の実施例を示す平面図
である。３００ｍｍウェハー１６用のカセットには円筒
型の３００ｍｍウェハーカセット１４と従来の２００ｍ
ｍウェハーまでのカセット１５と同様な形状でサイズが
大きい従来型３００ｍｍウェハーカセット２３がある。
この従来型３００ｍｍウェハーカセット２３は、３００
ｍｍ従来型カセット専用固定台２２上に固定される。３
００ｍｍ従来型カセット専用固定台２２は、前記２００
ｍｍまでのカセット兼用固定台１８や２００ｍｍまたは
１５０ｍｍカセット専用固定台２０と同様に板状で、そ
の中央部に従来型３００ｍｍウェハーカセット２３を保
持するためガイド２２ａが取り付けられている。ガイド
２２ａは中央部、その左右の３ヶ所に分かれており、中
央部のガイドでカセット２３の底面に加工されているＨ
バーを支持し、前後方向の動きを規制している。さら
に、左右のガイドがカセット２３の左右方向の動きを規
制するような構造となっている。また、３００ｍｍカセ
ット専用固定台２２には、前記２００ｍｍまでのカセッ
ト兼用固定台１８や２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセッ
ト専用固定台２０と同様に３００ｍｍ専用カセット固定
台１９上のピン１９ａに嵌合するための位置決め穴２２
ｂが３ヶ所開いている。すなわち、円筒型の３００ｍｍ
ウェハーカセット１４に入った３００ｍｍウェハー１６
を観察する場合には、３００ｍｍウェハーカセット１４
が固定可能なように、３００ｍｍ専用カセット固定台１
９を使用し、従来型３００ｍｍウェハーカセット２３に
入った３００ｍｍウェハー１６を観察する場合には、３
００ｍｍ従来型カセット専用固定台２２が固定可能なよ
うに、３００ｍｍ専用カセット固定台１９の上に３００
ｍｍ従来型カセット専用固定台２２を重ね合わせて使用
する。このように、同じ３００ｍｍウェハー１６を観察
する場合でも、使用するカセットに応じてカセット固定
台の変更を要するが、上記のような構造とすることによ
って、容易に交換が可能である。

【００１８】図６は、本発明の第５の実施例を示す模式
図である。３００ｍｍ共用カセット固定台１７にカセッ
ト有無センサー２４とカセットサイズ検出用センサー２
５が取り付けられている。これらのセンサーは、光学式
を採用したが、ファイバー式や機械式でもよい。３００
ｍｍ共用カセット固定台１７上にカセットを載置したと
きに、固定台１７のほぼ中央付近にあるカセット有無セ
ンサー２４によって、カセットが有ると検出される。同
時に、このときのカセットのサイズがカセットサイズ検
出用センサー２５、２６、２７によって検出される。例
えば、１５０ｍｍウェハー用カセットの場合には、その
外端部付近にある１５０ｍｍカセット用センサー２５ａ
によって検出される。同様に、２００ｍｍウェハー用カ
セットの場合にはその外端部付近にある２００ｍｍカセ
ット用センサー２５ｂによって検出され、３００ｍｍウ
ェハー用カセットの場合にはその外端部付近にある３０
０ｍｍカセット用センサー２５ｃによって検出される。
カセットサイズ検出用センサー２５ａ、２５ｂ、２５ｃ
によって検出された各信号は増幅器２６に送られ増幅さ
れた後でＣＰＵ２７に送られ、作動したセンサーに応じ
てどのサイズかを判断する。このウェハーのサイズ情報
は、ＣＰＵ２７からコントロール部２８に送られ、あら
かじめウェハーサイズに応じて登録されているカセット
内の各ウェハーの位置情報をメモリー２８から呼び出
し、その位置情報にしたがって、コントロール部２８か
ら搬送機構３０に命令が送られる。すなわち、任意のサ
イズのカセットを３００ｍｍ共用カセット固定台１７に
置くことにより、カセットサイズ検出用センサー２５に
よって自動的にそのサイズが検出され、カセット内のウ
ェハーを確実に取り出し、搬送することができる。同時
に、カセット有無センサー２４によって、カセット有無
を検出するため、カセットが固定台上に置かれていない
場合や位置がずれて置かれている場合には、カセットが
無いと判断され、搬送機構はウェハーの取り出し動作に
入らなず、カセットが無いことを警告することができ
る。このとき、カセット固定台は３００ｍｍ共用カセッ
ト固定台１７を採用したが、これ以外にも上記で説明し
た３００ｍｍ専用カセット固定台１９や２００ｍｍまで
のカセット兼用固定台１８、２００ｍｍまたは１５０ｍ
ｍカセット専用固定台２０、３００ｍｍ従来型カセット
専用固定台２２としてもよい。

【００１９】以上の実施例では、半導体ウェハー観察装
置としては、図１に示したように走査型電子顕微鏡の例
に取ったが、本発明はこれに限定されるものではなく、
例えば、走査型プローブ顕微鏡や光学式顕微鏡、レーザ
顕微鏡、ウェハー異物検査装置、ウェハー表面欠陥検査
装置、ウェハー外観検査装置、触針式表面形状測定器、
Ｘ線や電子線さらにはイオンビームによるウェハー表面
分析装置なども本発明の実施例としてよい。

【００２０】

【発明の効果】本発明によれば、以上説明したように半
導体ウェハー観察装置において、３００ｍｍウェハー用
カセットと２００ｍｍ以下のカセットを共用とする構成
にしたことにより、目的とするサイズのウェハー用カセ
ットをカセット固定台の交換をすることなしに所定の位
置にカセットを載置し固定することができるという効果
がある。また、３００ｍｍカセット固定台上に２００ｍ
ｍまたは１５０ｍｍカセット固定台を重ね合わせて固定
する構成としたことにより、３００ｍｍ、２００ｍｍ、
１５０ｍｍのカセットをカセット固定台の交換をするこ
となしに、所定の位置に容易に固定することができると
いう効果もある。さらに、カセット有無用検出器を有し
ているため、誤動作により搬送装置が損傷することを防
ぐことができるという効果も有する。さらにまた、カセ
ットサイズ検出器を有しているために、カセットサイズ
が自動的に識別され、それぞれのカセットサイズに応じ
て搬送機構が決められた位置に動作し、確実にウェハー
を搬送することができるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態である走査型電子顕微鏡での
構成を示す摸式図である。

【図２】本発明の第一の実施例の３００ｍｍ共用カセッ
ト固定台を示す摸式図である。

【図３】本発明の第二の実施例の３００ｍｍ専用カセッ
ト固定台と２００ｍｍまでのカセット兼用固定台を示す
模式図である。

【図４】本発明の第三の実施例の３００ｍｍ専用カセッ
ト固定台と２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット専用固
定台を示す平面図である。

【図５】本発明の第四の実施例の３００ｍｍ専用カセッ
ト固定台と３００ｍｍ従来型カセット専用固定台を示す
平面図である。

【図６】本発明の第五の実施例のカセット有無センサー
とカセットサイズ検出用センサーとその信号の流れを示
した構成図である。

【図７】従来のカセット固定台を示した模式図である。

【図８】３００ｍｍウェハー用カセットを示した模式図
である。

【符号の説明】

１カセット固定台２カセット３搬送機構３ａロボットハンド３ｂ真空吸着口４アライナー５ウェハー６試料台７ステージ８試料観察室９測定部１０コントロール部１１コンピュータ１２ディスプレイ１３記憶装置１４３００ｍｍウェハー用カセット１５２００ｍｍウェハーまでのカセット１６３００ｍｍウェハー１７３００ｍｍ共用カセット固定台１７ａピン１７ｂガイド１８２００ｍｍまでのカセット兼用固定台１８ａガイド１８ｂ位置決め穴１９３００ｍｍ専用カセット固定台１９ａピン１９ｂ切り欠き１９ｃネジ穴２０２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット専用固定
台２０ａガイド２０ｂ位置決め穴２０ｃ定ネジ２１２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット２２３００ｍｍ従来型カセット専用固定台２２ａガイド２２ｂ位置決め穴２３従来型３００ｍｍウェハーカセット２４カセット有無センサー２５カセットサイズ検出用センサー２５ａ１５０ｍｍカセット用センサー２５ｂ２００ｍｍカセット用センサー２５ｃ３００ｍｍカセット用センサー２６増幅器２７ＣＰＵ２８コントロール部２９メモリー部３０搬送機構

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年１０月２８日（１９９９．１０．
２８）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】符号の説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【符号の説明】１カセット固定台２カセット３搬送機構３ａロボットハンド３ｂ真空吸着口４アライナー５ウェハー６試料台７ステージ８試料観察室９測定部１０コントロール部１１コンピュータ１２ディスプレイ１３記憶装置１４３００ｍｍウェハー用カセット１５２００ｍｍウェハーまでのカセット１６３００ｍｍウェハー１７３００ｍｍ共用カセット固定台１７ａピン１７ｂガイド１８２００ｍｍまでのカセット兼用固定台１８ａガイド１８ｂ位置決め穴１９３００ｍｍ専用カセット固定台１９ａピン１９ｂ切り欠き１９ｃネジ穴２０２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット専用固定
台２０ａガイド２０ｂ位置決め穴２０ｃ固定ネジ２１２００ｍｍまたは１５０ｍｍカセット２２３００ｍｍ従来型カセット専用固定台２２ａガイド２２ｂ位置決め穴２３従来型３００ｍｍウェハーカセット２４カセット有無センサー２５カセットサイズ検出用センサー２５ａ１５０ｍｍカセット用センサー２５ｂ２００ｍｍカセット用センサー２５ｃ３００ｍｍカセット用センサー２６増幅器２７ＣＰＵ２８コントロール部２９メモリー部３０搬送機構

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA02 AA03 AA22 AA26 AA49 AA51 BB02 CC19 PP12 PP24 QQ23 SS02 SS13 TT02 UU04 2G051 AA51 AB01 AB02 AB20 AC22 CA11 DA03 DA06 DA07 EA14 FA10 4M106 AA01 BA02 BA10 BA14 CA38 CA39 CA41 DG02 DG03 DG10 DG16 DG19 DG28 DG30 DJ01 DJ02 DJ21 DJ23 5F031 CA02 DA01 DA17 DA20 FA15 GA08 GA43 GA47 JA02 JA22 JA32 JA40 MA33 PA18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の半導体ウェハーを収納するウェハ
ー収納容器と、このウェハー収納容器を所定の位置に固
定するウェハー収納容器固定台と、ウェハーのサイズを
検出するウェハーサイズ判別機構と、ウェハーを載置す
る試料台と、ウェハーを任意の場所に搬送するウェハー
搬送機構と、試料台上に搬送したウェハーを所望の位置
に移動する移動機構と、ウェハーを観察する観察手段と
を備え、サイズの異なるウェハー収納容器を単一または
複数のウェハー収納容器固定台で共用することを特徴と
する半導体ウェハー観察装置。
【請求項２】前記ウェハー収納容器固定台は３００ｍ
ｍ、２００ｍｍ、１５０ｍｍのウェハー収納容器を単一
のウェハー収納容器固定台で共用すること特徴とする請
求項１記載の半導体ウェハー観察装置。
【請求項３】前記３００ｍｍウェハー用収納容器固定
台の上面に２００ｍｍと１５０ｍｍウェハー用収納容器
の共用のウェハー収納容器固定台を載置することを特徴
とする請求項１記載の半導体ウェハー観察装置。
【請求項４】前記３００ｍｍウェハー用収納容器固定
台の上面に２００ｍｍまたは１５０ｍｍウェハー用収納
容器単一のウェハー収納容器固定台を載置することを特
徴とする請求項１記載の半導体ウェハー観察装置。
【請求項５】前記ウェハー収納容器固定台に収納容器
有無検出器を有することを特徴とする請求項１記載の半
導体ウェハー観察装置。
【請求項６】前記ウェハー収納容器固定台に収納容器
サイズ検出器を有することを特徴とする請求項１記載の
半導体ウェハー観察装置。
【請求項７】前記３００ｍｍウェハー収納容器固定台
に収納容器有無検出器を有することを特徴とする請求項
１記載の半導体ウェハー観察装置。
【請求項８】前記３００ｍｍウェハー収納容器に収納
容器サイズ検出器を有することを特徴とする請求項１記
載の半導体ウェハー観察装置。
【請求項９】複数の半導体ウェハーを収納するウェハ
ー収納容器と、このウェハー収納容器を所定の位置に固
定するウェハー収納容器固定台と、ウェハーのサイズを
検出するウェハーサイズ判別機構と、ウェハーを載置す
る試料台と、ウェハーを任意の場所に搬送するウェハー
搬送機構と、試料台上に搬送したウェハーを所望の位置
に移動する移動機構と、ウェハーを観察する観察手段と
を備え、形状の異なるウェハ収納容器を固定するのに、
単一のウェハ収納容器固定台を共用すること特徴とする
半導体ウェハー観察装置。
【請求項１０】複数の半導体ウェハーを収納するウェ
ハー収納容器と、このウェハー収納容器を所定の位置に
固定するウェハー収納容器固定台と、ウェハーのサイズ
を検出するウェハーサイズ判別機構と、ウェハーを載置
する試料台と、ウェハーを任意の場所に搬送するウェハ
ー搬送機構と、試料台上に搬送したウェハーを所望の位
置に移動する移動機構と、ウェハーを観察する観察手段
とを備え、所定のウェハ収納容器に対応した第１のウェ
ハ収納容器固定台と、前記所定のウェハ収納容器とは形
状又はサイズの異なるウェハ収納容器に対応し、前記第
１のウェハ収納容器固定台上に着脱可能に載置される、
第２のウェハ収納容器固定台とからなることを特徴とす
る半導体ウェハー観察装置。