KR20060118823A - 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치 - Google Patents
반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 식별번호를 나타내기 위한 요철형태의 ID표시부를 갖는 테스트 트레이와, 상기 테스트 트레이를 반송하며 테스트 트레이의 반도체 소자들을 소정의 온도 상태로 만드는 챔버와, 상기 테스트 트레이의 반도체 소자를 테스트보드에 접속시켜 테스트를 수행하는 테스트부를 구비한 핸들러에 있어서,상기 챔버의 벽에 설치되는 마운트부와;일단이 챔버의 내부에 위치하고 타단이 챔버의 외부에 위치하도록 상기 마운트부에 이동 가능하게 설치되어, 챔버 내부로 반송된 테스트 트레이의 요철부와 접촉하여 선택적으로 이동하는 복수개의 센서도그와;상기 챔버의 외부에서 각 센서도그의 이동을 감지하는 센싱유닛과;상기 마운트부에 대해 센서도그를 탄성적으로 지지하는 탄성부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 마운트부는, 상기 챔버의 벽에 고정되는 고정블록과, 상기 고정블록에 챔버의 내외측으로 슬라이딩가능하게 설치되며 내측에 상기 각 센서도그가 관통하여 슬라이딩 가능하게 설치되는 쉬프트블록과, 상기 쉬프트블록을 고정블록의 내외측으로 일정 거리씩 왕복 이동시키는 구동부로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 구동부는 상기 챔버의 외측에서 상기 쉬프트블록의 외측에 결합되는 공압실린더인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 마운트부는 챔버의 벽을 관통하여 챔버의 내외측 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되고, 상기 챔버의 외측에 상기 마운트부들을 일정 거리씩 왕복 이동시키는 구동부가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치.
- 제 4항에 있어서, 상기 구동부는 공압실린더인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 센싱유닛은 상기 센서도그의 외측 단부의 이동을 비접촉식으로 감지하는 비접촉식 센서인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치.
- 제 6항에 있어서, 상기 센싱유닛은 광센서인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 센싱유닛은 상기 센서도그의 이동시 센서도그의 외측 단부와 접촉하여 이동을 감지하는 접촉식 센서인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050041201A KR100682542B1 (ko) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050041201A KR100682542B1 (ko) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060118823A true KR20060118823A (ko) | 2006-11-24 |
KR100682542B1 KR100682542B1 (ko) | 2007-02-15 |
Family
ID=37705771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050041201A KR100682542B1 (ko) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100682542B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100899931B1 (ko) * | 2007-05-18 | 2009-05-28 | 미래산업 주식회사 | 테스트 트레이 및 이를 이용한 반도체 소자 테스트용 핸들러 그리고 반도체 소자의 테스트 방법 |
KR102547617B1 (ko) * | 2022-06-23 | 2023-06-26 | 큐알티 주식회사 | 가속환경 제공 반도체 소자 테스트 장치 및 이를 이용한 가속환경에서 반도체 소자 테스트 방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR950021432U (ko) * | 1993-12-17 | 1995-07-28 | 리드프레임 이송가공장치에 있어 제품 정방향 검출장치 | |
JP3226780B2 (ja) * | 1996-02-27 | 2001-11-05 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置のテストハンドラ |
KR0139131Y1 (ko) * | 1996-07-19 | 1999-04-15 | 정문술 | 반도체소자 검사기용 금속트레이의 아이·디검출장치 |
JP2004335412A (ja) | 2003-05-12 | 2004-11-25 | D D K Ltd | コネクタ |
-
2005
- 2005-05-17 KR KR1020050041201A patent/KR100682542B1/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100899931B1 (ko) * | 2007-05-18 | 2009-05-28 | 미래산업 주식회사 | 테스트 트레이 및 이를 이용한 반도체 소자 테스트용 핸들러 그리고 반도체 소자의 테스트 방법 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR100682542B1 (ko) | 2007-02-15 |
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