TW201838002A - 分離裝置及分離方法 - Google Patents

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Abstract

[課題] 　　在於提供一種分離裝置及分離方法，可作成即使解除對接著片賦予的張力，被著體的相互間隔仍不會盡可能變窄。 [解決手段] 　　具備複數個保持手段(20)、分離手段(30)、第1賦能手段(50)，該複數個保持手段係就在其中一面(AS1)與另一面(AS2)中至少一者貼附複數個被著體(CP)的接著片(AS)的端部進行保持者，該分離手段(30)係使就接著片(AS)的端部進行保持的保持手段(20)相對移動，增加被著體(CP)的相互間隔者，接著片(AS)可因賦予既定的能量(UV)而硬化，該第1賦能手段(50)係對在以分離手段(30)增加被著體(CP)的相互間隔的狀態下的接著片(AS)，賦予既定的能量(UV)從而使該接著片(AS)硬化者。

Description

分離裝置及分離方法
本發明涉及分離裝置及分離方法。
歷來，已知增加貼附於接著片的複數個被著體的相互間隔的分離裝置(例如，專利文獻1參照)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2016-127124號公報
[發明所欲解決之問題]
然而，在如記載於專利文獻1的歷來的分離裝置，例如在如將在接著片上增加相互間隔後的片狀體(被著體)與該接著片一起搬送的情況下，若透過保持手段所為的接著片的保持無作用，則接著片被解除被賦予的張力，將傾向接近變形前的狀態，故具有被著體的相互間隔變窄如此的不妥。
本發明之目的在於提供一種分離裝置及分離方法，可作成即使解除對接著片賦予的張力，被著體的相互間隔仍不會盡可能變窄。 [解決問題之技術手段]
本發明採用記載於請求項的構成。 [對照先前技術之功效]
依本發明時，對可因被賦予既定的能量而硬化的接著片，賦予該既定的能量而使該接著片硬化，故可作成即使解除對接著片賦予的張力，被著體的相互間隔仍不會盡可能變窄。 　　再者，具備維持構材安裝手段時，可作成被著體的相互間隔不會變更窄。 　　此外，具備切斷手段時，在就在接著片上增加相互間隔後的被著體進行搬送之際，可防止接著片的端部成為搬送的障礙。 　　再者，具備第2賦能手段時，可容易增加被著體的相互間隔。
以下，基於圖式說明本發明的實施方式。 　　另外，本實施方式中的X軸、Y軸、Z軸存在彼此正交的關係，X軸及Y軸係既定平面內的軸，Z軸係與前述既定平面正交的軸。再者，在本實施方式，以從與Y軸平行的箭頭BD方向視看時的情況為基準，在未舉出作為基準之圖的情況下說明方向時，「上」為Z軸的箭頭方向、「下」為其逆向，「左」為X軸的箭頭方向、「右」為其逆向，「前」為Y軸的箭頭方向、「後」為其逆向。
本發明的分離裝置10具備複數個保持手段20、分離手段30、檢測手段40、第1賦能手段50、第2賦能手段60、維持構材安裝手段70、切斷手段80，該複數個保持手段20係就在其中一面AS1貼附複數個被著體CP的接著片AS的端部進行保持者，該分離手段30係使就接著片AS的端部進行保持的保持手段20相對移動，增加被著體CP的相互間隔者，該檢測手段40係可就被著體CP的相互間隔、各被著體CP的整體的集合形狀等進行檢測的相機、投影機等的攝像手段、光學感測器、音波感測器等的各種感測器等者，該第1賦能手段50係對在以分離手段30增加被著體CP的相互間隔的狀態下的接著片AS賦予作為既定的能量的紫外線UV從而使該接著片AS硬化者，該第2賦能手段60係對接著片AS賦序作為別的能量的紅外線IR者，該維持構材安裝手段70係對在增加被著體CP的相互間隔的狀態下的接著片AS安裝間隔維持構材DM者，該切斷手段80係將接著片AS切斷者。 　　另外，接著片AS採用如下者：於基材片的其中一面層積紫外線硬化型的接著劑層，具備一性質，該性質係被賦予張力後，若在未被賦予紫外線UV之下該張力被解除時，傾向接近變形前的狀態者，且因被賦予紫外線UV而硬化，另一方面因被賦予紅外線IR因軟化。
保持手段20具備：作為被分離手段30支撐的驅動機器的轉動馬達21、被其輸出軸21A支撐的上保持構材22。
分離手段30具備：作為驅動機器的線性馬達31、被其滑件31A支撐並以上表面側支撐轉動馬達21的下保持構材32。
第1賦能手段50具備：配置複數個於上殼UC內的上側紫外線燈51、配置複數個於下殼BC內的下側紫外線燈52。上側、下側紫外線燈51、52係作成對接著片AS整體地照射紫外線UV。
第2賦能手段60具備：具備移動於Y軸方向的滑件61A的作為驅動機器的線性馬達61、被滑件61A支撐並具備移動於X軸方向的滑件62A的作為驅動機器的線性馬達62、被滑件62A支撐的基台63、在基台63上被經由立架64及下殼BC而支撐的紅外線燈65。紅外線燈65係作成對接著片AS局部地照射紅外線IR。
維持構材安裝手段70具備：線性馬達61、62及基台63、被支撐於基台63上的作為驅動機器的直線馬達71、被其輸出軸71A支撐、具有可透過減壓泵浦、真空噴射器等的未圖示的減壓手段而支撐間隔維持構材DM的支撐面72A的支撐台72。另外，本實施方式的情況下，間隔維持構材DM係使用在玻璃板GP的其中一面貼附雙面接著片BA者。
切斷手段80具備：由複數個臂件而構成的作為驅動機器的多關節機器人81、被屬該多關節機器人81的作業部的前端臂81A經由托架82而支撐的作為切斷構材的刀刃83。多關節機器人81可為可於其作業範圍內將以前端臂81A支撐者位移至任一個位置、任一個角度的所謂6軸機器人等，可例示例如例示於日本特開2016-81974的多關節機器人111等。
說明以上的分離裝置10的動作。 　　首先，對各構材在圖1(A)、(B)中以實線表示的初始位置待機的分離裝置10，該分離裝置10的使用者(以下簡稱「使用者」)經由操作面板、個人電腦等的未圖示的操作手段輸入自動運轉開始的信號。之後，作業員或驅動機器、傳送裝置等的未圖示的搬送手段以雙面接著片BA側為上側的方式，將間隔維持構材DM載置於支撐面72A上時，維持構材安裝手段70驅動未圖示的減壓手段，開始該間隔維持構材DM的吸附保持。然後，作業員或未圖示的搬送手段將貼附複數個被著體CP下的接著片AS載置於下保持構材32上時，保持手段20驅動各轉動馬達21，如在圖1(B)中以雙點劃線表示，以上保持構材22與下保持構材32保持接著片AS的端部。
接著，分離手段30驅動各線性馬達31，使保持手段20相互分離而增加被著體CP的相互間隔。此時，各被著體CP係如示於圖2(A)，有時由於接著片AS的應變等使得相互間隔無法增加至既定之間隔。所以，檢測手段40驅動相機等，就各被著體CP的相互間隔、各被著體CP的整體的集合形狀等進行檢測。接著，以檢測手段40的檢測結果為基礎，分離手段30驅動各線性馬達31，如示於圖2(B)，以各被著體CP的相互間隔成為既定間隔的方式，或以各被著體CP的整體的集合形狀相對於基礎的整體的集合形狀成為相似關係的方式，使各保持手段20個別移動。此時，檢測手段40檢測出存在被著體CP的相互間隔難分開的難分部分時，第2賦能手段60驅動線性馬達61、62及紅外線燈65，對難分部分局部地照射紅外線IR(圖3(A)參照)。藉此，難分部分軟化使得被著體CP的相互間隔容易分開。
之後，第1賦能手段50驅動上側、下側紫外線燈51、52，如示於圖3(A)，對接著片AS的其中一面AS1及另一面AS2賦予紫外線UV，使該接著片AS硬化，作成被著體CP的相互間隔不會變窄。接著，維持構材安裝手段70驅動線性馬達61、62，將間隔維持構材DM配置於已增加相互間隔的被著體CP的下方後，驅動直線馬達71，如示於圖3(B)，經由雙面接著片BA，於接著片AS的另一面AS2側安裝間隔維持構材DM。
之後，切斷手段80驅動多關節機器人81，如示於圖3(C)，將刀刃83對接著片AS進行突刺後，沿著被著體CP整體的外緣使該刀刃83繞一周而將接著片AS切斷，形成被安裝間隔維持構材DM、在接著片AS上已增加被著體CP的相互間隔的一體物WK。接著，切斷手段80驅動多關節機器人81，使刀刃83回歸至初始位置時，維持構材安裝手段70停止未圖示的減壓手段的驅動，解除間隔維持構材DM的吸附保持。然後，作業員或未圖示的搬送手段將一體物WK搬送至別的程序時，保持手段20驅動轉動馬達21，解除利用上保持構材22與下保持構材32進行的接著片AS的保持。之後，作業員或未圖示的搬送手段除去殘留於下保持構材32上的接著片AS部分時，各手段驅動個別的驅動機器，使各構材回歸至初始位置，之後重複上述同樣的動作。
依如以上的分離裝置10時，對可因被賦予紫外線UV而硬化的接著片AS，賦予該紫外線UV而予以硬化，故可作成即使解除對接著片AS賦予的張力，被著體CP的相互間隔仍不會盡可能變窄。
在本發明中的手段及程序係只要可發揮就該等手段及程序進行說明的動作、功能或程序則無任何限定，更不論未完全限定於在前述實施方式所示的僅一實施方式的構成物、程序。例如，保持手段係只要為可就於其中一面與另一面中至少一者貼附複數個被著體下的接著片的端部進行保持者，則對照申請時的技術常識，只要為該技術範圍內者即無任何限定(其他手段及程序亦同)。
本發明的分離裝置係如示於圖4(A)，亦可為一分離裝置10A，該分離裝置10A具備保持手段20、抵接手段90、分離手段30A、檢測手段40、第1賦能手段50、維持構件安裝手段70A、切斷手段80，該抵接手段90係在接著片AS的比貼附複數個被著體CP的被著體接著區域CE靠外側、在保持手段20保持的保持區域HE的內側扺接於該接著片AS者，該分離手段30A係使保持接著片AS的端部下的保持手段20及抵接手段90相對移動，增加被著體CP的相互間隔者，該維持構材安裝手段70A係在增加被著體CP的相互間隔的狀態下，於接著片AS安裝間隔維持構材DM者。 　　另外，於分離裝置10A，具有與分離裝置10同等的構成、同等的功能者係標注與該分離裝置10相同的編號而省略其構成說明，動作說明係簡略化。
分離手段30A具備：支撐於底板BP上的作為驅動機器的直線馬達33、被其輸出軸33A支撐、以上表面側支撐轉動馬達21的下保持構材34。 　　維持構材安裝手段70A係在具備移動於Y軸方向的滑件73A的作為驅動機器的線性馬達73的該滑件73A上，經由直線馬達71支撐支撐台72。 　　抵接手段90具備：被支撐於底板BP上，在眼前側形成容許維持構材安裝手段70A的出入的切槽91A的圓筒狀的抵接構材91。於抵接構材91的內部，設置支撐下側紫外線燈52的支撐棧91B。
如此的分離裝置10A係作成如同分離裝置10，被貼附複數個被著體CP的接著片AS被載置於下保持構材34上時，保持手段20驅動轉動馬達21，如在圖4(B)中以雙點劃線表示，以上保持構材22與下保持構材34保持接著片AS的端部。另外，間隔維持構材DM係作成如同分離裝置10而載置在位於抵接構材91的外側(眼前側)的支撐台72上。此外，於接著片AS的端部，如示於圖4，雖貼附環狀的框體RF，惟亦可無該框體RF。接著，分離手段30A驅動直線馬達33，使保持手段20下降而使保持手段20及抵接手段90相對移動，如示於圖4(B)，增加被著體CP的相互間隔。之後，作成如同分離裝置10，以第1賦能手段50賦予紫外線UV而使接著片AS硬化後，維持構材安裝手段70A驅動線性馬達73，將間隔維持構材DM配置於已增加相互間隔的被著體CP的下方。然後，作成如同分離裝置10，如示於圖4(B)，以維持構材安裝手段70A於接著片AS的另一面AS2側安裝間隔維持構材DM，以切斷手段80切斷接著片AS後，將一體物WK搬送至別的程序。
依如此的分離裝置10A，亦可獲得與分離裝置10同樣的效果。
保持手段20亦可構成為就在另一面AS2貼附、在其中一面AS1及另一面AS2雙面貼附複數個被著體CP的接著片AS的端部進行保持者，亦可為構成以機械式夾具、夾頭缸等的把持手段、庫侖力、接著劑、黏著劑、磁力、白努力吸附、驅動機器等就接著片AS的端部進行保持者。 　　保持手段20係在分離裝置10的情況下，例如亦能以兩體而構成，該兩體係以往右方移動的該保持手段20為一體、以往左方移動的該保持手段20為一體者，亦可例如以能以往右方、左方及其他方向移動的三體以上而構成。 　　保持手段20係在分離裝置10A的情況下，可為一體亦可為兩體以上。
分離手段30、30A可為單數而非複數，此情況下，例如分離裝置10可構成為以一體的線性馬達的兩個滑件就保持手段20分別按各體進行支撐，增加被著體CP的相互間隔者，亦可構成為將被著體CP的相互間隔僅增加於一軸方向(例如，X軸方向或Y軸方向等)者。 　　分離手段30亦可構成為將相互間隔增加於3軸以上的方向(例如，X軸方向、Y軸方向及其他的軸方向)者，例如可構成為使予以移動於X軸方向的複數個保持手段20分別移動於Y軸方向(構成為使予以移動於Y軸方向的複數個保持手段20分別移動於X軸方向)，增加被著體CP的相互間隔者，亦可構成為無法以被著體CP的相互間隔成為既定間隔的方式而作動，或者構成為無法以各被著體CP的整體的集合形狀相對於基礎的整體的集合形狀成為相似關係的方式而作動者。 　　分離手段30A亦可一面使保持手段20停止或移動，一面使抵接手段90移動，從而使保持手段20及抵接手段90相對移動，增加被著體CP的相互間隔。 　　分離手段30、30A係可作業員操作按鍵、桿體等而驅動線性馬達31、直線馬達33，此情況下，例如可構成為將依檢測手段40所得的檢測結果顯示於監視器、檢測器等的顯示器，依顯示於此顯示器的檢測結果，以被著體CP的相互間隔成為既定間隔的方式，或以各被著體CP的整體的集合形狀相對於基礎的整體的集合形狀成為相似關係的方式，作業員將線性馬達31、直線馬達33予以驅動者。
檢測手段40亦可為作業員的目視，例如亦可構成為作業員透過目視，以被著體CP的相互間隔成為既定間隔的方式，或以各被著體CP的整體的集合形狀相對於基礎的整體的集合形狀成為相似關係的方式，操作按鍵、桿體等，驅動線性馬達31、直線馬達33者，可不具備於本發明的分離裝置10、10A。
第1賦能手段50可構成為對接著片AS的其中一面AS1側及另一面AS2側中至少一面側賦予第1能量者，可為將所有波長的電磁波(例如X射線、紅外線等)、加熱或冷卻的氣體、液體等的流體等作為第1能量而賦予接著片AS者，只要為可賦予可依接著片AS的構成使該接著片AS硬化的第1能量者則可為任意者，可於上殼UC內配置一體或複數個，可於下殼BC內配置一體或複數個，亦可未配置於上殼UC、下殼BC內，亦可無上殼UC、下殼BC本身，亦可構成為對接著片AS局部地賦予第1能量者，上側、下側紫外線燈51、52方面可採用LED(Light Emitting Diode：發光二極體)燈、高壓水銀燈、低壓水銀燈、金屬鹵素燈、氙燈、鹵素燈等任一者，亦可採用將該等酌情組合者。
第2賦能手段60可構成為對接著片AS的其中一面AS1側及另一面AS2側中至少一面側賦予第2能量者，可為將所有波長的電磁波(例如X射線、紫外線等)、加熱或冷卻的氣體、液體等的流體等作為第2能量而賦予接著片AS者，只要為可賦予可依接著片AS的構成使該接著片AS軟化的第2能量者則可為任意者，可於上殼UC內配置一體或複數個，可於下殼BC內配置一體或複數個，亦可未配置於上殼UC、下殼BC內，亦可構成為對接著片AS整體地賦予第2能量者，紅外線燈65方面可採用LED燈、高壓水銀燈、低壓水銀燈、金屬鹵素燈、氙燈、鹵素燈等任一者，亦可採用將該等酌情組合者，亦可不具備於本發明的分離裝置10。
維持構材安裝手段70、70A可構成為以機械式夾具、夾頭缸等的把持手段、庫侖力、接著劑、黏著劑、磁力、白努力吸附、驅動機器等支撐間隔維持構材DM，而不具備於本發明的分離裝置10、10A者，如此般即使未具備維持構材安裝手段70、70A，接著片AS仍在增加被著體CP的相互間隔的狀態下硬化，故可作成即使解除對接著片AS賦予的張力，被著體的相互間隔仍不會盡可能變窄。 　　維持構材安裝手段70、70A可對在增加被著體CP的相互間隔的狀態下的接著片AS的其中一面AS1、另一面AS2，安裝環狀或非環狀的間隔維持構材DM，亦可在對接著片AS賦予第1能量後、賦予前、賦予同時，對該接著片AS安裝間隔維持構材DM。
切斷手段80係可代替刀刃83採用雷射切割機、離子束、火力、熱、水壓、電熱線、氣體、液體等的吹拂等作為切斷構材，或亦能以將適當的驅動機器進行組合者使切斷構材移動而進行切斷，而可不具備於本發明的分離裝置10、10A。
抵接手段90除矩形狀、橢圓筒狀等以外，亦可採用圓柱、角柱、橢圓中等的其他形狀的抵接構材91。
分離裝置10A可具備第2賦能手段60，亦可構成為將維持構材安裝手段70A配置於抵接構材91的內部，該維持構材安裝手段70A不出入於抵接構材91的內部者，此情況下維持構材安裝手段70A可無線性馬達73，抵接構材91可無切槽91A。
間隔維持構材DM亦可代替玻璃板GP採用例如金屬、樹脂、木材、陶器等的構材，亦可作成代替雙面接著片BA以接著劑、潤濕性、磁附、吸附、白努力吸附等安裝於接著片，可為以外緣部厚度比其他區域大的方式而形成的杯狀、鍋狀者，亦可將其本身以接著片AS或與接著片AS係不同的其他接著片而構成，只要具備勝過接著片AS傾向接近變形前的狀態的力的剛性者則可為任意者，形狀亦可為任意形狀。
本發明中的接著片AS、雙面接著片BA、其他接著片及被著體CP的材質、類別、形狀等未特別限定。例如，接著片AS只要為因被賦予第1能量而硬化者則無任意限定。再者，接著片AS、雙面接著片BA及其他接著片可為例如圓形、橢圓形、三角形、四角形等的多角形或其他形狀，可為感壓接著性、感熱接著性等接著方式者，採用感熱接著性者的情況下，以設置將其加熱的適當的線圈加熱器、熱管的加熱側等的加熱手段等的適當的方法進行接著即可。此外，接著片AS亦可為不因賦予第2能量而軟化者。再者，接著片AS及其他接著片可為例如僅接著劑層的單層者、在基材與接著劑層之間具有中間層者、在基材之上表面具有遮蓋層等3層以上者，再者亦可為如可將基材從接著劑層剝離的所謂兩面接著片者，如此的雙面接著片、雙面接著片BA可為具有單層或複層之中間層者，亦可為無中間層的單層或複層者。此外，被著體CP方面，例如可為食品、樹脂容器、矽半導體晶圓、化合物半導體晶圓等的半導體晶圓、半導體晶片、電路基板、光碟等的資訊記錄基板、玻璃板、鋼板、陶器、木板或樹脂等的單體物，亦可為將該等以兩者以上而形成的複合物，任意的方式的構材、物品等亦可作為對象。另外，接著片AS係換功能性、用途性的讀法，例如可為資訊記載用標籤、裝飾用標籤、保護片、切割帶、晶粒接著膜DAF、晶粒接合帶、記錄層形成樹脂片等的任意的薄片、膜、貼帶等。 　　被著體CP亦可為在接著片AS上預先存在複數個，可為在以分離手段30、30A對接著片AS賦予張力的時點進行單片化，成為在接著片AS上存在複數個者。在對如此的接著片AS賦予張力的時點存在複數個的被著體CP方面，例如為下述者而無任何限定：對半導體晶圓照射雷射，於該半導體晶圓形成線狀、格狀等的脆弱的弱線，在對接著片AS賦予張力的時點進行單片化，成為複數個被著體CP；例如以刀刃切入於樹脂、玻璃板，於該樹脂、玻璃板形成線狀、格狀等的未貫通表背的切斷預定線、穿孔的切斷預定線等，在對接著片AS賦予張力的時點成為複數個被著體CP。
前述實施方式中的驅動機器只要可採用轉動馬達、直線馬達、線性馬達、單軸機器人、多關節機器人等的電動機器、汽缸、油壓缸、無桿缸及旋缸等的致動器等，則亦可採用將該等直接或間接組合者。
10、10A10‧‧‧分離裝置
2010‧‧‧保持手段
30、30A10‧‧‧分離手段
5010‧‧‧第1賦能手段
6010‧‧‧第2賦能手段
70、70A10‧‧‧維持構材安裝手段
8010‧‧‧切斷手段
9010‧‧‧抵接手段
AS10‧‧‧接著片
AS110‧‧‧其中一面
CE10‧‧‧被著體接著區域
CP10‧‧‧被著體
HE10‧‧‧保持區域
DM10‧‧‧間隔維持構材
IR10‧‧‧紅外線(別的能量)
UV10‧‧‧紫外線(既定的能量)
[圖1] (A)係本發明的實施方式相關的分離裝置的平面圖。(B)係圖1(A)之側視圖。 　　[圖2] (A)、(B)係本發明的實施方式相關的分離裝置的動作說明圖。 　　[圖3] (A)～(C)係本發明的實施方式相關的分離裝置的動作說明圖。 　　[圖4] (A)、(B)係本發明的其他例的說明圖。

Claims (7)

  1. 一種分離裝置，具備複數個保持手段、分離手段、第1賦能手段， 　　該複數個保持手段係就在其中一面與另一面中至少一者貼附複數個被著體的接著片的端部進行保持者， 　　該分離手段係使保持前述接著片的端部的前述保持手段相對移動，增加前述被著體的相互間隔者， 　　前述接著片可因賦予既定的能量而硬化， 　　該第1賦能手段係對以前述分離手段增加前述被著體的相互間隔的狀態下的前述接著片，賦予前述既定的能量從而使該接著片硬化者。
  2. 一種分離裝置，具備保持手段、抵接手段、分離手段、第1賦能手段， 　　該保持手段其係就在其中一面與另一面中至少一者貼附複數個被著體的接著片的端部進行保持者， 　　該抵接手段係在前述接著片的比貼附前述複數個被著體的被著體接著區域靠外側、在前述保持手段進行保持的保持區域的內側抵接於該接著片者， 　　該分離手段係使保持前述接著片的端部的前述保持手段及抵接手段相對移動，增加前述被著體的相互間隔者， 　　前述接著片可因賦予既定的能量而硬化， 　　該第1賦能手段係對以前述分離手段增加前述被著體的相互間隔的狀態下的前述接著片，賦予前述既定的能量從而使該接著片硬化者。
  3. 如請求項1或2的分離裝置，其具備維持構材安裝手段，該維持構材安裝手段係對增加前述被著體的相互間隔的狀態下的前述接著片安裝間隔維持構材者。
  4. 如請求項1至3的分離裝置，其具備切斷前述接著片的切斷手段。
  5. 如請求項1至4的分離裝置，其中， 　　前述接著片可因賦予與前述既定的能量係不同的別的能量而軟化， 　　具備對前述接著片賦予前述別的能量的第2賦能手段。
  6. 一種分離方法，具有保持程序、分離程序、第1賦能程序， 　　該保持程序係以複數個保持手段就在其中一面與另一面中至少一者貼附複數個被著體的接著片的端部進行保持者， 　　該分離程序係使保持前述接著片的端部的前述保持手段相對移動，增加前述被著體的相互間隔者， 　　前述接著片可因賦予既定的能量而硬化， 　　該第1賦能程序係對在前述分離程序增加前述被著體的相互間隔的狀態下的前述接著片，賦予前述既定的能量從而使該接著片硬化者。
  7. 一種分離方法，具有保持程序、分離程序、第1賦能程序， 　　該保持程序係以保持手段就在其中一面與另一面中至少一者貼附複數個被著體的接著片的端部進行保持者， 　　該分離程序係使抵接手段及使保持前述接著片的端部的前述保持手段相對移動，增加前述被著體的相互間隔者，該抵接手段係在前述接著片的比貼附前述複數個被著體的被著體接著區域靠外側、在前述保持手段進行保持的保持區域的內側抵接於該接著片者， 　　前述接著片可因賦予既定的能量而硬化， 　　該第1賦能程序係對在前述分離程序增加前述被著體的相互間隔的狀態下的前述接著片，賦予前述既定的能量從而使該接著片硬化者。
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