JPH1159777A - 収容器 - Google Patents
収容器Info
- Publication number
- JPH1159777A JPH1159777A JP24178597A JP24178597A JPH1159777A JP H1159777 A JPH1159777 A JP H1159777A JP 24178597 A JP24178597 A JP 24178597A JP 24178597 A JP24178597 A JP 24178597A JP H1159777 A JPH1159777 A JP H1159777A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- wafer
- container
- equipment
- storage container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Containers Having Bodies Formed In One Piece (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 収容器を対象とする処理を短時間で行うこと
ができ、収容器を対象とする設備や装備の構造も簡単で
よい収容器を提供する。 【解決手段】 ウェハキャリア３１の外形の寸法が単一
種類であり、収容部３３の内側寸法が複数種類である。
このため、複数種類の寸法のウェハ３２をがたつきなく
正確に位置決めした状態で収容することができるにも拘
らず、ウェハキャリア３１を対象とする設備や装備を外
形に応じて調整する必要がなくて、ウェハキャリア３１
を対象とする処理を短時間で行うことができ、ウェハキ
ャリア３１を対象とする設備や装備の構造も簡単でよ
い。
ができ、収容器を対象とする設備や装備の構造も簡単で
よい収容器を提供する。 【解決手段】 ウェハキャリア３１の外形の寸法が単一
種類であり、収容部３３の内側寸法が複数種類である。
このため、複数種類の寸法のウェハ３２をがたつきなく
正確に位置決めした状態で収容することができるにも拘
らず、ウェハキャリア３１を対象とする設備や装備を外
形に応じて調整する必要がなくて、ウェハキャリア３１
を対象とする処理を短時間で行うことができ、ウェハキ
ャリア３１を対象とする設備や装備の構造も簡単でよ
い。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願の発明は、半導体装置の
製造に際して用いられるウェハキャリア等の様に被収容
物を収容するための収容器に関するものである。
製造に際して用いられるウェハキャリア等の様に被収容
物を収容するための収容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウェハキャリアは、ウェハを収容した状
態で搬送されたり、半導体製造装置でウェハを取り出さ
れた後に処理済のウェハを再び収容したり、ウェハを収
容した状態で洗浄液に浸漬されたりする。ウェハには各
種の大きさがあり、例えば直径４インチのウェハ及び直
径８インチのウェハには夫々４インチウェハキャリア及
び８インチウェハキャリアを用いることが統一されてい
るが、これらのウェハキャリアの外形寸法はウェハの大
きさに対応して互いに異なっている。
態で搬送されたり、半導体製造装置でウェハを取り出さ
れた後に処理済のウェハを再び収容したり、ウェハを収
容した状態で洗浄液に浸漬されたりする。ウェハには各
種の大きさがあり、例えば直径４インチのウェハ及び直
径８インチのウェハには夫々４インチウェハキャリア及
び８インチウェハキャリアを用いることが統一されてい
るが、これらのウェハキャリアの外形寸法はウェハの大
きさに対応して互いに異なっている。
【０００３】一方、ウェハキャリアについてはＳＥＭＩ
規格の中に自動化キャリア規格が設けられており、自動
化された半導体製造装置の殆どはこの自動化キャリア規
格に合わせて設計されている。図５は、自動化キャリア
規格に基づくウェハキャリアの一従来例を示している。
規格の中に自動化キャリア規格が設けられており、自動
化された半導体製造装置の殆どはこの自動化キャリア規
格に合わせて設計されている。図５は、自動化キャリア
規格に基づくウェハキャリアの一従来例を示している。
【０００４】この一従来例のウェハキャリア１１には、
複数枚のウェハ１２（図６、７）を互いに平行に離間さ
せた状態で収容する収容部１３が設けられており、収容
状態のウェハ１２の主面に垂直な方向における一方側の
両側部にはロボットによる把持用のフランジ１４が設け
られており、他方側にはＨ字型部１５が設けられてい
る。また、上記の一方側と他方側との間には一対の脚部
１６が延びており、これらの脚部１６にはＶ字型ノッチ
１７が設けられている。
複数枚のウェハ１２（図６、７）を互いに平行に離間さ
せた状態で収容する収容部１３が設けられており、収容
状態のウェハ１２の主面に垂直な方向における一方側の
両側部にはロボットによる把持用のフランジ１４が設け
られており、他方側にはＨ字型部１５が設けられてい
る。また、上記の一方側と他方側との間には一対の脚部
１６が延びており、これらの脚部１６にはＶ字型ノッチ
１７が設けられている。
【０００５】図６は、ウェハキャリア１１が半導体製造
装置に水平に設置されている状態を示している。水平設
置のためには、Ｈ字型部セットブロック２１、入口部ブ
ロック２２及び脚部ブロック２３が設けられているベー
ス２４が用いられる。水平設置に際しては、Ｈ字型部１
５をＨ字型部セットブロック２１に嵌合させて位置決め
し、更に、ウェハキャリア１１の入口部を入口部ブロッ
ク２２に嵌合させると共に脚部１６を脚部ブロック２３
に嵌合させる。
装置に水平に設置されている状態を示している。水平設
置のためには、Ｈ字型部セットブロック２１、入口部ブ
ロック２２及び脚部ブロック２３が設けられているベー
ス２４が用いられる。水平設置に際しては、Ｈ字型部１
５をＨ字型部セットブロック２１に嵌合させて位置決め
し、更に、ウェハキャリア１１の入口部を入口部ブロッ
ク２２に嵌合させると共に脚部１６を脚部ブロック２３
に嵌合させる。
【０００６】図７は、ウェハキャリア１１が半導体製造
装置に垂直に設置されている状態を示している。垂直設
置のためには、移動ブロック２５が設けられているベー
ス２６や複数対の溝２７ａ、２７ｂが設けられているベ
ース２８が用いられる。垂直設置に際しては、移動ブロ
ック２５や溝２７ａ、２７ｂに脚部１６を嵌合して、Ｖ
字型ノッチ１７で位置決めする。
装置に垂直に設置されている状態を示している。垂直設
置のためには、移動ブロック２５が設けられているベー
ス２６や複数対の溝２７ａ、２７ｂが設けられているベ
ース２８が用いられる。垂直設置に際しては、移動ブロ
ック２５や溝２７ａ、２７ｂに脚部１６を嵌合して、Ｖ
字型ノッチ１７で位置決めする。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、一従来例の
ウェハキャリア１１では、上述の様にその外形寸法がウ
ェハ１２の大きさに対応して互いに異なっているので、
異なる外形寸法のウェハキャリア１１に対して処理を行
うために、図６に示した水平設置の場合は、Ｈ字型部セ
ットブロック２１の位置のみが固定されていて入口部ブ
ロック２２及び脚部ブロック２３の位置が異なっている
別種のベース２４に取り替える必要がある。
ウェハキャリア１１では、上述の様にその外形寸法がウ
ェハ１２の大きさに対応して互いに異なっているので、
異なる外形寸法のウェハキャリア１１に対して処理を行
うために、図６に示した水平設置の場合は、Ｈ字型部セ
ットブロック２１の位置のみが固定されていて入口部ブ
ロック２２及び脚部ブロック２３の位置が異なっている
別種のベース２４に取り替える必要がある。
【０００８】また、図７に示した垂直設置の場合は、ベ
ース２６上で移動ブロック２５を移動させたり、複数対
の溝２７ａ、２７ｂをベース２８に設けたりする必要が
ある。更に、ウェハ１２をウェハキャリア１１から取り
出して半導体製造装置に装填するローダや、ウェハ１２
を半導体製造装置から取り出してウェハキャリア１１に
収容するアンローダでも、外形寸法が互いに異なるウェ
ハキャリア１１の種類だけプログラムやセンサが必要で
ある。
ース２６上で移動ブロック２５を移動させたり、複数対
の溝２７ａ、２７ｂをベース２８に設けたりする必要が
ある。更に、ウェハ１２をウェハキャリア１１から取り
出して半導体製造装置に装填するローダや、ウェハ１２
を半導体製造装置から取り出してウェハキャリア１１に
収容するアンローダでも、外形寸法が互いに異なるウェ
ハキャリア１１の種類だけプログラムやセンサが必要で
ある。
【０００９】また、外形寸法が互いに異なるウェハキャ
リア１１では、ロボットによる把持用のフランジ１４の
位置も異なるのでロボットの構造も複雑になり、手作業
操作用の治工具やウェハキャリア１１を覆うためのカバ
ーやウェハキャリア１１を収納するためのボックス等も
複数種類必要である。
リア１１では、ロボットによる把持用のフランジ１４の
位置も異なるのでロボットの構造も複雑になり、手作業
操作用の治工具やウェハキャリア１１を覆うためのカバ
ーやウェハキャリア１１を収納するためのボックス等も
複数種類必要である。
【００１０】つまり、一従来例のウェハキャリア１１で
は、このウェハキャリア１１を対象とする処理を短時間
で行うことが困難であり、このウェハキャリア１１を対
象とする設備や装備の構造も複雑である。従って、本願
の発明は、収容器を対象とする処理を短時間で行うこと
ができ、収容器を対象とする設備や装備の構造も簡単で
よい収容器を提供することを目的としている。
は、このウェハキャリア１１を対象とする処理を短時間
で行うことが困難であり、このウェハキャリア１１を対
象とする設備や装備の構造も複雑である。従って、本願
の発明は、収容器を対象とする処理を短時間で行うこと
ができ、収容器を対象とする設備や装備の構造も簡単で
よい収容器を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る収容器で
は、収容部が複数種類の内側寸法を有しているので、収
容部の内側寸法として複数種類の被収容物の寸法に対応
する複数種類の寸法を採用することができる。そして、
それにも拘らず、外形が単一種類の寸法しか有していな
いので、この収容器を対象とする設備や装備を収容器の
外形に応じて調整する必要がない。
は、収容部が複数種類の内側寸法を有しているので、収
容部の内側寸法として複数種類の被収容物の寸法に対応
する複数種類の寸法を採用することができる。そして、
それにも拘らず、外形が単一種類の寸法しか有していな
いので、この収容器を対象とする設備や装備を収容器の
外形に応じて調整する必要がない。
【００１２】請求項２に係る収容器では、収容状態にあ
る被収容物の中心位置が収容器の外形に対して同一の位
置になるので、被収容物を収容器内に収容したり収容器
内から取り出したりするための設備を収容器の外形に応
じて調整する必要がない。
る被収容物の中心位置が収容器の外形に対して同一の位
置になるので、被収容物を収容器内に収容したり収容器
内から取り出したりするための設備を収容器の外形に応
じて調整する必要がない。
【００１３】請求項３に係る収容器では、収容部の内側
寸法に対応する識別子が設けられているので、外形が単
一種類の寸法しか有していないにも拘らず、収容部に収
容されている被収容物を自動的に識別することができ
る。
寸法に対応する識別子が設けられているので、外形が単
一種類の寸法しか有していないにも拘らず、収容部に収
容されている被収容物を自動的に識別することができ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、ウェハキャリアに適用した
本願の発明の第１〜第３実施形態を、図１〜４を参照し
ながら説明する。図１、２が、第１実施形態を示してい
る。この第１実施形態のウェハキャリア３１にも、複数
枚のウェハ３２を収容する収容部３３と、ロボットによ
る把持用のフランジ（図示せず）と、水平設置時の位置
決め用のＨ字型部３５と、垂直設置用の一対の脚部３６
とが設けられており、脚部３６には垂直設置時の位置決
め用のＶ字型ノッチ（図示せず）が設けられている。
本願の発明の第１〜第３実施形態を、図１〜４を参照し
ながら説明する。図１、２が、第１実施形態を示してい
る。この第１実施形態のウェハキャリア３１にも、複数
枚のウェハ３２を収容する収容部３３と、ロボットによ
る把持用のフランジ（図示せず）と、水平設置時の位置
決め用のＨ字型部３５と、垂直設置用の一対の脚部３６
とが設けられており、脚部３６には垂直設置時の位置決
め用のＶ字型ノッチ（図示せず）が設けられている。
【００１５】但し、この第１実施形態のウェハキャリア
３１では、収容部３３に収容するウェハ３２の大きさに
拘らず外形寸法が一種類である。即ち、フランジ、Ｈ字
型部３５、脚部３６及びＶ字型ノッチ等の位置及び大き
さが統一されている。また、図２に示す様に収容部３３
の形状は収容すべきウェハ３２の大きさに対応して互い
に異なっているが、Ｈ字型部３５から収容状態にある１
枚目のウェハ３２までのピッチ及び収容状態にある各ウ
ェハ３２間のピッチは統一されている。
３１では、収容部３３に収容するウェハ３２の大きさに
拘らず外形寸法が一種類である。即ち、フランジ、Ｈ字
型部３５、脚部３６及びＶ字型ノッチ等の位置及び大き
さが統一されている。また、図２に示す様に収容部３３
の形状は収容すべきウェハ３２の大きさに対応して互い
に異なっているが、Ｈ字型部３５から収容状態にある１
枚目のウェハ３２までのピッチ及び収容状態にある各ウ
ェハ３２間のピッチは統一されている。
【００１６】更に、図２に示す様に、収容されているウ
ェハ３２の大きさが互いに異なっていても、一種類のロ
ーディングアーム３７及びアンローディングアーム３８
でローディング及びアンローディングを行うことができ
る様に、収容状態にあるウェハ３２の中心位置がウェハ
キャリア３１の外形に対して同一の位置になる内側形状
を収容部３３が有している。
ェハ３２の大きさが互いに異なっていても、一種類のロ
ーディングアーム３７及びアンローディングアーム３８
でローディング及びアンローディングを行うことができ
る様に、収容状態にあるウェハ３２の中心位置がウェハ
キャリア３１の外形に対して同一の位置になる内側形状
を収容部３３が有している。
【００１７】図３が、第２実施形態を示している。この
第２実施形態のウェハキャリア３１も、ウェハキャリア
３１の外形寸法以内であれば、ウェハ３２のみならず角
形や楕円形等の各種の異形基板４１を収容することがで
きる内側形状を収容部３３が有していることを除いて、
図１、２に示した第１実施形態のウェハキャリア３１と
実質的に同様の構成を有している。
第２実施形態のウェハキャリア３１も、ウェハキャリア
３１の外形寸法以内であれば、ウェハ３２のみならず角
形や楕円形等の各種の異形基板４１を収容することがで
きる内側形状を収容部３３が有していることを除いて、
図１、２に示した第１実施形態のウェハキャリア３１と
実質的に同様の構成を有している。
【００１８】図４が、第３実施形態を示している。この
第３実施形態のウェハキャリア３１も、ウェハキャリア
３１の種類を識別するための識別用ビット４２がＨ字型
部３５の近傍に設けられていることを除いて、図１、２
に示した第１実施形態のウェハキャリア３１と実質的に
同様の構成を有している。
第３実施形態のウェハキャリア３１も、ウェハキャリア
３１の種類を識別するための識別用ビット４２がＨ字型
部３５の近傍に設けられていることを除いて、図１、２
に示した第１実施形態のウェハキャリア３１と実質的に
同様の構成を有している。
【００１９】識別用ビット４２が設けられているので、
外形寸法が一種類であるにも拘らず、収容部３３に収容
されているウェハ３２の大きさや、収容部３３に収容さ
れているのが異形基板４１であるか否か等を、自動的に
識別することができる。なお、センサで認識可能な位置
であれば、Ｈ字型部３５以外の例えば脚部３６等にも識
別用ビット４２を設けることができる。
外形寸法が一種類であるにも拘らず、収容部３３に収容
されているウェハ３２の大きさや、収容部３３に収容さ
れているのが異形基板４１であるか否か等を、自動的に
識別することができる。なお、センサで認識可能な位置
であれば、Ｈ字型部３５以外の例えば脚部３６等にも識
別用ビット４２を設けることができる。
【００２０】なお、以上の第１〜第３実施形態は、本願
の発明をウェハキャリアに適用したものであるが、ウェ
ハ以外の被収容物を収容するための収容器にも本願の発
明を適用することができる。
の発明をウェハキャリアに適用したものであるが、ウェ
ハ以外の被収容物を収容するための収容器にも本願の発
明を適用することができる。
【００２１】
【発明の効果】請求項１に係る収容器では、収容部の内
側寸法として複数種類の被収容物の寸法に対応する複数
種類の寸法を採用することができるので、複数種類の寸
法の被収容物をがたつきなく正確に位置決めした状態で
収容することができる。そして、それにも拘らず、この
収容器を対象とする設備や装備を収容器の外形に応じて
調整する必要がないので、収容器を対象とする処理を短
時間で行うことができ、収容器を対象とする設備や装備
の構造も簡単でよい。
側寸法として複数種類の被収容物の寸法に対応する複数
種類の寸法を採用することができるので、複数種類の寸
法の被収容物をがたつきなく正確に位置決めした状態で
収容することができる。そして、それにも拘らず、この
収容器を対象とする設備や装備を収容器の外形に応じて
調整する必要がないので、収容器を対象とする処理を短
時間で行うことができ、収容器を対象とする設備や装備
の構造も簡単でよい。
【００２２】請求項２に係る収容器では、被収容物を収
容器内に収容したり収容器内から取り出したりするため
の設備を収容器の外形に応じて調整する必要がないの
で、被収容物の収容や取り出しを短時間で行うことがで
き、収容や取り出しをおこなうための設備の構造も簡単
でよい。
容器内に収容したり収容器内から取り出したりするため
の設備を収容器の外形に応じて調整する必要がないの
で、被収容物の収容や取り出しを短時間で行うことがで
き、収容や取り出しをおこなうための設備の構造も簡単
でよい。
【００２３】請求項３に係る収容器では、外形が単一種
類の寸法しか有していないにも拘らず、収容部に収容さ
れている被収容物を自動的に識別することができるの
で、複数種類の寸法を有する被収容物に対する処理を短
時間で行うことができる。
類の寸法しか有していないにも拘らず、収容部に収容さ
れている被収容物を自動的に識別することができるの
で、複数種類の寸法を有する被収容物に対する処理を短
時間で行うことができる。
【図１】本願の発明の第１実施形態を示しており、
（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ線に沿う位置における断面図、
（ｂ）は平面図である。
（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ線に沿う位置における断面図、
（ｂ）は平面図である。
【図２】第１実施形態の断面図であり、（ａ）はローデ
ィングアームによる操作中、（ｂ）はアンローディング
アームによる操作中を示している。
ィングアームによる操作中、（ｂ）はアンローディング
アームによる操作中を示している。
【図３】本願の発明の第２実施形態の断面図である。
【図４】本願の発明の第３実施形態の正面図である。
【図５】本願の発明の一従来例を示しており、（ａ）は
斜視図、（ｂ）は（ａ）とは異なる方向からの斜視図で
ある。
斜視図、（ｂ）は（ａ）とは異なる方向からの斜視図で
ある。
【図６】一従来例を示しており、（ａ）は水平設置状態
の斜視図、（ｂ）は水平設置のためのベースの平面図で
ある。
の斜視図、（ｂ）は水平設置のためのベースの平面図で
ある。
【図７】一従来例を示しており、（ａ）は垂直設置状態
の斜視図、（ｂ）は垂直設置のためのベースの正面図、
（ｃ）は垂直設置のための別のベースの正面図である。
の斜視図、（ｂ）は垂直設置のためのベースの正面図、
（ｃ）は垂直設置のための別のベースの正面図である。
３１…ウェハキャリア（収容器）、３２…ウェハ（被収
容物）、３３…収容部、４２…識別用ビット（識別子）
容物）、３３…収容部、４２…識別用ビット（識別子）
Claims (3)
- 【請求項１】 単一種類の寸法を有する外形と、 複数種類の内側寸法を有する収容部とを具備することを
特徴とする収容器。 - 【請求項２】 収容状態にある被収容物の中心位置が前
記外形に対して同一の位置になる内側形状を前記収容部
が有していることを特徴とする請求項１記載の収容器。 - 【請求項３】 前記内側寸法に対応する識別子が設けら
れていることを特徴とする請求項１記載の収容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24178597A JPH1159777A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 収容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24178597A JPH1159777A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 収容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1159777A true JPH1159777A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=17079491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24178597A Pending JPH1159777A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 収容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1159777A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013197488A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | 収納器群 |
| JP2020027923A (ja) * | 2018-08-17 | 2020-02-20 | 三菱電機株式会社 | ウエハカセット |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP24178597A patent/JPH1159777A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013197488A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | 収納器群 |
| JP2020027923A (ja) * | 2018-08-17 | 2020-02-20 | 三菱電機株式会社 | ウエハカセット |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060809 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060815 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061218 |