CN110473985B - 一种柔性基板、柔性显示面板及柔性基板的制作方法 - Google Patents

一种柔性基板、柔性显示面板及柔性基板的制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明实施例提供一种柔性基板、柔性显示面板及柔性基板的制作方法,涉及显示技术领域,柔性基板形成于承载板上,包括:第一柔性衬底,所述第一柔性衬底位于所述承载板的一侧;第一应力平衡层,位于所述第一柔性衬底远离所述承载板的一侧,且位于所述第一柔性衬底的边缘。本发明实施例提供一种柔性基板、柔性显示面板及柔性基板的制作方法,以实现减弱第一柔性衬底的边缘翘曲,从而缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。

Description

一种柔性基板、柔性显示面板及柔性基板的制作方法
技术领域
本发明涉及显示技术,尤其涉及一种柔性基板、柔性显示面板及柔性基板的制作方法。
背景技术
显示面板是一种用于显示文字、数字、符号、图片,或者由文字、数字、符号和图片中至少两种组合形成的图像等画面的装置。
目前,随着科技的快速发展,柔性显示面板逐渐走入人们的视野并受到人们的追捧。柔性显示面板的柔性基板采用新型固化技术,即快速固化柔性材料以缩短工艺,可以有效提高产能,但会发生柔性材料与承载板剥离时容易产生卷曲现象。
发明内容
本发明实施例提供一种柔性基板、柔性显示面板及柔性基板的制作方法,以实现减弱第一柔性衬底的边缘翘曲,从而缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。
第一方面,本发明实施例提供一种柔性基板,形成于承载板上,包括:
第一柔性衬底,所述第一柔性衬底位于所述承载板的一侧;
第一应力平衡层,位于所述第一柔性衬底远离所述承载板的一侧,且位于所述第一柔性衬底的边缘。
可选地,还包括第二柔性衬底,所述第二柔性衬底位于所述第一应力平衡层远离所述第一柔性衬底的一侧。
可选地,还包括位于所述第一应力平衡层远离所述第一柔性衬底一侧的第一无机层。
可选地,还包括第三柔性衬底,所述第三柔性衬底位于所述第一柔性衬底与所述承载板之间;
所述第一柔性衬底和所述第三柔性衬底之间设置有第二应力平衡层,所述第二应力平衡层位于所述第三柔性衬底的边缘。
可选地,所述第一应力平衡层包括多个同层且离散设置的应力平衡块。
可选地,多个所述应力平衡块包括第一应力平衡块、第二应力平衡块、第三应力平衡块和第四应力平衡块;
所述第一应力平衡块、所述第二应力平衡块、所述第三应力平衡块和所述第四应力平衡块分别设置于所述第一应力平衡层的四个拐角上。
可选地,所述第一应力平衡层的材质包括金属和无机材料的至少一种。
第二方面,本发明实施例提供一种柔性显示面板,包括第一方面所述的柔性基板,以及位于所述柔性基板上的多个有机发光单元。
第三方面,本发明实施例提供一种柔性基板的制作方法,所述柔性基板形成于承载板上,包括:
在所述承载板上形成第一柔性衬底;
在所述第一柔性衬底远离所述承载板一侧的边缘形成第一应力平衡层。
可选地,还包括:
在所述第一应力平衡层以及部分所述第一柔性衬底上形成第一无机层;
在所述第一无机层上形成第二柔性衬底。
本发明实施例中,第一应力平衡层设置于第一柔性衬底上,并覆盖第一柔性衬底的边缘。如果不设置第一应力平衡层,柔性基板在与承载板剥离时容易产生卷曲。研究人员发现,由于第一柔性衬底在快速固化过程中积累了应力,柔性基板在与承载板剥离时应力被释放出来,第一柔性衬底的边缘易朝向背离或者靠近承载板的方向翘曲,造成了柔性基板的卷曲。本发明实施例中,通过在第一柔性衬底的边缘上设置第一应力平衡层,第一应力平衡层按压住第一柔性衬底的边缘,从而减弱了第一柔性衬底的边缘翘曲,从而缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种柔性基板的俯视结构示意图;
图2为沿图1中AA’的剖面结构示意图;
图3为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图;
图4为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图;
图5为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图;
图6为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图;
图7为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图;
图8为本发明实施例提供的另一种柔性基板的俯视结构示意图;
图9为本发明实施例提供的另一种柔性基板的俯视结构示意图;
图10为本发明实施例提供的另一种柔性基板的俯视结构示意图;
图11为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的剖面结构示意图;
图12为本发明实施例提供的一种柔性基板的制作方法流程图;
图13为本发明实施例提供的一种柔性基板的制作示意图;
图14为本发明实施例提供的另一种柔性基板的制作方法流程图;
图15为本发明实施例提供的另一种柔性基板的制作示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
图1为本发明实施例提供的一种柔性基板的俯视结构示意图,图2为沿图1中AA’的剖面结构示意图,参考图1和图2,柔性基板形成于承载板上,柔性基板包括第一柔性衬底21和第一应力平衡层31。第一柔性衬底21位于承载板10的一侧。第一应力平衡层31位于第一柔性衬底21远离承载板10的一侧,且位于第一柔性衬底21的边缘。
本发明实施例中,第一应力平衡层设置于第一柔性衬底上,并覆盖第一柔性衬底的边缘。如果不设置第一应力平衡层,柔性基板在与承载板剥离时容易产生卷曲。研究人员发现,由于第一柔性衬底在快速固化过程中积累了应力,柔性基板在与承载板剥离时应力被释放出来,第一柔性衬底的边缘易朝向背离或者靠近承载板的方向翘曲,造成了柔性基板的卷曲。本发明实施例中,通过在第一柔性衬底的边缘上设置第一应力平衡层,第一应力平衡层按压住第一柔性衬底的边缘,从而减弱了第一柔性衬底的边缘翘曲,从而缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。
需要进一步说明的是,将整层的膜层结构覆盖第一柔性衬底21时,由于整层膜层结构既与第一柔性衬底21的边缘接触,又与第一柔性衬底21的内侧部分(内侧部分为远离第一柔性衬底21边缘的部分)。第一柔性衬底21在快速固化过程中积累的应力会导致第一柔性衬底21尤其是边缘朝向背离或靠近承载板10的方向翘曲。
图3为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图,参考图3,柔性基板还包括第二柔性衬底22,第二柔性衬底22位于第一应力平衡层31远离第一柔性衬底21的一侧。本发明实施例中,柔性基板包括第一柔性衬底21和第二柔性衬底22,两层柔性衬底相比于一层柔性衬底而言,增加了柔性基板的牢固程度。
可选地,参考图2和图3,柔性基板还包括位于第一应力平衡层31远离第一柔性衬底21一侧的第一无机层41。第一无机层41覆盖第一应力平衡层31和部分第一柔性衬底21。第一无机层41具有良好的阻隔水汽和氧气的作用,从而提高了柔性基板的阻水氧能力。本发明实施例中,第一应力平衡层31位于第一柔性衬底21和第一无机层41之间,第一应力平衡层31与第一柔性衬底21直接接触,从而使第一应力平衡层31直接按压第一柔性衬底21的边缘,从而有利于减弱第一柔性衬底21的边缘翘曲,从而缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。
需要说明的是,在承载板10上涂布柔性衬底材料(例如聚酰胺酸)并快速固化形成第一柔性衬底21。在第一柔性衬底21之上再涂布柔性衬底材料(例如聚酰胺酸)并再次快速固化形成第二柔性衬底22。第一柔性衬底21经过了两次快速固化的过程,第二柔性衬底22经过了一次快速固化的过程,从而第一柔性衬底21比第二柔性衬底22积累了更多的应力。因此,在第一柔性衬底21上设置应力平衡层(即第一应力平衡层31)可以较好地减弱柔性基板的卷曲。
图4为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图,图5为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图,参考图4和图5,柔性基板还包括第一无机层41。第一无机层41位于第一应力平衡层31与第一柔性衬底21之间。
图6为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图,参考图6,柔性基板还包括第三柔性衬底23,第三柔性衬底23位于第一柔性衬底21与承载板10之间。第一柔性衬底21和第三柔性衬底23之间设置有第二应力平衡层32,第二应力平衡层32位于第三柔性衬底23的边缘。本发明实施例中,柔性基板包括第一柔性衬底21和第三柔性衬底23,两层柔性衬底相比于一层柔性衬底而言,增加了柔性基板的牢固程度,且第一柔性衬底21和第三柔性衬底23的边缘上分别设置有第一应力平衡层31和第二应力平衡层32,从而不仅减弱了第一柔性衬底21的边缘翘曲,还减弱了第三柔性衬底23的边缘翘曲,从而进一步地缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。
可选地,参考图6,柔性基板还可以包括位于第二应力平衡层32远离第三柔性衬底23一侧的第三无机层43。第二应力平衡层32位于第三柔性衬底23和第三无机层43之间,第二应力平衡层32与第三柔性衬底23直接接触,从而使第二应力平衡层32直接按压第三柔性衬底23的边缘,从而有利于减弱第三柔性衬底23的边缘翘曲,缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。
图7为本发明实施例提供的另一种柔性基板的剖面结构示意图,参考图7,柔性基板还包括第三柔性衬底23,第三柔性衬底23位于第一柔性衬底21与承载板10之间。本发明实施例中,仅在第一柔性衬底21的边缘上设置第一应力平衡层31,未在第三柔性衬底23的边缘上设置应力平衡层。
可选地,参考图1,第一应力平衡层31包括多个同层且离散设置的应力平衡块。应力平衡块在剥离承载板时减弱第一柔性衬底21的边缘翘曲,且多个离散的应力平衡块在对柔性基板弯折时可以分散对柔性基板造成的弯折应力,保护第一应力平衡层31不受损坏。
可选地,参考图1,多个应力平衡块包括第一应力平衡块311、第二应力平衡块312、第三应力平衡块313和第四应力平衡块314。第一应力平衡块311、第二应力平衡块312、第三应力平衡块313和第四应力平衡块314分别设置于第一应力平衡层21的四个拐角上。由于第一应力平衡层21的四个拐角最容易翘曲。本发明实施例中,将第一应力平衡块311、第二应力平衡块312、第三应力平衡块313和第四应力平衡块314分别设置于第一应力平衡层21的四个拐角上,可以达到较优的防翘曲效果。且使用的应力平衡块较少,减少了图形化应力平衡块曝光数量。需要说明的是,图1中以柔性基板为矩形为例,但并非对本发明的限定,在其他实施方式中,柔性基板还可以为圆形等其他形状,矩形的柔性基板例如可以适用于手机等电子器件,圆形的柔性基板例如可以适用于手表等电子器件。只要应力平衡块位于柔性基板中第一柔性衬底的边缘即可。进一步地,多个应力平衡块可以沿柔性基板中第一柔性衬底的边缘均匀分布,以使用较少的应力平衡块达到较优的防翘曲效果。
图8为本发明实施例提供的另一种柔性基板的俯视结构示意图,参考图8,多个应力平衡块还包括第五应力平衡块315和第六应力平衡块316。第一应力平衡块311与第二应力平衡块312之间的距离大于第一应力平衡块311与第四应力平衡块314之间的距离,第一应力平衡块311与第二应力平衡块312之间的距离大于第二应力平衡块312与第三应力平衡块313之间的距离。第五应力平衡块315位于第一应力平衡块311与第二应力平衡块312之间,第六应力平衡块316位于第三应力平衡块313与第四应力平衡块314之间。即,将第五应力平衡块315和第六应力平衡块316分别设置于第一柔性衬底21的相对两条长边位置处。
示例性地,参考图1和图8,应力平衡块可以为矩形块,在其他实施例中,应力平衡块还可以包括菱形块等,本发明实施例对于应力平衡块的形状不作限定。本发明实施例对应力平衡块的摆放方式不做限定,需将图形化的应力平衡块位于第一柔性衬底21的边缘即可。在使用柔性基板形成显示面板时,应力平衡块位于柔性显示面板的边缘。
图9为本发明实施例提供的另一种柔性基板的俯视结构示意图,参考图9,,第一应力平衡层31包括多个同层且离散设置的应力平衡块。应力平衡块可以为矩形块,矩形块的边的延伸方向与第一柔性衬底21的边交叉。与图1相比,图9相当于将应力平衡块进行了一定角度的旋转。
图10为本发明实施例提供的另一种柔性基板的俯视结构示意图,参考图10,第一应力平衡层31包括环状的应力平衡条。本发明实施例中,第一应力平衡层31包括环状的应力平衡条,环状的应力平衡条按压了一圈范围内所有的第一柔性衬底21的边缘,从而进一步地减弱了第一柔性衬底21的边缘翘曲,从而进一步地缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。
可选地,第一应力平衡层31的材质包括金属和无机材料中的至少一种。金属例如可以包括钼等金属材料。无机材料例如可以包括氧化硅或者氮化硅等无机材料。由于金属材料相比于无机材料来说具有更大的密度,从而能够更有效地减弱第一柔性衬底21的边缘翘曲。当然,第一应力平衡层31可以是多层的结构,包括金属层和无机材料层中的至少一种膜层。金属层例如可以包括钼等金属材料层。无机材料层例如可以包括氧化硅或者氮化硅等无机材料层。本发明对此不做限定。
图11为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的剖面结构示意图,参考图11,柔性显示面板包括上述任一实施例中的柔性基板100,以及位于柔性基板100上的多个有机发光单元200。
示例性地,有机发光单元200可以包括阴极、阳极和位于阴极、阳极之间的发光功能层。发光功能层可以包括发光材料层,以及空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、空穴阻挡层、电子传输层和电子注入层中的至少一个。光线在发光材料层中产生,其产生过程如下:在外加电场的作用下,电子和空穴分别从阴极和阳极注入发光材料层并复合产生激子,激子在外加电场的作用下迁移,能量传递给发光材料层中的发光分子,并激发电子从基态跃迁到激发态,激发态能量通过辐射跃迁的方式来释放能量,便产生了光线。空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、空穴阻挡层、电子传输层和电子注入层为辅助膜层,是为了提高发光功能层中光线的产出效率。
本发明实施例提供的柔性显示面板包括上述实施例中的柔性基板,从而在柔性基板与承载板剥离时,在第一柔性衬底的边缘上设置的第一应力平衡层可以按压住第一柔性衬底的边缘,从而减弱了第一柔性衬底的边缘翘曲,从而缓解甚至避免了柔性基板以及柔性显示面板的卷曲。
可选地,参考图11,柔性显示面板还可以包括位于多个有机发光单元200远离柔性基板100一侧的薄膜封装层300以及保护层400。薄膜封装层300位于多个有机发光单元200与保护层400之间,用于减弱水氧对有机发光单元200的侵蚀。保护层400用于减弱有机发光单元200和薄膜封装层300受到外界的损伤。
可以理解的是,在承载板上形成柔性基板100后,可以在柔性基板100上形成有机发光单元200、薄膜封装层300以及保护层400等结构。在形成完整的显示面板结构后,将承载板与柔性基板以及柔性基板上的有机发光单元等面板显示面板结构剥离,可以形成最终的柔性显示面板。
图12为本发明实施例提供的一种柔性基板的制作方法流程图,图13为本发明实施例提供的一种柔性基板的制作示意图,参考图12和图13,柔性基板的制作方法,包括如下步骤:
S110、在承载板10上形成第一柔性衬底21。
示例性地,在承载板10上涂布柔性衬底材料(例如聚酰胺酸)并快速固化形成第一柔性衬底21。快速固化的方式例如可以为快速真空固化或者闪光固化。第一柔性衬底21的厚度为1~20μm。
S120、在第一柔性衬底21远离承载板10一侧的边缘形成第一应力平衡层31。
示例性地,在第一柔性衬底21远离承载板10一侧形成金属层(例如金属钼的膜层),并对金属图形化,以形成位于第一柔性衬底21边缘的第一应力平衡层31,进而将应力平衡层图形化于第一柔性衬底21的边缘。金属层的厚度为
Figure BDA0002181640120000101
可选地,在步骤S120之后,柔性基板的制作方法还可以包括:
S130、在第一应力平衡层31以及部分第一柔性衬底21上形成第一无机层41。
示例性地,沉积第一无机层41的材料为氧化硅或者氮化硅,第一无机层41的厚度为50~100nm。
图13所示柔性基板的制作示意图可以形成单个柔性衬底的柔性基板。
本发明实施例提供的柔性基板的制作方法用于形成上述实施例中的柔性基板,本发明实施例中,通过在第一柔性衬底的边缘上设置第一应力平衡层,第一应力平衡层通过图形化工艺按压住第一柔性衬底的边缘,从而减弱了第一柔性衬底的边缘翘曲,从而缓解甚至避免了柔性基板的卷曲。
图14为本发明实施例提供的另一种柔性基板的制作方法流程图,图15为本发明实施例提供的另一种柔性基板的制作示意图,参考图14和图15,柔性基板的制作方法,包括如下步骤:
S210、在承载板10上形成第一柔性衬底21。
S220、在第一柔性衬底21远离承载板10一侧的边缘形成第一应力平衡层31。
S230、在第一应力平衡层31以及部分第一柔性衬底21上形成第一无机层41。
S240、在第一无机层41上形成第二柔性衬底22。
示例性地,在第一无机层41上涂布柔性衬底材料(例如聚酰胺酸)并快速固化形成第二柔性衬底22。快速固化的方式例如可以为快速真空固化或者闪光固化。第一柔性衬底21的厚度为1~20μm。
图15所示柔性基板的制作示意图可以形成两个柔性衬底的柔性基板。需要说明的是,本发明对于柔性基板中包含的柔性衬底的数量不作限定。
注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (8)

1.一种柔性基板,形成于承载板上,其特征在于,包括:
第一柔性衬底,所述第一柔性衬底位于所述承载板的一侧;
第一应力平衡层,位于所述第一柔性衬底远离所述承载板的一侧,且位于所述第一柔性衬底的边缘;所述第一应力平衡层用于按压住第一柔性衬底与承载板剥离时容易产生卷曲的边缘;
还包括第二柔性衬底,所述第二柔性衬底位于所述第一应力平衡层远离所述第一柔性衬底的一侧;
还包括第一无机层,所述第一无机层位于所述第一应力平衡层与所述第一柔性衬底之间,或者,位于第一应力平衡层与所述第二柔性衬底之间。
2.根据权利要求1所述的柔性基板,其特征在于,所述第一无机层位于所述第一应力平衡层远离所述第一柔性衬底的一侧。
3.根据权利要求1所述的柔性基板,其特征在于,还包括第三柔性衬底,所述第三柔性衬底位于所述第一柔性衬底与所述承载板之间;
所述第一柔性衬底和所述第三柔性衬底之间设置有第二应力平衡层,所述第二应力平衡层位于所述第三柔性衬底的边缘。
4.根据权利要求1所述的柔性基板,其特征在于,所述第一应力平衡层包括多个同层且离散设置的应力平衡块。
5.根据权利要求4所述的柔性基板,其特征在于,多个所述应力平衡块包括第一应力平衡块、第二应力平衡块、第三应力平衡块和第四应力平衡块;
所述第一应力平衡块、所述第二应力平衡块、所述第三应力平衡块和所述第四应力平衡块分别设置于所述第一应力平衡层的四个拐角上。
6.根据权利要求1所述的柔性基板,其特征在于,所述第一应力平衡层的材质包括金属和无机材料的至少一种。
7.一种柔性显示面板,其特征在于,包括权利要求1-6任一项所述的柔性基板,以及位于所述柔性基板上的多个有机发光单元。
8.一种柔性基板的制作方法,所述柔性基板形成于承载板上,其特征在于,包括:
在所述承载板上形成第一柔性衬底;
在所述第一柔性衬底远离所述承载板一侧的边缘形成第一应力平衡层,所述第一应力平衡层用于按压住第一柔性衬底与承载板剥离时容易产生卷曲的边缘;
在所述第一应力平衡层以及部分所述第一柔性衬底上形成第一无机层;
在所述第一无机层上形成第二柔性衬底。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114613288B (zh) * 2022-03-31 2023-11-17 合肥维信诺科技有限公司 显示模组、显示模组制备方法及电子设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5215598A (en) * 1989-09-06 1993-06-01 Sanyo Electric Co., Ltd. Flexible photovoltaic device and manufacturing method thereof
CN107394041A (zh) * 2017-07-21 2017-11-24 武汉天马微电子有限公司 柔性基底及其制作方法、柔性显示面板和柔性显示装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI434250B (zh) * 2010-12-15 2014-04-11 Au Optronics Corp 可撓性顯示面板
CN102810512B (zh) * 2012-07-16 2014-07-02 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性显示器件的制造方法
CN104392901B (zh) * 2014-10-28 2017-08-25 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性衬底基板及其制作方法
CN106920800B (zh) * 2015-12-25 2019-07-23 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 柔性显示器件及其形成方法
CN106338852B (zh) * 2016-11-01 2019-10-01 上海天马微电子有限公司 一种可挠式基板、显示面板及可挠式基板的制作方法
CN106684243B (zh) * 2017-02-15 2019-04-09 厦门天马微电子有限公司 一种柔性显示面板及显示装置
CN106935596A (zh) * 2017-02-22 2017-07-07 武汉华星光电技术有限公司 一种柔性基板的制备方法
CN107706156A (zh) * 2017-11-13 2018-02-16 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性显示基板及其制备方法、柔性显示装置
CN107909927B (zh) * 2017-12-14 2024-02-13 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性显示面板及其制备方法
CN108470762B (zh) * 2018-05-28 2021-02-09 上海天马微电子有限公司 一种柔性显示面板和显示装置
CN108766242A (zh) * 2018-05-31 2018-11-06 京东方科技集团股份有限公司 显示基板母板及其制作方法、柔性显示基板、显示装置
CN109524560B (zh) * 2018-08-31 2021-06-29 云谷(固安)科技有限公司 显示面板、显示装置及显示面板的制造方法
CN109256400B (zh) * 2018-11-16 2021-01-26 京东方科技集团股份有限公司 柔性显示基板及其制造方法、显示装置
CN109887928B (zh) * 2019-01-24 2021-05-07 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种柔性显示面板
CN110120465B (zh) * 2019-05-28 2022-07-29 京东方科技集团股份有限公司 Oled显示面板和具有其的显示装置
CN110853508A (zh) * 2019-10-16 2020-02-28 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种柔性基板、柔性显示面板及柔性显示装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5215598A (en) * 1989-09-06 1993-06-01 Sanyo Electric Co., Ltd. Flexible photovoltaic device and manufacturing method thereof
CN107394041A (zh) * 2017-07-21 2017-11-24 武汉天马微电子有限公司 柔性基底及其制作方法、柔性显示面板和柔性显示装置

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