CN102810512B - 一种柔性显示器件的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显示器件的制造方法，尤其是一种柔性显示器件的制造方法，属于显示领域。所述柔性显示器件的制造方法包括：提供具有第一、第二表面的第一柔性基板和具有第三、第四表面的第二柔性基板；通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合，形成层叠结构，其中第一柔性基板的第一表面为层叠结构的第一外表面，第二柔性基板的第四表面为层叠结构的第二外表面；在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层；将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。通过将第一、第二柔性基板结合为层叠结构进行加工的方式，可以实现在部分制程中同时处理两个基板，从而提高生产效率，降低生产成本。

Description

一种柔性显示器件的制造方法
技术领域
本发明涉及一种制造显示器件的方法，尤其是制造柔性显示器件的方法。
背景技术
近年来，显示器市场发展很快，尤其是平板显示领域，如液晶显示器（LCD），等离子体显示器（PDP）,有机电致发光显示器（OLED）等，由于其可以制造为大尺寸，薄而轻的显示器件，得到了越来越广泛的应用。
但是，现有的液晶显示器、等离子体显示器、有机电致发光显示器主要使用玻璃基板，由于玻璃基板具有脆性，易损坏等缺点，在要求便携化，轻薄化，质轻的移动显示设备领域以及大尺寸显示设备领域的应用上受到了限制。因此，近来，以柔性基板如塑料基板，金属箔片等代替玻璃基板制备的柔性显示器件受到了广泛关注，在未来的显示技术中也将有更广阔的发展空间。
柔性基板在带来一系列优点的同时也具有其本身的缺陷，由于其具有挠性和热膨胀性等问题，给显示器件的加工带来不便，容易出现基板下垂，甚至产生褶皱或断裂，很难精准的进行后续膜层的制备工序。为了解决该问题，需要将柔性基板贴附于刚性的基板如玻璃基板上，用以支撑和固定柔性基板以利于薄膜的形成，之后再将支撑基板去除。这样可以利用现有玻璃基板加工设备制备柔性显示器件，达到简化工艺和节约成本的目的。但该过程也无疑增加了工艺过程的复杂性和生产成本，并且在贴附和分离柔性基板的过程中也容易造成基板的损坏，影响产品性能。
发明内容
本发明涉及一种柔性显示器件的制造方法，可以在部分制造处理的过程中，一次性处理两块柔性显示器件，因此生产能力大大提升。
本发明的目的在于提供一种可以利用现有设备制造柔性显示器件的方法，可以节约生产成本。
本发明的目的在于提供一种柔性显示器件的制造方法，可以方便快捷的进行柔性基板的贴附和分离，提高产品良率和生产效率。
本发明的附加优点和特征将在后面的描述中得以阐明，通过以下描述，将使它们对于本领域普通技术人员在某种程度上是明显的，并能通过实践来实现本发明。本发明的这些和其他优点可通过书面描述及其权利要求以及附图中具体指出的过程来实现和得到。
本发明的各个实施例公开了一种允许使用现有设备低成本、高效率的制造柔性显示器件的方法。所述柔性显示器件的制造方法，包括：提供具有第一、第二表面的第一柔性基板和具有第三、第四表面的第二柔性基板；通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合，形成层叠结构，其中第一柔性基板的第一表面为层叠结构的第一外表面，第二柔性基板的第四表面为层叠结构的第二外表面；在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层；将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的，所述柔性显示器件的制造方法，在所述在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层之后，还包括：在第一、第二柔性显示元件层上形成第一、第二相对柔性基板。
进一步的，所述柔性显示器件的制造方法，还包括：提供一支撑件，该支撑件具有相对的第一表面和第二表面；所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合形成层叠结构为：通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面，形成层叠结构。
进一步的，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面包括：通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面粘合在支撑件的第一、第二表面。
进一步的，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面包括：通过粘结剂层将第一、第二柔性基板的周边区域与支撑件的第一表面和第二表面的周边区域粘合。
进一步的，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面还包括：在支撑件第一表面和第二表面的中央区域分别设置支撑柔性基板的隔垫物，将第一、第二柔性基板与支撑件隔开。
进一步的，所述第一、第二柔性基板为玻璃基板；所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括：通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面粘合。
进一步的，所述第一、第二柔性基板为玻璃基板；所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括：通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面的周边区域粘合。
进一步的，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合还包括：在所述第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板第三表面的中央区域设置支撑柔性基板的隔垫物，将第一、第二柔性基板隔开。
进一步的，所述隔垫物是可以移除的。
进一步的，所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：通过溶剂溶解粘结剂层，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的，所述粘结剂层含有基于硅烷的粘结剂，所述溶剂为四氢呋喃溶液。
进一步的，所述层叠结构是透明的；所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：从层叠结构的上下表面激光照射粘结剂层，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的，所述粘结剂层含有聚酰亚胺。
进一步的，所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：从层叠结构的侧面通过激光照射粘结剂层，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的，所述粘结剂层含有聚酰亚胺。
进一步的，在所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合之前，还包括：在第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面形成缓冲层。
进一步的，所述缓冲层为SiN:H或a-Si:H层。
进一步的，所述层叠结构是透明的；所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：从所述层叠结构上下表面激光照射所述缓冲层，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的，所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：在粘结剂层内侧设置切割线，沿所述切割线进行切割，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括：提供具有相对的第一、第二表面的真空吸附基板，通过对所述真空吸附基板进行抽真空处理将第一、第二柔性基板分别吸附于所述真空吸附基板的第一、第二表面；所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：通过所述真空吸附基板内部真空释放使所述第一柔性基板和所述第二柔性基板均与所述真空吸附基板相脱离。
进一步的，所述真空吸附基板还具有与其第一、第二表面相接的四个侧面，而且所述真空吸附基板内部具有相通的孔道；在所述真空吸附基板的第一、第二表面和至少一个侧面上分布有与内部孔道贯通的开孔，其中所述至少一个侧面的开孔用于连接抽真空设备。
进一步的，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括：在第一、第二柔性基板周边区域设置紧固件将第一、第二柔性基板结合为层叠结构。
进一步的，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面包括：在第一、第二柔性基板周边区域设置紧固件将第一、第二柔性基板与支撑件结合为层叠结构。
进一步的，所述柔性显示元件层为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层中的任意一种。
进一步的，所述柔性显示器件的制造方法，还可以包括：提供具有第一基板、第一柔性显示元件层和第一相对柔性基板的第一显示器件；提供具有第二基板、第二柔性显示元件层和第二相对柔性基板的第二显示器件；通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面和第二显示器件的第二相对柔性基板外表面结合，形成层叠结构；将所述层叠结构的第一、第二外表面进行薄化；将第一、第二显示器件分离。
进一步的，所述通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面和第二显示器件的第二相对柔性基板外表面结合包括：通过粘结剂层将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面和第二显示器件的第二相对柔性基板外表面粘合。
进一步的，所述通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板和第二显示器件的第二相对柔性基板结合包括：通过粘结剂层将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面的周边区域和第二显示器件的第二相对柔性基板外表面的周边区域粘合。
进一步的，所述通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板和第二显示器件的第二相对柔性基板结合还包括：在第一、第二相对柔性基板中央区域设置隔垫物，将第一、第二显示器件隔开。
进一步的，所述隔垫物是可以移除的。
进一步的，所述层叠结构是透明的；所述将第一、第二显示器件分离包括：从所述层叠结构上下表面激光照射粘结剂层，将第一、第二显示器件分离。
进一步的，所述将第一、第二显示器件分离包括：从所述层叠结构侧面激光照射粘结剂层，将第一、第二显示器件分离。
进一步的，所述粘结剂层含有聚酰亚胺。
进一步的，在所述通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板和第二显示器件的第二相对柔性基板结合，形成层叠结构之前，还包括：在第一相对柔性基板和第二相对柔性基板上形成缓冲层。
进一步的，所述缓冲层为SiN:H或a-Si:H层。
进一步的，所述层叠结构是透明的；所述将第一、第二显示器件分离包括：从层叠结构上下表面激光照射所述缓冲层将第一、第二显示器件分离。
进一步的，所述将第一、第二显示器件分离包括：在第一、第二相对柔性基板周边区域形成的粘结剂层内侧设置切割线，沿所述切割线进行切割，将第一、第二显示器件分离。
进一步的，所述柔性显示元件层为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层中的任意一种。
进一步的，一种柔性显示装置，包括采用以上所述任一种制造方法形成的柔性显示器件。
附图说明
附图是用来进一步理解本发明，和说明书一起用来说明具体实施方式。
图1a为柔性显示器件制造方法的第一种实施方式；
图2a~2d为柔性显示器件制造方法的第二种实施方式；
图3a~3b为柔性显示器件制造方法的第三种实施方式；
图4a~4d为柔性显示器件制造方法的第四种实施方式；
图5a~5d为柔性显示器件制造方法的第五种实施方式；
图6a~6e为柔性显示器件制造方法的第六种实施方式；
图7a~7f为柔性显示器件制造方法的第八种实施方式；
图8a为柔性显示器件制造方法的第九种实施方式。
具体实施方式
本发明的实施例提供了一种柔性显示器件的制造方法，可以利用现有设备制造柔性显示器件，并且可以在部分制造处理的过程中，一次性处理两个柔性显示器件。
下面将结合附图来对本发明中提供的制造方法进行详细说明。
实施例一
参考附图1a，本实施所提供的柔性显示器件的制造方法，具体可以包括以下步骤：
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板，提供具有第一表面和第二表面的第二柔性基板。
2、通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第一表面结合，形成层叠结构，其中第一柔性基板的第一表面和第二柔性基板的第二表面分别作为层叠结构的第一、第二外表面。
在步骤2中，所述连接件可以是粘结剂层、真空吸附基板、紧固件或其他连接方式中的任意一种。
3、在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层。
在步骤3中，在所述在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层之后，还可以包括：在第一、第二柔性显示元件层上分别形成第一、第二柔性相对基板。
在步骤3中，所述显示元件层可以为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致发光层等的任意一种。
4、将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
在步骤4中，对应不同的连接件，所述分离可以为溶解分离，激光分离，真空释放，拆除紧固件等的任意一种。
本实施例中的柔性显示器件的制造方法，可以利用现有设备制造柔性显示器件，并且可以在部分处理工序中同时对两个显示器件进行加工，从而简化了工艺，达到提高生产效率和降低成本的目的。
实施例二
参考附图2a~2d，所述柔性显示器件的制备方法包括以下步骤：
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板101，提供具有第一表面和第二表面的第二柔性基板102，其中，第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a具有保护层（图中未示出）。
2、如图2a，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a之间设置粘结剂层11，形成层叠结构50。
在步骤2中，如图2b，也可以仅在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a的周边区域设置粘结剂层11，中央区域设置可以移除的隔垫物400，将第一、第二柔性基板结合形成层叠结构50，所述隔垫物400的形状可选为方形、圆形、椭圆形以及任意其他形状，其作用是将第一、第二柔性基板隔开，并可以支撑第一、第二柔性基板，便于在柔性基板上进行膜层制备工艺。
在步骤2中，所述第一、第二柔性基板为薄玻璃基板，其厚度不大于30μm，不小于20μm。
在步骤2中，所述粘结剂层可选为由基于硅烷的粘结剂形成。
3、如图2c~2d，在所述层叠结构50的第一外表面50a依次形成第一柔性显示元件层10a和第一相对柔性基板301，构成第一柔性显示器件70，在所述层叠结构50的第二外表面50b依次形成第二柔性显示元件层10b和第二相对柔性基板302，构成第二柔性显示器件80。
在步骤3中，所述显示元件层可以为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层等的任意一种；所述第一柔性显示器件70的外表面70a和第二柔性显示器件80的外表面80b具有保护层（图中未示出）。
在步骤3中，第一柔性显示器件70和第二柔性显示器件80也可以为单基板器件，即不包括第一、第二相对柔性基板。
4、将层叠结构浸泡于溶剂中，将第一、第二柔性显示器件分离。
在步骤4中，所述溶剂可选为四氢呋喃溶液。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法，通过粘结剂层将第一、第二柔性基板结合为层叠结构，使得两个柔性基板互为支撑，从而在后续的制程中可以方便的进行加工处理，并且提高生产效率。
实施例三
上述过程是本实施例中提供的一个具体实现的示例；在本实施例的另一示例中，还可以包括：
提供具有第一表面和第二表面的支撑件100；
相应地，上述步骤2为：如图3a，在支撑件100的第一表面上形成粘结剂层11a，在支撑件100的第二表面上形成粘结剂层11b，将第一柔性基板101贴附于支撑件100的第一表面100a，第二柔性基板102贴附于支撑件100的第二表面100b，形成层叠结构60。
在步骤2中，如图3b，也可以仅在支撑件100的第一表面100a的周边区域上形成粘结剂层11a，中央区域设置可以移除的隔垫物400a，在支撑件100的第二表面100b的周边区域上形成粘结剂层11b，中央区域设置可以移除的隔垫物400b，将第一柔性基板101贴附于支撑件100的第一表面100a，第二柔性基板102贴附于支撑件100的第二表面100b，形成层叠结构60，所述隔垫物400a和400b的形状可选为方形、圆形、椭圆形以及任意其他形状，其作用是将第一、第二柔性基板隔开，并可以支撑第一、第二柔性基板，便于在柔性基板上进行膜层制备工艺。
在步骤2中，所述粘结剂层可选为由基于硅烷的粘结剂形成。
上述步骤4为：将层叠结构浸泡于溶剂中，将第一、第二柔性显示器件从支撑件100上分离。
在步骤4中，所述溶剂可选为四氢呋喃溶液。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法，在第一、第二柔性基板之间通过粘结剂层固定于一支撑件上进行后续膜层制备工艺，该方法适用于塑料基板、金属箔片、薄玻璃基板等各类柔性基板的加工处理以及任何需要支撑以达到良好效果的目的。
实施例四
在本实施例中，将以所述连接件为粘结剂层为例来介绍柔性显示器件的制造方法的另一种实施方式。
参考图4a~4d所示，本实施所提供的柔性显示器件的制造方法，具体可以包括以下步骤：
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板101，提供具有第一表面和第二表面的第二柔性基板102。
2、如图4a，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置粘结剂层11，形成层叠结构50。
在步骤2中，如图4b，也可以仅在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a周边区域设置粘结剂层11，中央区域设置可以移除的隔垫物400，将第一、第二柔性基板结合形成层叠结构50，所述隔垫物400的形状可选为方形、圆形、椭圆形以及任意其他形状，其作用是将第一、第二柔性基板隔开，并可以支撑第一、第二柔性基板，便于在柔性基板上进行膜层制备工艺。
在步骤2中，如图4c，还可以为在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置粘结剂层11之前，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置缓冲层12a和12b，所述缓冲层可选为SiN:H或a-Si:H层。
在步骤2中，如图4d，还可以为在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a周边区域设置粘结剂层11之前，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置缓冲层12a和12b，所述缓冲层可选为为SiN:H或a-Si:H层。
在步骤2中，所述第一、第二柔性基板可选为玻璃基板，其厚度可选为不大于30μm，不小于20μm。
在步骤2中，所述粘结剂层可选为含有聚酰亚胺成分的粘结剂形成。
3、在所述层叠结构50的第一外表面50a依次形成第一柔性显示元件层10a和第一相对柔性基板301，构成第一柔性显示器件70，在所述层叠结构50的第二外表面50b依次形成第二柔性显示元件层10b和第二相对柔性基板302，构成第二柔性显示器件80。
在步骤3中，所述显示元件层可以为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层等的任意一种。
在步骤3中，第一柔性显示器件70和第二柔性显示器件80也可以为单基板器件，即不包括第一、第二相对柔性基板。
4、用激光照射粘结剂层11或缓冲层12，将第一柔性显示器件70和第二柔性显示器件80分离。
在步骤4中，如图4a，对应步骤2中在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置粘结剂层11的方式，从层叠结构上下表面激光照射粘结剂层11，将第一、第二柔性显示器件70和80分离，所述第一、第二柔性显示器件70和80是透明的。
在步骤4中，如图4b，对应步骤2中仅在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a周边区域设置粘结剂层11的方式，从层叠结构的侧面激光照射粘结剂层11，将第一、第二柔性显示器件70和80分离。
在步骤4中，如图4c，对应步骤2中在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置粘结剂层11之前，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置缓冲层的方式，从层叠结构上下表面激光照射缓冲层12a和12b，将第一、第二柔性显示器件70和80分离，所述第一、第二柔性显示器70和80是透明的。
在步骤4中，如图4d，对应步骤2中在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a周边区域设置粘结剂层11之前，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置缓冲层的方式，从层叠结构的侧面激光照射缓冲层12a和12b，将第一、第二柔性显示器件70和80分离。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法，通过粘结剂层将第一、第二柔性基板结合，采用激光照射的方式将第一、第二柔性显示器件分离，可以实现在部分工序中对上下两个基板进行加工处理，提高生产效率，同时由于工艺简单，容易实现，也可以达到降低成本的目的。
实施例五
上述过程是本实施例中提供的一个具体实现的示例；在本实施例的另一示例中，还可以包括：
提供具有第一表面和第二表面的支撑件100；
相应地，上述步骤2为：如图5a，在支撑件100的第一表面100a上形成粘结剂层11a，在支撑件100的第二表面100b上形成粘结剂层11b，将第一柔性基板101贴附于支撑件100的第一表面100a，第二柔性基板102贴附于支撑件100的第二表面100b，形成层叠结构60。
在步骤2中，如图5b，也可以为仅在支撑件100的第一表面100a的周边区域上形成粘结剂层11a，中央区域设置可以移除的隔垫物400a，在支撑件100的第二表面100b的周边区域上形成粘结剂层11b，中央区域设置可以移除的隔垫物400b，将第一柔性基板101贴附于支撑件100的第一表面100a，第二柔性基板102贴附于支撑件100的第二表面100b，形成层叠结构60，所述隔垫物400a和400b的形状可选为方形、圆形、椭圆形以及任意其他形状，其作用是将第一、第二柔性基板隔开，并可以支撑第一、第二柔性基板，便于在柔性基板上进行膜层制备工艺。
在步骤2中，如图5c，还可以为在支撑件100的第一表面和第二表面上形成粘结剂层之前，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置缓冲层12a和12b，所述缓冲层可选为SiN:H或a-Si:H层。
在步骤2中，如图5d，还可以为在支撑件100的第一表面和第二表面的周边区域上形成粘结剂层之前，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a设置缓冲层12a和12b，所述缓冲层可选为SiN:H或a-Si:H层。
在步骤2中，所述粘结剂层可选为含有聚酰亚胺成分的粘结剂形成。
上述步骤4为：激光照射粘结剂层11a和11b或缓冲层12a和12b，将第一柔性显示器件70和第二柔性显示器件80从支撑件100上分离。
在步骤4中，如图5a，对应步骤2中在支撑件100的第一表面100a和第二表面100b上形成粘结剂层的方式，从层叠结构上下表面激光照射粘结剂层11a和11b将第一、第二柔性显示器件70和80从支撑件100上分离，所述第一、第二柔性显示器件70和80是透明的。
在步骤4中，如图5b，对应步骤2中仅在支撑件100的第一表面100a和第二表面100b周边区域设置粘结剂层的方式，从层叠结构的侧面激光照射粘结剂层11a和11b，将第一、第二柔性显示器件70和80从支撑件100上分离。
在步骤4中，如图5c，对应步骤2中在支撑件100的第一表面和第二表面上形成粘结剂层之前，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a分别设置缓冲层12a和12b的方式，从层叠结构上下表面激光照射缓冲层12a和12b，将第一、第二柔性显示器件70和80从支撑件100上分离，所述第一、第二柔性显示器件70和80是透明的。
在步骤4中，如图5d，对应步骤2中在支撑件100的第一表面和第二表面的周边区域上形成粘结剂层之前，在第一柔性基板101的第二表面101b和第二柔性基板102的第一表面102a分别设置缓冲层12a和12b的方式，从层叠结构的侧面激光照射缓冲层12a和12b，将第一、第二柔性显示器件70和80从支撑件100上分离。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法，将第一、第二柔性基板通过粘结剂层固定于一支撑件上，通过激光照射的方式将第一、第二柔性基板从支撑件上分离，工艺容易实现，可以提高产品良率，降低生产成本。该方法适用于塑料基板、金属箔片、薄玻璃基板等各类柔性基板以及各种需要支撑以达到良好效果的目的。
实施例六
在本实施例中，将以所述连接件为粘结剂层为例来介绍柔性显示器件的制造方法的另一种实施方式。
参考图6a~6e所示，本实施所提供的柔性显示器件的制造方法，具体可以包括以下步骤：
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板101，提供具有第一表面和第二表面的第二柔性基板102。
2、如图6a～6b，将第一、第二柔性基板划分为多个柔性面板200，在每个柔性面板200的周边区域设置粘结剂层13，中央区域设置隔垫物400，将第一、第二柔性基板贴附形成层叠结构500。
在步骤2中，所述第一、第二柔性基板可选为玻璃基板，其厚度可选为不大于30μm，不小于20μm。
3、如图6c，在所述层叠结构500的第一外表面500a依次形成第一柔性显示元件层10a和第一相对柔性基板301，构成多个第一柔性显示器件；在所述层叠结构500的第二外表面500b依次形成第二柔性显示元件层10b和第二相对柔性基板302，构成多个第二柔性显示器件。
在步骤3中，所述显示元件层可以为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层等的任意一种。
在步骤3中，第一柔性显示器件和第二柔性显示器件也可以为单基板器件，即不包括第一、第二相对柔性基板。
4、如图6d，在粘结剂层13的内侧设置切割线20，通过切割将各个相对的第一、第二柔性显示器件分离。
上述过程是本实施例中提供了一个具体实现的示例；在本实施例的另一示例中，还可以包括：
提供具有第一表面和第二表面的支撑件100；
相应地，上述步骤2为：如图6e，将第一、第二柔性基板划分为多个柔性面板，在每个柔性面板200的周边区域设置粘结剂层13，中央区域设置隔垫物400，将第一、第二柔性基板贴附于支撑件100的第一、第二表面，形成层叠结构600。
上述步骤4为：在粘结剂层13的内侧设置切割线20，通过切割将各个相对的第一、第二柔性显示器件从支撑件100上分离。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法，通过粘结剂层将两个柔性基板结合为层叠结构，通过切割将各个柔性显示器件进行分离，工艺简单易行，对面板不会造成损害，可以同时批量生产多个显示器件，提高生产效率。在两个柔性基板之间插入支撑件的方式，可以广泛适用于各类柔性基板加工，以及任何需要支撑以达到良好效果的目的。
实施例七
在本实施例中，将以所述连接件为紧固件为例来介绍柔性显示器件的制造方法，具体可以包括以下步骤：
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板，提供具有第一表面和第二表面的第二柔性基板。
2、在第一、第二柔性基板的边缘部分设置紧固件，以固定第一、第二柔性基板，形成层叠结构。
在步骤2中，所述第一、第二柔性基板可选为玻璃基板，其厚度可选为不大于30μm，不小于20μm。
在步骤2中，所述紧固件可以为铆钉，螺钉，卡槽、卡扣等紧固件中的任意一种。
3、在所述层叠结构的第一外表面依次形成第一柔性显示元件层和第一相对柔性基板，构成第一柔性显示器件，在所述层叠结构的第二外表面依次形成第二柔性显示元件层和第二相对柔性基板，构成第二柔性显示器件。
在步骤3中，所述显示元件层可以为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层等的任意一种。
在步骤3中，第一柔性显示器件和第二柔性显示器件也可以为单基板器件，即不包括第一、第二相对柔性基板。
4、去除紧固件，将第一、第二柔性显示器件分离。
上述过程是本实施例中提供了一个具体实现的示例；在本实施例的另一示例中，还可以包括：
提供具有第一表面和第二表面的支撑件；
相应地，上述步骤2为：在支撑件的边缘部分设置紧固件，将第一、第二柔性基板固定于支撑件上，形成层叠结构。
在步骤2中，所述紧固件可以为铆钉，螺钉，卡槽、卡扣等紧固件中的任意一种。
上述步骤4为：去除紧固件，将第一、第二柔性显示器件从支撑件上分离。
本实施例中的柔性显示器件的制造方法，通过紧固件将第一、第二柔性基板结合为层叠结构，分别在第一、第二柔性基板上制备第一、第二柔性显示器件，之后通过去除紧固件将二者分离，工艺简单，成本较低。在两个柔性基板之间插入支撑件的方式，可以广泛适用于各类柔性基板加工，以及任何需要支撑以达到良好效果的目的。
实施例八
在本实施例中，将以所述连接件为真空吸附基板为例来介绍柔性显示器件的制造方法。
参考图7a~7e所示，本实施所提供的柔性显示器件的制造方法，具体可以包括以下步骤：
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板101，提供具有第一表面和第二表面的第二柔性基板102。
2、如图7a，提供具有相对的第一、第二表面的真空吸附基板900，通过对所述真空吸附基板进行抽真空处理将第一、第二柔性基板分别吸附于所述真空吸附基板的第一、第二表面，形成层叠结构90；
在步骤2中，如图7b~7e所述真空吸附基板900还具有与其第一、第二表面相接的四个侧面，而且所述真空吸附基板内部具有相通的孔道；在所述真空吸附基板的第一、第二表面和至少一个侧面上分布有与内部孔道贯通的开孔，其中所述至少一个侧面的开孔用于连接抽真空设备。
3、如图7f，在所述层叠结构90的第一外表面90a依次形成第一柔性显示元件层10a和第一相对柔性基板301，构成第一柔性显示器件，在所述层叠结构90的第二外表面90b依次形成第二柔性显示元件层10b和第二相对柔性基板302，构成第二柔性显示器件。
在步骤3中，所述显示元件层可以为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层等的任意一种。
在步骤3中，第一柔性显示器件和第二柔性显示器件也可以为单基板器件，即不包括第一、第二相对柔性基板。
4、去除抽真空设备进行真空释放，将第一、第二柔性显示器件与真空吸附基板900分离。
本实施例中的柔性显示器件的制造方法，通过真空吸附基板将第一、第二柔性基板结合，可以在部分工序中同时对上下两个基板进行加工处理，提高生产效率，并且分离方式简单，不会对基板造成损害，可以适用于任何需要将两个或多个基板结合后需要再进行分离的过程。
实施例九
在本实施例中，将以所述连接件为粘结剂层为例来介绍柔性显示器件的制造方法的另一种实施方式。
参考图8a所示，本实施所提供的柔性显示器件的制造方法，具体可以包括以下步骤：
1、提供具有第一基板、第一柔性显示元件层和第一相对柔性基板的第一显示器件，提供具有第二基板、第二柔性显示元件层和第二相对柔性基板的第二显示器件，其中第一相对柔性基板的上表面作为第一显示器件的第一表面，第一基板的下表面作为第一显示器件的第二表面，第二相对柔性基板的上表面作为第二显示器件的第一表面，第二基板的下表面作为第二显示器件的第二表面。
在步骤1中，所述显示元件层为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层等的任意一种。
2、通过连接件将第一显示器件的第一表面和第二显示器件的第一表面结合，形成层叠结构，其中第一显示器件的第二表面和第二显示器件的第二表面分别作为层叠结构的第一、第二外表面。
在步骤2中，所述连接件可以是粘结剂层、真空吸附基板、紧固件或其他连接方式中的任意一种。
3、通过化学蚀刻、机械抛光或者二者的结合或者其他任何用于薄化玻璃板的方式将所述层叠结构的第一、第二外表面进行薄化，其厚度可选为不大于30μm。
4、将第一、第二显示器件分离。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法，通过先形成显示器件，后将两个显示器件结合进行薄化的方式，解决了普通柔性显示器件加工困难精度不好控制的问题，并且通过将两个显示器件结合起来进行薄化使之获得柔性的方式，可以同时对两个表面进行薄化，进而提高效率，降低成本。
本发明的实施例还包括一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括采用以上各实施例所述的柔性显示器件的制造方法得到的柔性显示器件，所述柔性显示装置可以为手机、电脑、数码相机、电子广告牌等以及任何可以应用柔性显示器件的装置。
最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (38)

1.一种柔性显示器件的制造方法，其特征在于，包括：
提供具有第一、第二表面的第一柔性基板和具有第三、第四表面的第二柔性基板；
通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合，形成层叠结构，其中第一柔性基板的第一表面为层叠结构的第一外表面，第二柔性基板的第四表面为层叠结构的第二外表面；
在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层；
将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层之后，还包括：在第一、第二柔性显示元件层上形成第一、第二相对柔性基板。
3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，提供一支撑件，该支撑件具有相对的第一表面和第二表面；
所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合形成层叠结构为：通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面，形成层叠结构。
4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面包括：通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面粘合在支撑件的第一、第二表面。
5.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面包括：通过粘结剂层将第一、第二柔性基板的周边区域与支撑件的第一表面和第二表面的周边区域粘合。
6.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面还包括：在支撑件第一表面和第二表面的中央区域分别设置支撑柔性基板的隔垫物，将第一、第二柔性基板与支撑件隔开。
7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述第一、第二柔性基板为玻璃基板；
所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括：通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面粘合。
8.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述第一、第二柔性基板为玻璃基板；
所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括：通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面的周边区域粘合。
9.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合还包括：在所述第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板第三表面的中央区域设置支撑柔性基板的隔垫物，将第一、第二柔性基板隔开。
10.根据权利要求6或9所述的制造方法，其特征在于，所述隔垫物是可以移除的。
11.根据权利要求4或5或7或8所述的制造方法，其特征在于，所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：通过溶剂溶解粘结剂层，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
12.根据权利要求11的制造方法，其特征在于，所述粘结剂层含有基于硅烷的粘结剂，所述溶剂为四氢呋喃溶液。
13.根据权利要求4或7所述的制造方法，其特征在于，所述层叠结构是透明的；
所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：从层叠结构的上下表面激光照射粘结剂层，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
14.根据权利要求13所述的制造方法，其特征在于，所述粘结剂层含有聚酰亚胺。
15.根据权利要求5或8所述的制造方法，其特征在于，所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：从层叠结构的侧面通过激光照射粘结剂层，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
16.根据权利要求15所述的制造方法，其特征在于，所述粘结剂层含有聚酰亚胺。
17.根据权利要求4或7所述的制造方法，其特征在于，在所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合之前，还包括：在第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面形成缓冲层。
18.根据权利要求17所述的制造方法，其特征在于，所述缓冲层为SiN:H或a-Si:H层。
19.根据权利要求17所述的制造方法，其特征在于，所述层叠结构是透明的；
所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：从所述层叠结构上下表面激光照射所述缓冲层，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
20.根据权利要求5或8所述的制造方法，其特征在于，所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：在粘结剂层内侧设置切割线，沿所述切割线进行切割，将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
21.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括：提供具有相对的第一、第二表面的真空吸附基板，通过对所述真空吸附基板进行抽真空处理将第一、第二柔性基板分别吸附于所述真空吸附基板的第一、第二表面；
所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括：通过所述真空吸附基板内部真空释放使所述第一柔性基板和所述第二柔性基板均与所述真空吸附基板相脱离。
22.根据权利要求21所述的制造方法，其特征在于，所述真空吸附基板还具有与其第一、第二表面相接的四个侧面，而且所述真空吸附基板内部具有相通的孔道；在所述真空吸附基板的第一、第二表面和至少一个侧面上分布有与内部孔道贯通的开孔，其中所述至少一个侧面的开孔用于连接抽真空设备。
23.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括：在第一、第二柔性基板周边区域设置紧固件将第一、第二柔性基板结合为层叠结构。
24.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、第二表面包括：在第一、第二柔性基板周边区域设置紧固件将第一、第二柔性基板与支撑件结合为层叠结构。
25.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述柔性显示元件层为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层中的任意一种。
26.一种柔性显示器件的制造方法，其特征在于，包括：
提供具有第一基板、第一柔性显示元件层和第一相对柔性基板的第一显示器件；
提供具有第二基板、第二柔性显示元件层和第二相对柔性基板的第二显示器件；
通过连接件将第一显示器件的第一表面和第二显示器件的第一表面结合，形成层叠结构；第一显示器件的第二表面和第二显示器件的第二表面分别作为层叠结构的第一外表面和第二外表面；
所述第一相对柔性基板的上表面作为第一显示器件的第一表面，第二相对柔性基板的上表面作为第二显示器件的第一表面；
将所述层叠结构的第一、第二外表面进行薄化；
将第一、第二显示器件分离。
27.根据权利要求26所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一显示器件的第一表面和第二显示器件的第一表面结合包括：通过粘结剂层将第一显示器件的第一相对柔性基板上表面和第二显示器件的第二相对柔性基板上表面粘合。
28.根据权利要求26所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一显示器件的第一表面和第二显示器件的第一表面结合包括：通过粘结剂层将第一显示器件的第一相对柔性基板上表面的周边区域和第二显示器件的第二相对柔性基板上表面的周边区域粘合。
29.根据权利要求28所述的制造方法，其特征在于，所述通过连接件将第一显示器件的第一表面和第二显示器件的第一表面结合还包括：在第一、第二相对柔性基板中央区域设置隔垫物，将第一、第二显示器件隔开。
30.根据权利要求29所述的制造方法，其特征在于，所述隔垫物是可以移除的。
31.根据权利要求27所述的制造方法，其特征在于，所述层叠结构是透明的；
所述将第一、第二显示器件分离包括：从所述层叠结构第一、第二外表面激光照射粘结剂层，将第一、第二显示器件分离。
32.根据权利要求28所述的制造方法，其特征在于所述将第一、第二显示器件分离包括：从所述层叠结构侧面激光照射粘结剂层，将第一、第二显示器件分离。
33.根据权利要求27或28所述的制造方法，其特征在于，所述粘结剂层含有聚酰亚胺。
34.根据权利要求27所述的制造方法，其特征在于，在所述通过连接件将第一显示器件的第一表面和第二显示器件的第一表面结合，形成层叠结构之前，还包括：在第一相对柔性基板的上表面和第二相对柔性基板的上表面形成缓冲层。
35.根据权利要求34所述的制造方法，其特征在于，所述缓冲层为SiN:H或a-Si:H层。
36.根据权利要求34所述的制造方法，其特征在于，所述层叠结构是透明的；
所述将第一、第二显示器件分离包括：从层叠结构第一、第二外表面激光照射所述缓冲层将第一、第二显示器件分离。
37.根据权利要求28所述的制造方法，其特征在于，所述将第一、第二显示器件分离包括：在第一、第二相对柔性基板周边区域形成的粘结剂层内侧设置切割线，沿所述切割线进行切割，将第一、第二显示器件分离。
38.根据权利要求26所述的制造方法，其特征在于，所述柔性显示元件层为有机电致发光层、液晶显示层、电泳显示层、电润湿层、电致变色层中的任意一种。
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