JP7108444B2 - 離間装置および離間方法 - Google Patents

Description

本発明は、離間装置および離間方法に関する。

接着シートに貼付された複数の被着体の相互間隔を広げる離間装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７－１０３６４９号公報

特許文献１に記載されたような従来のエキスパンド装置（離間装置）では、第１のシート１３（接着シート）の引き伸ばし動作によってチップＣ（被着体）の相互間隔を広げつつ、当該相互間隔が所定の間隔となった時点で接着シートの引き伸ばし動作が終了する。このとき、被着体に貼付されていない接着シート部分である解放シート部は、塑性変形と弾性変形とを伴って延伸され、弾性復元力によって塑性変形状態にまで縮もうとする応力（以下、「収縮応力」という）が残留した状態となっている。このように解放シート部に収縮応力が残留している状態のまま、例えば、ピックアップ装置等の搬送手段によって接着シートから被着体の一部が取り外されると、被着体が取り外された接着シート部分に収縮応力が分散し、その分散する作用によって接着シートの均衡状態が崩れ、当該接着シート上に残っている被着体が位置ずれを起こす現象が現れる。その結果、被着体は、位置ずれを起した状態で搬送手段に保持されて搬送され、位置ずれを起こした状態のまま搬送先のものに載置されたり接着されたりするという不都合を発生する。

本発明の目的は、接着シート上で相互間隔が広げられた複数の被着体のうち、一部の被着体が接着シートから取り外されても、接着シート上に残っている被着体が極力位置ずれを起さないようにすることができる離間装置および離間方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、接着シートに貼付された被着体の相互間隔を所定の間隔よりも大きく広げた後、当該被着体の相互間隔を狭めながらそれらの相互間隔を所定の間隔とするので、被着体に貼付されていない解放シート部に残留する収縮応力を低減させることができ、接着シート上で相互間隔が広げられた複数の被着体のうち、一部の被着体が接着シートから取り外されても、接着シート上に残っている被着体が極力位置ずれを起さないようにすることができる。
また、検知手段を備えれば、被着体の相互間隔を正確に所定の間隔とすることができる。
さらに、エネルギー付与手段を備えれば、解放シート部に残留している収縮応力がなくなって接着シートが塑性変形状態となってからでも、当該接着シートをさらに収縮させて被着体の相互間隔を所定の間隔とすることができる。
また、拡張方向への相対移動速度に比べて反拡張方向への相対移動速度の方が遅くなるようにすれば、被着体の相互間隔を正確に所定の間隔とすることができる。

本発明の実施形態に係る離間装置の説明図。 （Ａ）～（Ｃ）は、本発明の実施形態に係る離間装置の動作説明図。 （Ａ）～（Ｃ）は、本発明の他の例の説明図。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＢＤ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の離間装置ＥＡは、接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１に貼付された複数の被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔に広げる装置であって、接着シートＡＳの端部を保持する複数の保持手段１０と、接着シートＡＳの端部を保持した保持手段１０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段２０と、被着体ＣＰの相互間隔を検知する検知手段３０と、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての赤外線ＩＲを付与するエネルギー付与手段４０と、当該離間装置ＥＡ全体を制御する制御手段５０とを備えている。
なお、本実施形態では、接着シートＡＳは、所定のエネルギーとしての赤外線ＩＲによって収縮可能なものが採用されている。

保持手段１０は、離間手段２０に支持された駆動機器としての回動モータ１１と、その出力軸１１Ａに支持された上保持部材１２とを備えている。

離間手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、そのスライダ２１Ａに支持され、上面側で回動モータ１１を支持する下保持部材２２とを備えている。

検知手段３０は、カメラや投影機等の撮像手段、光学センサや音波センサ等の各種センサ３１を備えている。

エネルギー付与手段４０は、赤外線ＩＲを発光する赤外線ランプ４１を備えている。

制御手段５０は、コンピュータやシーケンサ等の制御機器５１を備え、電気や電波等の通信媒体によって離間装置ＥＡを構成する各手段に接続されており、被着体ＣＰの相互間隔を広げる拡張方向に保持手段１０を相対移動させて、被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔よりも大きく広げた後、拡張方向の反対の反拡張方向に保持手段１０を相対移動させて、被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔とするように離間手段２０を制御する。

以上の離間装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、各部材が図１、図２（Ａ）中実線で示す初期位置で待機している離間装置ＥＡに対し、当該離間装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、当該離間装置ＥＡで広げる被着体ＣＰの所定の相互間隔を制御機器５１に入力した後、自動運転開始の信号を制御機器５１に入力する。
なお、本実施形態では、広げる被着体ＣＰの所定の相互間隔が１．０ｍｍと入力され、制御手段５０は、入力された被着体ＣＰの所定の相互間隔に対し、実際の被着体ＣＰの相互間隔を、その１．５倍である１．５ｍｍにまで広げて所定の間隔よりも大きくした後、当該被着体ＣＰの相互間隔を、所定の相互間隔である１．０ｍｍとするように離間手段２０を制御する。

そして、作業者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳを下保持部材２２上に載置すると、保持手段１０が各回動モータ１１を駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、上保持部材１２と下保持部材２２とで接着シートＡＳの端部を保持する。次いで、離間手段２０が各リニアモータ２１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、左方に位置する保持手段１０を左方に移動させるとともに、右方に位置する保持手段１０を右方に移動させ、さらに、前方に位置する保持手段１０を前方に移動させるとともに、後方に位置する保持手段１０を後方に移動させる。その後、被着体ＣＰの相互間隔が１．５ｍｍとなったことを検知手段３０が検知すると、離間手段２０が各リニアモータ２１の駆動を停止する。

次に、離間手段２０が各リニアモータ２１を駆動し、図２（Ｃ）に示すように、左方に位置する保持手段１０を右方に移動させるとともに、右方に位置する保持手段１０を左方に移動させ、さらに、前方に位置する保持手段１０を後方に移動させるとともに、後方に位置する保持手段１０を前方に移動させる。すると、接着シートＡＳは、弾性復元力によって縮み変形し、被着体ＣＰの相互間隔が１．０ｍｍとなったことを検知手段３０が検知すると、離間手段２０が各リニアモータ２１の駆動を停止する。

なお、離間手段２０が反拡張方向に保持手段１０を相対移動させる際、エネルギー付与手段４０が赤外線ランプ４１を駆動し、図２（Ｃ）に示すように、接着シートＡＳに赤外線ＩＲを照射し、当該接着シートＡＳの収縮を補助してもよい。また、制御手段５０は、拡張方向への相対移動速度に比べて反拡張方向への相対移動速度の方が遅くなるように離間手段２０を制御してもよい。

そして、ピックアップ装置や搬送装置等の図示しない被着体取出し手段が被着体ＣＰを保持して接着シートＡＳから取り外し、取り外した被着体ＣＰをリードフレームや基板等の他のものに載置または接着する。次いで、全ての被着体ＣＰまたは所定量の被着体ＣＰが接着シートＡＳから取り外されると、離間手段２０が各リニアモータ２１を駆動し、それぞれのスライダ２１Ａを初期位置に復帰させた後、保持手段１０が回動モータ１１を駆動し、上保持部材１２を初期位置に復帰させる。その後、作業者または、図示しない搬送手段が、下保持部材２２上に残された接着シートＡＳを取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような離間装置ＥＡによれば、接着シートＡＳに貼付された被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔（１．０ｍｍ）よりも大きく（１．５ｍｍにまで）広げた後、当該被着体ＣＰの相互間隔を狭めながらそれらの相互間隔を所定の間隔（１．０ｍｍ）とするので、被着体ＣＰに貼付されていない解放シート部に残留する収縮応力を低減させることができ、接着シートＡＳ上で相互間隔が広げられた複数の被着体ＣＰのうち、一部の被着体ＣＰが接着シートＡＳから取り外されても、接着シートＡＳ上に残っている被着体ＣＰが極力位置ずれを起さないようにすることができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、接着シートの端部を保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

例えば、本発明の離間装置は、図３に示すような離間装置ＥＡ１としてもよい。
すなわち、離間装置ＥＡ１は、保持手段１０と、接着シートＡＳに当接する当接手段６０と、接着シートＡＳの端部を保持した保持手段１０および当接手段６０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段２０Ａと、検知手段３０と、エネルギー付与手段４０と、当該離間装置ＥＡ１全体を制御する制御手段５０とを備えている。
なお、離間装置ＥＡ１において、離間装置ＥＡと同等の構成で同等の機能を有するものは、当該離間装置ＥＡと同じ番号を付してその構成説明は省略し、動作説明は簡略化する。

離間手段２０Ａは、ベースプレートＢＰ上に支持された駆動機器としての直動モータ２３と、その出力軸２３Ａに支持され、上面側で回動モータ１１を支持する下保持部材２４とを備えている。

制御手段５０は、被着体ＣＰの相互間隔を広げる拡張方向に保持手段１０および当接手段６０を相対移動させて、被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔よりも大きく広げた後、拡張方向の反対の反拡張方向に保持手段１０および当接手段６０を相対移動させて、被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔とするように離間手段２１Ａを制御する。

当接手段６０は、ベースプレートＢＰ上に支持された円筒状の当接部材６１を備え、その内部にエネルギー付与手段４０が支持されている。

このような離間装置ＥＡ１は、各部材が図３（Ａ）中実線で示す初期位置で待機している状態で、離間装置ＥＡと同様にして、当該離間装置ＥＡ１で広げる被着体ＣＰの所定の相互間隔と、自動運転開始の信号とが使用者によって制御機器５１に入力される。
なお、ここでは、広げる被着体ＣＰの所定の相互間隔が０．５ｍｍと入力され、制御手段５０は、入力された被着体ＣＰの所定の相互間隔に対し、実際の被着体ＣＰの相互間隔をその２倍である１．０ｍｍにまで広げて所定の間隔よりも大きくした後、当該被着体ＣＰの相互間隔を、所定の相互間隔である０．５ｍｍとするように離間手段２０Ａを制御する。

そして、離間装置ＥＡと同様にして作業者または図示しない搬送手段が複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳを下保持部材２４上に載置すると、保持手段１０が回動モータ１１を駆動し、図３（Ａ）中二点鎖線で示すように、上保持部材１２と下保持部材２４とで接着シートＡＳの端部を保持する。なお、接着シートＡＳの端部には、図３に示すように、フレーム部材としての環状のリングフレームＲＦが貼付されているが、当該リングフレームＲＦは、なくてもよい。次いで、離間手段２０Ａが各直動モータ２３を駆動し、図３（Ｂ）に示すように、保持手段１０を下降させ、被着体ＣＰの相互間隔が１．０ｍｍとなったことを検知手段３０が検知すると、各直動モータ２３の駆動を停止する。

その後、離間手段２０Ａが各直動モータ２３を駆動し、図３（Ｃ）に示すように、保持手段１０を上昇させ、被着体ＣＰの相互間隔が０．５ｍｍとなったことを検知手段３０が検知すると、各直動モータ２３の駆動を停止する。この際も、エネルギー付与手段４０が赤外線ランプ４１を駆動し、接着シートＡＳに赤外線ＩＲを照射してもよいし、制御手段５０は、拡張方向への相対移動速度に比べて反拡張方向への相対移動速度の方が遅くなるように離間手段２０Ａを制御してもよい。次に、図示しない被着体取出し手段によって、被着体ＣＰが接着シートＡＳから取り外されると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、下保持部材２４上に残された接着シートＡＳを取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。

このような離間装置ＥＡ１によっても、離間装置ＥＡと同様の効果を得ることができる。

保持手段１０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で接着シートＡＳの端部を保持する構成でもよいし、離間装置ＥＡの場合、例えば、右方へ移動する１体と、左方へ移動する１体との２体で構成してもよいし、例えば、右方、左方、前方、後方およびその他の方向等へ移動する３体以上で構成してもよいし、離間装置ＥＡ１の場合、１体でもよいし２体以上でもよい。

離間手段２０、２０Ａは、単数でもよく、この場合、例えば、離間装置ＥＡは、１体のリニアモータの２つのスライダで、保持手段１０をそれぞれ１体ずつ支持し、被着体ＣＰの相互間隔を１軸方向（例えば、Ｘ軸方向またはＹ軸方向等）のみに広げたり縮めたりする構成としてもよい。
離間手段２０は、例えば、左方に位置する保持手段１０を停止させておき、右方に位置する保持手段１０を左右に移動させたり、前方に位置する保持手段１０を停止させておき、後方に位置する保持手段１０を前後に移動させることで、保持手段１０を相対移動させ、被着体ＣＰの相互間隔を広げたり縮めたりしてもよいし、保持手段１０を３軸以上の方向（例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびその他の軸方向）に移動させる構成でもよいし、例えば、Ｘ軸方向に移動させた複数の保持手段１０をそれぞれＹ軸方向に移動させる構成（Ｙ軸方向に移動させた複数の保持手段１０をそれぞれＸ軸方向に移動させる構成）とし、被着体ＣＰの相互間隔を広げたり縮めたりしてもよい。
離間手段２０Ａは、保持手段１０を停止または移動させつつ、当接手段６０を移動させることで、保持手段１０および当接手段６０を相対移動させ、被着体ＣＰの相互間隔を広げたり縮めたりしてもよい。

検知手段３０は、被着体ＣＰの相互間隔を検知する位置が１箇所でもよいし、２箇所以上でもよいし、被着体ＣＰの相互間隔を検知する位置が２箇所以上の場合、検知した相互間隔の値を平均して検知間隔としてもよい。
検知手段３０は、各被着体ＣＰの全体的な集合形状を検知して被着体ＣＰの相互間隔を検知する構成でもよいし、本発明の離間装置ＥＡ、ＥＡ１に備わっていなくてもよく、検知手段３０が本発明の離間装置ＥＡ、ＥＡ１に備わっていない場合、例えば、被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように、作業者が目視しながら、押しボタンやレバー等を操作して、リニアモータ２１や直動モータ２３を駆動するように構成してもよい。

エネルギー付与手段４０は、所定のエネルギーとして、赤外線以外に、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、所定のエネルギーを接着シートＡＳに集中して付与する集光板、収集板、レンズ等の集中手段を採用してもよいし、赤外線や紫外線等の発光源としてＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよいし、接着シートＡＳの上方から当該接着シートＡＳにエネルギーを付与してもよいし、接着シートＡＳの上方と下方との両方から当該接着シートＡＳにエネルギーを付与してもよいし、本発明の離間装置ＥＡ、ＥＡ１に備わっていなくてもよい。

制御手段５０は、広げる被着体ＣＰの相互間隔が、０．５ｍｍ未満に設定されてもよいし、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満に設定されてもよいし、１．０ｍｍ以上に設定されてもよく、どのような寸法に設定されてもよいし、設定された被着体ＣＰの相互間隔に対して大きければ、どのような倍率や寸法にまで被着体の相互間隔を広げた後、被着体ＣＰの相互間隔を所定の間隔としてもよいし、拡張方向への相対移動速度に比べて反拡張方向への相対移動速度を速くしてもよいし、拡張方向への相対移動速度と反拡張方向への相対移動速度とを同じ速度としてもよい。

当接手段６０は、円筒、角筒、楕円筒等の筒状の他、円柱、角柱、楕円柱等の形状の当接部材６１が採用されてもよく、筒状の当接部材６１の場合、上部に底のあるものでもよいし、上部に底のないものでもよい。

離間装置ＥＡ、ＥＡ１は、接着シートＡＳから被着体ＣＰを取り外す前段で、当該接着シートＡＳの接着力が低下する接着力低下処理を行ってもよく、この場合、例えば、接着シートＡＳとして、基材シートの一方の面に、紫外線、Ｘ線、赤外線等の所定の接着力低下エネルギーによって、その接着力が低下する接着剤層が積層されたものを採用し、そのような接着シートＡＳに紫外線、Ｘ線、赤外線等の所定の接着力低下エネルギーを付与する接着力低下エネルギー付与手段を備えればよい。

接着シートＡＳは、所定のエネルギーとして、赤外線以外に、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等によって収縮するものでもよく、当該接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等によってエネルギー付与手段４０が選定されればよい。
被着体ＣＰは、接着シートＡＳの他方の面ＡＳ２のみや、一方の面ＡＳ１および他方の面ＡＳ２の両方の面に貼付されていてもよいし、予め接着シートＡＳ上に複数存在していてもよいし、離間手段２０、２０Ａ、その他の機構または人手等によって外力が付与された時点で分割され、複数被着体ＣＰとなるもの（以下、「基部材」という）でもよく、このような基部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等どのようなものでもよく、例えば、基部材に貫通する切込が断続的に設けられたり、基部材に貫通することのない切込が連続的または断続的に設けられたり、基部材の特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、当該基部材に脆弱化された脆弱部が連続的または断続的に形成されたりしたもの等が例示でき、何ら限定されるものではない。
フレーム部材は、例えば、上方から見下ろした平面視において、円環状、楕円環状、三角形や四角形等の多角形環状等でもよいし、例えば、Ｃ字状、Ｕ字状等の非環状またはその他の形状等どのような形状のものでもよい。

本発明における接着シートＡＳ、被着体ＣＰおよび基部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＣＰや基部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。

ＥＡ、ＥＡ１…離間装置
１０…保持手段
２０、２０Ａ…離間手段
３０…検知手段
４０…エネルギー付与手段
５０…制御手段
６０…当接手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…一方の面
ＡＳ２…他方の面
ＣＰ…被着体

Claims (7)

1. 接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に貼付された複数の被着体の相互間隔を所定の間隔に広げる離間装置において、
   前記接着シートの端部を保持する複数の保持手段と、
   前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段と、
   当該離間装置全体を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記被着体の相互間隔を広げる拡張方向に前記保持手段を相対移動させて、前記被着体の相互間隔を前記所定の間隔よりも大きく広げた後、前記拡張方向の反対の反拡張方向に前記保持手段を相対移動させて、前記被着体の相互間隔を前記所定の間隔とするように前記離間手段を制御することを特徴とする離間装置。
2. 接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に貼付された複数の被着体の相互間隔を所定の間隔に広げる離間装置において、
   前記接着シートの端部を保持する保持手段と、
   前記接着シートに当接する当接手段と、
   前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および前記当接手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段と、
   当該離間装置全体を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記被着体の相互間隔を広げる拡張方向に前記保持手段および前記当接手段を相対移動させて、前記被着体の相互間隔を前記所定の間隔よりも大きく広げた後、前記拡張方向の反対の反拡張方向に前記保持手段および前記当接手段を相対移動させて、前記被着体の相互間隔を前記所定の間隔とするように前記離間手段を制御することを特徴とする離間装置。
3. 前記被着体の相互間隔を検知する検知手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の離間装置。
4. 前記接着シートは、所定のエネルギーによって収縮可能に設けられ、前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の離間装置。
5. 前記制御手段は、前記拡張方向への相対移動速度に比べて前記反拡張方向への相対移動速度の方が遅くなるように前記離間手段を制御することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の離間装置。
6. 接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に貼付された複数の被着体の相互間隔を所定の間隔に広げる離間方法において、
   前記接着シートの端部を複数の保持手段で保持する保持工程と、
   前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間工程とを実施し、
   前記離間工程は、前記被着体の相互間隔を広げる拡張方向に前記保持手段を相対移動させて、前記被着体の相互間隔を前記所定の間隔よりも大きく広げた後、前記拡張方向の反対の反拡張方向に前記保持手段を相対移動させて、前記被着体の相互間隔を前記所定の間隔とすることを特徴とする離間方法。
7. 接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に貼付された複数の被着体の相互間隔を所定の間隔に広げる離間方法において、
   前記接着シートの端部を保持手段で保持する保持工程と、
   前記接着シートに当接手段を当接させる当接工程と、
   前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および前記当接手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間工程とを実施し、
   前記離間工程は、前記被着体の相互間隔を広げる拡張方向に前記保持手段および前記当接手段を相対移動させて、前記被着体の相互間隔を前記所定の間隔よりも大きく広げた後、前記拡張方向の反対の反拡張方向に前記保持手段および前記当接手段を相対移動させて、前記被着体の相互間隔を前記所定の間隔とすることを特徴とする離間方法。

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