JP5613982B2 - 半導体チップの製造方法及びダイシングテープ - Google Patents
半導体チップの製造方法及びダイシングテープ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5613982B2 JP5613982B2 JP2009015802A JP2009015802A JP5613982B2 JP 5613982 B2 JP5613982 B2 JP 5613982B2 JP 2009015802 A JP2009015802 A JP 2009015802A JP 2009015802 A JP2009015802 A JP 2009015802A JP 5613982 B2 JP5613982 B2 JP 5613982B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dicing tape
- semiconductor chip
- adhesive sheet
- dicing
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
(A)半導体基板:シリコンウエハ(厚さ350μm、外径6インチ)
(B)レーザ光源:半導体レーザ励起Nd:YAGレーザ、波長:1064nm、レーザ光スポット断面積:3.14×10−8cm2、発振形態:Qスイッチパルス、繰り返し周波数:100kHz、パルス幅:30ns、出力:20μJ/パルス、レーザ光品質:TEM00、偏光特性:直線偏光
(C)集光用レンズ:倍率:50倍、NA:0.55、レーザ光波長に対する透過率60%
(D)半導体基板が載置される載置台の移動速度:100mm/秒
Claims (5)
- 半導体ウエハの一面側に接着シート及びダイシングテープを貼り付ける貼付工程と、
前記ダイシングテープを伸張させることにより、前記半導体ウエハを前記接着シート付きの略長方形状の半導体チップに個片化する切断工程とを備えた半導体チップの製造方法であって、
前記貼付工程において、個片化する半導体チップの長辺方向に前記ダイシングテープのトランスバースダイレクション方向を沿わせ、かつ短辺に前記ダイシングテープのマシンダイレクション方向を沿わせ、
前記ダイシングテープは、前記マシンダイレクション方向の伸び量に対する前記トランスバースダイレクション方向の伸び量の比率が1.02〜1.5であることを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 前記ダイシングテープは、ポリ塩化ビニル基材からなることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの製造方法。
- 前記ダイシングテープは、ポリエチレン基材、ポリプロピレン基材、及び塩素を含まないモノマーを共重合したポリマーからなる基材のいずれかからなることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの製造方法。
- 前記貼付工程において、前記ダイシングテープに前記接着シートが予め形成されたものを用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の半導体チップの製造方法。
- 前記切断工程において、ハーフカットダイシング又はステルスダイシングを用いる請求項1〜4のいずれか一項記載の半導体チップの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009015802A JP5613982B2 (ja) | 2008-04-11 | 2009-01-27 | 半導体チップの製造方法及びダイシングテープ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008103469 | 2008-04-11 | ||
JP2008103469 | 2008-04-11 | ||
JP2009015802A JP5613982B2 (ja) | 2008-04-11 | 2009-01-27 | 半導体チップの製造方法及びダイシングテープ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009272611A JP2009272611A (ja) | 2009-11-19 |
JP5613982B2 true JP5613982B2 (ja) | 2014-10-29 |
Family
ID=41438861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009015802A Expired - Fee Related JP5613982B2 (ja) | 2008-04-11 | 2009-01-27 | 半導体チップの製造方法及びダイシングテープ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5613982B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5128575B2 (ja) * | 2009-12-04 | 2013-01-23 | リンテック株式会社 | ステルスダイシング用粘着シート及び半導体装置の製造方法 |
JP2011216671A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体ウエハの加工用テープ、その製造方法および半導体ウエハの加工方法 |
JP5912274B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2016-04-27 | 株式会社東京精密 | チップ分割離間装置、及びチップ分割離間方法 |
JP6264126B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2018-01-24 | 日立化成株式会社 | ウエハ加工用テープ |
JP6299315B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2018-03-28 | 日立化成株式会社 | ウエハ加工用テープ |
JP6334223B2 (ja) | 2014-03-26 | 2018-05-30 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
JP7016264B2 (ja) * | 2018-01-11 | 2022-02-04 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2837829B2 (ja) * | 1995-03-31 | 1998-12-16 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置の検査方法 |
JP4578050B2 (ja) * | 2001-09-04 | 2010-11-10 | グンゼ株式会社 | ウェハダイシングテープ用基材 |
JP2003092273A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Mitsubishi Plastics Ind Ltd | 半導体ウエハ用ダイシングフィルム |
JP2005311044A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体基板の分割方法および半導体基板の分割装置 |
JP2008060170A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Nitto Denko Corp | ウォータージェットレーザダイシング用粘着シート |
-
2009
- 2009-01-27 JP JP2009015802A patent/JP5613982B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009272611A (ja) | 2009-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5556070B2 (ja) | ダイシングテープ一体型接着シートを用いた半導体装置の製造方法 | |
US7968194B2 (en) | Dicing tape laminated with adhesive sheet of polymer, thermosetting resin and filler | |
JP5206769B2 (ja) | 接着シート | |
JP4770126B2 (ja) | 接着シート | |
JP4976522B2 (ja) | 熱硬化型ダイボンドフィルム、ダイシング・ダイボンドフィルム、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP5613982B2 (ja) | 半導体チップの製造方法及びダイシングテープ | |
JP5493460B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及びダイシングテープ一体型接着シート | |
JP6295135B2 (ja) | ダイシング・ダイボンドフィルム | |
JP2011060848A (ja) | 熱硬化型ダイボンドフィルム、ダイシング・ダイボンドフィルム、及び、半導体装置 | |
JP2010074136A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009120830A (ja) | 接着シート及びこれを用いた半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009283925A (ja) | ダイシングテープ一体型接着シート、ダイシングテープ一体型接着シートの製造方法、及び半導体装置の製造方法 | |
JP2006093213A (ja) | 接着剤層付き半導体素子の製造方法 | |
JP2017005160A (ja) | ウエハ加工用テープ | |
JP5444763B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、それにより製造される半導体装置、及びダイシングテープ一体型接着シート | |
JP5908543B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009238770A (ja) | ダイシングテープ、ダイシングテープ一体型接着シート、及び半導体装置の製造方法 | |
JP2004256695A (ja) | 接着シート、ならびにこれを用いた半導体装置およびその製造方法 | |
WO2021215247A1 (ja) | バックグラインド用粘着性フィルムおよび電子装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130528 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140304 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140812 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140825 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5613982 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |