KR19990068968A - 반도체 웨이퍼 카셋트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 슬롯이 형성된 측벽에 관통창을 형성하여 측방에서도 웨이퍼의 적재상태를 확인할 수 있도록 하게 하는 반도체 웨이퍼 카셋트에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 카셋트는, 웨이퍼가 전방에서 수평으로 삽입되어 적층됨으로써 다수개의 웨이퍼를 적재하도록 서로 대향하는 슬롯이 각각 형성된 2개의 측벽을 구비하는 전방개방형의 몸체 및 상기 몸체에 사람이나 이송장치가 파지하기 용이하도록 형성된 손잡이를 구비하여 이루어지는 반도체 웨이퍼 카셋트에 있어서, 측방에서 상기 웨이퍼의 적재상태를 확인할 수 있도록 상기 측벽에 상기 측벽의 일부를 개방한 형태의 관통창을 형성하는 것을 특징으로 한다.

따라서, 설비외부에서 카셋트내의 웨이퍼 상태를 쉽게 확인할 수 있고, 슬롯위치당 웨이퍼의 적재유무를 확인할 수 있으며, 카셋트 내부에 적치되는 파티클을 방지하고, 카셋트운반이 용이하며, 양질의 웨이퍼를 생산하게 하는 효과를 갖는다.

Description

반도체 웨이퍼 카셋트

본 발명은 반도체 웨이퍼 카셋트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 슬롯이 형성된 측벽에 관통창을 형성하여 측방에서도 웨이퍼의 적재상태를 확인할 수 있도록 하게 하는 반도체 웨이퍼 카셋트에 관한 것이다.

일반적으로, 카셋트(Cassette)는 다수개의 웨이퍼를 내부에 형성된 슬롯에 적재하고, 사람 또는 이송장치에 의하여 원하는 설비나 장소로 이동하는데 사용되는 웨이퍼 운반용기의 일종으로서 적용되는 설비나 용도에 따라서 다양한 형태가 개발되어 있다.

이러한 반도체 웨이퍼 카셋트는, 설비에 따라 웨이퍼가 상부에서 투입되어 수직으로 적재되는 경우와 웨이퍼가 전방에서 투입되어 수평으로 적재되는 경우가 있다.

상기 웨이퍼가 전방에서 투입되어 수평으로 적재되는 경우로서 종래의 반도체 웨이퍼 카셋트를 도1에 도시하였다.

도1에서와 같이, 종래의 반도체 웨이퍼 카셋트는, 웨이퍼가 전방에서 수평으로 삽입되어 적층됨으로써 다수개의 웨이퍼를 적재하도록 서로 대향하는 슬롯(13)이 각각 형성된 2개의 측벽(12)을 구비하는 전방개방형의 몸체(10) 및 상기 몸체(10)에 사람이나 이송장치가 파지하기 용이하도록 형성된 손잡이(11)를 구비하여 이루어지는 구성이다.

따라서, 웨이퍼가 전방에서 투입되어 적절한 슬롯간격으로 수평적층되고, 서로 대향하는 슬롯(13)과 슬롯 사이의 간격은 전면이 웨이퍼의 직경보다 넓게 개방되어 있으며, 후면이 웨이퍼의 직경보다 좁게 개방되어 이동시에 웨이퍼가 후면으로 이탈되지 않게 된다.

그러므로 이러한 카셋트에 웨이퍼를 적재하고, 사람이나 카셋트이송장치가 설비에 운반하면 설비의 웨이퍼이송장치가 카셋트 내에 적재된 웨이퍼를 낱개 또는 복수개씩 공정챔버로 이송하게 되는 것이다.

그러나, 슬롯이 형성되어 있는 양측벽은 막힌 형상이므로 카셋트가 설비 내에 삽입되어 일정각도 이상으로 회전된 경우에는 설비외부에서 카셋트내의 웨이퍼 상태를 확인할 수 없었고, 슬롯위치에 대한 표기가 되어 있지 않았으므로 슬롯위치당 웨이퍼의 적재유무를 확인할 수 없었다.

또한, 클린룸 내에서 반도체제조 중 발생하는 파티클의 제거를 위하여 사용하고 있는 공기의 흐름이 상기 측벽으로 인하여 카셋트 내부를 원활하게 흐르지 못하므로 카셋트 내부에 파티클이 적치될 가능성이 높았다.

또한, 카셋트가 로드락챔버에서 공정챔버의 조건과 동일한 조건으로 진공압이 낮추어져서 고진공상태가 되면 카셋트의 재질에 흡수되어 있던 각종의 미세한 가스들이 방출되어 원하는 진공도로 도달하는 시간을 길게하고, 웨이퍼에 악영향을 주게 되는데 이러한 아웃가싱(Outgassing)현상은 카셋트의 용적이 클수록 증가된다.

그러나 종래의 카셋트는 측벽의 용적이 필요이상으로 많이 차지하여 아웃가스의 량이 많아 웨이퍼에 악영향을 주는 경우가 빈번했다.

또한, 종래의 카셋트는 중량이 많이 나가므로 작업자가 운반하기 어려운 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 슬롯이 형성되어 있는 양측벽의 일부를 제거하여 관통창을 형성한 형상이므로 카셋트가 설비 내에 삽입되어 일정각도 이상으로 회전된 경우에도 설비외부에서 카셋트내의 웨이퍼 상태를 확인할 수 있고, 관통창 부근에 슬롯위치에 대한 표기가 되어 있으므로 슬롯위치당 웨이퍼의 적재유무를 확인할 수 있게 하는 반도체 웨이퍼 카셋트를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은, 클린룸 내에서 반도체제조 중 발생하는 파티클의 제거를 위하여 사용하고 있는 공기의 흐름이 카셋트 내부를 원활하게 흐르므로 카셋트 내부에 파티클이 적치될 가능성을 적게 하는 반도체 웨이퍼 카셋트를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 카셋트의 용적이 줄어들어 카셋트가 고진공상태가 되면 발생하는 아웃가스의 량을 줄이므로 원하는 진공도에 도달하는 시간을 짧게하고, 웨이퍼에 주는 악영향을 최대한 방지하게 하는 반도체 웨이퍼 카셋트를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 종래의 카셋트에 비하여 중량이 대폭 감소됨으로써 작업자의 운반 및 취급을 용이하게 하는 반도체 웨이퍼 카셋트를 제공함에 있다.

도1은 종래의 반도체 웨이퍼 카셋트를 나타낸 사시도이다.

도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 카셋트를 나타낸 사시도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 20: 몸체 11, 21: 손잡이

12, 22: 측벽 13, 23: 슬롯

24: 관통창 25: 지지대

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 반도체 웨이퍼 카셋트는, 웨이퍼가 전방에서 수평으로 삽입되어 적층됨으로써 다수개의 웨이퍼를 적재하도록 서로 대향하는 슬롯이 각각 형성된 2개의 측벽을 구비하는 전방개방형의 몸체 및 상기 몸체에 사람이나 이송장치가 파지하기 용이하도록 형성된 손잡이를 구비하여 이루어지는 반도체 웨이퍼 카셋트에 있어서, 측방에서 상기 웨이퍼의 적재상태를 확인할 수 있도록 상기 측벽에 상기 측벽의 일부를 개방한 형태의 관통창을 형성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 적재된 웨이퍼의 개수 및 적재위치를 확인할 수 있도록 상기 측벽의 외면 관통창 근방에 각각의 슬롯위치에 해당하는 슬롯번호를 기재하는 것이 바람직하다.

상기 관통창은, 상기 측벽에 나란히 2개를 형성하고, 상기 관통창과 관통창 사이에 수직형상으로 다수개의 슬롯이 형성된 지지대가 형성되는 것이 가능하다.

또한, 적재된 웨이퍼의 개수 및 적재위치를 확인할 수 있도록 상기 측벽 또는 상기 지지대의 외면 관통창 근방에 각각의 슬롯위치에 해당하는 슬롯번호를 기재하는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 카셋트를 나타낸 사시도이다.

도2를 참조하여 설명하면, 본 발명의 반도체 웨이퍼 카셋트는, 웨이퍼가 전방에서 수평으로 삽입되어 적층됨으로써 다수개의 웨이퍼를 적재하도록 서로 대향하는 슬롯(23)이 각각 형성된 2개의 측벽(22)을 구비하는 전방개방형의 몸체(20) 및 상기 몸체(20)에 사람이나 이송장치가 파지하기 용이하도록 형성된 손잡이(21)를 구비하여 이루어지고, 측방에서 상기 웨이퍼의 적재상태를 확인할 수 있도록 상기 측벽(22)에 상기 측벽(22)의 일부를 개방한 형태의 관통창(24)을 형성한다.

상기 관통창(24)은, 상기 측벽(22)에 나란히 2개를 형성하고, 상기 관통창(24)과 관통창(24) 사이에 수직형상으로 다수개의 슬롯(23)이 형성되어 웨이퍼를 지지하는 지지대(25)가 형성된다.

또한, 적재된 웨이퍼의 개수 및 적재위치를 확인할 수 있도록 상기 측벽(22) 또는 상기 지지대(25)의 외면 관통창(24) 근방에 각각의 슬롯위치에 해당하는 슬롯번호를 기재한다.

개재되는 슬롯의 번호는 식별이 용이하도록 특정수의 배수를 선택하여 기재하거나 식별이 용이한 번호를 선택하여 기재하는 것이 가능하다.(예, 0, 5, 10, 15, 20, 25)

따라서, 웨이퍼가 전방에서 투입되어 적절한 슬롯간격으로 수평적층되고, 서로 대향하는 슬롯과 슬롯 사이의 간격은 전면이 웨이퍼의 직경보다 넓게 개방되어 있으며, 후면이 웨이퍼의 직경보다 좁게 개방되어 이동시에 웨이퍼가 후면으로 이탈되지 않게 된다.

또한, 웨이퍼가 투입되어 안착되면 상기 웨이퍼는 상기 지지대에 형성된 슬롯에 끼여 지지되고, 상기 웨이퍼가 끼인 슬롯의 번호를 상기 지지대에 상기 관통창 근방에 기재되어 있는 식별번호를 확인하여 웨이퍼의 적재위치를 작업자가 육안으로 쉽게 확인할 수 있다.

그러므로 이러한 카셋트에 웨이퍼를 적재하고, 사람이나 이송장치가 설비에 장착하면 설비의 이송장치가 카셋트 내에 적재된 웨이퍼를 낱개 또는 복수개씩 공정챔버로 이송하게 되는 것이다.

또한, 슬롯(23)이 형성된 양측벽(22)에 현성되어 있는 관통창(24)을 통하여 카셋트가 설비 내에 삽입되어 어떤 각도로 회전하더라도 설비외부에서 카셋트내의 웨이퍼 상태를 확인할 수 있고, 슬롯위치에 대한 표기가 되어 있으므로 슬롯위치당 웨이퍼의 적재유무도 확인하는 것이 가능하다.

또한, 클린룸 내에서 반도체제조 중 발생하는 파티클의 제거를 위하여 사용하고 있는 공기의 흐름이 상기 측벽(22)에 형성된 관통창(24)을 통하여 자유롭게 흐르도록 하여 카셋트 내부에 파티클이 적치될 가능성이 적다.

또한, 카셋트가 로드락챔버에서 공정챔버의 조건과 동일한 조건으로 진공압이 낮추어져서 고진공상태가 되면 카셋트의 재질에 흡수되어 있던 각종의 미세한 가스들이 방출되게 되는데 이때 본 발명의 카셋트는 카셋트의 용적이 상기 관통창(24)에 해당하는 용적만큼 줄어들어 원하는 진공도로 도달하는 시간이 짧고, 양질의 웨이퍼 가공이 가능해진다.

또한, 제거된 관통창(24)만큼의 카셋트무게가 줄어들어 작업자가 손쉽게 운반하는 것이 가능하다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 카셋트에 의하면, 설비외부에서 카셋트내의 웨이퍼 상태를 쉽게 확인할 수 있고, 슬롯위치당 웨이퍼의 적재유무를 확인할 수 있으며, 카셋트 내부에 적치되는 파티클을 방지하고, 카셋트운반이 용이하며, 양질의 웨이퍼를 생산하게 하는 효과를 갖는 것이다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (4)

1. 웨이퍼가 전방에서 수평으로 삽입되어 적층됨으로써 다수개의 웨이퍼를 적재하도록 서로 대향하는 슬롯이 각각 형성된 2개의 측벽을 구비하는 전방개방형의 몸체 및 상기 몸체에 사람이나 이송장치가 파지하기 용이하도록 형성된 손잡이를 구비하여 이루어지는 반도체 웨이퍼 카셋트에 있어서,

   측방에서 상기 웨이퍼의 적재상태를 확인할 수 있도록 상기 측벽에 상기 측벽의 일부를 개방한 형태의 관통창을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 카셋트.
2. 제 1 항에 있어서,

   적재된 웨이퍼의 개수 및 적재위치를 확인할 수 있도록 상기 측벽의 외면 관통창 근방에 각각의 슬롯위치에 해당하는 슬롯번호를 기재하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 카셋트.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 관통창은,

   상기 측벽에 나란히 2개를 형성하고, 상기 관통창과 관통창 사이에 수직형상으로 다수개의 슬롯이 형성된 지지대가 형성되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 카셋트.
4. 제 3 항에 있어서,

   적재된 웨이퍼의 개수 및 적재위치를 확인할 수 있도록 상기 측벽 또는 상기 지지대의 외면 관통창 근방에 각각의 슬롯위치에 해당하는 슬롯번호를 기재하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 카셋트.