JP2015170689A - 切削装置 - Google Patents
切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015170689A JP2015170689A JP2014043764A JP2014043764A JP2015170689A JP 2015170689 A JP2015170689 A JP 2015170689A JP 2014043764 A JP2014043764 A JP 2014043764A JP 2014043764 A JP2014043764 A JP 2014043764A JP 2015170689 A JP2015170689 A JP 2015170689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- size
- cassette
- holding table
- holding
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 73
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 44
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 33
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 19
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】切削装置1は、ウェーハWを複数収容可能なカセット3が載置される載置台4とウェーハWを保持する保持テーブル12と保持テーブル12のサイズを検出するサイズ検出手段40と載置台4に載置されたカセット3のサイズを検出するカセットサイズ検出手段10とサイズ検出手段40で検出された保持テーブル12のサイズとカセットサイズ検出手段10で検出されたカセットのサイズとが対応していない場合に警告を発する警告発信手段53とを備えているため、ウェーハWの切削動作が開始される前に保持テーブルのサイズとウェーハWのサイズとの不一致を検出でき、作業者のミスに伴う不具合発生を低減できる。
【選択図】図1
Description
これにより、仮に作業者がウェーハWのサイズに対応した保持テーブルの交換を忘れたり、交換した保持テーブルのサイズ入力を誤ったりしたとしても、保持テーブル12でウェーハWが十分に保持されないという問題も発生しないし、クランプ手段20でフレームFを保持テーブル12の保持面120aよりも下方に引き下げない状態で切削ブレード32によってフレームFを切削してしまう等の不具合の発生を低減できる。
4:載置台 5:仮置き領域
6:第一の搬送手段 6a:搬入出部 6b:搬送部 7:第二の搬送手段
8:撮像手段 9:洗浄領域
10:カセットサイズ検出手段
100a:第一カセット検出センサ 100b:第二カセット検出センサ
11a,11b:カセット位置決め部材
12,12A,12B:保持テーブル 120:保持部 120a:保持面
121:金属枠体 121a:上面 13:テーブルベース 14:モータ
15:カバー 16:X方向送り手段 160:ボールネジ 161:モータ
162:ガイドレール 163:移動基台
17:Y方向送り手段 170:ボールネジ 171:モータ
172:ガイドレール 173:立設基台
18:Z方向送り手段 180 ボールネジ 181:モータ
182:ガイドレール 183:支持部 19:テーブル載置部
20:クランプ手段 200:ガイド部 201:フレーム載置部
201a,201b:貫通孔 202:固定部 203:回転駆動部
204:フレーム押さえ部
30:切削手段 31:切削ブレード 32:スピンドル 33:スピンドルハウジング
40:サイズ検出手段 400a:第一光センサ 400b:第二光センサ
50:表示モニター 51:スピーカー 52:警告表示灯 53:警告発信手段
60:制御手段
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードを有した切削手段と、
該保持テーブルのサイズを検出するサイズ検出手段と、
被加工物を複数収容可能なカセットが載置される載置台と、
該載置台に載置されたカセットのサイズを検出するカセットサイズ検出手段と、
該載置台に載置されたカセットから被加工物を該保持テーブルへと搬送する搬送手段と、
該サイズ検出手段によって検出された該保持テーブルのサイズと該カセットサイズ検出手段によって検出されたカセットのサイズとが対応していない場合に警告を発する警告発信手段と、を備えた切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014043764A JP6230934B2 (ja) | 2014-03-06 | 2014-03-06 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014043764A JP6230934B2 (ja) | 2014-03-06 | 2014-03-06 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015170689A true JP2015170689A (ja) | 2015-09-28 |
JP6230934B2 JP6230934B2 (ja) | 2017-11-15 |
Family
ID=54203178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014043764A Active JP6230934B2 (ja) | 2014-03-06 | 2014-03-06 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6230934B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018060958A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2018107312A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
KR20180087261A (ko) | 2015-11-30 | 2018-08-01 | 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 | 로드 포트에 설치된 적재대 상에 적재되는 어댑터, 및 로드 포트 |
JP2018207032A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法及び加工装置 |
CN109427632A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
JP2019216155A (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | 株式会社ディスコ | 処理装置 |
JP2020183000A (ja) * | 2019-05-08 | 2020-11-12 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2021065966A (ja) * | 2019-10-23 | 2021-04-30 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
JP2021112780A (ja) * | 2020-01-16 | 2021-08-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003297902A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセットアダプタ |
JP2012151219A (ja) * | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセット |
JP2013052483A (ja) * | 2011-09-05 | 2013-03-21 | Disco Corp | 加工装置 |
-
2014
- 2014-03-06 JP JP2014043764A patent/JP6230934B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003297902A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセットアダプタ |
JP2012151219A (ja) * | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセット |
JP2013052483A (ja) * | 2011-09-05 | 2013-03-21 | Disco Corp | 加工装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180087261A (ko) | 2015-11-30 | 2018-08-01 | 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 | 로드 포트에 설치된 적재대 상에 적재되는 어댑터, 및 로드 포트 |
JP2018060958A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2018107312A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2018207032A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法及び加工装置 |
KR102542087B1 (ko) * | 2017-08-31 | 2023-06-09 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
KR20190024700A (ko) * | 2017-08-31 | 2019-03-08 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
JP2019046891A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
CN109427632A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
CN109427632B (zh) * | 2017-08-31 | 2024-03-15 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
JP2019216155A (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | 株式会社ディスコ | 処理装置 |
JP7143020B2 (ja) | 2018-06-12 | 2022-09-28 | 株式会社ディスコ | 処理装置 |
JP2020183000A (ja) * | 2019-05-08 | 2020-11-12 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP7294872B2 (ja) | 2019-05-08 | 2023-06-20 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2021065966A (ja) * | 2019-10-23 | 2021-04-30 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
JP7320425B2 (ja) | 2019-10-23 | 2023-08-03 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
JP2021112780A (ja) * | 2020-01-16 | 2021-08-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6230934B2 (ja) | 2017-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6230934B2 (ja) | 切削装置 | |
KR102467559B1 (ko) | 장치 | |
JP5324231B2 (ja) | 半導体ウエハのアライメント装置 | |
JP6765926B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6460600B2 (ja) | 検出装置 | |
JP2009083076A (ja) | 切削装置 | |
JP5422345B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2018207032A (ja) | ウエーハの加工方法及び加工装置 | |
JP3222205U (ja) | 処理装置 | |
JP6223862B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2021027071A (ja) | レーザー加工装置 | |
TW201923873A (zh) | 磨削裝置 | |
CN111524828A (zh) | 检查用工作台 | |
JP5025545B2 (ja) | ウェーハの位置決め検出装置および位置決め方法 | |
JP2013103280A (ja) | 切削装置 | |
JP2020205343A (ja) | 加工装置 | |
JP2012111003A (ja) | 切削ブレード検出機構 | |
JP2021030329A (ja) | 切削方法及び切削装置 | |
JP2016152295A (ja) | 加工装置 | |
JP6537423B2 (ja) | 切削ブレードの屈折検出方法 | |
JP5653183B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2015107535A (ja) | バイト切削装置のセットアップ方法 | |
JP7344655B2 (ja) | 処理装置 | |
JP6000047B2 (ja) | 切削装置 | |
JP7349260B2 (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170920 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171018 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6230934 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |