JP7125650B2 - ウェーハ分割装置及び方法 - Google Patents

Description

本発明はウェーハ分割装置及び方法に係り、特に複数のチップが一体的に形成されたウェーハ（半導体ウェーハ）をチップごとに分割する技術に関する。

半導体素子等のチップを製造する工程では、複数のチップが一体的に形成されたウェーハを作成し、そのウェーハの裏面にダイシングテープを貼着して、ウェーハをチップごとに分割することが行われる。

特許文献１には、シート（ダイシングテープ）の表面に貼着されたウェーハを複数条の割断予定線に沿って分割するためのウェーハ分割治具が開示されている。

特許文献１では、ウェーハが貼り付けられたダイシングテープをエキスパンドさせた状態で、このダイシングテープを介してウェーハの割断予定線部分を局部的に真空吸引する。これにより、ウェーハの割断予定線には、まず、ダイシングテープのエキスパンドによる引っ張り応力が作用し、その次に、真空吸引による曲げ応力が作用する。そして、最終的に、ウェーハの割断予定線にウェーハ分割治具のエッジの突き上げによる曲げ応力が作用する。これにより、ウェーハが割断予定線で割断される。

特許文献１では、ウェーハ分割治具を移動（走査）させて、複数条の割断予定線を一条ずつ順次に割断することを繰り返すことにより、ウェーハが複数のチップごとに分割される。

特開２００６－３４４９１０号公報

特許文献１では、ウェーハ分割治具を走査してウェーハの割断を進めていくと、チップ間隔の開いた領域が拡大する。このチップ間隔の開いた領域の拡大に伴い、ウェーハ分割治具の走査方向に沿うダイシングテープの張力が小さくなる。このダイシングテープの張力の減少に起因して、以下のような問題が発生する。

第１に、ダイシングテープとウェーハ分割治具との間にスティックスリップ（振動）が発生する。このスティックスリップによって、割断された隣接チップ同士が接触して、チップにダメージが生じることがあった。

第２に、ダイシングテープがたわみやすくなるという問題がある。略円形のウェーハの場合、ウェーハ分割治具の走査方向に平行なウェーハの中央に近づくほど、ダイシングテープが長くなるため、ダイシングテープのたわみが大きくなる。このため、ダイシングテープとウェーハ分割治具との間で真直ズレ（例えば、ダイシングテープに対して略垂直方向のズレ）が生じる。この真直ズレにより、ウェーハ分割治具の手前側のダイシングテープが圧縮されチップ同士の擦れが発生し、ウェーハの分割品質が低下したり、テープの破断が発生することがあった。

第３に、スティックスリップの振幅が大きくなると、ダイシングテープがウェーハ分割治具から剥離することがあった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ウェーハの分割時におけるダイシングテープの張力の低下を防止することが可能なウェーハ分割装置及び方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係るウェーハ分割装置は、分断予定ラインが形成されたウェーハと、ウェーハを囲むフレームとが貼着されたダイシングテープをエキスパンドするエキスパンド部と、ダイシングテープの張力の低下に応じてダイシングテープに加える張力を調整する張力調整部とを備える。

第１の態様によれば、ダイシングテープの張力の低下を判定して、ダイシングテープの張力を調整することにより、ダイシングテープの張力の低下に起因するスティックスリップ及び撓みの発生を防止することができる。

本発明の第２の態様に係るウェーハ分割装置は、第１の態様において、エキスパンド部は、エキスパンドリングと、フレームを保持する保持部とを備え、エキスパンドリングとフレームとを相対的に移動させて、ダイシングテープをエキスパンドするようにしたものである。

本発明の第３の態様に係るウェーハ分割装置は、第１又は第２の態様において、張力調整部は、エキスパンドリング又はフレームに対して一定の力を付与するためのエアシリンダ又は液圧シリンダを備える。

本発明の第４の態様に係るウェーハ分割装置は、第１又は第２の態様において、ダイシングテープの張力の変化を検出する検出部と、エキスパンドリングとフレームとを相対的に移動させるための駆動部とを更に備え、張力調整部は、検出部による検出結果に基づいてダイシングテープの張力が低下したと判定した場合に、駆動部を制御してダイシングテープに加える張力を調整するようにしたものである。

本発明の第５の態様に係るウェーハ分割装置は、第４の態様において、駆動部は、エキスパンドリングとフレームとを相対的に移動させるためのモータを備え、検出部は、モータにかかる負荷を計測し、張力調整部は、検出部によって計測されたモータにかかる負荷に基づいて、ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定するようにしたものである。

第５の態様によれば、エキスパンド部にかかる負荷に基づいて、ダイシングテープの張力の低下を判定することが可能になる。

本発明の第６の態様に係るウェーハ分割装置は、第４又は第５の態様において、検出部は、ダイシングテープの変位を計測するための変位計を含み、張力調整部は、変位計によって計測されたダイシングテープの変位に基づいて、ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定するようにしたものである。

本発明の第７の態様に係るウェーハ分割装置は、第４から第６の態様のいずれかにおいて、検出部は、ダイシングテープの光の透過率を計測するための透過率計測部を含み、張力調整部は、透過率計測部によって計測されたダイシングテープの変位に基づいて、ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定するようにしたものである。

第６及び第７の態様によれば、ダイシングテープの張力の変化により発生する撓み及びスティックスリップを検出することにより、ダイシングテープの張力の低下を判定することが可能になる。

本発明の第８の態様に係るウェーハ分割装置は、第４から第７の態様のいずれかにおいて、ウェーハのダイシングテープが貼着された面に当接し、ウェーハの分断予定ラインが形成された位置に曲げ応力を作用させるためのウェーハ分割治具を更に備える。

本発明の第９の態様に係るウェーハ分割装置は、第８の態様において、ウェーハ分割治具を走査するための治具駆動用モータを更に備え、検出部は、治具駆動用モータにかかる負荷を計測し、張力調整部は、検出部によって計測された治具駆動用モータにかかる負荷に基づいて、ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定するようにしたものである。

第９の態様によれば、治具にかかる負荷を検出することにより、ダイシングテープの張力の変化により発生する撓み及びスティックスリップを検出することにより、ダイシングテープの張力の低下を判定することが可能になる。

本発明の第１０の態様に係るウェーハ分割装置は、第８又は第９の態様において、ウェーハ分割治具のウェーハのダイシングテープが貼着された面に当接する面に吸引口を介して真空吸引を行う真空源を更に備える。

本発明の第１１の態様に係るウェーハ分割装置は、第１０の態様において、検出部は、吸引口から真空源に至る配管内の圧力を計測する圧力センサを含み、張力調整部は、圧力センサによって計測された配管内の圧力に基づいて、ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定するようにしたものである。

第１１の態様によれば、ダイシングテープの張力の低下により生じた弛みによって、空気のリーク経路が形成された場合に、圧力の変化に基づいて、ダイシングテープの張力の低下を判定することが可能になる。

本発明の第１２の態様に係るウェーハ分割方法は、分断予定ラインが形成されたウェーハと、ウェーハを囲むフレームとが貼着されたダイシングテープをエキスパンドするエキスパンド工程と、ダイシングテープの張力の低下に応じてダイシングテープに加える張力を調整する張力調整工程とを備える。

本発明によれば、ダイシングテープの張力の低下を防止することができるので、ダイシングテープの張力の低下に起因するスティックスリップ及び撓みの発生を防止することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。 図２は、ウェーハを示す斜視図である。 図３は、ウェーハ分割治具を拡大して示す斜視図である。 図４は、ウェーハ分割治具を拡大して示す断面図である。 図５は、本発明の第１の実施形態に係るウェーハ分割方法を示すフローチャートである。 図６は、本発明の第２の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。 図７は、本発明の第２の実施形態に係るウェーハ分割方法を示すフローチャートである。 図８は、本発明の第２の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。 図９は、本発明の第３の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。 図１０は、本発明の第３の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。 図１１は、本発明の第４の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。 図１２は、ダイシングテープの張力調整を行わなかった場合におけるダイシングテープの変位の例を示すグラフである。 図１３は、ダイシングテープの張力調整を行った場合におけるダイシングテープの変位の経時変化を示すグラフである。 図１４は、本発明の第４の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。 図１５は、本発明の第５の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。 図１６は、ダイシングテープの張力調整を行わなかった場合におけるダイシングテープの透過率の例を示すグラフである。 図１７は、ダイシングテープの張力調整を行った場合におけるダイシングテープの透過率の経時変化を示すグラフである。 図１８は、本発明の第５の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。 図１９は、本発明の第６の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。 図２０は、本発明の第６の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。

以下、添付図面に従って本発明に係るウェーハ分割装置及び方法の実施の形態について説明する。

［第１の実施形態］
（ウェーハ分割装置）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。なお、以下の説明では、ウェーハＷに略平行な平面をＸＹ平面とする３次元直交座標系を用いる。

本実施形態に係るウェーハ分割装置１０は、突き上げ用リング（エキスパンドリング）３０と、ウェーハＷの保持部１８とを相対的に移動させて、ウェーハＷの裏面に貼着されたダイシングテープ（以下、テープとも記載する。）Ｓをエキスパンド（拡張）することにより、ウェーハＷを分断予定ラインＬ（図２参照）に沿って個々のチップＣに分割するための装置である。

図１に示すように、本実施形態に係るウェーハ分割装置１０は、ウェーハ分割装置１０の各部の動作を制御するためのプロセッサ、メモリ及び入力装置を含む制御部１２を備えている。制御部１２は、ユーザからの入力又は所定のプログラムに基づいて、検出部１４、治具駆動用モータ３４及び真空源３６を含むウェーハ分割装置１０の各部の動作を制御する。

ウェーハＷは、シリコン製で略円板状であり、ウェーハＷの直径は一例で３００ｍｍである。ウェーハＷの裏面には、ダイボンディング用の接着剤（例えば、ダイアタッチフィルム（ＤＡＦ））が付与されたダイシングテープＳが貼着される。ウェーハＷは、格子状の分断予定ラインＬにより複数の区画に分割されており、各区画には、半導体デバイスが形成される。なお、ウェーハＷには、分断予定ラインＬに沿って分割起点が形成される。ウェーハＷの分割起点は、ブレードを用いてウェーハＷの表面に形成された切れ込みであってもよいし、又はレーザを照射してウェーハＷの内部に形成された改質層であってもよい。

フレームＦは、剛性を有する略円環状の部材であり、フレームＦの内径は、ダイシングテープＳをエキスパンドした状態でウェーハＷの裏面側にウェーハ分割治具３２（図３及び図４参照）をストロークさせることが可能なサイズとなっており、一例で５０６ｍｍである。ダイシングテープＳは、フレームＦに貼り付けられ、ウェーハＷは、略円環のフレームＦの内側のダイシングテープＳに貼着される。以下の説明では、ワークとしてのウェーハＷがダイシングテープＳを介してフレームＦに貼着されたものをワークユニットと記載する。

本実施形態では、ダイシングテープＳをエキスパンドすることにより、ウェーハＷに形成された分断予定ラインＬに引っ張り応力を作用させ、ウェーハ分割治具３２により分断予定ラインＬに曲げ応力を作用させることにより、ウェーハＷをチップに分割する。そして、本実施形態では、ダイシングテープＳの張力の変化を検出して、この張力の変化に応じてダイシングテープＳの張力の制御を行う。

（ウェーハに引っ張り応力を作用させるための構成）
まず、ダイシングテープＳをエキスパンドして、ウェーハＷの分断予定ラインＬに引っ張り応力を作用させるための構成について説明する。

ワークユニットは、ウェーハＷが貼着された面の裏面が突き上げ用リング３０側になるように、突き上げ用リング３０に載置される。

突き上げ用リング３０は、略円筒状の部材であり、突き上げ用リング３０の直径（外径）は、フレームＦの直径よりも小さい。突き上げ用リング３０の内径は、ウェーハＷの直径よりも大きくてもよい。ワークユニットは、ダイシングテープＳに貼着されたウェーハＷとフレームＦとの間の隙間の部分に、突き上げ用リング３０の上端部（＋Ｚ側端部）が接触するように、突き上げ用リング３０に載置される。

保持部１８は、突き上げ用リング３０に載置されたフレームＦを保持（固定）するための固定部材を含んでいる。保持部１８としては、例えば、フレームＦを固定するためのクランプ機構を、略円環状のフレームＦの周方向に沿って複数配置したものを用いることができる。

ウェーハ分割装置１０は、保持部１８を－Ｚ軸方向に押圧することによりダイシングテープＳの張力を一定に保つ張力調整機構１５（張力調整部）を含んでいる。この張力調整機構１５としては、例えば、エアシリンダ又は液圧シリンダ（以下、油圧シリンダとする。）を採用することができる。このエアシリンダ又は油圧シリンダは、１つであってもよいし、複数であってもよい。また、エアシリンダ又は油圧シリンダは、保持部１８のクランプ機構ごとに設けられていてもよい。

フレームＦが固定された状態で、保持部１８が－Ｚ軸方向に移動すると、ダイシングテープＳがエキスパンドされる。これにより、ウェーハＷに形成された分断予定ラインＬに引っ張り応力が作用する。

そして、ダイシングテープＳに加えられる張力の値が所定の値（Ｔ）のときに、張力調整機構１５としてのエアシリンダ又は液圧シリンダの摺動位置が中間位置で、ダイシングテープＳに加えられる張力（Ｔ）と、エアシリンダ又は液圧シリンダの推力（Ｆ）がバランスするように（Ｔ＝Ｆ）、エアシリンダ又は液圧シリンダへの印加圧力が調整される。ここで、エアシリンダ又は液圧シリンダの中間位置とは、エアシリンダ又は液圧シリンダのストロークエンドではない位置をいう。ダイシングテープＳの張力（Ｔ）が低下すると（Ｔ＜Ｆ）、エアシリンダ又は液圧シリンダの推力（Ｆ）が一定なので、摺動位置は張力（Ｔ）と推力（Ｆ）とがバランスする（Ｔ＝Ｆ）位置に移動する。このエアシリンダ又は液圧シリンダによるフィードバック機構により、ダイシングテープＳの張力が一定に保たれる。

なお、本実施形態では、エキスパンドリング３０とフレームＦとを相対的にＺ軸方向に相対的に移動させたが、本発明はこれに限定されない。例えば、ワークが載置されたテーブルと、フレームＦとを相対的に移動させる構成も本実施形態に適用可能である。

（ウェーハに曲げ応力を作用させるための構成）
次に、ウェーハ分割治具３２により分断予定ラインＬに曲げ応力を作用させるための構成について説明する。

ウェーハ分割治具３２は、柱状（四角柱状）の部材であり、ウェーハＷに対して略平行になるように配置されている。ウェーハ分割治具３２のＸ方向の寸法は一例で２０ｍｍ、Ｙ方向の寸法は一例で３２０ｍｍである。

図３及び図４に示すように、ウェーハ分割治具３２の上部の当接面３２Ａには、ウェーハ分割治具３２の走査方向に対して前方側から順に、平面部３２Ａ１と、凹部３２Ａ２が形成されている。平面部３２Ａ１及び凹部３２Ａ２は、それぞれ、ウェーハ分割治具３２の長さ方向に伸びる矩形の領域である。凹部３２Ａ２は、ウェーハ分割治具３２の長さ方向に伸びる凹状の領域である。平面部３２Ａ１はステンレスで形成されており、凹部３２Ａ２はアルミニウム合金で形成されている。平面部３２Ａ１及び凹部３２Ａ２のダイシングテープＳに接触する表面には、ダイシングテープＳのすべり性を向上させるためのコーティングが施されている。このコーティングには、ポリテトラフルオロエチレン（テフロン（登録商標））又はタフラム（登録商標）を用いることができる。

当接面３２Ａの平面部３２Ａ１と凹部３２Ａ２の境界の線分上には、吸引口３２Ｂが形成されている。吸引口３２Ｂは、ウェーハ分割治具３２の長さ方向（図１等のＹ軸方向）に沿って所定の間隔（例えば、数ｍｍ）で複数配置されていてもよい。この吸引口３２Ｂは、吸引口３２Ｂから真空源３６に至る配管３８を介して真空源３６に接続されている。この吸引口３２Ｂの形成された線分がウェーハＷの分断予定ラインＬの位置に位置合わせされて、吸引口３２Ｂから吸引が開始されると、この凹部３２Ａ２に倣ってダイシングテープＳが変形する。これにより、ウェーハＷがチップＣに分割される。

なお、図３では、真空源３６の例として真空ポンプが示されているが、真空源の種類はこれに限定されるものではない。例えば、真空ポンプ以外の真空発生器（例えば、エジェクタ、コンバム（登録商標）等）を真空源３６として使用してもよい。また、本実施形態に係るウェーハ分割装置１０は、真空源を含んでいなくてもよく、例えば、ウェーハ分割装置１０が設置される工場等に備えつけられた真空発生器に配管３８を接続可能としてもよい。

分断予定ラインＬに曲げ応力を作用させる場合、ウェーハ分割治具３２を走査してウェーハＷの分断予定ラインＬに重なる位置に移動させて、真空源３６によりウェーハ分割治具３２の吸引口３２Ｂから真空吸引を行う。すると、ダイシングテープＳがウェーハ分割治具３２の上端部に吸着し、ウェーハ分割治具３２の上端部がウェーハＷの分断予定ラインＬの位置に当接する。これにより、ウェーハＷに曲げ応力を作用させて、ウェーハＷを分断予定ラインＬに沿って割断することができる。

以下の説明では、説明の便宜上、ウェーハ分割治具３２は、その上端部がＹ軸に平行になるように配置されており、ウェーハＷの分断予定ラインＬは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に平行な格子状であるとする。

ウェーハ分割治具３２は、治具駆動用モータ３４によりＸＹ軸方向に移動（走査）可能となっており、かつ、Ｚ軸回りに回転可能となっている。ウェーハ分割治具３２をＸ軸方向に沿って走査して、Ｙ軸に平行な分断予定ラインＬ（Ｙ分断予定ライン）に順次曲げ応力を作用させることにより、Ｙ分断予定ラインに沿ってウェーハＷを割断する。次に、Ｙ分断予定ラインに沿うウェーハＷの割断が終了した後、ウェーハ分割治具３２をＺ軸周りに９０°回転させる。そして、ウェーハ分割治具３２をＹ軸方向に沿って走査して、Ｘ軸に平行な分断予定ラインＬ（Ｘ分断予定ライン）に順次曲げ応力を作用させることにより、Ｘ分断予定ラインに沿ってウェーハＷを割断する。これにより、ウェーハＷがチップＣごとに分割される。

なお、ウェーハ分割治具３２をＺ軸方向にも移動可能として、ウェーハ分割治具３２のＺ軸方向の位置を調整できるように構成してもよい。

（ダイシングテープの張力の制御に係る構成）
次に、ダイシングテープの張力の制御に係る構成について説明する。

上記のように、本実施形態に係る張力調整機構１５は、エアシリンダ又は油圧シリンダを含んでいる。本実施形態では、張力調整機構１５のエアシリンダ又は油圧シリンダの駆動圧力を一定に保持し、エアシリンダ又は油圧シリンダの中間位置で、ダイシングテープＳの張力とエアシリンダ又は油圧シリンダの駆動力が釣り合う状態とする。これにより、ダイシングテープＳの張力が一定となるように、突き上げ用リング３０とフレームＦとの相対移動が機械的に行われる。

（ウェーハ分割方法）
図５は、本発明の第１の実施形態に係るウェーハ分割方法を示すフローチャートである。

図５に示すように、まず、ウェーハＷの分割が開始されると、突き上げ用リング３０とフレームＦとが相対移動されてダイシングテープＳがエキスパンドされる（ステップＳ１：エキスパンド工程）。

次に、ダイシングテープＳに加えられる張力の値が所定の値（Ｔ）のときに、張力調整機構１５としてのエアシリンダ又は液圧シリンダの摺動位置が中間位置で、ダイシングテープＳに加えられる張力（Ｔ）と、エアシリンダ又は液圧シリンダの推力（Ｆ）がバランスするように（Ｔ＝Ｆ）、エアシリンダ又は液圧シリンダへの印加圧力が調整される（ステップＳ２）。ステップＳ２では、例えば、張力測定器を用いてダイシングテープＳの張力を測定しながら、手動でエアシリンダ又は液圧シリンダの調整を行ってもよい。また、ステップＳ２では、保持部１８を駆動するためのアクチュエータを用意して、このアクチュエータにかかる負荷に基づいてダイシングテープＳの張力を求め、ダイシングテープＳの張力が所定の値のときに、張力調整機構１５としてのエアシリンダ又は液圧シリンダの摺動位置が中間位置になるように調整を行ってもよい。

次に、ウェーハ分割治具３２が各分断予定ラインＬの位置に順次移動して、分断予定ラインＬごとにウェーハＷの分割が行われる。ウェーハＷの分割の作業中に、ダイシングテープＳの張力（Ｔ）が低下すると（Ｔ＜Ｆ）、張力調整機構１５のエアシリンダ又は液圧シリンダの摺動位置をダイシングテープＳの張力とバランスする（Ｔ＝Ｆ）位置に移動させるようにフィードバック動作が行われる（ステップＳ３：張力調整工程）。

そして、すべての分断予定ラインＬについて、ウェーハＷの分割が終了すると（ステップＳ４のＹｅｓ）、処理を終了する。

本実施形態によれば、張力調整機構１５としてエアシリンダ又は油圧シリンダを用いることにより、ウェーハＷの分割の作業中におけるダイシングテープＳの張力の低下を防止することができる。

（変形例）
本実施形態では、剛性を有するフレームＦを用いたが、剛性の低いダイシングフレームを用いることも可能である。この場合、複数のエアシリンダ又は油圧シリンダをダイシングフレームの周方向に配置する。この場合、ダイシングテープＳの部分ごと又は方向ごとの張力と、エアシリンダ又は油圧シリンダによりダイシングフレームに加えられる力との関係に応じてダイシングフレームが変形する。このダイシングフレームの変形により、ダイシングテープＳの方向ごとに張力の不均衡がある場合であっても、力の釣り合いを保つことが可能になる。この場合、例えば、ＭＤ方向（Machine direction：ダイシングテープＳの貼り付け方向）と、ＭＤ方向に垂直なＴＤ（Transverse direction：垂直方向）との間で、ダイシングテープＳの残留応力が異なる場合であっても、ダイシングテープＳの張力を一定に保つことができる。

［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について、図６から図８を参照して説明する。なお、以下の説明において、第１の実施形態と同様の構成については、同一の記号を付して説明を省略する。

（ウェーハ分割装置）
図６は、本発明の第２の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。

図６に示すように、本実施形態に係るウェーハ分割装置１０Ａは、検出部１４及び駆動部１６を含んでいる。

駆動部１６は、突き上げ用リング３０とフレームＦとの相対移動の駆動アクチュエータとして用いられるモータ（例えば、サーボモータ）を含んでいる。さらに、駆動部１６は、このモータにより駆動する機構（例えば、ボールねじを用いて保持部１８をＺ軸方向に駆動する機構、ラック・アンド・ピニオン機構、あるいは歯車又はベルトを用いて保持部１８をＺ軸方向に駆動する機構）を含んでいる。これにより、突き上げ用リング３０とフレームＦとを相対移動させることができる。

検出部１４は、駆動部１６のモータにかかる負荷（例えば、電圧値、トルク）を計測する。制御部１２（張力調整部）は、モータの負荷の計測値（検出結果）に応じて、駆動部１６のモータに供給する電力を変化させる。ここで、モータに供給する電力と、駆動部１６の駆動量との関係は実験的に決定することができる。これにより、ダイシングテープＳの張力と、エアシリンダ又は油圧シリンダによりフレームＦに加えられる力のバランスを調整することができる。

（ウェーハ分割方法）
図７は、本発明の第２の実施形態に係るウェーハ分割方法を示すフローチャートであり、図８は、本発明の第２の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。

図７に示すように、まず、ウェーハＷの分割が開始されると（ステップＳ１０：エキスパンド工程）、制御部１２は、ダイシングテープＳの張力の判定を行う（ステップＳ１２）。

図８に示すように、張力判定工程（図７のステップＳ１２）においては、まず、検出部１４は、駆動部１６におけるモータにかかる負荷を計測する（ステップＳ１２０）。そして、制御部１２は、検出部１４による負荷の計測値を取得し、負荷の変動がなければ（ステップＳ１２２のＮｏ）、ダイシングテープＳの張力の低下なしと判定する（ステップＳ１２４）。一方、制御部１２は、負荷の変動があれば（ステップＳ１２２のＹｅｓ）、ダイシングテープＳの張力の低下ありと判定する（ステップＳ１２６）。

ステップＳ１２２では、例えば、負荷の計測値と、直前の計測値との差分絶対値が閾値以上の場合、制御部１２は、負荷の変動があると判定するようにしてもよい。また、負荷の計測値と、直前の所定回数分の計測値の代表値（例えば、平均値）との差分絶対値が閾値以上の場合に、制御部１２は、負荷の変動があると判定するようにしてもよい。また、負荷の計測値と、直前の所定回数分の計測値との差分絶対値の最大値が閾値以上の場合に、制御部１２は、負荷の変動があると判定するようにしてもよい。なお、変動の有無の判定方法はこれに限定されない。

ダイシングテープＳの張力が低下していないと判定されると（ステップＳ１４のＮｏ）、ステップＳ１２に戻り、制御部１２は、ダイシングテープＳの張力の変動のモニタリングを継続する。

一方、ダイシングテープＳの張力が低下していると判定されると（ステップＳ１４のＹｅｓ）、制御部１２は、駆動部１６を制御して、モータへの電力の供給量を変化させて、ダイシングテープＳの張力の調整を行う（ステップＳ１６：張力調整工程）。ここで、負荷と、駆動部１６の駆動量との関係は実験的に決定されていてもよいし、検出された負荷に応じて駆動部１６のフィードバック制御を行ってもよい。

そして、すべての分断予定ラインＬについて、ウェーハＷの分割が終了すると（ステップＳ１８のＹｅｓ）、処理を終了する。

本実施形態によれば、駆動部１６のモニタリングを行って、駆動部１６のモータによりフレームＦに加えられる力を制御することにより、ウェーハ分割治具３２の走査中におけるダイシングテープＳの張力の低下を防止することができる。

なお、第２の実施形態では、フレームＦ駆動用の駆動部１６を設けたが、本発明はこれに限定されるものではない。フレームＦ駆動用の駆動部１６に代えて、又は加えて、突き上げ用リング３０を駆動するための駆動部を設けてもよい。この場合も、本実施形態と同様に、突き上げ用リング３０を駆動するための駆動部のモータにかかる負荷をモニタリングして、印加圧力を制御すればよい。

［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態について、図９及び図１０を参照して説明する。図９は、本発明の第３の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。なお、以下の説明において、第１又は第２の実施形態と同様の構成については、同一の記号を付して説明を省略する。

図９に示すように、ウェーハ分割装置１０Ｂは、第２の実施形態と同様に、駆動部１６を含んでいる。

本実施形態に係るウェーハ分割装置１０Ｂでは、検出部１４は、ウェーハ分割治具３２を走査するための治具駆動用モータ３４にかかる負荷（負荷トルク）を計測する。ダイシングテープＳの張力が低下するにつれて、治具駆動用モータ３４にかかる負荷トルクが小さくなる。また、ダイシングテープＳのスティックスリップが発生すると、治具駆動用モータ３４にかかる負荷トルクが周期的に変動する。本実施形態では、この負荷トルクを利用して、ダイシングテープＳの張力の低下を検出する。

制御部１２は、モータの負荷トルクの計測値に応じて駆動部１６を制御する。これにより、ダイシングテープＳの張力と、駆動部１６によりフレームＦに加えられる力のバランスを調整することができる。

次に、本発明の第３の実施形態に係るウェーハ分割方法について説明する。本実施形態に係るウェーハ分割方法は、主にテープの張力判定工程が第２の実施形態と異なるため、テープの張力判定工程を中心に説明する。

図１０は、本発明の第３の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。

張力判定工程においては、まず、検出部１４は、治具駆動用モータ３４にかかる負荷トルクを計測する（ステップＳ１４０）。そして、制御部１２は、検出部１４による負荷トルクの計測値を取得し、負荷トルクが閾値以上の場合（ステップＳ１４２のＮｏ）であって、かつ、負荷トルクの周期的な変動がみられない場合には（ステップＳ１４４のＮｏ）、ダイシングテープＳの張力の低下なしと判定する（ステップＳ１４６）。

一方、制御部１２は、負荷トルクが閾値未満の場合（ステップＳ１４２のＹｅｓ）、又は負荷トルクの周期的な変動が検出された場合には（ステップＳ１４４のＹｅｓ）、ダイシングテープＳの張力の低下ありと判定する（ステップＳ１４８）。

ステップＳ１４４では、制御部１２は、例えば、負荷トルクの計測値と、直前の所定回数分の計測値を比較して周期的な変動の有無を判断する。

ダイシングテープＳの張力が低下していないと判定されると、制御部１２は、ダイシングテープＳの張力の変動のモニタリングを継続する。一方、ダイシングテープＳの張力が低下していると判定されると、制御部１２は、駆動部１６を制御して、ダイシングテープＳの張力の調整を行う。この治具駆動用モータ３４にかかる負荷トルクと、駆動部１６の駆動量との関係は実験的に決定されていてもよいし、検出された負荷トルクに応じて駆動部１６のフィードバック制御を行ってもよい。

本実施形態によれば、治具駆動用モータ３４のモニタリングを行って、駆動部１６を制御することにより、ウェーハ分割治具３２の走査中におけるダイシングテープＳの張力の低下を防止することができる。

なお、本実施形態では、上記の構成に代えて、又は上記の構成に加えて、ウェーハ分割治具３２の走査方向に印加される力を検出するセンサ（例えば、ひずみゲージ）を設けて、このセンサにより、ウェーハ分割治具３２又は治具駆動用モータ３４にかかる負荷を計測するようにしてもよい。

［第４の実施形態］
次に、本発明の第４の実施形態について、図１１から図１４を参照して説明する。図１１は、本発明の第４の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。なお、以下の説明において、第１又は第２の実施形態と同様の構成については、同一の記号を付して説明を省略する。

本実施形態に係るウェーハ分割装置１０Ｃは、ダイシングテープＳのテープ面の位置検出を行うためのレーザ変位計５０を含んでいる。レーザ変位計５０は、パルス発光されたレーザが対象物にあたって戻ってくるまでの時間を計測し、距離に換算するＴＯＦ（Time Of Flight）方式で、ダイシングテープＳのテープ面までの距離を計測する。レーザ変位計５０は、ＸＹ軸方向に移動可能となっており、ダイシングテープＳの各部において、レーザ変位計５０とダイシングテープＳのテープ面との間の距離を測定することが可能になっている。

検出部１４は、レーザ変位計５０からダイシングテープＳのテープ面までの距離の値を制御部１２に出力する。

制御部１２は、検出部１４から取得した変位の計測値に応じて、ダイシングテープＳの張力が低下しているか否かを判定し、駆動部１６を制御する。これにより、ダイシングテープＳの張力と、駆動部１６によりフレームＦに加えられる力のバランスを調整することができる。

なお、ダイシングテープＳのテープ面の変位の測定手段は、レーザ変位計５０に限定されないが、非接触で変位を測定できるセンサ（変位計）を用いることが好ましい。

図１２は、ダイシングテープの張力調整を行わなかった場合におけるダイシングテープの変位の例を示すグラフである。図１３は、ダイシングテープの張力調整を行った場合におけるダイシングテープの変位の経時変化を示すグラフである。図１２及び図１３の縦軸はダイシングテープＳの変位量を示している。図１２の横軸は、ウェーハ分割治具３２の移動方向（走査方向、Ｘ軸方向）を示しており、図１３の横軸は、時間を示している。

ダイシングテープＳの張力調整を行わなかった場合、図１２に示すように、ダイシングテープＳには、張力の低下により撓みが生じる。このため、ウェーハ分割治具３２の走査方向に沿って、ダイシングテープＳの変位が周期的に変動する。

ダイシングテープＳの張力調整を行った場合、図１３に示すように、ダイシングテープＳの張力の低下に伴い撓みが生じると、駆動部１６が制御されて、ダイシングテープＳの張力が調整されて撓みが解消する。これにより、ダイシングテープＳの張力の低下を防止することができる。

次に、本発明の第４の実施形態に係るウェーハ分割方法について説明する。本実施形態に係るウェーハ分割方法は、主にテープの張力判定工程が第２の実施形態と異なるため、テープの張力判定工程を中心に説明する。

図１４は、本発明の第４の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。

張力判定工程においては、まず、検出部１４は、レーザ変位計５０によりダイシングテープＳの変位を計測する（ステップＳ１５０）。そして、制御部１２は、検出部１４を介してレーザ変位計５０による変位の計測値を取得し、変位の計測値が閾値未満の場合（ステップＳ１５２のＮｏ）であって、かつ、ダイシングテープＳの振動（変位の計測値の周期的な変動）が検出されなかった場合には（ステップＳ１５４のＮｏ）、ダイシングテープＳの張力の低下なしと判定する（ステップＳ１５６）。

一方、制御部１２は、変位の計測値が閾値以上の場合（ステップＳ１５２のＹｅｓ）、又はダイシングテープＳの振動が検出された場合には（ステップＳ１５４のＹｅｓ）、ダイシングテープＳの張力の低下ありと判定する（ステップＳ１５８）。

ステップＳ１５４では、制御部１２は、例えば、ダイシングテープＳのＸＹ軸方向の同一位置における変位の計測値の経時変化に基づいて、ダイシングテープＳの張力の低下に起因する撓みの発生及び振動の有無の検出を行う。また、制御部１２は、レーザ変位計５０をダイシングテープＳのＸＹ軸方向に走査して、ＸＹ平面の各位置における変位の計測値を比較し、ダイシングテープＳの張力の低下に起因する撓みの発生及び振動の有無の検出を行う。

ダイシングテープＳの張力が低下していないと判定されると、制御部１２は、ダイシングテープＳの張力の変動のモニタリングを継続する。一方、ダイシングテープＳの張力が低下していると判定されると、制御部１２は、駆動部１６を制御して、ダイシングテープＳの張力の調整を行う。この変位と、駆動部１６の駆動量との関係は実験的に決定されていてもよいし、検出された変位に応じて駆動部１６のフィードバック制御を行ってもよい。

本実施形態によれば、ダイシングテープＳの変位のモニタリングを行って、駆動部１６を制御することにより、ウェーハ分割治具３２の走査中におけるダイシングテープＳの張力の低下を防止することができる。

［第５の実施形態］
次に、本発明の第５の実施形態について、図１５から図１８を参照して説明する。なお、以下の説明において、第１又は第２の実施形態と同様の構成については、同一の記号を付して説明を省略する。

図１５は、本発明の第５の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。なお、図１５では、図面の簡略化のため、真空源３６及び配管３８の図示を省略する。

本実施形態に係るウェーハ分割装置１０Ｄは、投光源６０及び受光センサ６２からなる透過率計測部を含んでいる。投光源６０及び受光センサ６２は、ダイシングテープＳを介して対向するように設けられており、ＸＹ軸方向に沿って走査可能となっている。投光源６０は、受光センサ６２に向かって光（例えば、赤外光、可視光）を出射する。受光センサ６２は、投光源６０から出射された光を受光する。

検出部１４は、投光源６０から出射された光の光量と、受光センサ６２によって受光された光の光量を比較してダイシングテープＳの光の透過率を計算し、制御部１２に出力する。

ダイシングテープＳの光の透過率は、スティックスリップ、又はダイシングテープＳの厚みの変化により変動する。制御部１２は、検出部１４から取得した透過率の計測値に応じて、スティックスリップ又は厚みの変化を検出し、ダイシングテープＳの張力が低下しているか否かを判定し、駆動部１６を制御する。これにより、ダイシングテープＳの張力と、駆動部１６によりフレームＦに加えられる力のバランスを調整することができる。

図１６は、ダイシングテープの張力調整を行わなかった場合におけるダイシングテープの透過率の例を示すグラフである。図１７は、ダイシングテープの張力調整を行った場合におけるダイシングテープの透過率の経時変化を示すグラフである。図１６及び図１７の縦軸はダイシングテープＳの光の透過率を示している。図１６の横軸は、ウェーハ分割治具３２の移動方向（走査方向、Ｘ軸方向）を示しており、図１７の横軸は、時間を示している。

ダイシングテープＳの張力調整を行わなかった場合、図１６に示すように、ダイシングテープＳには、張力の変動又は撓みの発生によりテープの厚みの変化が生じる。このため、ウェーハ分割治具３２の走査方向に沿って、ダイシングテープＳの光の透過率が周期的に変動する。

ダイシングテープＳの張力調整を行った場合、図１７に示すように、ダイシングテープＳの張力の変動が生じると、駆動部１６が制御されて、ダイシングテープＳの張力が調整されて透過率の変動が解消する。これにより、ダイシングテープＳの張力の低下を防止することができる。

次に、本発明の第５の実施形態に係るウェーハ分割方法について説明する。本実施形態に係るウェーハ分割方法は、主にテープの張力判定工程が第２の実施形態と異なるため、テープの張力判定工程を中心に説明する。

図１８は、本発明の第５の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。

張力判定工程においては、まず、検出部１４は、ダイシングテープＳの透過率を計測する（ステップＳ１６０）。そして、制御部１２は、検出部１４を介して透過率の計測値を取得し、透過率の変動が検出されなかった場合には（ステップＳ１６２のＮｏ）、ダイシングテープＳの張力の低下なしと判定する（ステップＳ１６４）。

一方、制御部１２は、透過率の変動が検出された場合には（ステップＳ１６２のＹｅｓ）、ダイシングテープＳの張力の低下ありと判定する（ステップＳ１６６）。

ステップＳ１６２では、制御部１２は、例えば、投光源６０及び受光センサ６２をダイシングテープＳのＸＹ軸方向に走査して、ＸＹ平面の各位置における透過率の計測値を比較し、ダイシングテープＳの張力の低下に起因する撓みの発生及び振動の有無の検出を行う。

ダイシングテープＳの張力が低下していないと判定されると、制御部１２は、ダイシングテープＳの張力の変動のモニタリングを継続する。一方、ダイシングテープＳの張力が低下していると判定されると、制御部１２は、駆動部１６を制御して、ダイシングテープＳの張力の調整を行う。この透過率と、駆動部１６の駆動量との関係は実験的に決定されていてもよいし、検出された透過率に応じて駆動部１６のフィードバック制御を行ってもよい。

本実施形態によれば、ダイシングテープＳの透過率のモニタリングを行って、駆動部１６を制御することにより、ウェーハ分割治具３２の走査中におけるダイシングテープＳの張力の低下を防止することができる。

なお、第１から第５の実施形態では、ウェーハ分割治具３２の先端に吸引口３２Ｂを設けてダイシングテープＳをウェーハ分割治具３２に真空吸着するようにしたが、真空吸着のための構成を設けないことも可能である。第１から第５の実施形態では、ウェーハ分割治具３２は、ウェーハＷの裏面側に当接する凸形状の部材であってもよいし、ウェーハＷの裏面側に当接する凹形状の部材であってもよい。

また、第１、第２、第４及び第５の実施形態では、ウェーハ分割治具３２を設けずに、ダイシングテープＳに引っ張り応力のみを作用させて、ウェーハＷの分割を行うようにしてもよい。なお、第１、第２、第４及び第５の実施形態においては、ウェーハ分割治具３２が必須ではないため、ワークが載置されたテーブルと、フレームＦとを相対的に移動させる構成のエキスパンド部を適用することも可能である。

［第６の実施形態］
次に、本発明の第６の実施形態について、図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は、本発明の第６の実施形態に係るウェーハ分割装置を示すブロック図である。なお、以下の説明において、第１又は第２の実施形態と同様の構成については、同一の記号を付して説明を省略する。

本実施形態に係るウェーハ分割装置１０Ｅは、配管３８の内部の圧力を測定するための圧力センサ７０を含んでいる。圧力センサ７０としては、例えば、圧力センサ７０に設けられた隔膜の変形を、静電容量の変化又はひずみゲージを利用して測定するものを用いることができる。

ダイシングテープＳの張力が低下すると、ダイシングテープＳの剛性が低下する。ダイシングテープＳの剛性が低下すると、ウェーハ分割治具３２の走査に伴う摩擦により、ウェーハ分割治具３２の走査方向前方側において、ダイシングテープＳの弛みが生じる。このため、ウェーハ分割治具３２とダイシングテープＳとの間に隙間が形成され、吸引口３２ＢにダイシングテープＳが吸着するときの吸着圧力が低下し、配管３８内の圧力が変動する。また、この弛みが大きい場合には、スティックスリップが発生し、ダイシングテープＳがウェーハ分割治具３２に対してスリップするときに、吸着圧力が大きく低下する。本実施形態では、この圧力の変動を利用して、ダイシングテープＳの張力の低下の判定を行う。

本実施形態に係る検出部１４は、所定の時間（例えば、数秒から数十秒）ごとに、圧力センサ７０による配管３８内の圧力の計測値を取得する。

制御部１２は、検出部１４から取得した透過率の計測値に応じて、スティックスリップ又は厚みの変化を検出し、ダイシングテープＳの張力が低下しているか否かを判定し、駆動部１６を制御する。これにより、ダイシングテープＳの張力と、駆動部１６によりフレームＦに加えられる力のバランスを調整することができる。

次に、本発明の第６の実施形態に係るウェーハ分割方法について説明する。本実施形態に係るウェーハ分割方法は、主にテープの張力判定工程が第２の実施形態と異なるため、テープの張力判定工程を中心に説明する。

図２０は、本発明の第６の実施形態に係るウェーハ分割方法におけるテープの張力判定工程を示すフローチャートである。

張力判定工程においては、まず、検出部１４は、配管３８内の圧力を計測する（ステップＳ１７０）。そして、制御部１２は、検出部１４を介して圧力の計測値を取得し、圧力の変動が検出されなかった場合には（ステップＳ１７２のＮｏ）、ダイシングテープＳの張力の低下なしと判定する（ステップＳ１７４）。

一方、制御部１２は、圧力の変動が検出された場合には（ステップＳ１７２のＹｅｓ）、ダイシングテープＳの張力の低下ありと判定する（ステップＳ１７６）。

ステップＳ１７２では、制御部１２は、例えば、圧力の計測値の経時変化に基づいて、ダイシングテープＳの張力の低下に起因する撓みの発生及び振動の有無の検出を行う。

ダイシングテープＳの張力が低下していないと判定されると、制御部１２は、ダイシングテープＳの張力の変動のモニタリングを継続する。一方、ダイシングテープＳの張力が低下していると判定されると、制御部１２は、駆動部１６を制御して、ダイシングテープＳの張力の調整を行う。この圧力と、駆動部１６の駆動量との関係は実験的に決定されていてもよいし、検出された圧力に応じて駆動部１６のフィードバック制御を行ってもよい。

本実施形態によれば、配管３８の圧力のモニタリングを行って、駆動部１６を制御することにより、ウェーハ分割治具３２の走査中におけるダイシングテープＳの張力の低下を防止することができる。

なお、第２から第６の実施形態においても、第１の実施形態の変形例と同様に、剛性が低いダイシングフレームを用いて、ダイシングフレームの変形を利用した方向ごとの張力制御を行うことが可能である。

また、第１から第６の実施形態におけるダイシングテープの張力の低下を検出するための機構は、組み合わせて使用することも可能である。

また、第１から第６の実施形態に係るウェーハ分割装置及び方法の適用範囲は、シリコン製のウェーハに限定されるものではなく、例えば、ガラス基板を備えたウェーハ、圧電ウェーハ等に適用することが可能である。

１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ…ウェーハ分割装置、１２…制御部、１４…検出部、１５…張力調整機構、１６…駆動部、１８…保持部、３０…突き上げ用リング、３２…ウェーハ分割治具、３２Ａ…当接面、３２Ｂ…吸引口、３４…治具駆動用モータ、３６…真空源、３８…配管、５０…レーザ変位計、６０…投光源、６２…受光センサ、７０…圧力センサ、Ｗ…ウェーハ、Ｆ…フレーム、Ｓ…ダイシングテープ、Ｃ…チップ

Claims (12)

1. 分断予定ラインが形成されたウェーハと、前記ウェーハを囲むフレームとが貼着されたダイシングテープをエキスパンドするエキスパンド部と、
   前記ウェーハの分割作業中に前記ダイシングテープの張力の低下に応じて前記ダイシングテープに加える張力を調整する張力調整部と、
   を備えるウェーハ分割装置。
2. 前記エキスパンド部は、
   エキスパンドリングと、
   前記フレームを保持する保持部とを備え、
   前記エキスパンドリングと前記フレームとを相対的に移動させて、前記ダイシングテープをエキスパンドする、請求項１記載のウェーハ分割装置。
3. 前記張力調整部は、前記エキスパンドリング又は前記フレームに対して一定の力を付与するためのエアシリンダ又は液圧シリンダを備える、請求項２記載のウェーハ分割装置。
4. 前記ダイシングテープの張力の変化を検出する検出部と、
   前記エキスパンドリングと前記フレームとを相対的に移動させるための駆動部とを更に備え、
   前記張力調整部は、前記検出部による検出結果に基づいて前記ダイシングテープの張力が低下したと判定した場合に、前記駆動部を制御して前記ダイシングテープに加える張力を調整する、請求項２記載のウェーハ分割装置。
5. 前記駆動部は、前記エキスパンドリングと前記フレームとを相対的に移動させるためのモータを備え、
   前記検出部は、前記モータにかかる負荷を計測し、
   前記張力調整部は、前記検出部によって計測された前記モータにかかる負荷に基づいて、前記ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定する、請求項４記載のウェーハ分割装置。
6. 前記検出部は、前記ダイシングテープの変位を計測するための変位計を含み、
   前記張力調整部は、前記変位計によって計測された前記ダイシングテープの変位に基づいて、前記ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定する、請求項４又は５記載のウェーハ分割装置。
7. 前記検出部は、前記ダイシングテープの光の透過率を計測するための透過率計測部を含み、
   前記張力調整部は、前記透過率計測部によって計測された前記ダイシングテープの変位に基づいて、前記ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定する、請求項４から６のいずれか１項記載のウェーハ分割装置。
8. 前記ウェーハの前記ダイシングテープが貼着された面に当接し、前記ウェーハの前記分断予定ラインが形成された位置に曲げ応力を作用させるためのウェーハ分割治具を更に備える請求項４から７のいずれか１項記載のウェーハ分割装置。
9. 前記ウェーハ分割治具を走査するための治具駆動用モータを更に備え、
   前記検出部は、前記治具駆動用モータにかかる負荷を計測し、
   前記張力調整部は、前記検出部によって計測された前記治具駆動用モータにかかる負荷に基づいて、前記ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定する、請求項８記載のウェーハ分割装置。
10. 前記ウェーハ分割治具の前記ウェーハの前記ダイシングテープが貼着された面に当接する面に吸引口を介して真空吸引を行う真空源を更に備える請求項８又は９記載のウェーハ分割装置。
11. 前記検出部は、前記吸引口から前記真空源に至る配管内の圧力を計測する圧力センサを含み、
    前記張力調整部は、前記圧力センサによって計測された前記配管内の圧力に基づいて、前記ダイシングテープの張力が低下したか否かを判定する、請求項１０記載のウェーハ分割装置。
12. 分断予定ラインが形成されたウェーハと、前記ウェーハを囲むフレームとが貼着されたダイシングテープをエキスパンドするエキスパンド工程と、
    前記ウェーハの分割作業中に前記ダイシングテープの張力の低下に応じて前記ダイシングテープに加える張力を調整する張力調整工程と、
    を備えるウェーハ分割方法。

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