JP2003124291A - 位置測定システム、ロードポート装置及び基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ロードポートドアと基板収納容器のドアをド
ッキングして開閉する際、レジストレーションピン及び
レジストレーションピン穴が擦れることによる異物の発
生を防止する。 【解決手段】 基板の出し入れを行うためのロードポー
ト装置であって、基板を収納する基板収納容器を載置す
る載置台３６と、基板収納容器のドアにドッキングして
基板収納容器のドアを開放するためのロードポートドア
と、を備え、ロードポートドアは、基準位置からのドア
のずれを測定するための位置基準マーク２を有し、載置
台は、位置基準マークを読み取ることによりロードポー
トドアの基準位置からのずれを測定することができる位
置測定手段３００を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、位置測定システ
ム、ロードポート装置並びに基板搬送方法に関する。さ
らに具体的には、基板収納容器と基板処理装置の間で基
板の出し入れを行う際に用いられるロードポート装置の
備えられたロードポートドアの位置測定及び位置の決定
のために用いられる位置測定システムの構造及び使用に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図８は、半導体装置の製造時に用いられ
る既知の横ドア一体型の基板収納容器を説明するための
斜視図である。基板収納容器としては、例えば、ＦＬＵ
ＯＲＯＷＡＲＥ（フルオロウエア）社製カタログに記載
されているものである。このタイプのものは、ＳＥＭＩ
規格でＦＯＵＰと呼ばれている。以下、ＦＯＵＰを例に
とって、従来の基板収納容器について説明する。なお、
ＦＯＵＰとは、フロント・オープニング・ユニファイド
・ポッド（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅ
ｄ Ｐｏｄ）の略である。詳細な寸法などの情報は、Ｓ
ＥＭＩ規格Ｅ５２、Ｅ１．９、Ｅ４７．１等に記載され
ている。

【０００３】図８において、５００は、基板収納容器で
あるウェーハキャリアを示す。ウェーハキャリア５００
は、キャリアシェル１０及びキャリアドア２０を有す
る。キャリアシェル１０は一面に開放面を有する筐体で
あり、この開放面においてキャリアドア２０がキャリア
シェル１０に嵌合する。キャリアドア２０がキャリアシ
ェル１０に嵌合した状態、即ち、キャリアドア２０が閉
じた状態においては、ウェーハキャリア５００は、密閉
された状態となる。基板は、上述したようなウェーハキ
ャリア５００に収納された状態で、例えばＯＨＴ（Ｏｖ
ｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）と呼
ばれる自動搬送機器によって、ウェーハキャリア５００
ごと、必要な処理を施す基板処理装置に自動搬送され
る。

【０００４】図９は、基板の収容された基板収納容器
を、ロードポート装置の載置台に載置した状態を説明す
るための断面図である。図９に示すように、基板４０が
収納されＯＨＴで自動搬送されたウェーハキャリア５０
０は、基板処理装置に備えられたロードポート装置６０
０の載置台３６の上に載置される。

【０００５】その後、キャリアドア２０とロードポート
ドア３０がドッキングする。この際、ロードポートドア
に備えられたラッチキー３２は、ウェーハキャリア５０
０に備えられたラッチキー穴２２に挿入される。ラッチ
キー３２は、ラッチキー穴２２内で回転することによ
り、キャリアドア２０に備えられたクランピング機構の
係合片２６をキャリアシェル１０から外し、キャリアド
ア２０をキャリアシェルから外すことができる。この状
態で、ロードポートドア３０によりキャリアドア２０が
キャリアシェル１０から引き抜かれる。このようにし
て、ロードポート装置６００により、キャリアドア２０
が開放され、ウェーハキャリア５００の内部に収納され
た基板４０を、基板処理装置内部に取り込むことができ
る。

【０００６】ところで、基板は、密閉可能な容器に収納
され、ＯＨＴなどにより基板処理装置に自動搬送され
る。また、一般に基板処理装置は、クリーンルームとい
う温度や湿度がコントロールされ、粉塵対策の施された
室内に置かれ、従って基板の搬送も、このクリーンルー
ム内で行われる。このように、密閉可能な容器に基板を
収納し、クリーンルーム内で搬送、処理を行うのは、大
気中の異物や化学的な汚染から、基板を防御するためで
ある。

【０００７】しかし、このように、異物等を排除するよ
うな環境において基板を搬送しても、上述したような方
法によりキャリアドア２０を開閉する場合、ラッチキー
３２のラッチキー穴２２への挿入や、ラッチキー穴２２
内での回転の際に、ラッチキー３２とラッチキー穴２２
が擦れることにより異物が発生する場合がある。この異
物の発生を抑えるため、ロードポートドア３０とキャリ
アドア２０がドッキングする際には、ロードポートドア
３０とキャリアドア２０との位置を、正確に決めること
が必要である。このため、ロードポートドア３０にレジ
ストレーションピン３４を設け、一方、キャリアドア２
０には、レジストレーションピン穴２４を設けている。
ロードポートドア３０とキャリアドア２０とがドッキン
グする際には、レジストレーションピン３４が、レジス
トレーションピン穴２４に挿入され、これによって、正
確に位置決めがされるようになっている。

【０００８】しかし、これによって、ラッチキー３２の
挿入や回転の際のラッチキー穴２２との擦れによる異物
の発生を抑えることはできるが、レジストレーションピ
ン３４をレジストレーションピン穴２４に挿入する際の
擦れにより異物が発生することがある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
レジストレーションピンとレジストレーションピン穴と
を挿入して正確な位置決めを行う方法では、基板収納容
器のドアと、ロードポート装置のロードポートドアの位
置にずれが生じていた場合、レジストレーションピン穴
とレジストレーションピンとが擦れて、異物が発生する
ことが考えられる。このような異物は、半導体装置の欠
陥にもつながる恐れがあるため、抑える必要がある。

【００１０】また、レジストレーションピンとレジスト
レーションピン穴とを用いて載置位置を決定する場合、
ロードポートドアにはレジストレーションピンを、基板
収納容器のドアにはレジストレーションピン穴を、それ
ぞれ設ける工程が必要となり、時間的なロスや、コスト
の増加にもつながり問題である。

【００１１】従ってこの発明は、ロードポート装置によ
る基板収納容器のドア開閉の際、ロードポートドアと基
板収納容器のドアとがドッキングすることによる異物の
発生を抑えて、ドアの開閉を行うことを目的とするもの
である。また、この発明は、ロードポートドアと基板収
納容器のドアとの位置を決める際に用いられるレジスト
レーションピンとレジストレーションピン穴との設置に
よる時間的なロスやコストの増加をも抑えることを目的
とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明の位置測定シス
テムは、基板の出し入れを行うロードポート装置のロー
ドポートドアの位置を測定するための位置測定システム
であって、前記ロードポートドアに取り付けられた位置
基準マークと、前記位置基準マークを読み取ることによ
り前記ロードポートドアの基準位置からのずれを測定す
る位置測定手段と、を備えたものである。

【００１３】また、この発明の位置測定システムは、前
記位置測定手段は、位置基準マークの位置を目視するこ
とができる目視用拡大鏡を有するものである。

【００１４】また、この発明の位置測定システムは、前
記ロードポート装置は、前記位置測定手段または基板を
収納する基板収納容器を載置できる載置台を備え、前記
載置台は、前記位置測定手段または前記基板収納容器を
載置する際の載置位置を決める位置決めピンを備え、前
記位置測定手段は、前記位置決めピンに係合する位置決
めピン係合部を備えるものである。

【００１５】次に、この発明のロードポート装置は、基
板の出し入れを行うためのロードポート装置であって、
基板を収納する基板収納容器を載置する載置台と、前記
基板収納容器のドアにドッキングして前記基板収納容器
のドアを開放するためのロードポートドアと、を備え、
前記ロードポートドアは、基準位置からのロードポート
ドアのずれを測定するための位置基準マークを有し、前
記載置台は、前記位置基準マークを読み取って、前記ロ
ードポートドアの基準位置からのずれを測定することが
できる位置測定手段を有するものである。

【００１６】また、この発明のロードポート装置は、前
記位置測定手段は、目視用拡大鏡を有するものである。

【００１７】また、この発明のロードポート装置は、前
記載置台は、前記基板収納容器を載置する際の載置位置
を決める位置決めピンを有し、前記位置測定手段は、前
記位置決めピンに対応する位置に、前記位置決めピンと
係合する位置決めピン係合部を有するものである。

【００１８】次に、この発明の基板搬送方法は、基板の
出し入れを行うロードポート装置を用いた基板の搬送方
法において、前記ロードポート装置に備えられた載置台
に、前記ロードポート装置に備えられたロードポートド
アの位置を測定するための位置測定手段を載置する載置
工程と、前記ロードポートドアに備えられた位置基準マ
ークを読み取って、前記ロードポートドアの基準位置か
らのずれを測定する位置測定工程と、前記位置測定工程
における測定結果に応じて、前記ロードポートドアの位
置のずれを修正する位置修正工程と、前記載置台に基板
を収納する基板収納容器を載置して、前記基板収納容器
内に収納された基板と基板処理装置内の間で前記基板の
出し入れを行う基板搬送工程と、を含むものである。

【００１９】また、この発明の基板搬送方法は、前記位
置測定工程は、目視用拡大鏡を用いて測定するものであ
る。

【００２０】また、この発明の基板搬送方法は、前記載
置工程は、前記載置台に備えられ、前記基板収納容器ま
たは前記位置測定手段を載置する際の載置位置を決定す
るための位置決めピンと、前記位置決めピンに対応する
ように前記位置測定手段に備えられた位置決め用ピン係
合部とを係合させることにより載置するものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、この発明の
実施の形態について説明する。なお、各図において、同
一または相当する部分には同一符号を付してその説明を
省略ないし簡略化する。

【００２２】実施の形態．図１は、この発明の実施の形
態で用いられる基板収納容器を示す斜視図である。図１
において、ウェーハキャリア１００は、基板を収納する
基板収納容器であり、この実施の形態１では、ＳＥＭＩ
規格のＦＯＵＰを使用する。

【００２３】キャリアシェル１０は、内部に基板を収納
することができる筐体であり、一面に開放面を有する。
キャリアドア２０は、この開放面において、キャリアシ
ェル１０と嵌合するウェーハキャリア１００のドアであ
る。また、キャリアシェル１０及びキャリアドア２０
は、一般には高機能プラスチックで成型されている。キ
ャリアドア２０を開閉することにより、ウェーハキャリ
ア１００内に基板を出し入れすることができる。また、
キャリアドア２０がキャリアシェル１０に当接する面に
はシール材（図示せず）が設けられ、キャリアシェル１
０との密閉性が保たれるようになっている。

【００２４】ウェーハティース１２は、棚状の形状を有
し、キャリアシェル１０の内壁に備えられている。ウェ
ーハティース１２は、キャリアドア２０の内側に備えら
れたリテーナ（図示せず）と共に、ウェーハキャリア１
００内に収納される基板を、水平に、複数枚支持するこ
とができる。

【００２５】ロボットフランジ１４、マニュアルハンド
ル１６、サイドレール１８は、キャリアシェル１０の外
部に備えられ、ウェーハキャリア１００の搬送のために
用いられるものである。

【００２６】クランピング機構の係合片２６は、キャリ
アドア２０の上部に突出して設けられ、キャリアシェル
１０側に備えられたクランピング機構の係合片（図示せ
ず）と係合することにより、キャリアドア２０をキャリ
アシェル１０に固定する。ラッチキー穴２２は、クラン
ピング機構の係合片２６をキャリアシェル１０から外す
ことにより、キャリアドア２０を開閉するために用いら
れるものであるが、これについては、後述する。ラッチ
キー穴２２及びクランピング機構の係合片２６は、共に
キャリアドア２０に備えられている。

【００２７】図２は、ロードポート装置に備えられた載
置台に載置されたウェーハキャリア１００を示す断面図
である。図２において、ロードポート装置２００は、基
板に所定の処理を施すための基板処理装置７００に備え
られ、基板処理装置７００と、ウェーハキャリア１００
との間で基板の出し入れを行うための装置である。

【００２８】また、ロードポートドア３０は、キャリア
ドア２０とドッキングして、キャリアドア２０を開閉す
るために用いられる物である。ロードポートドア３０
は、基板処理装置７００の壁面の一部を構成する。ま
た、ここでは、ウェーハキャリア１００として、ＦＯＵ
Ｐを使用しているため、ロードポートドア３０は、ＦＯ
ＵＰに対応するＦＩＭＳドアを構成する。

【００２９】ラッチキー３２は、ロードポートドア３０
の表面上に、突出するように設けられている。ラッチキ
ー３２は、キャリアドア２０に設けられたラッチキー穴
２２に挿入して、回転することにより、クランピング機
構の係合片２６を、キャリアシェル１０から外すことが
できる。ロードポートドア３０は、ラッチキー３２によ
り、キャリアドア２０とドッキングした状態で、キャリ
アドア２０をキャリアシェル１０から引き離すことがで
きる。

【００３０】また、載置台３６は、ウェーハキャリア１
００を載置するために備えられた載置台である。キネマ
ティックピン３８は、載置台３６の上に突出して設けら
れ、ウェーハキャリア１００を載置する際の載置位置を
決定する位置決めピンである。Ｖ溝２８は、ウェーハキ
ャリア１００の底部に、キネマティックピン３８の位置
に対応するように設けられ、位置決めピンに係合する部
分である。基板４０を収納して搬送されたウェーハキャ
リア１００は、載置台３６に載置される。この際、キネ
マティックピン３８と、Ｖ溝２８とが嵌り合うことによ
り、ウェーハキャリア１００がロードポート装置２００
に載置される際の位置を正確に決定する。

【００３１】図３は、ロードポートドア２０を示す図で
あり、図３（ａ）は、正面図を、図３（ｂ）は上面図を
示す。従来のロードポートドアには、ラッチキーだけで
なく、レジストレーションピンが設けられていた。しか
し、この実施の形態においては、図３に示すように、ラ
ッチキー３２のみが設けられている。従って図３（ｂ）
に示すように、ラッチキー３２のみがロードポートドア
３０から突出している。

【００３２】位置基準マーク２は、ロードポートドア３
０の位置を測定するための基準となるマークである。位
置基準マーク２は、＋の形状を有し、ロードポートドア
３０の基準となる位置に設けられる。

【００３３】図４は、この発明の実施の形態における位
置測定システムを示す斜視図である。図４において、位
置測定手段３００は、位置基準マーク２を読み取ってロ
ードポートドア３０の位置のずれを測定するために用い
られるものである。位置測定手段３００は、ロードポー
ト装置２００の載置台３６の上に載置されている。ま
た、位置測定システム４００は、位置基準マーク２と、
位置測定手段３００を含んで構成される。

【００３４】目視用拡大鏡４は、位置基準マーク２を拡
大して正確に読み取り、ロードポートドア３０の位置を
測定するために位置測定手段３００に備えられたもので
ある。

【００３５】図５は、目視用拡大鏡の内部を示す図であ
る。目視用拡大鏡４内は、図５に示すように、２本の目
盛り線６が、縦方向と、横方向とに設けられている。ロ
ードポートドア３０が、所定の基準位置に正確に設置さ
れている時は、位置基準マーク２が２本の目盛り線６の
交点と重なって見えるようになっている。図５に示すよ
うに、位置基準マークと、２本の目盛り線６の交点がず
れている場合には、ロードポートドア３０は、所定の基
準位置からずれていることになる。ロードポートドア３
０のずれを修正する場合、位置基準マーク２の中心から
のずれ量を縦方向、横方向のそれぞれについて測定す
る。

【００３６】図６は、位置測定手段３００の底面図であ
る。Ｖ溝８は、位置測定手段３００に備えられた位置決
めピン係合部である。Ｖ溝８は、ロードポート装置の載
置台３６に形成されたキネマティックピン３８に対応す
る位置に備えられている。即ち、位置測定手段３００の
底面に形成されたＶ溝の位置及び形状は、ウェーハキャ
リア１００の底面に備えられたＶ溝２８の位置及び形状
と一致する。位置測定手段３００を載置台に載置する場
合、Ｖ溝８とキネマティックピン３８とが係合するよう
になっている。

【００３７】なお、ロードポートドア３０とキャリアド
ア２０が対向してドッキングする際、ラッチキー３２と
ラッチキー穴２２とが同じ高さにあって、ラッチキー３
２は、ラッチキー穴２２と擦れることなく挿入できる位
置が基準位置である。また、位置測定手段３００は、載
置台３６に、ウェーハキャリア１００が載置される場合
と同様に正確に載置される。この状態で、ロードポート
ドア３０に備えられた位置基準マーク２を、目視用拡大
鏡４で読み取る。ロードポートドア３０が、基準位置に
正確に設置されている場合に、位置基準マーク２と、目
視用拡大鏡４の２本の目盛り線６の交点とが重なるよう
に、位置基準マーク２と目視用拡大鏡４は設けられてい
る。

【００３８】次に、この実施の形態における基板の搬送
方法について説明する。図７は、この発明の実施の形態
における基板の搬送方法を説明するためのフロー図であ
る。まず、ステップＳ１０に示すように、位置測定手段
３００を、ロードポート装置２００の載置台３６に載置
する。このとき、キネマティックピン３８と位置測定手
段３００のＶ溝８とをはめ合わせて、正確に載置位置を
決定する。

【００３９】次に、ステップＳ２０に示すように、目視
用拡大鏡４を用いて、ロードポート装置２００のロード
ポートドア３０に設けられた位置基準マーク２を読み取
って、ロードポートドアの位置を測定する。この場合、
ロードポートドアが基準位置に載置されていれば、縦横
２本の目盛り線６の交点と、位置基準マーク２０の＋が
重なることになる。図６に示すように、位置基準マーク
が交点と重ならない場合には、ロードポートドア３０は
基準位置からずれていることになる。この場合には、位
置基準マーク２の縦方向、横方向のずれをそれぞれ測定
する。

【００４０】次に、ステップＳ３０に示すように、測定
した結果に応じて、ロードポート装置２００のロードポ
ートドア３０の位置を正確な位置に修正する。ロードポ
ート装置２００には、ロードポートドア３０を修正する
ため、対応する目盛り（図示せず）が設けられており、
その目盛りにあわせて、縦方向、横方向のそれぞれのず
れを修正すればよい。

【００４１】次に、ステップＳ４０に示すように、ロー
ドポートドア３０のずれを修正し、正確な位置にロード
ポートドア３０を戻した状態で、目視用拡大鏡４で再
度、ロードポートドア３０の位置を確認する。ステップ
Ｓ３０において、ロードポートドア３０の位置が、基準
位置に正確に修正されていれば、ロードポートドア２０
の位置基準マークと目盛り線６の交点は重なっている。
次に、ステップＳ５０に示すように、位置測定手段３０
０を、ロードポート装置２００の載置台３６から取り外
す。

【００４２】この状態で、ステップＳ６０に示すよう
に、基板４０を収納されたウェーハキャリア１００を、
ロードポート装置の載置台３６に搬送する。例えば、３
００ｍｍ基板を収納した場合、ウェーハキャリア１００
の重量は全体で８ｋｇ以上になるため、安全上人手によ
る搬送は考えにくい。従って、このときの搬送方法とし
ては、例えばＯＨＴ(Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ
Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ)や、ＲＧＶ(Ｒａｉｌ Ｇｕｉｄｅ
ｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ)などを用いた自動搬送や、あるい
は、ＰＧＶ(Ｐｅｒｓｏｎ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃ
ｌｅ)などを用いた手動搬送などが考えられる。

【００４３】ウェーハキャリア１００を、Ｖ溝２８と、
載置台３６に設けられたキネマティックピン３８とを嵌
め合わせることにより、ロードポート装置２００の載置
台３６上の適切な位置に載置する。

【００４４】次に、ステップＳ７０に示すように、ウェ
ーハキャリア１００と、基板処理装置との間で、基板の
出し入れを行う。ここでは、まず、ウェーハキャリア１
００のキャリアドア２０と、ロードポート装置２００の
ロードポートドア３０とをドッキングし、同時に、キャ
リアドア２０に備えられたラッチキー穴２２に、ロード
ポートドア３０側に備えられたラッチキー３２を挿入す
る。次に、ラッチキー３２を、ラッチキー穴２２内で回
転することにより、クランピング機構の係合片２６をキ
ャリアシェル１０から外す。これによって、キャリアシ
ェル１０から、キャリアドア２０を外すことができる。
この状態で、キャリアドア２０を引き抜いて、ロードポ
ートドア３０とキャリアドア２０とをドッキングさせた
まま、ロードポート装置２００のミニエンバイロンメン
ト（図示せず）内に取り込む。

【００４５】その後、ウェーハキャリア１００内に収納
された基板４０を、ウェーハキャリア１００内から、基
板処理装置内に搬送して、処理を行う。処理が終了した
後、再び、基板４０をウェーハキャリア１００内に収納
し、キャリアドア２０を閉じる。以上のようにして基板
の搬送が行われる。

【００４６】このように、レジストレーションピンとレ
ジストレーションピン穴とを使用せず、事前に位置測定
システム４００を用いて位置合わせを行う方法を用いれ
ば、レジストレーションピンとレジストレーションピン
穴とによる異物の発生を防止することができる。

【００４７】また、レジストレーションピン及びレジス
トレーションピン穴をロードポートドア３０及びキャリ
アドア２０に設けることなく、位置合わせを行うことが
できる。従って、レジストレーションピンやレジストレ
ーションピン穴の設置のための時間的ロスや、費用の増
加を抑えることができる。

【００４８】なお、この実施の形態では、基板収納容器
としてＦＯＵＰのレジストレーションピン穴のないもの
を用いて説明した。しかし、これに限るものではなく、
他の基板収納容器であってもよい。

【００４９】この実施の形態において説明した方法によ
れば、基板収納容器は、多少形状が異なる物を用いて
も、その都度、その基板収納容器のラッチキー穴の位置
に合わせてロードポートドア３０を設置しなおせばよ
い。従って、この発明は、複数の基板収納容器に対応し
て使用することができる。

【００５０】また、この実施の形態では、目視用拡大鏡
４を用いたが、これに限る物ではなく、例えば、外部か
ら、位置基準マーク２を確認することができるようにＣ
ＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）
カメラなどを用いて確認するものなど、他の手段を用い
て位置基準マーク２を測定する物であってもよい。

【００５１】また、位置基準マーク２としては、＋形状
のものを使用したが、基準位置を縦方向、横方向に読み
取り可能なものであれば他の形状のマークであっても良
い。

【００５２】また、この実施の形態では、位置決めピン
に係合する位置決めピン係合部として、Ｖ溝８を備える
位置測定手段３００を使用した。しかし、この発明はこ
れに限るものではない。

【００５３】さらに、ロードポート装置２００は、ロー
ドポートドア３０の位置を修正するために、対応する目
盛りを備える場合について説明した。しかし、このよう
な目盛りを有しないものであってもよい。

【００５４】なお、この発明において、載置工程は、例
えばこの実施の形態のステップＳ１０を実行することに
より実行され、位置測定工程は、例えばこの実施の形態
のステップＳ２０を実行することにより実行される。ま
た、位置修正工程は、例えばこの実施の形態のステップ
Ｓ３０を実行することにより実行され、基板搬送工程
は、例えばこの実施の形態のステップＳ７０を実行する
ことにより実行される。しかし、これに限る物ではな
い。

【００５５】また、この実施の形態における基板搬送方
法では、ステップＳ２０において、ロードポートドア３
０の位置を修正した後、再度ロードポートドア３０の位
置を確認するステップＳ５０を含んだ。しかし、この発
明は、このような確認の工程を含まない物であっても良
い。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明において
は、レジストレーションピン及びレジストレーションピ
ン穴を使用せず、事前に位置測定システムを用いて位置
合わせを行う。従って、レジストレーションピンとレジ
ストレーションピン穴とによる異物の発生を防止するこ
とができる。

【００５７】また、この発明において、目視用拡大鏡を
使用するものによれば、位置基準マークを拡大して読み
取ることができるため、より正確な位置を測定すること
ができる。

【００５８】また、この発明によれば、事前に、ロード
ポートドアの正確な位置決めができるため、レジストレ
ーションピン及びレジストレーションピン穴をそれぞれ
ロードポート装置及びウェーハキャリアに設ける必要が
ない。従って、レジストレーションピン及びレジストレ
ーションピン穴を設ける工程を省くことができ、時間的
ロスあるいはコストの増加を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態で用いる基板収納容器
を示す斜視図である。

【図２】 この発明の実施の形態における基板収納容器
をロードポート装置に載置した状態を示す断面図であ
る。

【図３】 この発明の実施の形態で用いるロードポート
ドアを示す図である。

【図４】 この発明の実施の形態で用いる位置測定シス
テムを示す斜視図である。

【図５】 この発明の実施の形態で用いる目視用拡大鏡
の内部を示す図である。

【図６】 この発明の実施の形態で用いる位置測定手段
の底面図である。

【図７】 この発明の実施の形態における基板搬送方法
を説明するフロー図である。

【図８】 既知の横ドア一体型の基板収納容器を示す斜
視図である。

【図９】 基板収納容器をロードポート装置に載置した
状態を示す断面図である。

【符号の説明】

１００、 ５００ ウェーハキャリア（基板収納容器） ２００、 ６００ ロードポート装置 ３００ 位置測定手段 ４００ 位置測定システム ７００ 基板処理装置 ２ 位置基準マーク ４ 目視用拡大鏡 ６ 目盛り線 ８ Ｖ溝（位置決ピン係合片） １０ キャリアシェル １２ ウェーハティース １４ ロボットフランジ １６ マニュアルハンドル １８ サイドレール ２０ キャリアドア ２２ ラッチキー穴 ２４ レジストレーションピン穴 ２６ クランピング機構の係合片 ２８ Ｖ溝（位置決めピン係合片） ３０ ロードポートドア ３２ ラッチキー ３４ レジストレーションピン ３６ 載置台 ３８ キネマティックピン（位置決めピン） ４０ 基板

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/3065 Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｂ Ｆターム(参考） 2F065 AA03 AA07 AA20 BB13 BB27 CC17 CC19 DD02 DD13 LL04 MM02 PP12 5F004 AA14 BA00 BC06 5F031 CA02 DA08 EA12 EA14 FA01 FA03 FA11 FA15 JA27 JA32 JA38 KA20 MA17 NA10 5F045 BB14 EN05

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の出し入れを行うロードポート装置
   のロードポートドアの位置を測定するための位置測定シ
   ステムであって、 前記ロードポートドアに取り付けられた位置基準マーク
   と、 前記位置基準マークを読み取ることにより前記ロードポ
   ートドアの基準位置からのずれを測定する位置測定手段
   と、 を備えたことを特徴とする位置測定システム。
2. 【請求項２】 前記位置測定手段は、位置基準マークの
   位置を目視することができる目視用拡大鏡を有すること
   を特徴とする請求項１に記載の位置測定システム。
3. 【請求項３】 前記ロードポート装置は、前記位置測定
   手段または基板を収納する基板収納容器を載置できる載
   置台を更に備え、 前記載置台は、前記位置測定手段または前記基板収納容
   器を載置する際の載置位置を決める位置決めピンを備
   え、 前記位置測定手段は、前記位置決めピンに係合する位置
   決めピン係合部を備えることを特徴とする請求項１また
   は２に記載の位置測定システム。
4. 【請求項４】 基板の出し入れを行うためのロードポー
   ト装置であって、 基板を収納する基板収納容器を載置する載置台と、 前記基板収納容器のドアにドッキングして前記基板収納
   容器のドアを開放するためのロードポートドアと、 を備え、 前記ロードポートドアは、基準位置からのロードポート
   ドアのずれを測定するための位置基準マークを有し、 前記載置台は、前記位置基準マークを読み取って、前記
   ロードポートドアの基準位置からのずれを測定すること
   ができる位置測定手段を有することを特徴とするロード
   ポート装置。
5. 【請求項５】 前記位置測定手段は、目視用拡大鏡を有
   することを特徴とする請求項４に記載のロードポート装
   置。
6. 【請求項６】 前記載置台は、前記基板収納容器を載置
   する際の載置位置を決める位置決めピンを有し、 前記位置測定手段は、前記位置決めピンに対応する位置
   に、前記位置決めピンと係合する位置決めピン係合部を
   有することを特徴とする請求項４または５に記載のロー
   ドポート装置。
7. 【請求項７】 基板の出し入れを行うロードポート装置
   を用いた基板の搬送方法において、 前記ロードポート装置に備えられた載置台に、前記ロー
   ドポート装置に備えられたロードポートドアの位置を測
   定するための位置測定手段を載置する載置工程と、 前記ロードポートドアに備えられた位置基準マークを読
   み取って、前記ロードポートドアの基準位置からのずれ
   を測定する位置測定工程と、 前記位置測定工程における測定結果に応じて、前記ロー
   ドポートドアの位置のずれを修正する位置修正工程と、 前記載置台に基板を収納する基板収納容器を載置して、
   前記基板収納容器内に収納された基板と基板処理装置内
   の間で前記基板の出し入れを行う基板搬送工程と、 を含むことを特徴とする基板搬送方法。
8. 【請求項８】 前記位置測定工程は、目視用拡大鏡を用
   いて測定することを特徴とする請求項７に記載の基板搬
   送方法。
9. 【請求項９】 前記載置工程は、前記載置台に備えら
   れ、前記基板収納容器または前記位置測定手段を載置す
   る際の載置位置を決定するための位置決めピンと、前記
   位置決めピンに対応するように前記位置測定手段に備え
   られた位置決め用ピン係合部とを係合させることにより
   載置することを特徴とする請求項７または８に記載の基
   板搬送方法。