JP2002151564A - 基板供給モジュールおよび基板供給モジュールと作業ステーションからなるシステム - Google Patents

基板供給モジュールおよび基板供給モジュールと作業ステーションからなるシステム

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JP2002151564A JP2001296912A JP2001296912A JP2002151564A JP 2002151564 A JP2002151564 A JP 2002151564A JP 2001296912 A JP2001296912 A JP 2001296912A JP 2001296912 A JP2001296912 A JP 2001296912A JP 2002151564 A JP2002151564 A JP 2002151564A
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Knut Hiltawski
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ウルバーン カルステン
Joachim Wienecke
ヴィーンエッケ ヨアヒム
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Leica Microsystems CMS GmbH
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Abstract

(57)【要約】 【課題】基板供給モジュール、または基板供給モジュー
ルと作業ステーションからなるシステムにおいて、設置
場所において基板供給モジュールを作業ステーションの
側壁に対しフレキシブルに方向付けすることができ、お
よび（または）設置場所での基板供給モジュールと作業
ステーションとのフレキシブルな全体配置が可能である
ように構成する。 【解決手段】基板供給モジュール（１）の少なくとも２
つの側壁（１ａ,１ｂ,１ｃ）は、作業ステーション
（３）の対応する結合要素（４ｂ）と協働する機械的な
結合要素（４ａ）を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、作業ステーション
に基板を供給するための基板供給モジュール、および基
板供給モジュールと作業ステーションからなるシステム
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の基板供給モジュールは特に半導
体産業において知られている。半導体産業で使用される
基板の１つは、少なくともシリコンとヒ化ガニウムから
なるディスク状のウェーハーである。他方マスクでもあ
り、すなわち構造物が載置され、ウェーハーを露光する
ためのパターンとして用いられるガラス板である。
【０００３】半導体ウェーハーを製造する際、特定の製
造ステップ間で、種々のカセットに収納した基板を個々
の作業ステーションへ搬送し、そこでそれぞれの作業ス
テーションに挿入しなければならない。搬送は手で、ま
たは自動化して行なわれる。
【０００４】作業ステーションは、基板の検査、測定、
或いは加工のような、基板を処理するための種々の目的
に用いられる。基板を検査する場合、基板は特に基板上
の望ましくない粒子、構造欠陥、或いは基板の表面上も
しくは表面内のエラーに関し光学的に検査される。検査
は利用者により行なわれるか、或いは電子カメラを用い
て自動化して行なわれる。このような作業ステーション
においては、或いは別の作業ステーションにおいてもさ
らに基板の測定が行なわれる。たとえば、望ましくない
粒子或いは構造上の欠陥を自動的に検知して分類する
（欠陥分析）。さらに基板の幅、間隔或いは厚さを測定
する（ＣＤ分析、層厚分析）。このような検査、測定に
適用するにあたって、この種の作業ステーションでは、
検査対象物が小さいためにほとんどの場合顕微鏡が使用
される。これ以外では基板のマクロ検査も可能で、この
場合基板全体が光の特殊な入射角で視覚的に観察される
ので、スクラッチ、被膜欠陥、或いは塵埃粒子を非常に
迅速に検知することができる。検査、測定過程は完全自
動化されていることが多いが、これは基板の取り扱い、
また基板上の被検査個所或いは被測定個所を考慮しての
ことである。
【０００５】他の作業ステーションで基板は加工され
る。たとえば特定の基板を蒸着することにより、或いは
エッチング過程により構造を生じさせ、或いは露光用の
被膜を被着させる。
【０００６】さらにこの種の作業ステーションおよび基
板供給モジュールに対し通常要求されるのは、高度な信
頼性と操作の容易性である。このためには、製造設備内
の高価なクリーンルームの利用面積（フットプリント）
が少なければよい。
【０００７】他方、基板供給モジュールは保守が容易で
簡単であるように設計されているべきである。同時に、
取り扱いの安全性、スピード、正確性のような、基板の
取り扱いに対する高度な要求がなされる。さらに、径の
異なる基板を使用し、取り扱いを行なわねばならない場
合もある。この場合基板の取り扱いとは基板供給モジュ
ールから作業ステーションへの基板の受け渡し、作業ス
テーションでの基板の局部的な変更、最終的に基板供給
モジュールへ戻す操作、場合によっては適宜分類して戻
す操作のことである。
【０００８】このような多くの高度な要求を満たすた
め、従来の基板供給モジュールと作業ステーションは最
初から互いに固定結合されて、１つのユニットとして半
導体製造業者に提供されていた。この場合半導体製造業
車は、作業ステーションのどの個所に基板供給モジュー
ルを取り付けて結合させるべきか、すなわち作業ステー
ションの左側或いは右側または背面に取り付けるべきか
を最初に決定しなければならない。さらに、作業ステー
ションに対する基板供給モジュールの方向付け（オリエ
ンテーション）も設定しなければならない。これによ
り、基板供給モジュールのどの個所から該基板供給モジ
ュールにカセットを装填できるかが確定する。すなわち
これから利用しようとする者は、基板供給モジュールの
どの個所に外部から基板を装填すべきかを予め決定しな
ければならない。
【０００９】或いは、作業ステーションの個々のモジュ
ールと基板供給モジュールとを予め完全に製造して、半
導体製造業者の製造設備内ではじめて組み立てることも
ある。しかしながら、この場合にも、どのような配置で
基板供給モジュールを作業ステーションと組み立てる
か、すなわち基板供給モジュールを作業ステーションの
どの個所に、またどのような方向付けで連結させるかを
予め決定しなければならない。
【００１０】米国特許第５３９９５３１号公報から知ら
れている半導体ウェーハー用製造システムにおいては、
多数のプロセスステーションが、位置固定して設けられ
た、装填・取り出しゾーンを備えた分岐型のウェーハー
用搬送システムと結合されている。
【００１１】米国特許第５８４２８２４号公報に記載さ
れている露光装置用基板搬送装置によれば、鉛直方向に
支持されている基板は一定の経路に沿って搬送され、水
平位置へ変更された後、プレアライメント装置を介して
基板テーブルへもたらされる。しかし、基板テーブルを
備えたプレアライメント装置に対する基板供給装置のフ
レキシブルに変更可能な配置構成になっていない。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、基板
供給モジュール、または基板供給モジュールと作業ステ
ーションからなるシステムにおいて、設置場所において
基板供給モジュールを作業ステーションの側壁に対しフ
レキシブルに方向付けすることができ、および（また
は）設置場所での基板供給モジュールと作業ステーショ
ンとのフレキシブルな全体配置が可能であるように構成
することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
れば、基板供給モジュールにおいては、基板供給モジュ
ールの少なくとも２つの側壁が、作業ステーションの対
応する結合要素と協働する機械的な結合要素を有してい
ることによって解決される。
【００１４】また前記システムにおいては、作業ステー
ションが、少なくとも２つの異なる側壁に、基板供給モ
ジュールの少なくとも１つの側壁に設けた対応する結合
要素と協働する結合要素を有していることによって解決
される。
【００１５】基板供給モジュールの少なくとも２つの側
壁に取り付けられる結合要素により、設置場所で基板供
給モジュールと作業ステーションを組み立てる直前に、
基板供給モジュールをどのような方向付けでまたは回転
方向で作業ステーションに取り付けるべきかを決定すれ
ばよい。すなわち、現場で短時間のうちに基板供給モジ
ュールを本来計画されていた回転位置とは別の回転位置
へ回転させて作業ステーションに取り付けることができ
る。予め詳細に計画されていた古い設置態様は考慮せず
に済む。
【００１６】同様に、作業ステーションの少なくとも２
つの側壁に取り付けられる結合要素により、基板供給モ
ジュールを作業ステーションの少なくとも２つの異なる
個所に連結させることができる。さらに、基板供給モジ
ュールにおいても作業ステーションにおいてもそれぞれ
少なくとも２つの側壁が対応する結合要素を備えていれ
ば、作業ステーションに対する基板供給モジュールの回
転方向も連結個所も設置の際に現場で自由に選定可能で
ある。両装置を設置する際のこのような順応性は利用者
にとって大きな利点である。というのは、利用者は注文
の際に、基板供給モジュールと作業ステーションの配
置、方向付けがどのような外観を呈するものか、予め長
い間考慮せずに済むからである。さらに、このような順
応性は、顧客に納品する際の機器のロジスティックを容
易にさせる。
【００１７】また、本発明による基板供給モジュール、
および基板供給モジュールと作業ステーションとからな
る本発明によるシステムの利点は、作動期間中もその配
置をフレキシブルに変更できることである。訓練を受け
た人はいつでも配置変更を行なって、基板供給モジュー
ルと作業ステーションを変化した所与条件に新たに適合
させることができる。たとえば、必要の場合には、これ
まで側方から作業ステーションに対して行なわれていた
基板の供給を、背面側から行なう基板供給へ難なく変更
させることができる。
【００１８】他の利点として保守が非常にしやすい点が
挙げられる。というのは、基板供給モジュールと作業ス
テーションとを簡単に切り離せるからである。これによ
り保守員は内部の機器部品に対し迅速且つ容易に接近す
ることができる。
【００１９】基板供給モジュールと作業ステーションの
側壁に設けられる結合要素は、一般に当業者に知られて
いるキネマティックカップリングである。キネマティッ
クカップリングとは、機械的なアッセンブリまたはモジ
ュールを互いに連結させ、その際機械的な装置によりで
きるだけ多くの自由度で互いに方向付けさせ、或いは前
もって調整されていた相互の方向付けをとらせることを
可能にする機械的装置である。このような機械的装置と
はたとえば、−モジュールに設けられるピンで、他のモ
ジュールの穴または長穴に係合するピン−モジュールに
設けられるピンで、他のモジュールのプレートに係合す
るピン（ストッパー）である。
【００２０】この場合、ピンは種々の形状を持っていて
よい。ピンは筒状、円錐状、楔状に鋳造されていてよ
く、ピンの端部は尖っていても、丸くても、また球状に
形成されていてよい。ピンのこのような種々の実施形態
に応じて、対向するモジュールの受容装置が構成されて
いなければならない。モジュールを組み立てる場合、ピ
ンは該モジュールの固定連結のため受容装置によって受
容されるばかりでなく、両モジュールは適当な嵌め合い
手段により互いに自動的に位置調整される。
【００２１】この種のキネマティッくカップリングは、
基板供給モジュールの適当な個所および作業ステーショ
ンの対応する個所に取り付けられ、この場合作業ステー
ションに対する基板供給モジュールのオリエンテーショ
ンの点で順応性を得るため、本発明によれば、基板供給
モジュールの少なくとも２つの側はこのキネマティック
カップリングを備えている。作業ステーションに対する
基板供給モジュールのフレキシブルな配置のために、た
とえば前面配置、側面配置、背面配置のために、作業ス
テーションの少なくとも２つの側にキネマティックカッ
プリングを備えさせる。オリエンテーションと配置の完
全な順応性を得るためには、基板供給モジュールと作業
ステーションのすべての側にキネマティックカップリン
グを適宜備えさせる。
【００２２】この場合、基板供給モジュールと作業ステ
ーションは次のように構成されているのが有利であり、
すなわち少なくとも、作業ステーションの互いに境を接
する２つの側に対しては、および（または）基板供給モ
ジュールを任意に方向付けする場合には、基板の受け渡
しが１点でのみ行なわれるように構成されているのが有
利である。これにより、作業ステーションの内部構造は
基板供給モジュールの配置および（または）方向付けと
は独立である。また、サイズの異なる基板も、前もって
変更することなく簡単に搬送することができる。
【００２３】さらに、複数の基板供給モジュールと複数
の作業ステーションを互いに連結させて１つの全体系を
形成さてもよいことは言うまでもない。このように本発
明の利点は、半導体工場の需要（急速に変わることが多
い）に対し、加工機および計測器を設置する際に、基板
供給モジュールと作業ステーションの種々の方向付け、
配置を簡単に可能にさせる、フレキシブルなモジュラー
システムを実現したことにある。
【００２４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を添付の
図面を用いて詳細に説明する。図１は、作業ステーショ
ン３の側部に基板供給モジュール１を配置した概略図で
ある。作業ステーション３は一般に操作入力部６を有し
ており、この操作入力部６を介して利用者は作業ステー
ション３の制御、プロセスに対し入力を行なうことがで
きる。操作入力部６は適当なスイッチ、切換えボタン、
或いはキーボートであり、接続されている電子装置また
はコンピュータを操作して作業ステーション３を制御す
ることができるようになっている。操作入力部６は、作
業ステーション３の前面、または基板供給モジュール１
と作業ステーション３からなるシステムの前面を決定し
ている。
【００２５】この実施形態では、基板供給モジュール１
は、基板を前面からロードアクセス部（ロードポート）
２ａ,２ｂを介して装着できるように、作業ステーショ
ン３に対して位置決めされている。通常どおり２つのロ
ードアクセス部２ａ,２ｂが設けられている。この場
合、開放構成または閉じた構成のカセットが使用され、
カセットは手で利用者により、或いはたとえばロボット
のような自動システムによりロードアクセス部２ａ,２
ｂに挿入される。カセットは、所定の作業工程に応じ
て、基板で充填されていても、また空であってもよい。
たとえばすべてのカセットが充填されていてよく、まず
基板を１つのカセットから取り出して作業ステーション
３へ挿入し、そこで操作した後再び同じカセット内へ戻
すようにする。次に、この過程を次のカセットに対して
も反復し、他方利用者は、加工した基板を収納するカセ
ットを取り集め、その代わりに、基板を収納した新たな
カセットを空のロードアクセス部２ａ,２ｂに挿入す
る。
【００２６】他方、基板を１つのカセットから取り出
し、作業ステーション３を通過させた後、次の空の他の
カセットに入れて分類してもよい。この場合自ずと明ら
かであるように、２つのロードアクセス部２ａ,２ｂの
代わりにただ１つのロードアクセス部２ａまたは２ｂを
設けても、また３個またはそれ以上のロードアクセス部
を設けてもよい。
【００２７】基板供給モジュール１と作業ステーション
３とは、機械的な結合要素４ａ,４ｂにより互いに結合
されている。結合要素４ａ,４ｂは可変な、しかし精密
な結合部を形成する。それ故結合部は、基板供給モジュ
ール１と作業ステーション３の間で基板の搬送を摩擦な
しに且つ迅速に行なうことができるよう精密でなければ
ならない。作業ステーション３の内部に、基板を受け渡
しするための位置固定の受け渡しポイント５を設けるの
が有利である。結合要素４ａ,４ｂとの精密な結合によ
り、正確な受け渡しも可能になる。結合要素４ａ,４ｂ
としては、従来の技術から知られているキネマティック
カップリングを使用するのが有利であり、キネマティッ
クカップリングは基板供給モジュール１と作業ステーシ
ョン３を組み立てるときに自動的な位置調整を生じさせ
る。結合要素４ａ,４ｂにより基板供給モジュール１と
作業システム３とを簡単に取り外すことができ、再現可
能に再び正確に連結させることができるので、保守作業
が著しく軽減される。
【００２８】本発明によれば、この種の結合要素４ａ,
４ｂは、基板供給モジュール１の少なくとも２つの側壁
１ａ,１ｂ,１ｃに、および（または）作業ステーション
３の少なくとも２つの側壁３ａ,３ｂ,３ｃに設けられ
る。これにより、基板供給モジュール１と作業ステーシ
ョン３の可変な方向付け、配置が可能になる。したがっ
て、これらを設置する段階でその方向付けおよび配置を
決定すればよい。さらに、基板供給モジュール１と作業
ステーション３の構成はいつでも大きなコストなしに変
えることができ、スペースの新たな条件または変化した
条件に適合できるので、基板供給モジュール１と作業ス
テーション３の同じシステムを再利用することができ
る。この場合、結合要素４ａ,４ｂの精度が基板の再現
可能な搬送を生じさせる。その際、作業ステーション３
内の同じ受け渡しポイント５を利用するのが有利であ
る。基板供給モジュール１と作業ステーション３のシス
テムの高い順応性は、図２以降の図面によって示され
る。
【００２９】図２は基板供給モジュール１と作業ステー
ション３との連結を示しているが、この場合、基板供給
モジュール１は図１に比べて９０゜回転させて作業ステ
ーション３の同じ位置に連結されている。これによりロ
ードアクセス部２ａ,２ｂは側方に配置されることにな
り、利用者は側方から基板供給モジュール１を操作す
る。
【００３０】図３によれば、この基板供給モジュール１
も作業ステーション３の同じ側と結合されているが、こ
の場合背面からカセットが装填される。したがって利用
者は、基板供給モジュール１の装填を前方から行なう
か、或いは側面または背面から行なうかを図１ないし図
３に従って現場で選択することができる。この場合、基
板供給モジュール１は作業ステーション３の同じ側に取
り付けることができる。或いは、利用者は後で適当な組
換えを行なってもよい。この順応性は、結合要素４ａ,
４ｂを基板供給モジュール１の複数の側に取り付けるこ
とにより達成される。基板供給モジュール１内部の基板
搬送システムは、種々の受け渡し可能性に対し対応的に
構成されている。
【００３１】図４に示すように、基板供給モジュール１
はただ１つのロードアクセス部２ａ,２ｂを備えていて
もよい。この場合、基板は同じカセットから取り出さ
れ、再び収納される。操作が簡単なこの構成は、クリー
ンルーム内のスペース、コストを節約させる。
【００３２】他方、たとえば図５に示すように、基板供
給モジュール１は２個以上のロードプロセス部２ａ,２
ｂを有していてもよい。この場合、装填は前面からも背
面からも行なうことができる。もちろん２個以上のロー
ドアクセス部２ａ,２ｂを片面だけに設けてもよい。こ
れらの配置の組み合わせももちろん可能である。
【００３３】基板供給モジュール１と作業ステーション
３の配置構成の他の実施形態を図６に示す。この実施形
態では、基板供給モジュール１は作業ステーション３の
背面３ｂと結合されている。もちろんこの配置構成の前
提は、作業ステーション３の背面３ｂが適当な結合要素
４ｂを備えていることである。この構成の場合、作業ス
テーション３の左側３ａと右側３ｃは開放されている。
これにより、場合によってはスペースの条件を考慮で
き、或いは開放されている側３ａ,３ｃを他の目的に使
用できる。作業ステーション３の複数の側３ａ,３ｂ,３
ｃ,３ｄに基板供給モジュール１を順応的に配置するの
を保証するため、これらの側３ａ,３ｂ,３ｃ,３ｄは適
宜結合要素４ｂを備えている。したがって、基板供給モ
ジュール１の特定の側１ａ,１ｂ,１ｃを作業ステーショ
ン３の複数の側３ａ,３ｂ,３ｃ,３ｄと連結させること
ができる。
【００３４】基板供給モジュールが複数の側１ａ,１ｂ,
１ｃに結合要素４ａを備えていれば、図１ないし図５に
図示した上述の実施形態と同じようにして作業ステーシ
ョン３の背面３ｂに基板供給モジュール１を取り付ける
ことができる。特に、２つ以上のロードアクセス部２
ａ,２ｂを基板供給モジュール１の１つの側１ａ,１ｂ,
１cに設けてもよく、或いは複数の側１ａ,１ｂ,１ｃに
配分して設けてもよい。
【００３５】上記のすべての実施形態では、基板供給モ
ジュール１と作業ステーション３との互いに整合した構
成により、基板の受け渡しポイント５がすべての構成に
対し同じであるのが有利である。これにより、配置構成
を変更した場合の受け渡しポイント５の位置変更が回避
される。
【００３６】もちろん、図面には図示しなかったが、作
業ステーション３に対する基板供給モジュール１の方向
付けをいろいろに変えて、基板供給モジュール１を作業
ステーション３の右側３ｃに連結させてもよい。この場
合、通常は受け渡しポイント５は作業ステーション３の
右側にある。しかし、基板供給モジュール１と作業ステ
ーション３のすべての可能な配置構成において基板の搬
送の用を成す受け渡しポイント５用のただ１つの装置の
みを必要とするような構成も可能である。この場合受け
渡しポイント５は作業ステーション３の左右側壁の中央
に配置されるが、非対称に配置してもよい。
【００３７】図面には図示していないが、基本的には、
基板供給モジュール１を作業ステーション３の前面３ｄ
に取り付けてもよい。さらに、複数の作業ステーション
３との組み合わせおよび（または）複数の基板供給モジ
ュール１との組み合わせも可能である。このような組み
合わせの典型例は、図７に示すような２つの作業ステー
ション３と１つの基板供給モジュール１からなる配置構
成である。この場合、２つの同じ作業ステーションまた
は異なる作業ステーション３が基板供給モジュール１を
介して結合されている。これにより基板の全スループッ
トが向上し、プロセスがより効率的になる。たとえば、
一方の作業ステーション３で１個の基板を処理した後、
基板供給モジュール１を介して直接他方の作業ステーシ
ョン３へ挿入してたとえば検査または測定を行い、次に
その結果に応じてロードアクセス部２ａ,２ｂ,２ｃ,２
ｄのいずれか１つの適当なカセットに収納させる。
【００３８】他方、図８には、１つの作業ステーション
３と２つの基板供給モジュール１を備えた配置構成が図
示されている。このような配置構成でも全プロセスのス
ループットと効率を向上させることができる。たとえば
基板を左側の基板供給モジュール１に供給し、作業ステ
ーション３を通過させた後、右側の基板供給モジュール
１に再び集めることができる。
【００３９】前述した実施形態の場合と同様に、図７と
図８に図示した配置構成の場合も、基板供給モジュール
１と作業ステーション３の種々の方向付け、配置が可能
である。配置構成のこのような高い順応性に対し、基板
供給モジュール１と作業ステーション３との電気接続が
妨げになることはない。というのは、一般に電気接続は
コネクタを備えた電気ケーブルによりそれ自体非常に順
応性があるように処理されるからである。
【００４０】さらに、２つ以上の基板供給モジュール１
と２つ以上の作業ステーション３による配置構成も可能
である。これにより、複数のプロセスステップをこの種
の機械の複合装置の中で統合して、利用者が現場でその
必要性およびスペースの状況に応じて編成し、或いは後
日再び変更することもできる。とりわけ、本発明の他の
利点としてコンパクトな構成であるので、半導体製造時
にクリーンルーム内で必要とされる貴重な高価なベース
面が削減される。
【００４１】図９は、基板供給モジュール１と作業ステ
ーション３とを図１に図示した配置構成に対応させて立
体的に例示したものである。この全体外観図にはさらに
スクリーン７が図示されており、スクリーン７を用いて
利用者は操作入力部６を介して行なった入力をコントロ
ールでき、或いは、基板操作の状況を見守ったり、作業
ステーション３での作業プロセスの結果を観察する等の
ことを行なうことができる。作業ステーション３にカメ
ラを組み込んだ場合にも基板の画像をスクリーン７に表
示させることができ、或いは顕微鏡のファインダ８を介
して基板を直接顕微鏡で観察してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板供給モジュールを作業ステーションの側面
に配置した前面装填型の配置図である。
【図２】側面装填型の図１の配置図である。
【図３】背面装填型の図１の配置図である。
【図４】背面装填部を減らした図１の配置図である。
【図５】補助的な背面装填部を備えた図１の配置図であ
る。
【図６】基板供給モジュールを作業ステーションの背面
に配置した背面装填型の配置図である。
【図７】基板供給モジュールを２つの作業ステーション
の間に配置した図である。
【図８】それぞれ側部に装填部を備えた２つの基板供給
モジュールを１つの作業ステーションの両側に配置した
図である。
【図９】基板供給モジュールと作業ステーションの立体
図である。
【符号の説明】
１ 基板供給モジュール １ａ，１ｂ，１ｃ 基板供給モジュールの側壁 ２ａ,２ｂ，２ｃ，２ｄ ロードアクセス部 ３ 作業ステーション ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ 作業ステーションの側
壁 ４ａ,４ｂ キネマティックカップリング（結
合要素） ５ 受け渡しポイント ６ 操作入力部 ７ スクリーン ８ 顕微鏡のファインダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クヌート ヒルタウスキー ドイツ連邦共和国 デー・07318 ザール フェルト ドルフアンガー ３ (72)発明者 カルステン ウルバーン ドイツ連邦共和国 デー・07747 イェー ナ ムーゾイスリンク ２ (72)発明者 ヨアヒム ヴィーンエッケ ドイツ連邦共和国 デー・07747 イェー ナ リーゼロッテ・ヘルマン・シュトラー セ 14ベー Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 MA03 MA07 MA09 PA05 PA06

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板を作業ステーション（３）に供給する
    ための基板供給モジュール（１）であって、側壁（１
    ａ,１ｂ,１ｃ）によって取り囲まれている前記基板供給
    モジュールにおいて、 基板供給モジュール（１）の少なくとも２つの側壁（１
    ａ,１ｂ,１ｃ）が、作業ステーション（３）の対応する
    結合要素（４ｂ）と協働する機械的な結合要素（４ａ）
    を有していることを特徴とする基板供給モジュール。
  2. 【請求項２】結合要素（４ａ,４ｂ）としてキネマティ
    ックカップリングが設けられていることを特徴とする、
    請求項１に記載の基板供給モジュール。
  3. 【請求項３】基板供給モジュール（１）の少なくとも１
    つの側壁（１ａ,１ｂ,１ｃ）が、該基板供給モジュール
    （１）への基板の装填、取り出しを行なうための１個ま
    たは複数個のロードアクセス部（２ａ,２ｂ,２ｃ,２
    ｄ）を有していることを特徴とする、請求項１または２
    に記載の基板供給モジュール。
  4. 【請求項４】作業ステーション（３）が基板の検査、測
    定、または加工用に設けられていることを特徴とする、
    請求項１から３までのいずれか一つに記載の基板供給モ
    ジュール。
  5. 【請求項５】少なくとも１つの基板供給モジュール
    （１）と、複数の側壁（３ａ,３ｂ,３ｃ）を有している
    少なくとも１つの作業ステーション（３）からなり、基
    板供給モジュール（１）と作業ステーション（３）の間
    で基板を交換可能であるシステムにおいて、 作業ステーション（３）が、少なくとも２つの異なる側
    壁（３ａ,３ｂ,３ｃ）に、基板供給モジュール（１）の
    少なくとも１つの側壁（１ａ,１ｂ,１ｃ）に設けた対応
    する結合要素（４ａ）と協働する結合要素（４ｂ）を有
    していることを特徴とするシステム。
  6. 【請求項６】結合要素（４ａ,４ｂ）としてキネマティ
    ックカップリングが設けられていることを特徴とする、
    請求項５に記載のシステム。
  7. 【請求項７】基板供給モジュール（１）が、該基板供給
    モジュール（１）への基板の装填、取り出しを行なうた
    めの１個または複数個のロードアクセス部（２ａ,２ｂ,
    ２ｃ,２ｄ）を有していることを特徴とする、請求項５
    または６に記載のシステム。
  8. 【請求項８】作業ステーション（３）が基板の検査、測
    定、または加工用に設けられていることを特徴とする、
    請求項５から７までのいずれか一つに記載のシステム。
  9. 【請求項９】基板供給モジュール（１）と作業ステーシ
    ョン（３）の間で基板を交換する際の基板用の固定設置
    された受け渡しポイント（５）が設けられていることを
    特徴とする、請求項５から８までのいずれか一つに記載
    のシステム。
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