WO2014012338A1 - 柔性显示器件的制造方法 - Google Patents

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WO2014012338A1
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flexible
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laminated structure
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乔勇
王红丽
王艳丽
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京东方科技集团股份有限公司
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Definitions

  • Embodiments of the present invention relate to a method of fabricating a flexible display device. Background technique
  • LCDs liquid crystal displays
  • PDPs plasma displays
  • OLEDs organic electroluminescent displays
  • the conventional liquid crystal display, plasma display, and organic electroluminescence display mainly use a glass substrate, and the glass substrate is fragile and easily damaged, and is required to be portable, lightweight, and lightweight in the field of mobile display devices and large. Applications in the field of size display devices have been limited. Therefore, recently, a flexible display device prepared by replacing a glass substrate with a flexible substrate such as a plastic substrate, a metal foil or the like has been widely concerned, and there will be a broader development space in future display technologies.
  • the flexible substrate has a series of advantages and has its own drawbacks. Due to its flexibility and thermal expansion, it is inconvenient for the processing of the display device, and it is prone to sag of the substrate, and even wrinkles or breaks. Accurately carry out the subsequent film preparation process. In order to solve this problem, it is necessary to attach a flexible substrate to a rigid substrate such as a glass substrate for supporting and fixing the flexible substrate to facilitate the formation of the film, and then removing the support substrate. This makes it possible to fabricate flexible display devices using existing glass substrate processing equipment, which simplifies the process and saves costs. However, this process also undoubtedly increases the complexity of the process and the production cost, and also causes damage to the substrate during the process of attaching and separating the flexible substrate, affecting product performance. Summary of the invention
  • Embodiments of the present invention provide a method for manufacturing a flexible display device, which can process two flexible display devices at one time in a part of manufacturing process, thereby greatly improving the production capacity, and saving production cost and improving product yield. And production efficiency.
  • One aspect of the invention discloses a method of fabricating a flexible display device.
  • Flexible display A method of manufacturing a device, comprising: providing a first flexible substrate having first and second surfaces and a second flexible substrate having third and fourth surfaces; and a second surface and a second flexibility of the first flexible substrate through the connector The third surface of the substrate is bonded to form a laminated structure, wherein the first surface of the first flexible substrate is a first outer surface of the laminated structure, and the fourth surface of the second flexible substrate is a second outer surface of the laminated structure; Forming first and second flexible display element layers on the first and second outer surfaces respectively; separating the first flexible substrate and the second flexible substrate of the stacked structure.
  • the method for manufacturing the flexible display device may further include: First and second relatively flexible substrates are formed on the second flexible display element layer.
  • the manufacturing method of the flexible display device may further include: providing a support member having opposite first and second surfaces; and the second member of the first flexible substrate through the connecting member Forming the laminated structure with the surface and the third surface of the second flexible substrate may be: fixing the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate to the first and the second of the support by the connecting member The two surfaces form a laminated structure.
  • the fixing the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate to the first and second surfaces of the support by the connecting member respectively may include: passing the adhesive layer The second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate are bonded to the first and second surfaces of the support.
  • the fixing the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate to the first and second surfaces of the support by the connecting member respectively may include: passing the adhesive layer The peripheral regions of the first and second flexible substrates are bonded to the peripheral regions of the first and second surfaces of the support.
  • the fixing the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate to the first and second surfaces of the support by the connecting member may further include: A central portion of a surface and a second surface are respectively provided with spacers for supporting the flexible substrate to separate the first and second flexible substrates from the support member.
  • the first and second flexible substrates may be a glass substrate; the combining the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate by the connecting member may include: The layer bonds the second surface of the first flexible substrate to the third surface of the second flexible substrate.
  • the first and second flexible substrates are glass substrates; the combining the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate by the connecting member may include: passing the adhesive layer The second surface of the first flexible substrate and the peripheral region of the third surface of the second flexible substrate are bonded.
  • the combining the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate by the connecting member may further include: a second surface of the first flexible substrate and a second flexible substrate The central portion of the three surfaces is provided with a spacer supporting the flexible substrate to separate the first and second flexible substrates.
  • the spacer is removable.
  • the separating the first flexible substrate and the second flexible substrate of the laminated structure may include: separating the first flexible substrate and the second flexible substrate of the laminated structure by dissolving the adhesive layer by a solvent.
  • the binder layer may contain a silane-based binder
  • the solvent may be a tetrahydrofuran solution.
  • the binder layer may contain polyimide.
  • the separating the first flexible substrate and the second flexible substrate of the laminated structure may include: irradiating the adhesive layer from the side of the laminated structure by laser irradiation, and the first flexible substrate and the second flexible substrate of the laminated structure Separation.
  • the binder layer may contain polyimide.
  • the method further includes: a second surface of the first flexible substrate and the second flexible substrate The third surface forms a buffer layer.
  • the buffer layer may be a SiN:H or a-Si:H layer.
  • the separating the first flexible substrate and the second flexible substrate of the stacked structure may include: providing a cutting line inside the adhesive layer, cutting along the cutting line, separating the first flexible substrate and the second flexible substrate of the laminated structure.
  • the vacuum adsorption substrate may further have four sides that are in contact with the first and second surfaces thereof, and the vacuum adsorption substrate has a communicating hole inside; the first and the first in the vacuum adsorption substrate The two surfaces and the at least one side are distributed with openings penetrating through the inner channels, wherein the at least one side opening is for connecting the vacuuming device.
  • the combining the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate by the connecting member may include: providing fasteners in the peripheral regions of the first and second flexible substrates to be first, The second flexible substrate is combined into a laminated structure.
  • the fixing the second surface of the first flexible substrate and the third surface of the second flexible substrate to the first and second surfaces of the support by the connecting member respectively may include:
  • the two flexible substrate peripheral regions are provided with fasteners to combine the first and second flexible substrates and the support member into a laminated structure.
  • the flexible display element layer may be any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, and an electrochromic layer.
  • Another aspect of the present invention provides a method of fabricating a flexible display device, further comprising: providing a first display device having a first substrate, a first flexible display element layer, and a first relatively flexible substrate; a second display device of the substrate, the second flexible display element layer and the second opposite flexible substrate; bonding the first opposite flexible substrate outer surface of the first display device and the second opposite flexible substrate outer surface of the second display device through the connector Forming a laminated structure; thinning the first and second outer surfaces of the laminated structure; separating the first and second display devices.
  • the combining the first opposite flexible substrate outer surface of the first display device and the second opposite flexible substrate outer surface of the second display device by the connecting member may include: pressing the first display device through the adhesive layer a first relative flexible substrate outer surface and a second relative of the second display device The outer surface of the flexible substrate is bonded.
  • the combining the first relative flexible substrate of the first display device and the second relative flexible substrate of the second display device by the connecting member may include: first, opposing the first display device by the adhesive layer A peripheral region of the outer surface of the flexible substrate is bonded to a peripheral region of the outer surface of the second opposing flexible substrate of the second display device.
  • the combining the first relative flexible substrate of the first display device and the second relative flexible substrate of the second display device by the connecting member may further include: providing a partition in a central region of the first and second relatively flexible substrates a spacer that separates the first and second display devices.
  • the spacer may be removable.
  • the separating the first and second display devices may include: laserly irradiating the adhesive layer from the side of the laminated structure to separate the first and second display devices.
  • the binder layer may contain polyimide.
  • the method further includes: A buffer layer is formed on the second relatively flexible substrate.
  • the buffer layer may be a SiN:H or a-Si:H layer.
  • the separating the first and second display devices may include: providing a cutting line inside the adhesive layer formed on the peripheral regions of the first and second relatively flexible substrates, and cutting along the cutting line, The first and second display devices are separated.
  • the flexible display element layer may be any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, and an electrochromic layer.
  • Still another aspect of the present invention provides a flexible display device comprising the flexible display device formed by any of the above-described manufacturing methods.
  • Figure la is a first embodiment of a method of manufacturing a flexible display device
  • 2a-2d are a second embodiment of a method of manufacturing a flexible display device
  • 3a-3b are a third embodiment of a method of manufacturing a flexible display device
  • 4a-4d are a fourth embodiment of a method of manufacturing a flexible display device
  • 5a to 5d are fifth embodiments of a method of manufacturing a flexible display device
  • 6a-6e are sixth embodiments of a method of manufacturing a flexible display device
  • 7a-7f are eighth embodiments of a method of fabricating a flexible display device
  • Fig. 8 is a ninth embodiment of a method of manufacturing a flexible display device. detailed description
  • Embodiments of the present invention provide a method of manufacturing a flexible display device, which can manufacture a flexible display device using an existing device, and can process two flexible display devices at a time in a part of the manufacturing process.
  • the method of fabricating a flexible display device may include the following steps.
  • a first flexible substrate having a first surface and a second surface
  • a second flexible substrate having a first surface and a second surface
  • the connecting member may be any one of an adhesive layer, a vacuum absorbing substrate, a fastener or the like.
  • the method further includes: forming on the first and second flexible display element layers respectively The first and second flexible opposing substrates.
  • the display element layer may be any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, an electroluminescent layer, and the like.
  • the separation operation may correspondingly be any one of dissolution separation, laser separation, vacuum release, fastener removal, etc., corresponding to different connectors.
  • the flexible display device can be manufactured by using the existing equipment, and the two display devices can be processed simultaneously in part of the processing process, thereby simplifying the process, improving the production efficiency and reducing the cost. the goal of.
  • the method of fabricating the flexible display device comprises the following steps.
  • Providing a first flexible substrate 101 having a first surface and a second surface providing a second flexible substrate 102 having a first surface and a second surface.
  • the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the first The first surface 102a of the second flexible substrate 102 has a protective layer (not shown).
  • an adhesive layer 11 is provided between the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 to form a laminated structure 50.
  • the adhesive layer 11 may also be disposed only on the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the peripheral surface of the first surface 102a of the second flexible substrate 102, and the central region may be removed.
  • the spacer 400 combines the first and second flexible substrates to form a laminated structure 50.
  • the shape of the spacer 400 may be square, circular, elliptical or any other shape, which functions to separate the first and second flexible substrates and can support the first and second flexible substrates.
  • the film layer preparation process is performed on a flexible substrate.
  • the first and second flexible substrates are thin glass substrates, and the thickness thereof may be not more than 30 ⁇ and not less than 20 ⁇ .
  • the binder layer can be selected to be formed from a silane-based binder.
  • a first flexible display element layer 10a and a first opposite flexible substrate 301 are sequentially formed on the first outer surface 50a of the laminated structure 50 to constitute a first flexible display device 70, in the laminated structure
  • the second outer surface 50b of 50 sequentially forms the second flexible display element layer 10b and the second opposite flexible substrate 302 to constitute the second flexible display device 80.
  • the display element layer may be any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, an electrochromic layer, and the like; the first flexible display device 70
  • the outer surface 70a and the outer surface 80b of the second flexible display device 80 may have a protective layer (not shown).
  • the first flexible display device 70 and the second flexible display device 80 may also be single-substrate devices, i.e., do not include the first and second relatively flexible substrates.
  • the stacked structure is immersed in a solvent to separate the first and second flexible display devices.
  • the solvent may be selected from a tetrahydrofuran solution.
  • the first and second flexible substrates are combined into a laminated structure by the adhesive layer, so that the two flexible substrates are supported by each other, so that the subsequent processes can be conveniently performed. Processing and improving production efficiency.
  • the method may further include: Providing a support 100 having a first surface and a second surface;
  • the above step 2 may be: as shown in FIG. 3a, an adhesive layer 11a is formed on the first surface of the support member 100, and an adhesive layer l ib is formed on the second surface of the support member 100.
  • a flexible substrate 101 is attached to the first surface 100a of the support member 100, and the second flexible substrate 102 is attached to the second surface 100b of the support member 100 to form a laminated structure 60.
  • step 2 it is also possible to form the adhesive layer 11a only on the peripheral region of the first surface 100a of the support member 100, and the central region is provided with the removable spacer 400a, in the support member 100.
  • the adhesive layer l ib is formed on the peripheral region of the second surface 100b, and the removable spacer 400b is disposed in the central region, and the first flexible substrate 101 is attached to the first surface 100a of the support member 100, the second flexibility
  • the substrate 102 is attached to the second surface 100b of the support 100 to form a laminated structure 60.
  • the shapes of the spacers 400a and 400b may be square, circular, elliptical and any other shape, which function to separate the first and second flexible substrates and support the first and second flexible substrates. It is convenient to carry out the film layer preparation process on the flexible substrate.
  • the binder layer may alternatively be formed from a silane-based binder.
  • the above step 4 is: immersing the laminated structure in a solvent to separate the first and second flexible display devices from the support member 100.
  • the solvent may be selected from a tetrahydrofuran solution.
  • the first and second flexible substrates are fixed on a support member through an adhesive layer to perform a subsequent film layer preparation process, and the method is applicable to a plastic substrate and a metal foil. Processing of various flexible substrates such as sheets and thin glass substrates, and any need for support for good results.
  • the method of manufacturing the flexible display device provided by the present embodiment may include the following steps.
  • an adhesive layer 11 is provided on the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 to form a laminated structure 50.
  • the adhesive layer 11 may also be disposed only on the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the peripheral surface of the first surface 102a of the second flexible substrate 102, and the central region may be removed.
  • the spacer 400 combines the first and second flexible substrates to form a laminated structure 50.
  • the shape of the spacer 400 may be square, circular, elliptical or any other shape, which functions to separate the first and second flexible substrates and can support the first and second flexible substrates.
  • the film layer preparation process is performed on a flexible substrate.
  • step 2 as shown in FIG. 4c, before the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 are provided with the adhesive layer 11, the first flexible substrate 101 is The second surface 101b and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 are provided with buffer layers 12a and 12b, which may be SiN:H or a-Si:H layers.
  • the first flexible substrate 101 may be before the adhesive layer 11 is disposed on the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the peripheral surface of the first surface 102a of the second flexible substrate 102.
  • the second surface 101b and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 are provided with buffer layers 12a and 12b, which may alternatively be SiN:H or a-Si:H layers.
  • the first and second flexible substrates may be selected as a glass substrate, and the thickness thereof may be, for example, not more than 30 ⁇ m and not less than 20 ⁇ m.
  • the binder layer may be formed of a binder containing a polyimide component.
  • the display element layer may be any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, an electrochromic layer, and the like.
  • the first flexible display device 70 and the second flexible display device 80 may also be single-substrate devices, i.e., do not include the first and second relatively flexible substrates.
  • the first flexible display device 70 and the second flexible display device 80 are separated by irradiating the adhesive layer 11 or the buffer layer 12 with a laser.
  • step 4 as shown in FIG. 4a, the adhesive layer 11 is disposed on the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 in step 2, from the upper and lower surfaces of the laminated structure. Irradiating the adhesive layer 11, separating the first and second flexible display devices 70 and 80, The first and second flexible display devices 70 and 80 are transparent.
  • step 4 as shown in FIG. 4b, the adhesive layer 11 is disposed only in the second surface 10 lb of the first flexible substrate 101 and the peripheral surface of the first surface 102a of the second flexible substrate 102 in step 2, from the cascading
  • the side of the structure is laser-irradiated with the adhesive layer 11, separating the first and second flexible display devices 70 and 80.
  • step 4 before the second adhesive layer 101 of the first flexible substrate 101 and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 are disposed in the step 2, before the adhesive layer 11 is disposed on the first flexible substrate 101.
  • the second surface 101b and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 are provided with a buffer layer, and the buffer layers 12a and 12b are laser-irradiated from the upper and lower surfaces of the stacked structure to separate the first and second flexible display devices 70 and 80;
  • the first and second flexible displays 70 and 80 are transparent.
  • step 4 as shown in FIG. 4d, before the second layer 101b of the first flexible substrate 101 and the peripheral surface of the first surface 102a of the second flexible substrate 102 are disposed in the step 2, the first flexible substrate is disposed on the first flexible substrate.
  • the second surface 101b of 101 and the first surface 102a of the second flexible substrate 102 are provided with a buffer layer, and the buffer layers 12a and 12b are laser-irradiated from the side of the laminated structure, and the first and second flexible display devices 70 and 80 are provided. Separation.
  • the first and second flexible substrates are combined by the adhesive layer, and the first and second flexible display devices are separated by laser irradiation, which can be realized in some processes.
  • the processing of the upper and lower substrates is carried out to improve the production efficiency, and at the same time, the process is simple and easy to implement, and the cost reduction can also be achieved.
  • the method may further include: providing the support member 100 having the first surface and the second surface.
  • step 2 is: as shown in FIG. 5a, an adhesive layer 11a is formed on the first surface 100a of the support member 100, and an adhesive layer l ib is formed on the second surface 100b of the support member 100, which will be first
  • the flexible substrate 101 is attached to the first surface 100a of the support 100
  • the second flexible substrate 102 is attached to the second surface 100b of the support 100 to form a laminated structure 60.
  • step 2 it is also possible to form the adhesive layer 11a only on the peripheral region of the first surface 100a of the support member 100, and the central region is provided with a removable spacer 400a at the support member 100.
  • An adhesive layer l ib is formed on a peripheral region of the second surface 100b, and a removable spacer 400b is disposed in the central region, and the first flexible substrate 101 is attached to the first surface 100a of the support member 100, The second flexible substrate 102 is attached to the second surface 100b of the support 100 to form a laminated structure 60.
  • the shapes of the spacers 400a and 400b may be square, circular, elliptical and any other shape, which function to separate the first and second flexible substrates and support the first and second flexible substrates. It is convenient to carry out the film layer preparation process on the flexible substrate.
  • the second surface 101b of the first flexible substrate 101 and the second flexible substrate 102 may also be formed before the adhesive layer is formed on the first surface and the second surface of the support member 100.
  • the first surface 102a is provided with buffer layers 12a and 12b, which may alternatively be SiN:H or a-Si:H layers.
  • the second surface 101b and the second flexibility of the first flexible substrate 101 may be before the adhesive layer is formed on the peripheral regions of the first surface and the second surface of the support member 100.
  • the first surface 102a of the substrate 102 is provided with buffer layers 12a and 12b, which may alternatively be SiN:H or a-Si:H layers.
  • the binder layer may be formed of a binder containing a polyimide component.
  • the above step 4 is: laser irradiation of the adhesive layers 11a and ib or the buffer layers 12a and 12b to separate the first flexible display device 70 and the second flexible display device 80 from the support member 100.
  • step 4 as shown in FIG. 5a, the adhesive layer 11a and l are laser-irradiated from the upper and lower surfaces of the laminated structure in a manner corresponding to the formation of the adhesive layer on the first surface 100a and the second surface 100b of the support member 100 in the step 2.
  • Ib separates the first and second flexible display devices 70 and 80 from the support member 100, and the first and second flexible display devices 70 and 80 are transparent.
  • step 4 as shown in FIG. 5b, in the corresponding step 2, only the adhesive layer is provided on the peripheral surface of the first surface 100a and the second surface 100b of the support member 100, and the adhesive layer 11a is laser-irradiated from the side of the laminated structure. And l ib, separating the first and second flexible display devices 70 and 80 from the support member 100.
  • step 4 as shown in FIG. 5c, before the adhesive layer is formed on the first surface and the second surface of the support member 100 in step 2, the second surface 101b and the second flexible substrate 102 of the first flexible substrate 101 are formed.
  • the first surface 102a is provided with the buffer layers 12a and 12b, respectively, and the buffer layers 12a and 12b are laser-irradiated from the upper and lower surfaces of the laminated structure to separate the first and second flexible display devices 70 and 80 from the support member 100;
  • the first and second flexible display devices 70 and 80 are transparent.
  • step 4 before the adhesive layer is formed on the peripheral surface of the first surface and the second surface of the support member 100 in step 2, on the second surface 101b of the first flexible substrate 101.
  • the first surface 102a of the second flexible substrate 102 is provided with the buffer layers 12a and 12b, respectively, and the buffer layers 12a and 12b are laser-irradiated from the side of the laminated structure, and the first and second flexible display devices 70 and 80 are supported from the support.
  • the piece 100 is separated.
  • the first and second flexible substrates are fixed on a support member through an adhesive layer, and the first and second flexible substrates are supported from the support member by laser irradiation. Separation, easy process realization, can improve product yield and reduce production costs.
  • the method is suitable for various flexible substrates such as plastic substrates, metal foils, and thin glass substrates, and various purposes requiring support for good effects.
  • the manufacturing method of the flexible display device provided by the present embodiment may specifically include the following steps:
  • the first and second flexible substrates are divided into a plurality of flexible panels 200, an adhesive layer 13 is disposed in a peripheral region of each flexible panel 200, and a spacer 400 is disposed in a central region. 1.
  • the second flexible substrate is attached to form a laminated structure 500.
  • the first and second flexible substrates may be selected as a glass substrate, and the thickness thereof may be not more than 30 ⁇ , not less than 20 ⁇ .
  • a first flexible display element layer 10a and a first opposite flexible substrate 301 are sequentially formed on the first outer surface 500a of the stacked structure 500 to form a plurality of first flexible display devices;
  • the second outer surface 500b sequentially forms the second flexible display element layer 10b and the second opposite flexible substrate 302 to form a plurality of second flexible display devices.
  • the display element layer may be any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, an electrochromic layer, and the like.
  • the first flexible display device and the second flexible display device may also be single-substrate devices, i.e., do not include the first and second relatively flexible substrates.
  • a cutting line 20 is provided inside the adhesive layer 13, and the respective first and second flexible display devices are separated by cutting.
  • the above process is an example of a specific implementation provided in this embodiment; in another example of this embodiment, the method may further include: providing a support member 100 having a first surface and a second surface;
  • the above step 2 is: as shown in FIG. 6e, the first and second flexible substrates are divided into a plurality of flexible panels, an adhesive layer 13 is disposed in a peripheral region of each flexible panel 200, and a spacer 400 is disposed in a central region.
  • the first and second flexible substrates are attached to the first and second surfaces of the support member 100 to form a laminated structure 600.
  • the above step 4 is: a cutting line 20 is disposed inside the adhesive layer 13, and the respective first and second flexible display devices are separated from the support member 100 by cutting.
  • the two flexible substrates are combined into a laminated structure by the adhesive layer, and the respective flexible display devices are separated by cutting, the process is simple and easy, and the panel is not damaged. Simultaneous mass production of multiple display devices for increased productivity.
  • the manner of inserting the support between the two flexible substrates can be widely applied to various types of flexible substrate processing, and any need for support for good results.
  • the manufacturing method of the flexible display device will be described by taking the connecting member as a fastener as an example. For example, the following steps may be included:
  • a first flexible substrate having a first surface and a second surface
  • a second flexible substrate having a first surface and a second surface
  • Fasteners are provided on the edge portions of the first and second flexible substrates to fix the first and second flexible substrates to form a laminated structure.
  • the first and second flexible substrates may be selected as a glass substrate, and the thickness thereof may be not more than 30 ⁇ , not less than 20 ⁇ .
  • the fastener may be any one of a fastener such as a rivet, a screw, a card slot, a buckle, or the like.
  • first flexible display element layer and a first opposite flexible substrate on the first outer surface of the stacked structure to form a first flexible display device, and sequentially forming a second flexible display on the second outer surface of the laminated structure.
  • the element layer and the second relatively flexible substrate constitute a second flexible display device.
  • the display element layer may be any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, an electrochromic layer, and the like.
  • the first flexible display device and the second flexible display device may also be a single substrate That is, the first and second relatively flexible substrates are not included.
  • the method may further include: providing a support having a first surface and a second surface;
  • step 2 is: providing a fastener at an edge portion of the support member to fix the first and second flexible substrates to the support member to form a laminated structure.
  • the fastener may be any one of a fastener such as a rivet, a screw, a card slot, a buckle, or the like.
  • the above step 4 is: removing the fasteners to separate the first and second flexible display devices from the support member.
  • the first and second flexible substrates are combined into a laminated structure by fasteners, and the first and second flexible display devices are respectively prepared on the first and second flexible substrates, and then Separating the two by removing the fasteners is simple in process and low in cost.
  • the method of inserting the support between the two flexible substrates can be widely applied to various types of flexible substrate processing, and any need for support for good results.
  • a method of manufacturing a flexible display device will be described by taking the connector as a vacuum adsorption substrate as an example.
  • the method of manufacturing the flexible display device provided by the present embodiment may include, for example, the following steps.
  • a vacuum adsorption substrate 900 having opposite first and second surfaces is provided, and the first and second flexible substrates are respectively adsorbed to the vacuum adsorption substrate by vacuuming the vacuum adsorption substrate.
  • First and second surfaces forming a stacked structure 90;
  • the vacuum adsorption substrate 900 further has four sides connected to the first and second surfaces thereof as shown in FIGS. 7b to 7e, and the vacuum adsorption substrate has a communicating hole inside; the vacuum adsorption substrate The first, second surface and at least one side of the first surface are distributed with an opening penetrating through the inner channel, wherein the at least one side opening is for connecting the vacuuming device.
  • the first flexible display is sequentially formed on the first outer surface 90a of the laminated structure 90.
  • the first flexible display device is formed on the first flexible substrate 301, and the second flexible display device layer 10b and the second flexible substrate 302 are sequentially formed on the second outer surface 90b of the laminated structure 90.
  • Two flexible display devices are sequentially formed on the first flexible display device.
  • the display element layer may be any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, an electrochromic layer, and the like.
  • the first flexible display device and the second flexible display device may also be single-substrate devices, i.e., do not include the first and second relatively flexible substrates.
  • the evacuation device is removed for vacuum release, and the first and second flexible display devices are separated from the vacuum adsorption substrate 900.
  • the first and second flexible substrates are combined by vacuum adsorption of the substrate, and the upper and lower substrates can be processed simultaneously in part of the process, thereby improving production efficiency and simplifying the separation mode. It does not cause damage to the substrate, and can be applied to any process that requires separation of two or more substrates and requires separation.
  • the method of manufacturing the flexible display device provided by the present embodiment may include, for example, the following steps.
  • first display device having a first substrate, a first flexible display element layer, and a first relatively flexible substrate
  • second display device having a second substrate, a second flexible display element layer, and a second relatively flexible substrate
  • the upper surface of the first relatively flexible substrate serves as a first surface of the first display device
  • the lower surface of the first substrate serves as a second surface of the first display device
  • the upper surface of the second opposite flexible substrate serves as a second display device A surface
  • the lower surface of the second substrate serves as a second surface of the second display device.
  • the display element layer is any one of an organic electroluminescent layer, a liquid crystal display layer, an electrophoretic display layer, an electrowetting layer, an electrochromic layer, and the like.
  • the connecting member may be an adhesive layer, a vacuum adsorption substrate, a fastener or Any of his connection methods.
  • the problem that the precision of the processing difficulty of the conventional flexible display device is not well controlled is solved by forming the display device first and then combining the two display devices to be thinned.
  • the combination of the two display devices for thinning makes them flexible, and both surfaces can be thinned at the same time, thereby improving efficiency and reducing cost.
  • the embodiment of the present invention further includes a flexible display device, which includes the flexible display device obtained by the method for manufacturing the flexible display device described in the above embodiments, and the flexible display device may be a mobile phone or a computer. , digital cameras, electronic billboards, etc., and any device that can be used with flexible display devices.

Landscapes

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Abstract

一种柔性显示器件（70，80）的制造方法，包括：提供具有第一、第二表面的第一柔性基板（101）和具有第三、第四表面的第二柔性基板（102）；通过连接件（11）将第一柔性基板（101）的第二表面和第二柔性基板（102）的第三表面结合，形成层叠结构，其中第一柔性基板（101）的第一表面为层叠结构的第一外表面，第二柔性基板（102）的第四表面为层叠结构的第二外表面；在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层（10a，10b）；将层叠结构的第一柔性基板（101）和第二柔性基板（102）分离。该制造方法可以实现在部分制程中同时处理两个基板，从而提高生产效率，降低生产成本。

Description

性显示器件的制造方法 技术领域
本发明的实施例涉及一种制造柔性显示器件的方法。 背景技术
近年来， 显示器市场发展很快， 尤其是平板显示领域， 如液晶显示器 ( LCD ) , 等离子体显示器（PDP )，有机电致发光显示器（OLED )等， 由 于其可以制造为大尺寸， 薄而轻的显示器件， 得到了越来越广泛的应用。
但是， 现有的液晶显示器、 等离子体显示器、 有机电致发光显示器主要 使用玻璃基板， 由于玻璃基板具有脆性， 易损坏等缺点， 在要求便携化， 轻 薄化， 质轻的移动显示设备领域以及大尺寸显示设备领域的应用上受到了限 制。 因此， 近来， 以柔性基板如塑料基板， 金属箔片等代替玻璃基板制备的 柔性显示器件受到了广泛关注， 在未来的显示技术中也将有更广阔的发展空 间。
柔性基板在带来一系列优点的同时也具有其本身的缺陷， 由于其具有挠 性和热膨胀性等问题， 给显示器件的加工带来不便， 容易出现基板下垂， 甚 至产生褶皱或断裂，很难精准的进行后续膜层的制备工序。为了解决该问题， 需要将柔性基板贴附于刚性的基板如玻璃基板上， 用以支撑和固定柔性基板 以利于薄膜的形成， 之后再将支撑基板去除。 这样可以利用现有玻璃基板加 工设备制备柔性显示器件， 达到简化工艺和节约成本的目的。 但该过程也无 疑增加了工艺过程的复杂性和生产成本， 并且在贴附和分离柔性基板的过程 中也容易造成基板的损坏， 影响产品性能。 发明内容
本发明的实施例提供了一种柔性显示器件的制造方法， 可以在部分制造 处理的过程中， 一次性处理两块柔性显示器件， 因此生产能力大大提升， 并 且可以节约生产成本， 提高产品良率和生产效率。
本发明的一个方面公开了一种柔性显示器件的制造方法。 所述柔性显示 器件的制造方法， 包括： 提供具有第一、 第二表面的第一柔性基板和具有第 三、 第四表面的第二柔性基板； 通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第 二柔性基板的第三表面结合， 形成层叠结构， 其中第一柔性基板的第一表面 为层叠结构的第一外表面， 第二柔性基板的第四表面为层叠结构的第二外表 面； 在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层； 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的， 所述柔性显示器件的制造方法， 例如， 在所述在层叠结构的 第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层之后，还可以包括： 在第一、 第二柔性显示元件层上形成第一、 第二相对柔性基板。
进一步的， 所述柔性显示器件的制造方法， 例如， 还可以包括： 提供一 支撑件， 该支撑件具有相对的第一表面和第二表面； 所述通过连接件将第一 柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合形成层叠结构可以为： 通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定 到所述支撑件的第一、 第二表面， 形成层叠结构。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔 性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、 第二表面可以包括： 通过 粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面粘合在支撑 件的第一、 第二表面。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔 性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、 第二表面可以包括： 通过 粘结剂层将第一、 第二柔性基板的周边区域与支撑件的第一表面和第二表面 的周边区域粘合。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔 性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、 第二表面还可以包括： 在 支撑件第一表面和第二表面的中央区域分别设置支撑柔性基板的隔垫物， 将 第一、 第二柔性基板与支撑件隔开。
进一步的， 例如， 所述第一、 第二柔性基板可以为玻璃基板； 所述通过 连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合可以包 括： 通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面粘 合。 进一步的， 例如， 所述第一、 第二柔性基板为玻璃基板； 所述通过连接 件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合可以包括： 通 过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面的周边区 域粘合。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔 性基板的第三表面结合还可以包括： 在所述第一柔性基板的第二表面和第二 柔性基板第三表面的中央区域设置支撑柔性基板的隔垫物， 将第一、 第二柔 性基板隔开。
进一步的， 例如， 所述隔垫物是可以移除的。
进一步的， 例如， 所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离 可以包括： 通过溶剂溶解粘结剂层， 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性 基板分离。
进一步的， 例如， 所述粘结剂层可以含有基于硅烷的粘结剂， 所述溶剂 可以为四氢呋喃溶液。
进一步的， 例如， 所述层叠结构可以是透明的； 所述将层叠结构的第一 柔性基板和第二柔性基板分离可以包括： 从层叠结构的上下表面激光照射粘 结剂层， 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的， 例如， 所述粘结剂层可以含有聚酰亚胺。
进一步的， 例如， 所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离 可以包括： 从层叠结构的侧面通过激光照射粘结剂层， 将层叠结构的第一柔 性基板和第二柔性基板分离。
进一步的， 例如， 所述粘结剂层可以含有聚酰亚胺。
进一步的， 例如， 在所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二 柔性基板的第三表面结合之前， 还可以包括： 在第一柔性基板的第二表面和 第二柔性基板的第三表面形成緩冲层。
进一步的， 例如， 所述緩冲层可以为 SiN:H或 a-Si:H层。
进一步的， 例如， 所述层叠结构可以是透明的； 所述将层叠结构的第一 柔性基板和第二柔性基板分离可以包括： 从所述层叠结构上下表面激光照射 所述緩冲层， 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的， 例如， 所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离 可以包括： 在粘结剂层内侧设置切割线， 沿所述切割线进行切割， 将层叠结 构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔 性基板的第三表面结合可以包括： 提供具有相对的第一、 第二表面的真空吸 附基板， 通过对所述真空吸附基板进行抽真空处理将第一、 第二柔性基板分 别吸附于所述真空吸附基板的第一、 第二表面； 所述将层叠结构的第一柔性 基板和第二柔性基板分离可以包括： 通过所述真空吸附基板内部真空释放使 所述第一柔性基板和所述第二柔性基板均与所述真空吸附基板相脱离。
进一步的， 例如， 所述真空吸附基板还可以具有与其第一、 第二表面相 接的四个侧面， 而且所述真空吸附基板内部具有相通的孔道； 在所述真空吸 附基板的第一、 第二表面和至少一个侧面上分布有与内部孔道贯通的开孔， 其中所述至少一个侧面的开孔用于连接抽真空设备。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔 性基板的第三表面结合可以包括： 在第一、 第二柔性基板周边区域设置紧固 件将第一、 第二柔性基板结合为层叠结构。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔 性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、 第二表面可以包括： 在第 一、 第二柔性基板周边区域设置紧固件将第一、 第二柔性基板与支撑件结合 为层叠结构。
进一步的， 例如， 所述柔性显示元件层可以为有机电致发光层、 液晶显 示层、 电泳显示层、 电润湿层、 电致变色层中的任意一种。
本发明的另一个方面还提供了一种柔性显示器件的制造方法， 还可以包 括： 提供具有第一基板、 第一柔性显示元件层和第一相对柔性基板的第一显 示器件； 提供具有第二基板、 第二柔性显示元件层和第二相对柔性基板的第 二显示器件； 通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面和第二 显示器件的第二相对柔性基板外表面结合， 形成层叠结构； 将所述层叠结构 的第一、 第二外表面进行薄化； 将第一、 第二显示器件分离。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板 外表面和第二显示器件的第二相对柔性基板外表面结合可以包括： 通过粘结 剂层将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面和第二显示器件的第二相对 柔性基板外表面粘合。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板 和第二显示器件的第二相对柔性基板结合可以包括： 通过粘结剂层将第一显 示器件的第一相对柔性基板外表面的周边区域和第二显示器件的第二相对柔 性基板外表面的周边区域粘合。
进一步的， 例如， 所述通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板 和第二显示器件的第二相对柔性基板结合还可以包括： 在第一、 第二相对柔 性基板中央区域设置隔垫物， 将第一、 第二显示器件隔开。
进一步的， 例如， 所述隔垫物可以是可移除的。
进一步的， 例如， 所述层叠结构可以是透明的； 所述将第一、 第二显示 器件分离可以包括： 从所述层叠结构上下表面激光照射粘结剂层， 将第一、 第二显示器件分离。
进一步的， 例如， 所述将第一、 第二显示器件分离可以包括： 从所述层 叠结构侧面激光照射粘结剂层， 将第一、 第二显示器件分离。
进一步的， 例如， 所述粘结剂层可以含有聚酰亚胺。
进一步的， 例如， 在所述通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基 板和第二显示器件的第二相对柔性基板结合， 形成层叠结构之前， 还可以包 括： 在第一相对柔性基板和第二相对柔性基板上形成緩冲层。
进一步的， 例如， 所述緩冲层可以为 SiN:H或 a-Si:H层。
进一步的， 例如， 所述层叠结构可以是透明的； 所述将第一、 第二显示 器件分离可以包括： 从层叠结构上下表面激光照射所述緩冲层将第一、 第二 显示器件分离。
进一步的， 例如， 所述将第一、 第二显示器件分离可以包括： 在第一、 第二相对柔性基板周边区域形成的粘结剂层内侧设置切割线， 沿所述切割线 进行切割， 将第一、 第二显示器件分离。
进一步的， 例如， 所述柔性显示元件层可以为有机电致发光层、 液晶显 示层、 电泳显示层、 电润湿层、 电致变色层中的任意一种。
本发明的再一个方面还提供了一种柔性显示装置， 包括釆用以上所述任 一种制造方法形成的柔性显示器件。 附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案， 下面将对实施例的附图作 简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例， 而非对本发明的限制。
图 la为柔性显示器件制造方法的第一种实施方式；
图 2a~2d为柔性显示器件制造方法的第二种实施方式；
图 3a~3b为柔性显示器件制造方法的第三种实施方式；
图 4a~4d为柔性显示器件制造方法的第四种实施方式；
图 5a~5d为柔性显示器件制造方法的第五种实施方式；
图 6a~6e为柔性显示器件制造方法的第六种实施方式；
图 7a~7f为柔性显示器件制造方法的第八种实施方式；
图 8为柔性显示器件制造方法的第九种实施方式。 具体实施方式
为使本发明实施例的目的、 技术方案和优点更加清楚， 下面将结合本发 明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、 完整地描述。显然， 所描述的实施例是本发明的一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于所描 述的本发明的实施例， 本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获 得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。
除非另作定义， 此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领 域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。 本发明专利申请说明书以及权 利要求书中使用的 "第一" 、 "第二" 以及类似的词语并不表示任何顺序、 数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样， "一个 "或者 "一" 等类似词语也不表示数量限制， 而是表示存在至少一个。 "包括" 或者 "包 含" 等类似的词语意指出现在 "包括" 或者 "包含" 前面的元件或者物件涵 盖出现在 "包括" 或者 "包含" 后面列举的元件或者物件及其等同， 并不排 除其他元件或者物件。 "连接" 或者 "相连" 等类似的词语并非限定于物理 的或者机械的连接， 而是可以包括电性的连接， 不管是直接的还是间接的。 "上" 、 "下" 、 "左" 、 "右" 等仅用于表示相对位置关系， 当被描述对 象的绝对位置改变后， 则该相对位置关系也可能相应地改变。 本发明的实施例提供了一种柔性显示器件的制造方法， 可以利用现有设 备制造柔性显示器件， 并且可以在部分制造处理的过程中， 一次性处理两个 柔性显示器件。
实施例一
参考附图 la, 本实施所提供的柔性显示器件的制造方法可以包括以下步 骤。
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板，提供具有第一表面和 第二表面的第二柔性基板。
2、通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第一表面结 合， 形成层叠结构， 其中第一柔性基板的第一表面和第二柔性基板的第二表 面分别作为层叠结构的第一、 第二外表面。
在步骤 2中， 所述连接件可以是粘结剂层、 真空吸附基板、 紧固件或其 他连接方式中的任意一种。
3、在层叠结构的第一、 第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件 层。
在步骤 3中， 在所述在层叠结构的第一、 第二外表面上分别形成第一、 第二柔性显示元件层之后， 还可以包括： 在第一、 第二柔性显示元件层上分 别形成第一、 第二柔性相对基板。
在步骤 3中， 所述显示元件层可以为有机电致发光层、 液晶显示层、 电 泳显示层、 电润湿层、 电致发光层等的任意一种。
4、 将层叠结构中的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
在步骤 4中，对应不同的连接件，所述分离操作相应地可以为溶解分离、 激光分离、 真空释放、 紧固件拆除等的任意一种。
本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 可以利用现有设备制造柔性显 示器件， 并且可以在部分处理工序中同时对两个显示器件进行加工， 从而简 化了工艺， 达到提高生产效率和降低成本的目的。
实施例二
参考附图 2a~2d, 所述柔性显示器件的制备方法包括以下步骤。
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板 101 , 提供具有第一表 面和第二表面的第二柔性基板 102。第一柔性基板 101的第二表面 101b和第 二柔性基板 102的第一表面 102a具有保护层（图中未示出） 。
2、 如图 2a, 在第一柔性基板 101的第二表面 101b和第二柔性基板 102 的第一表面 102a之间设置粘结剂层 11 , 形成层叠结构 50。
在步骤 2中， 如图 2b, 也可以仅在第一柔性基板 101的第二表面 101b 和第二柔性基板 102的第一表面 102a的周边区域设置粘结剂层 11 , 中央区 域设置可以移除的隔垫物 400,将第一、第二柔性基板结合形成层叠结构 50。 所述隔垫物 400的形状可选为方形、 圓形、 椭圓形以及任意其他形状， 其作 用是将第一、 第二柔性基板隔开， 并可以支撑第一、 第二柔性基板， 便于在 柔性基板上进行膜层制备工艺。
在步骤 2中， 所述第一、 第二柔性基板为薄玻璃基板， 其厚度可以为不 大于 30 μ πι, 不小于 20 μ πι。
在步骤 2中， 所述粘结剂层可选择为由基于硅烷的粘结剂形成。
3、 如图 2c~2d, 在所述层叠结构 50的第一外表面 50a依次形成第一柔 性显示元件层 10a和第一相对柔性基板 301 , 构成第一柔性显示器件 70, 在 所述层叠结构 50的第二外表面 50b依次形成第二柔性显示元件层 10b和第二 相对柔性基板 302, 构成第二柔性显示器件 80。
在步骤 3中， 所述显示元件层可以为有机电致发光层、 液晶显示层、 电 泳显示层、 电润湿层、 电致变色层等的任意一种； 所述第一柔性显示器件 70 的外表面 70a和第二柔性显示器件 80的外表面 80b可以具有保护层（图中未 示出） 。
在步骤 3中， 第一柔性显示器件 70和第二柔性显示器件 80也可以为单 基板器件， 即不包括第一、 第二相对柔性基板。
4、 将层叠结构浸泡于溶剂中， 将第一、 第二柔性显示器件分离。
在步骤 4中， 所述溶剂可选为四氢呋喃溶液。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 通过粘结剂层将第一、 第二 柔性基板结合为层叠结构， 使得两个柔性基板互为支撑， 从而在后续的制程 中可以方便的进行加工处理， 并且提高生产效率。
实施例三
上述过程是本实施例中提供的一个具体实现的示例； 在本实施例的另一 示例中， 还可以包括： 提供具有第一表面和第二表面的支撑件 100;
相应地， 上述步骤 2可为： 如图 3a所示， 在支撑件 100的第一表面上形 成粘结剂层 11a,在支撑件 100的第二表面上形成粘结剂层 l ib,将第一柔性 基板 101贴附于支撑件 100的第一表面 100a, 第二柔性基板 102贴附于支撑 件 100的第二表面 100b, 形成层叠结构 60。
在步骤 2中， 如图 3b所示， 也可以仅在支撑件 100的第一表面 100a的 周边区域上形成粘结剂层 11a, 中央区域设置可以移除的隔垫物 400a, 在支 撑件 100的第二表面 100b的周边区域上形成粘结剂层 l ib, 中央区域设置可 以移除的隔垫物 400b, 将第一柔性基板 101贴附于支撑件 100的第一表面 100a, 第二柔性基板 102贴附于支撑件 100的第二表面 100b, 形成层叠结构 60。 所述隔垫物 400a和 400b的形状可选为方形、 圓形、 椭圓形以及任意其 他形状， 其作用是将第一、 第二柔性基板隔开， 并可以支撑第一、 第二柔性 基板， 便于在柔性基板上进行膜层制备工艺。
在步骤 2中， 所述粘结剂层可选为由基于硅烷的粘结剂形成。
上述步骤 4为： 将层叠结构浸泡于溶剂中， 将第一、 第二柔性显示器件 从支撑件 100上分离。
在步骤 4中， 所述溶剂可选为四氢呋喃溶液。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 在第一、 第二柔性基板之间 通过粘结剂层固定于一支撑件上进行后续膜层制备工艺， 该方法适用于塑料 基板、 金属箔片、 薄玻璃基板等各类柔性基板的加工处理以及任何需要支撑 以达到良好效果的目的。
实施例四
在本实施例中， 将以所述连接件为粘结剂层为例来介绍柔性显示器件的 制造方法的另一种实施方式。
参考图 4a~4d所示， 本实施所提供的柔性显示器件的制造方法， 可以包 括以下步骤。
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板 101 , 提供具有第一表 面和第二表面的第二柔性基板 102。
2、 如图 4a, 在第一柔性基板 101的第二表面 101b和第二柔性基板 102 的第一表面 102a设置粘结剂层 11 , 形成层叠结构 50。 在步骤 2中， 如图 4b, 也可以仅在第一柔性基板 101的第二表面 101b 和第二柔性基板 102的第一表面 102a周边区域设置粘结剂层 11 , 中央区域 设置可以移除的隔垫物 400, 将第一、 第二柔性基板结合形成层叠结构 50。 所述隔垫物 400的形状可选为方形、 圓形、 椭圓形以及任意其他形状， 其作 用是将第一、 第二柔性基板隔开， 并可以支撑第一、 第二柔性基板， 便于在 柔性基板上进行膜层制备工艺。
在步骤 2中， 如图 4c, 还可以为在第一柔性基板 101的第二表面 101b 和第二柔性基板 102的第一表面 102a设置粘结剂层 11之前， 在第一柔性基 板 101的第二表面 101b和第二柔性基板 102的第一表面 102a设置緩冲层 12a 和 12b, 所述緩冲层可选为 SiN:H或 a-Si:H层。
在步骤 2中， 如图 4d, 还可以为在第一柔性基板 101的第二表面 101b 和第二柔性基板 102的第一表面 102a周边区域设置粘结剂层 11之前， 在第 一柔性基板 101的第二表面 101b和第二柔性基板 102的第一表面 102a设置 緩冲层 12a和 12b, 所述緩冲层可选为为 SiN:H或 a-Si:H层。
在步骤 2中， 所述第一、 第二柔性基板可选为玻璃基板， 其厚度例如可 选为不大于 30 μ πι, 不小于 20 μ πι。
在步骤 2中， 所述粘结剂层可选为含有聚酰亚胺成分的粘结剂形成。
3、 在所述层叠结构 50的第一外表面 50a依次形成第一柔性显示元件层 10a和第一相对柔性基板 301 , 构成第一柔性显示器件 70, 在所述层叠结构 50的第二外表面 50b依次形成第二柔性显示元件层 10b和第二相对柔性基板 302, 构成第二柔性显示器件 80。
在步骤 3中， 所述显示元件层可以为有机电致发光层、 液晶显示层、 电 泳显示层、 电润湿层、 电致变色层等的任意一种。
在步骤 3中， 第一柔性显示器件 70和第二柔性显示器件 80也可以为单 基板器件， 即不包括第一、 第二相对柔性基板。
4、 用激光照射粘结剂层 11或緩冲层 12, 将第一柔性显示器件 70和第 二柔性显示器件 80分离。
在步骤 4中，如图 4a,对应步骤 2中在第一柔性基板 101的第二表面 101b 和第二柔性基板 102的第一表面 102a设置粘结剂层 11的方式， 从层叠结构 上下表面激光照射粘结剂层 11 , 将第一、 第二柔性显示器件 70和 80分离， 所述第一、 第二柔性显示器件 70和 80是透明的。
在步骤 4中， 如图 4b, 对应步骤 2中仅在第一柔性基板 101的第二表面 10 lb和第二柔性基板 102的第一表面 102a周边区域设置粘结剂层 11的方式， 从层叠结构的侧面激光照射粘结剂层 11 , 将第一、 第二柔性显示器件 70和 80分离。
在步骤 4中，如图 4c,对应步骤 2中在第一柔性基板 101的第二表面 101b 和第二柔性基板 102的第一表面 102a设置粘结剂层 11之前， 在第一柔性基 板 101的第二表面 101b和第二柔性基板 102的第一表面 102a设置緩冲层的 方式， 从层叠结构上下表面激光照射緩冲层 12a和 12b, 将第一、 第二柔性 显示器件 70和 80分离； 所述第一、 第二柔性显示器 70和 80是透明的。
在步骤 4中，如图 4d,对应步骤 2中在第一柔性基板 101的第二表面 101b 和第二柔性基板 102的第一表面 102a周边区域设置粘结剂层 11之前， 在第 一柔性基板 101的第二表面 101b和第二柔性基板 102的第一表面 102a设置 緩冲层的方式， 从层叠结构的侧面激光照射緩冲层 12a和 12b, 将第一、 第 二柔性显示器件 70和 80分离。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 通过粘结剂层将第一、 第二 柔性基板结合， 釆用激光照射的方式将第一、 第二柔性显示器件分离， 可以 实现在部分工序中对上下两个基板进行加工处理， 提高生产效率， 同时由于 工艺简单， 容易实现， 也可以达到降低成本的目的。
实施例五
上述过程是本实施例中提供的一个具体实现的示例； 在本实施例的另一 示例中， 还可以包括： 提供具有第一表面和第二表面的支撑件 100。
相应地， 上述步骤 2为： 如图 5a, 在支撑件 100的第一表面 100a上形 成粘结剂层 11a, 在支撑件 100的第二表面 100b上形成粘结剂层 l ib, 将第 一柔性基板 101贴附于支撑件 100的第一表面 100a, 第二柔性基板 102贴附 于支撑件 100的第二表面 100b, 形成层叠结构 60。
在步骤 2中， 如图 5b, 也可以为仅在支撑件 100的第一表面 100a的周 边区域上形成粘结剂层 11a, 中央区域设置可以移除的隔垫物 400a, 在支撑 件 100的第二表面 100b的周边区域上形成粘结剂层 l ib, 中央区域设置可以 移除的隔垫物 400b,将第一柔性基板 101贴附于支撑件 100的第一表面 100a, 第二柔性基板 102贴附于支撑件 100的第二表面 100b,形成层叠结构 60。所 述隔垫物 400a和 400b的形状可选为方形、 圓形、椭圓形以及任意其他形状， 其作用是将第一、 第二柔性基板隔开， 并可以支撑第一、 第二柔性基板， 便 于在柔性基板上进行膜层制备工艺。
在步骤 2中， 如图 5c, 还可以为在支撑件 100的第一表面和第二表面上 形成粘结剂层之前， 在第一柔性基板 101 的第二表面 101b和第二柔性基板 102的第一表面 102a设置緩冲层 12a和 12b, 所述緩冲层可选为 SiN:H或 a-Si:H层。
在步骤 2中， 如图 5d, 还可以为在支撑件 100的第一表面和第二表面的 周边区域上形成粘结剂层之前，在第一柔性基板 101的第二表面 101b和第二 柔性基板 102的第一表面 102a设置緩冲层 12a和 12b, 所述緩冲层可选为 SiN:H或 a-Si:H层。
在步骤 2中， 所述粘结剂层可选为含有聚酰亚胺成分的粘结剂形成。 上述步骤 4为： 激光照射粘结剂层 11a和 l ib或緩冲层 12a和 12b, 将 第一柔性显示器件 70和第二柔性显示器件 80从支撑件 100上分离。
在步骤 4中， 如图 5a, 对应步骤 2中在支撑件 100的第一表面 100a和 第二表面 100b上形成粘结剂层的方式,从层叠结构上下表面激光照射粘结剂 层 11a和 l ib将第一、 第二柔性显示器件 70和 80从支撑件 100上分离， 所 述第一、 第二柔性显示器件 70和 80是透明的。
在步骤 4中， 如图 5b, 对应步骤 2中仅在支撑件 100的第一表面 100a 和第二表面 100b周边区域设置粘结剂层的方式,从层叠结构的侧面激光照射 粘结剂层 11a和 l ib, 将第一、 第二柔性显示器件 70和 80从支撑件 100上 分离。
在步骤 4中， 如图 5c, 对应步骤 2中在支撑件 100的第一表面和第二表 面上形成粘结剂层之前，在第一柔性基板 101的第二表面 101b和第二柔性基 板 102的第一表面 102a分别设置緩冲层 12a和 12b的方式，从层叠结构上下 表面激光照射緩冲层 12a和 12b, 将第一、 第二柔性显示器件 70和 80从支 撑件 100上分离； 所述第一、 第二柔性显示器件 70和 80是透明的。
在步骤 4中， 如图 5d, 对应步骤 2中在支撑件 100的第一表面和第二表 面的周边区域上形成粘结剂层之前， 在第一柔性基板 101 的第二表面 101b 和第二柔性基板 102的第一表面 102a分别设置緩冲层 12a和 12b的方式，从 层叠结构的侧面激光照射緩冲层 12a和 12b, 将第一、 第二柔性显示器件 70 和 80从支撑件 100上分离。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 将第一、 第二柔性基板通过 粘结剂层固定于一支撑件上， 通过激光照射的方式将第一、 第二柔性基板从 支撑件上分离， 工艺容易实现， 可以提高产品良率， 降低生产成本。 该方法 适用于塑料基板、 金属箔片、 薄玻璃基板等各类柔性基板以及各种需要支撑 以达到良好效果的目的。
实施例六
在本实施例中， 将以所述连接件为粘结剂层为例来介绍柔性显示器件的 制造方法的另一种实施方式。
参考图 6a~6e所示， 本实施所提供的柔性显示器件的制造方法， 具体可 以包括以下步骤：
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板 101 , 提供具有第一表 面和第二表面的第二柔性基板 102。
2、 如图 6a~6b, 将第一、 第二柔性基板划分为多个柔性面板 200, 在每 个柔性面板 200的周边区域设置粘结剂层 13 , 中央区域设置隔垫物 400, 将 第一、 第二柔性基板贴附形成层叠结构 500。
在步骤 2中， 所述第一、 第二柔性基板可选为玻璃基板， 其厚度可选为 不大于 30 μ πι, 不小于 20 μ πι。
3、 如图 6c, 在所述层叠结构 500的第一外表面 500a依次形成第一柔性 显示元件层 10a和第一相对柔性基板 301 , 构成多个第一柔性显示器件； 在 所述层叠结构 500的第二外表面 500b依次形成第二柔性显示元件层 10b和第 二相对柔性基板 302, 构成多个第二柔性显示器件。
在步骤 3中， 所述显示元件层可以为有机电致发光层、 液晶显示层、 电 泳显示层、 电润湿层、 电致变色层等的任意一种。
在步骤 3中， 第一柔性显示器件和第二柔性显示器件也可以为单基板器 件， 即不包括第一、 第二相对柔性基板。
4、如图 6d,在粘结剂层 13的内侧设置切割线 20,通过切割将各个相对 的第一、 第二柔性显示器件分离。 上述过程是本实施例中提供了一个具体实现的示例； 在本实施例的另一 示例中， 还可以包括： 提供具有第一表面和第二表面的支撑件 100;
相应地， 上述步骤 2为： 如图 6e, 将第一、 第二柔性基板划分为多个柔 性面板， 在每个柔性面板 200的周边区域设置粘结剂层 13 , 中央区域设置隔 垫物 400, 将第一、 第二柔性基板贴附于支撑件 100的第一、 第二表面， 形 成层叠结构 600。
上述步骤 4为： 在粘结剂层 13的内侧设置切割线 20, 通过切割将各个 相对的第一、 第二柔性显示器件从支撑件 100上分离。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 通过粘结剂层将两个柔性基 板结合为层叠结构，通过切割将各个柔性显示器件进行分离，工艺简单易行, 对面板不会造成损害， 可以同时批量生产多个显示器件， 提高生产效率。 在 两个柔性基板之间插入支撑件的方式， 可以广泛适用于各类柔性基板加工， 以及任何需要支撑以达到良好效果的目的。
实施例七
在本实施例中， 将以所述连接件为紧固件为例来介绍柔性显示器件的制 造方法， 例如可以包括以下步骤：
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板，提供具有第一表面和 第二表面的第二柔性基板。
2、 在第一、 第二柔性基板的边缘部分设置紧固件， 以固定第一、 第二柔 性基板， 形成层叠结构。
在步骤 2中， 所述第一、 第二柔性基板可选为玻璃基板， 其厚度可选为 不大于 30 μ πι, 不小于 20 μ πι。
在步骤 2中， 所述紧固件可以为铆钉， 螺钉， 卡槽、 卡扣等紧固件中的 任意一种。
3、在所述层叠结构的第一外表面依次形成第一柔性显示元件层和第一相 对柔性基板， 构成第一柔性显示器件， 在所述层叠结构的第二外表面依次形 成第二柔性显示元件层和第二相对柔性基板， 构成第二柔性显示器件。
在步骤 3中， 所述显示元件层可以为有机电致发光层、 液晶显示层、 电 泳显示层、 电润湿层、 电致变色层等的任意一种。
在步骤 3中， 第一柔性显示器件和第二柔性显示器件也可以为单基板器 件， 即不包括第一、 第二相对柔性基板。
4、 去除紧固件， 将第一、 第二柔性显示器件分离。
上述过程是本实施例中提供了一种实现的示例； 在本实施例的另一示例 中， 还可以包括： 提供具有第一表面和第二表面的支撑件；
相应地， 上述步骤 2为： 在支撑件的边缘部分设置紧固件， 将第一、 第 二柔性基板固定于支撑件上， 形成层叠结构。
在步骤 2中， 所述紧固件可以为铆钉， 螺钉， 卡槽、 卡扣等紧固件中的 任意一种。
上述步骤 4为： 去除紧固件， 将第一、 第二柔性显示器件从支撑件上分 离。
本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 通过紧固件将第一、 第二柔性 基板结合为层叠结构， 分别在第一、 第二柔性基板上制备第一、 第二柔性显 示器件， 之后通过去除紧固件将二者分离， 工艺简单， 成本较低。 在两个柔 性基板之间插入支撑件的方式， 可以广泛适用于各类柔性基板加工， 以及任 何需要支撑以达到良好效果的目的。
实施例八
在本实施例中， 将以所述连接件为真空吸附基板为例来介绍柔性显示器 件的制造方法。
参考图 7a~7e所示， 本实施所提供的柔性显示器件的制造方法， 例如可 以包括以下步骤。
1、提供具有第一表面和第二表面的第一柔性基板 101 , 提供具有第一表 面和第二表面的第二柔性基板 102。
2、 如图 7a, 提供具有相对的第一、 第二表面的真空吸附基板 900, 通过 对所述真空吸附基板进行抽真空处理将第一、 第二柔性基板分别吸附于所述 真空吸附基板的第一、 第二表面， 形成层叠结构 90;
在步骤 2中， 如图 7b~7e所述真空吸附基板 900还具有与其第一、 第二 表面相接的四个侧面， 而且所述真空吸附基板内部具有相通的孔道； 在所述 真空吸附基板的第一、 第二表面和至少一个侧面上分布有与内部孔道贯通的 开孔， 其中所述至少一个侧面的开孔用于连接抽真空设备。
3、 如图 7f, 在所述层叠结构 90的第一外表面 90a依次形成第一柔性显 示元件层 10a和第一相对柔性基板 301 , 构成第一柔性显示器件， 在所述层 叠结构 90的第二外表面 90b依次形成第二柔性显示元件层 10b和第二相对柔 性基板 302, 构成第二柔性显示器件。
在步骤 3中， 所述显示元件层可以为有机电致发光层、 液晶显示层、 电 泳显示层、 电润湿层、 电致变色层等的任意一种。
在步骤 3中， 第一柔性显示器件和第二柔性显示器件也可以为单基板器 件， 即不包括第一、 第二相对柔性基板。
4、去除抽真空设备进行真空释放，将第一、 第二柔性显示器件与真空吸 附基板 900分离。
本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 通过真空吸附基板将第一、 第 二柔性基板结合， 可以在部分工序中同时对上下两个基板进行加工处理， 提 高生产效率， 并且分离方式简单， 不会对基板造成损害， 可以适用于任何需 要将两个或多个基板结合后需要再进行分离的过程。
实施例九
在本实施例中， 将以所述连接件为粘结剂层为例来介绍柔性显示器件的 制造方法的另一种实施方式。
参考图 8a所示，本实施所提供的柔性显示器件的制造方法，例如可以包 括以下步骤。
1、提供具有第一基板、第一柔性显示元件层和第一相对柔性基板的第一 显示器件， 提供具有第二基板、 第二柔性显示元件层和第二相对柔性基板的 第二显示器件， 其中第一相对柔性基板的上表面作为第一显示器件的第一表 面， 第一基板的下表面作为第一显示器件的第二表面， 第二相对柔性基板的 上表面作为第二显示器件的第一表面， 第二基板的下表面作为第二显示器件 的第二表面。
在步骤 1中， 所述显示元件层为有机电致发光层、 液晶显示层、 电泳显 示层、 电润湿层、 电致变色层等的任意一种。
2、通过连接件将第一显示器件的第一表面和第二显示器件的第一表面结 合， 形成层叠结构， 其中第一显示器件的第二表面和第二显示器件的第二表 面分别作为层叠结构的第一、 第二外表面。
在步骤 2中， 所述连接件可以是粘结剂层、 真空吸附基板、 紧固件或其 他连接方式中的任意一种。
3、通过化学蚀刻、机械抛光或者二者的结合或者其他任何用于薄化玻璃 板的方式将所述层叠结构的第一、 第二外表面进行薄化， 其厚度可选为不大 于 30 μ m。
4、 将第一、 第二显示器件分离。
在本实施例中的柔性显示器件的制造方法， 通过先形成显示器件， 后将 两个显示器件结合进行薄化的方式， 解决了普通柔性显示器件加工困难精度 不好控制的问题， 并且通过将两个显示器件结合起来进行薄化使之获得柔性 的方式， 可以同时对两个表面进行薄化， 进而提高效率， 降低成本。
本发明的实施例还包括一种柔性显示装置， 所述柔性显示装置包括釆用 以上各实施例所述的柔性显示器件的制造方法得到的柔性显示器件， 所述柔 性显示装置可以为手机、 电脑、 数码相机、 电子广告牌等以及任何可以应用 柔性显示器件的装置。
以上所述仅是本发明的示范性实施方式， 而非用于限制本发明的保护范 围， 本发明的保护范围由所附的权利要求确定。

Claims

权利要求书
1. 一种柔性显示器件的制造方法， 包括：
提供具有第一、 第二表面的第一柔性基板和具有第三、 第四表面的第二 柔性基板；
通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结 合，形成层叠结构，其中第一柔性基板的第一表面为层叠结构的第一外表面， 第二柔性基板的第四表面为层叠结构的第二外表面；
在层叠结构的第一、第二外表面上分别形成第一、第二柔性显示元件层； 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
2. 根据权利要求 1所述的制造方法， 在所述在层叠结构的第一、 第二外 表面上分别形成第一、 第二柔性显示元件层之后， 还包括： 在第一、 第二柔 性显示元件层上形成第一、 第二相对柔性基板。
3. 根据权利要求 1所述的制造方法， 还包括： 提供一支撑件， 该支撑件 具有相对的第一表面和第二表面； 其中
所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面 结合形成层叠结构为： 通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基 板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、 第二表面， 形成层叠结构。
4. 根据权利要求 3所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一柔性 基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、 第二表面包括： 通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的 第三表面粘合在支撑件的第一、 第二表面。
5. 根据权利要求 3所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一柔性 基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、 第二表面包括： 通过粘结剂层将第一、 第二柔性基板的周边区域与支撑件的 第一表面和第二表面的周边区域粘合。
6. 根据权利要求 5所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一柔性 基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第一、 第二表面还包括： 在支撑件第一表面和第二表面的中央区域分别设置支撑柔 性基板的隔垫物， 将第一、 第二柔性基板与支撑件隔开。
7. 根据权利要求 1所述的制造方法， 其中， 所述第一、 第二柔性基板为 玻璃基板；
所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面 结合包括： 通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三 表面粘合。
8. 根据权利要求 1所述的制造方法， 其中， 所述第一、 第二柔性基板为 玻璃基板；
所述通过连接件将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面 结合包括： 通过粘结剂层将第一柔性基板的第二表面和第二柔性基板的第三 表面的周边区域粘合。
9. 根据权利要求 8所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一柔性 基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合还包括： 在所述第一柔性基 板的第二表面和第二柔性基板第三表面的中央区域设置支撑柔性基板的隔垫 物， 将第一、 第二柔性基板隔开。
10. 根据权利要求 6或 9所述的制造方法， 其中， 所述隔垫物是可移除 的。
11. 根据权利要求 4或 5或 7或 8所述的制造方法， 其中， 所述将层叠 结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括： 通过溶剂溶解粘结剂层， 将 层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
12. 根据权利要求 11的制造方法， 其中， 所述粘结剂层含有基于硅烷的 粘结剂， 所述溶剂为四氢呋喃溶液。
13. 根据权利要求 4或 7所述的制造方法， 其中， 所述层叠结构是透明 的；
所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括： 从层叠结构 的上下表面激光照射粘结剂层， 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板 分离。
14. 根据权利要求 13所述的制造方法， 其中， 所述粘结剂层含有聚酰亚 胺。
15. 根据权利要求 5或 8所述的制造方法， 其中， 所述将层叠结构的第 一柔性基板和第二柔性基板分离包括： 从层叠结构的侧面通过激光照射粘结 剂层， 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
16. 根据权利要求 15所述的制造方法， 其中， 所述粘结剂层含有聚酰亚 胺。
17. 根据权利要求 4或 7所述的制造方法， 在所述通过连接件将第一柔 性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合之前， 还包括： 在第一柔 性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面形成緩冲层。
18. 根据权利要求 17所述的制造方法， 其中， 所述緩冲层为 SiN:H或 a-Si:H层。
19. 根据权利要求 17所述的制造方法， 其中， 所述层叠结构是透明的； 所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括： 从所述层叠 结构上下表面激光照射所述緩冲层， 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性 基板分离。
20. 根据权利要求 5或 8所述的制造方法， 其中， 所述将层叠结构的第 一柔性基板和第二柔性基板分离包括： 在粘结剂层内侧设置切割线， 沿所述 切割线进行切割， 将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离。
21. 根据权利要求 1所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一柔 性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括： 提供具有相对的第 一、 第二表面的真空吸附基板， 通过对所述真空吸附基板进行抽真空处理将 第一、 第二柔性基板分别吸附于所述真空吸附基板的第一、 第二表面；
所述将层叠结构的第一柔性基板和第二柔性基板分离包括： 通过所述真 空吸附基板内部真空释放使所述第一柔性基板和所述第二柔性基板均与所述 真空吸附基板相脱离。
22. 根据权利要求 21所述的制造方法， 其中， 所述真空吸附基板还具有 与其第一、 第二表面相接的四个侧面， 而且所述真空吸附基板内部具有相通 的孔道； 在所述真空吸附基板的第一、 第二表面和至少一个侧面上分布有与 内部孔道贯通的开孔， 其中所述至少一个侧面的开孔用于连接抽真空设备。
23. 根据权利要求 1所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一柔 性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面结合包括： 在第一、 第二柔性 基板周边区域设置紧固件将第一、 第二柔性基板结合为层叠结构。
24. 根据权利要求 3所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一柔 性基板的第二表面和第二柔性基板的第三表面分别固定到所述支撑件的第 一、 第二表面包括： 在第一、 第二柔性基板周边区域设置紧固件将第一、 第 二柔性基板与支撑件结合为层叠结构。
25. 根据权利要求 1所述的制造方法， 其中， 所述柔性显示元件层为有 机电致发光层、 液晶显示层、 电泳显示层、 电润湿层、 电致变色层中的任意 一种。
26. 一种柔性显示器件的制造方法， 包括：
提供具有第一基板、 第一柔性显示元件层和第一相对柔性基板的第一显 示器件；
提供具有第二基板、 第二柔性显示元件层和第二相对柔性基板的第二显 示器件；
通过连接件将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面和第二显示器件 的第二相对柔性基板外表面结合， 形成层叠结构；
将所述层叠结构的第一、 第二外表面进行薄化；
将第一、 第二显示器件分离。
27. 根据权利要求 26所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一显 示器件的第一相对柔性基板外表面和第二显示器件的第二相对柔性基板外表 面结合包括： 通过粘结剂层将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面和第 二显示器件的第二相对柔性基板外表面粘合。
28. 根据权利要求 26所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一显 示器件的第一相对柔性基板和第二显示器件的第二相对柔性基板结合包括： 通过粘结剂层将第一显示器件的第一相对柔性基板外表面的周边区域和第二 显示器件的第二相对柔性基板外表面的周边区域粘合。
29. 根据权利要求 28所述的制造方法， 其中， 所述通过连接件将第一显 示器件的第一相对柔性基板和第二显示器件的第二相对柔性基板结合还包 括： 在第一、 第二相对柔性基板中央区域设置隔垫物， 将第一、 第二显示器 件隔开。
30. 根据权利要求 29所述的制造方法，其中，所述隔垫物是可以移除的。
31. 根据权利要求 27所述的制造方法， 其中， 所述层叠结构是透明的； 所述将第一、 第二显示器件分离包括： 从所述层叠结构上下表面激光照 射粘结剂层， 将第一、 第二显示器件分离。
32. 根据权利要求 28所述的制造方法， 其中所述将第一、 第二显示器件 分离包括： 从所述层叠结构侧面激光照射粘结剂层， 将第一、 第二显示器件 分离。
33. 根据权利要求 27或 28所述的制造方法， 其中， 所述粘结剂层含有 聚酰亚胺。
34. 根据权利要求 27所述的制造方法， 其中， 在所述通过连接件将第一 显示器件的第一相对柔性基板和第二显示器件的第二相对柔性基板结合， 形 成层叠结构之前， 还包括： 在第一相对柔性基板和第二相对柔性基板上形成 緩冲层。
35. 根据权利要求 34所述的制造方法， 其中， 所述緩冲层为 SiN:H或 a-Si:H层。
36. 根据权利要求 34所述的制造方法， 其中， 所述层叠结构是透明的； 所述将第一、 第二显示器件分离包括： 从层叠结构上下表面激光照射所 述緩冲层将第一、 第二显示器件分离。
37. 根据权利要求 28所述的制造方法， 其中， 所述将第一、 第二显示器 件分离包括： 在第一、 第二相对柔性基板周边区域形成的粘结剂层内侧设置 切割线， 沿所述切割线进行切割， 将第一、 第二显示器件分离。
38. 根据权利要求 26所述的制造方法， 其中， 所述柔性显示元件层为有 机电致发光层、 液晶显示层、 电泳显示层、 电润湿层、 电致变色层中的任意 一种。
39. —种柔性显示装置， 包括釆用权利要求 1~38所述任一制造方法形成 的柔性显示器件。
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