JP2009099681A - 基板の個片化方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウエハやシリコン基板等の基板を個片化する際に、個片化された基板のコーナー部での欠けやクラックの発生を防止し、個片の基板の取り扱いを容易にするとともに、製造歩留まりを向上させることができる基板の個片化方法を提供する。
【解決手段】基板１０を個片に分離する分離線Ａを、縦方向と横方向に所定間隔で設定し、前記分離線Ａに沿って基板１０を分離することにより基板１０を個片化する方法であって、前記基板上における前記分離線Ａの各々の交差位置に、個片化された基板のコーナー部を面取りする貫通孔を形成する面取りパターン１４を形成する工程と、基板１０をエッチングして面取り用の貫通孔を形成する工程と、前記分離線Ａに沿って、縦方向と横方向に分離して個片の基板を得る工程とを備える。
【選択図】図１
【解決手段】基板１０を個片に分離する分離線Ａを、縦方向と横方向に所定間隔で設定し、前記分離線Ａに沿って基板１０を分離することにより基板１０を個片化する方法であって、前記基板上における前記分離線Ａの各々の交差位置に、個片化された基板のコーナー部を面取りする貫通孔を形成する面取りパターン１４を形成する工程と、基板１０をエッチングして面取り用の貫通孔を形成する工程と、前記分離線Ａに沿って、縦方向と横方向に分離して個片の基板を得る工程とを備える。
【選択図】図１
Description
本発明は半導体ウエハ、シリコン基板等の基板を個片化する基板の個片化方法に関する。
半導体ウエハから半導体チップを形成する工程、シリコン基板からインターポーザ用の基板（シリコンチップ）を形成する工程等においては、半導体ウエハやシリコン基板をダイシングして個片の半導体チップあるいはシリコンチップを形成する作業がなされる。
図８は、半導体ウエハ５から個片の半導体チップを得るために、半導体ウエハ５をダイシングする例を示す。半導体ウエハ５は、ダイシングテープに貼着して支持し、ダイシングライン６に沿ってダイシング刃を移動させることによって、個片の半導体チップ８に分離される。
図８は、半導体ウエハ５から個片の半導体チップを得るために、半導体ウエハ５をダイシングする例を示す。半導体ウエハ５は、ダイシングテープに貼着して支持し、ダイシングライン６に沿ってダイシング刃を移動させることによって、個片の半導体チップ８に分離される。
なお、半導体ウエハやシリコン基板を個片化する方法には、回転刃を用いてダイシングする方法の他に、基板に切削溝を設けてブレーキングによって個片化する方法、基板の分離位置に疵をつけて個片に分割する方法、レーザ光を用いて切断する方法等がある。
特開２００４−２３５６２６号公報
特開２００７−５９４５２号公報
半導体ウエハやシリコン基板を縦横方向に切断あるいはブレーキングして個片化して得られる半導体チップあるいはシリコンチップは、平面形状が四角形でコーナー部が鋭角に形成されるから、ダイシング時にコーナー部分に応力が集中しやすく、コーナー部が欠けたり、コーナー部にクラックが生じたりするという問題がある。また、半導体チップやシリコンチップを搬送したり、実装基板に接合したりする際に、半導体チップやシリコンチップが破損するといった問題があった。とくに、半導体チップやシリコンチップの厚さが薄いと、強度が低下し、取り扱い時に破損しやすくなるといった問題があった。
このような半導体ウエハやシリコン基板から、個片の半導体チップやシリコンチップを形成する場合に、チップのコーナー部が欠けたり、切断位置にチッピングが生じたりするという問題は、半導体ウエハやシリコン基板を扱う場合に限らず、ガラス基板あるいはセラミック基板といった基板をダイシングして個片の単位基板とする工程においても同様に起こり得る。
本発明はこれらの課題を解消すべくなされたものであり、半導体ウエハやシリコン基板等の基板を個片化する際に、個片化された基板のコーナー部での欠けやクラックの発生を防止し、個片基板の強度を向上させることによって、取り扱いを容易にするとともに、製造歩留まりを向上させることができる基板の個片化方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は次の構成を備える。
すなわち、基板の個片化方法において、基板を個片に分離する分離線を、縦方向と横方向に所定間隔で設定し、前記分離線に沿って基板を分離することにより基板を個片化する方法であって、前記基板上における前記分離線の各々の交差位置に、個片化された基板のコーナー部を面取りする貫通孔を形成する工程と、該貫通孔が形成された基板を、前記分離線に沿って、縦方向と横方向に分離して個片の基板を得る工程とを備えることを特徴とする。
すなわち、基板の個片化方法において、基板を個片に分離する分離線を、縦方向と横方向に所定間隔で設定し、前記分離線に沿って基板を分離することにより基板を個片化する方法であって、前記基板上における前記分離線の各々の交差位置に、個片化された基板のコーナー部を面取りする貫通孔を形成する工程と、該貫通孔が形成された基板を、前記分離線に沿って、縦方向と横方向に分離して個片の基板を得る工程とを備えることを特徴とする。
また、前記貫通孔を形成する工程においては、前記基板の表面をレジストにより被覆する工程と、該レジストをパターニングし、前記貫通孔の配置に合わせて前記基板の表面を露出させた面取りパターンを形成する工程と、該面取りパターンが形成されたレジストをマスクとして基板をエッチングし、前記貫通孔を形成する工程とを備えることを特徴とする。基板がシリコン基板である場合には、たとえば、RIE法によってシリコン基板をエッチングすることによって簡単に貫通孔を形成することができる。
また、前記面取りパターンを、前記貫通孔形成部分の内縁に沿って所定幅で一周して基板の表面が露出するパターンに形成することにより、容易に貫通孔を形成することができる。
また、前記面取りパターンを、前記貫通孔形成部分の内縁に沿って所定幅で一周して基板の表面が露出するパターンに形成することにより、容易に貫通孔を形成することができる。
また、前記貫通孔が形成された基板を個片に分離する工程においては、前記分離線に沿って、ダイシング刃により基板を切断して個片化する方法、前記分離線に沿って、基板を劈開して個片化する方法によることができる。基板を劈開して個片化する方法においては、基板を個片に分離する分離線を、基板の結晶成長面方向と平行に設定することによって容易にかつ確実に基板を個片化することができる。
また、前記基板に貫通孔を形成する工程において、前記貫通孔を、前記分離線の交差点を囲む四角形で、４つの頂点が前記分離線上に位置する形状に形成することにより、基板を個片化することによって、コーナー部が直線的に面取りされた個片の基板が得られる。また、前記貫通孔を、各辺が前記交差点に向けて凸となる曲線に形成された変形の四角形状に形成することにより、個片化された基板はコーナー部がアール状（円弧状）に面取りされた状態で得られる。
また、前記基板としては半導体ウエハ等のシリコン基板が好適に用いられる。
また、前記基板としては半導体ウエハ等のシリコン基板が好適に用いられる。
本発明に係る基板の個片化方法によれば、基板上の分離線の交差位置に面取り用の貫通孔を形成した後、分離線に沿って基板を個片化することにより、個片化された基板はコーナー部が面取りされた状態で得られ、個片基板の強度を向上させることができ、取り扱いが容易な個片基板として得ることができる。また、基板にあらかじめ面取り用の貫通孔を形成したことによって、基板を切断あるいは分割した際に個片基板のコーナー部に欠けが生じたり、クラックが生じることを防止することができる。
図１は本発明に係る基板の個片化方法の例として、シリコン基板から個片のシリコンチップを形成する工程を示す。
図１は、シリコン基板１０の表面にレジスト１２を被着し、レジスト１２を露光および現像して、シリコン基板１０の表面が露出する部位である面取りパターン１４を形成した状態を示す。面取りパターン１４は、シリコン基板１０を個片に分離する分離線Ａが交差する位置に合わせて、縦横に所定間隔で整列した配置に設けられる。
図１は、シリコン基板１０の表面にレジスト１２を被着し、レジスト１２を露光および現像して、シリコン基板１０の表面が露出する部位である面取りパターン１４を形成した状態を示す。面取りパターン１４は、シリコン基板１０を個片に分離する分離線Ａが交差する位置に合わせて、縦横に所定間隔で整列した配置に設けられる。
図１（ｂ）に、面取りパターン１４を拡大して示す。面取りパターン１４はシリコン基板１０を個片化した際に、個片のシリコンチップ２０のコーナー部を面取りするように設けられる。面取りパターン１４は、分離線Ａの交差位置で交差点を囲む菱形状で、各辺が円弧状に形成された変形の四角形状に形成される。本実施形態では、面取りパターン１４の各辺を構成する面取り線１４ａは、交差点に向かって凸となる円弧状、具体的には半円弧状で、分離線Ａとの交差位置で分離線Ａが面取り線１４ａの接線となるように設定している。
図２は、シリコン基板１０に面取りパターン１４を形成する工程を、図１（ｂ）のＢ−Ｂ線方向から見た断面図によって示す。
図２（ａ）は、シリコン基板１０の表面をレジスト１２によって被覆した状態である。レジスト１２は、ドライフィルムレジストをシリコン基板１０の表面にラミネートして形成することができる。
図２（ｂ）は、レジスト１２を露光および現像して、シリコン基板１０を個片に分離する位置に合わせて面取りパターン１４を形成した状態を示す。前述したように、面取りパターン１４を形成した部位で、シリコン基板１０の表面が露出する。
図２（ａ）は、シリコン基板１０の表面をレジスト１２によって被覆した状態である。レジスト１２は、ドライフィルムレジストをシリコン基板１０の表面にラミネートして形成することができる。
図２（ｂ）は、レジスト１２を露光および現像して、シリコン基板１０を個片に分離する位置に合わせて面取りパターン１４を形成した状態を示す。前述したように、面取りパターン１４を形成した部位で、シリコン基板１０の表面が露出する。
次いで、シリコン基板１０をドライエッチングする。このドライエッチングにより、シリコン基板１０の表面が露出する部位で、シリコン基板１０が厚さ方向にエッチングされ、シリコン基板１０に貫通孔１８が形成される。
図２（ｃ）に、シリコン基板１０に貫通孔１８が形成された状態を示す。貫通孔１８は、図１において、面取りパターン１４の内側領域（変形四角形の内部）でシリコン基板１０を厚さ方向に抜いた形状となる。
図２（ｃ）に、シリコン基板１０に貫通孔１８が形成された状態を示す。貫通孔１８は、図１において、面取りパターン１４の内側領域（変形四角形の内部）でシリコン基板１０を厚さ方向に抜いた形状となる。
シリコン基板１０をドライエッチングする方法としては、たとえばRIE（Reactive Ion Etching)を用いることができる。RIE法によれば、シリコン基板１０のレジスト１２によって被覆された部位はエッチングされず、面取りパターン１４が形成されたシリコン基板１０の表面が露出する部位が選択的にエッチングされる。RIE法によれば、面取りパターン１４の平面形状に合わせて厚さ方向にエッチングが進み、面取りパターン１４の平面形状と同一形状に貫通孔１８が貫通して形成される。
シリコン基板１０に貫通孔１８を形成した後、レジスト１２を除去し、シリコン基板１０から個片のシリコンチップ２０を形成する。
シリコン基板１０から個片のシリコンチップ２０を形成する方法としては、分離線Ａに位置合わせしてダイシング刃（回転刃）を移動して個片化する方法、分離線Ａに沿ってシリコン基板を劈開して個片化する方法がある。
シリコン基板１０から個片のシリコンチップ２０を形成する方法としては、分離線Ａに位置合わせしてダイシング刃（回転刃）を移動して個片化する方法、分離線Ａに沿ってシリコン基板を劈開して個片化する方法がある。
図３（ａ）は、分離線Ａに沿ってダイシング刃を動かして個片化する場合で、ダイシング刃の通過幅をｄとし、変形四角形状に形成された貫通孔１８の中心間を結ぶようにダイシング刃を動かして切断する状態を示す。
図３（ｂ）が、個片に切断された一つのシリコンチップ２０を示す。シリコンチップ２０のコーナー部２０ａがアール状（円弧状）に面取りされている。なお、ダイシング刃を用いてシリコン基板１０をダイシングする場合は、シリコンチップ２０のコーナー部２０ａが面取りされて得られるように、貫通孔１８の最大幅がダイシング刃の通過幅ｄの２倍よりも広くなるように貫通孔１８を形成する必要がある。すなわち、ダイシング刃を縦方向と横方向に移動させた際に、貫通孔１８の縁部分１８ａがシリコンチップ２０側に残るように貫通孔１８の形状および大きさを設定し、かつ所定の通過幅ｄを有するダイシング刃を使用する。
図３（ｂ）が、個片に切断された一つのシリコンチップ２０を示す。シリコンチップ２０のコーナー部２０ａがアール状（円弧状）に面取りされている。なお、ダイシング刃を用いてシリコン基板１０をダイシングする場合は、シリコンチップ２０のコーナー部２０ａが面取りされて得られるように、貫通孔１８の最大幅がダイシング刃の通過幅ｄの２倍よりも広くなるように貫通孔１８を形成する必要がある。すなわち、ダイシング刃を縦方向と横方向に移動させた際に、貫通孔１８の縁部分１８ａがシリコンチップ２０側に残るように貫通孔１８の形状および大きさを設定し、かつ所定の通過幅ｄを有するダイシング刃を使用する。
図３（ａ）に示すように、貫通孔１８が形成されたシリコン基板１０に対してダイシング刃を移動させてシリコン基板１０を個片化する方法によれば、ダイシング時に、シリコンチップ２０のコーナー部に応力が集中して、シリコンチップ２０のコーナー部が欠けたり、コーナー部にクラックが入ったりすることを防止することができる。また、得られたシリコンチップ２０はコーナー部２０ａが面取りされた形状となるから、シリコンチップ２０の強度が向上し、シリコンチップ２０を取り扱う際にシリコンチップ２０のコーナー部が欠けたり、シリコンチップ２０が損傷したりすることを防止することができる。
図４は、分離線Ａに沿ってシリコン基板１０を劈開する方法によって得られたシリコンチップ２０を示す。シリコン基板１０の劈開は、シリコン基板１０に形成された貫通孔１８のエッジ部分を起点としてなされる。本実施形態では、貫通孔１８のコーナー部近傍では、面取り線１４ａが分離線Ａに接する配置となり、分離線Ａを挟む面取り線１４ａは鋭い鋭角に形成されているから、貫通孔１８のコーナー部が確実に劈開の起点として作用する。
シリコン基板１０を劈開する際に、隣接するシリコンチップ２０のコーナー部は、貫通孔１８となっているから、シリコン基板１０を劈開した際に、シリコンチップ２０のコーナー部に欠けが生じたり、クラックが生じたりすることはない。
シリコン基板１０を劈開する際に、隣接するシリコンチップ２０のコーナー部は、貫通孔１８となっているから、シリコン基板１０を劈開した際に、シリコンチップ２０のコーナー部に欠けが生じたり、クラックが生じたりすることはない。
なお、シリコン基板１０の結晶成長面の方位が(100)面となっている場合には、シリコン基板１０に設定する分離線Ａの方向を、シリコン基板１０の結晶面の方向に平行な向きに設定しておくことが有効である。シリコン基板１０の結晶成長面に平行に分離線Ａ（分割位置）を設定することにより、シリコン基板１０を劈開する際に、劈開方向が分離線Ａの方向に一致し、シリコンチップ２０に無用な応力を作用させることなく簡単に劈開することができる。
なお、シリコン基板１０を個片に分離する方法としては、分離線Ａの位置に合わせて切断溝を形成し、切断溝の位置でシリコン基板をブレーキングして個片化する方法も可能である。また、シリコン基板１０の分離線Ａに合わせてスクライブにより分割用の疵をつけてから個片に分割する方法も可能である。これらのいずれの方法の場合も、シリコン基板１０にあらかじめ面取り用の貫通孔１８を形成することによって、上述したと同様に、シリコンチップ２０に欠けやチッピングを生じさせずにシリコン基板１０を個片化することができる。
上述したように、本実施形態のチップ形成方法は、シリコン基板１０を個片に分離してシリコンチップ２０を形成する際の分離線Ａの交差位置に位置合わせして、面取り用の貫通孔１８を形成し、貫通孔１８の位置を基準としてシリコン基板１０を個片に切断あるいは分割することを特徴とする。
貫通孔１８を形成する方法として、上記実施形態では、貫通孔１８の平面配置に合わせてシリコン基板１０の表面を露出させた面取りパターン１４を形成したが、図５（ａ）に示すように、貫通孔１８の内縁位置に沿って、所定幅でシリコン基板１０の表面が露出するようにレジスト１２をパターニングすることも可能である。
貫通孔１８を形成する方法として、上記実施形態では、貫通孔１８の平面配置に合わせてシリコン基板１０の表面を露出させた面取りパターン１４を形成したが、図５（ａ）に示すように、貫通孔１８の内縁位置に沿って、所定幅でシリコン基板１０の表面が露出するようにレジスト１２をパターニングすることも可能である。
図５（ａ）は、シリコン基板１０の表面をレジスト１２によって被覆した後、シリコン基板１０に形成する貫通孔１８の外形位置に合わせて、貫通孔１８の内縁部分が露出するように面取りパターン１５を形成した状態を示す。この実施形態における面取りパターン１５は、円弧状に湾曲する４辺を有する変形四角形の貫通孔１８形成部分の内縁に沿ってシリコン基板１０の表面が露出するようにレジスト１２を露光および現像して形成したものである。図は、貫通孔１８形成部分の内縁に沿って所定幅でシリコン基板１０の表面を露出させた状態を示す。
このように貫通孔１８形成部分の内縁に沿って一周するようにシリコン基板１０の表面を露出させた面取りパターン１５を形成し、たとえばRIE法によってシリコン基板１０をエッチングすれば、シリコン基板１０は、面取りパターン１５の露出部分に合わせて厚さ方向にエッチングされるから、面取りパターン１５によって囲まれた部分が抜き落とされ、図５（ｂ）に示すように、平面形状が変形四角形状の貫通孔１８が形成される。
本方法によれば、貫通孔１８の内縁に沿って所定幅部分のみをエッチングして貫通孔１８を形成するから、貫通孔１８の平面領域の全域についてシリコン基板１０をエッチングする場合と比較してエッチングによって除去する量が少なくなり、エッチング時間を短縮することが可能になる。
本方法によれば、貫通孔１８の内縁に沿って所定幅部分のみをエッチングして貫通孔１８を形成するから、貫通孔１８の平面領域の全域についてシリコン基板１０をエッチングする場合と比較してエッチングによって除去する量が少なくなり、エッチング時間を短縮することが可能になる。
上記実施形態においてシリコン基板１０の表面に形成した面取りパターン１４、１５は、シリコンチップ２０のコーナー部２０ａをアール状（円弧状、曲線状）に面取りするものである。図６は、シリコンチップ２０のコーナー部２０ａを直線的に面取りする例を示す。図６（ａ）は、分離線Ａ上に頂点が位置する正方形に面取りパターン１６を形成した例である。シリコン基板１０は面取りパターン１６が形成された正方形の領域部分でのみレジストから露出する状態を示している。図６（ｂ）は、分離線Ａ上に頂点が位置する正方形の内縁に沿って所定幅でシリコン基板１０の表面がレジストから露出する面取りパターン１７を形成した例である。
図６（ａ）、（ｂ）に示すいずれの面取りパターン１６、１７を形成した場合でも、シリコン基板１０をエッチングすることによって、シリコン基板１０に正方形の貫通孔が形成され、これらの貫通孔の中心位置に位置合わせしてダイシング刃を用いてシリコン基板１０を切断し、あるいは分離線Ａの位置でシリコン基板１０を劈開する等の分離方法によって、個片のシリコンチップ２０を得ることができる。
図７は、図６に示す面取りパターン１６、１７を形成し、正方形の貫通孔を形成したシリコン基板１０から得られたシリコンチップ２０を示す。シリコンチップ２０のコーナー部２０ａは直線的に、４５度カットで面取りされている。
図７は、図６に示す面取りパターン１６、１７を形成し、正方形の貫通孔を形成したシリコン基板１０から得られたシリコンチップ２０を示す。シリコンチップ２０のコーナー部２０ａは直線的に、４５度カットで面取りされている。
このように、シリコンチップ２０のコーナー部２０ａを直線的に面取りする貫通孔を形成してシリコン基板１０から個片のシリコンチップ２０を形成する場合も、シリコンチップ２０のコーナー部２０ａは鈍角になるから、前述した実施形態と同様に、シリコン基板１０をダイシングする際に、シリコンチップ２０のコーナー部が欠けたり、コーナー部にクラックが入ったりすることを防止することができる。また、得られたシリコンチップ２０はコーナー部２０ａが面取りされたことによって、強度が向上し、シリコンチップ２０を取り扱う際にシリコンチップ２０が損傷することを防止することができる。
また、本実施形態のように、面取り用の貫通孔を正方形として縦横に整列配置した場合でも、正方形に開口する貫通孔のエッジ部が分離線Ａ上に位置しているから、貫通孔のエッジ部を起点としてシリコン基板１０を劈開する方法によって、容易に個片のシリコンチップ２０を得ることができる。
なお、シリコン基板１０に形成する面取り用の貫通孔１８の形状としては、上述した変形四角形、正方形に形成する他に、分離線Ａと辺との交差角度が異なる菱形、あるいは分離線Ａを囲む一般的な四角形状とすることも可能である。
上記実施形態では、シリコン基板１０から個片のシリコンチップ２０を形成する方法を例に説明したが、シリコン基板１０は、単なるシリコン基板として形成されたものであってもよいし、半導体回路が形成された半導体ウエハであってもよく、半導体装置に使用するインターポーザに用いられるスルーホール等の接続部が形成されたものであってもよい。
半導体ウエハでは、隣接する半導体チップの中間にダイシング用のスペースが５０〜１００μｍ程度の幅で確保されているから、半導体チップに形成されている回路に影響を与えない範囲で、面取り用の貫通孔を形成して個片の半導体チップを得ることができる。半導体チップのコーナー部が面取りされていることにより、強度が向上し、取り扱い時の破損を防止することができる。
最近は、半導体装置を小型化する目的から、半導体ウエハの段階でウエハの裏面を研削してより薄い半導体チップが提供されるようになってきている。本発明の基板の個片化方法は、このような薄型の半導体ウエハを個片化して半導体チップを形成する場合に、半導体チップの破損を防止する上で、とくに有効に利用できる。
最近は、半導体装置を小型化する目的から、半導体ウエハの段階でウエハの裏面を研削してより薄い半導体チップが提供されるようになってきている。本発明の基板の個片化方法は、このような薄型の半導体ウエハを個片化して半導体チップを形成する場合に、半導体チップの破損を防止する上で、とくに有効に利用できる。
また、本発明は半導体ウエハのようなシリコンからなる基板について適用する他に、GaAsのような化合物半導体ウエハにも適用でき、ガラス板やセラミック板のような無機材料からなる基板について、大判の基板を個片化する場合にも、まったく同様に適用することができる。
上記実施形態では、シリコン基板に面取り用の貫通孔を形成するため、レジストにより基板の表面を被覆し、面取りパターンを形成して、RIE法によるエッチングによってシリコン基板に貫通孔を形成したが、貫通孔を形成する方法は、加工対象に応じて適宜選択することができ、貫通孔を形成する方法がとくに限定されるものではない。
上記実施形態では、シリコン基板に面取り用の貫通孔を形成するため、レジストにより基板の表面を被覆し、面取りパターンを形成して、RIE法によるエッチングによってシリコン基板に貫通孔を形成したが、貫通孔を形成する方法は、加工対象に応じて適宜選択することができ、貫通孔を形成する方法がとくに限定されるものではない。
５ 半導体ウエハ
１０ シリコン基板
１２ レジスト
１４、１５、１６、１７ 面取りパターン
１４ａ 面取り線
１８ 貫通孔
１８ａ 縁部分
２０ シリコンチップ
２０ａ コーナー部
１０ シリコン基板
１２ レジスト
１４、１５、１６、１７ 面取りパターン
１４ａ 面取り線
１８ 貫通孔
１８ａ 縁部分
２０ シリコンチップ
２０ａ コーナー部
Claims (9)
- 基板を個片に分離する分離線を、縦方向と横方向に所定間隔で設定し、前記分離線に沿って基板を分離することにより基板を個片化する方法であって、
前記基板上における前記分離線の各々の交差位置に、個片化された基板のコーナー部を面取りする貫通孔を形成する工程と、
該貫通孔が形成された基板を、前記分離線に沿って、縦方向と横方向に分離して個片の基板を得る工程とを備えることを特徴とする基板の個片化方法。 - 前記貫通孔を形成する工程においては、
前記基板の表面をレジストにより被覆する工程と、
該レジストをパターニングし、前記貫通孔の配置に合わせて前記基板の表面を露出させた面取りパターンを形成する工程と、
該面取りパターンが形成されたレジストをマスクとして基板をエッチングし、前記貫通孔を形成する工程とを備えることを特徴とする請求項１記載の基板の個片化方法。 - 前記面取りパターンを、前記貫通孔形成部分の内縁に沿って所定幅で一周して基板の表面が露出するパターンに形成することを特徴とする請求項２記載の基板の個片化方法。
- 前記貫通孔が形成された基板を個片に分離する工程においては、
前記分離線に沿って、ダイシング刃により基板を切断して個片化することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の基板の個片化方法。 - 前記貫通孔が形成された基板を個片に分離する工程においては、
前記分離線に沿って、基板を劈開して個片化することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の基板の個片化方法。 - 前記基板を個片に分離する分離線を、基板の結晶成長面方向と平行に設定して前記貫通孔を形成することを特徴とする請求項５記載の基板の個片化方法。
- 前記基板に貫通孔を形成する工程において、
前記貫通孔を、前記分離線の交差点を囲む四角形で、４つの頂点が前記分離線上に位置する形状に形成することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の基板の個片化方法。 - 前記貫通孔を、各辺が前記交差点に向けて凸となる曲線に形成された変形の四角形状に形成することを特徴とする請求項７記載の基板の個片化方法。
- 前記基板がシリコン基板であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載の基板の個片化方法。
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