JP6880433B2 - 離間装置および離間方法 - Google Patents
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Description
また、応力測定手段を備えれば、接着シートの一部または全部に加わる応力が当該接着シートが破断する応力を超えないようにすることができ、確実に接着シートを破断させることなく、当該接着シートに貼付された被着体の相互間隔を広げることができる。
さらに、離間手段が接着シートに加わる応力が所定の下限値に達してから拡張方向への相対移動を行うことで、確実に応力を緩和してから被着体の相互間隔を広げることができる。
また、検知手段を備えれば、被着体の相互間隔を所望の間隔にまで広げることができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な矢印BD方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、各部材が図1、2(A)中実線で示す初期位置で待機している離間装置10に対し、当該離間装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、接着シートASに加えても当該接着シートASが破断することのない応力の上限値と、上限値から解放された接着シートASに加わる応力の下限値とを入力した後、自動運転開始の信号を入力する。その後、作業者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が複数の被着体CPが貼付された接着シートASを下保持部材32上に載置すると、保持手段20が各回動モータ21を駆動し、図2(A)中二点鎖線で示すように、上保持部材22と下保持部材32とで接着シートASの端部を保持する。
なお、離間装置10Aにおいて、離間装置10と同等の構成で同等の機能を有するものは、当該離間装置10と同じ番号を付してその構成説明は省略し、動作説明は簡略化する。
当接手段60は、ベースプレートBP上に支持された円筒状の当接部材61を備えている。
保持手段20は、離間装置10の場合、例えば、右方へ移動する当該保持手段20を1体とし、左方へ移動する当該保持手段20を1体とした2体で構成してもよいし、例えば、右方、左方およびその他の方向へ移動する3体以上で構成してもよい。
保持手段20は、離間装置10Aの場合、1体でもよいし2体以上でもよい。
離間手段30は、相互間隔を3軸以上の方向(例えば、X軸方向、Y軸方向およびその他の軸方向)に広げる構成でもよいし、例えば、X軸方向に移動させた複数の保持手段20をそれぞれY軸方向に移動させる構成(Y軸方向に移動させた複数の保持手段20をそれぞれX軸方向に移動させる構成)とし、被着体CPの相互間隔を広げてもよいし、被着体CPの相互間隔が所定間隔となるように作動できない構成、または、各被着体CPの全体的な集合形状が、所定の間隔や所定の全体的な集合形状となるように作動できない構成でもよい。
離間手段30Aは、保持手段20を停止または移動させつつ、当接手段60を移動させることで、保持手段20および当接手段60を相対移動させ、接着シートASに張力を付与して被着体CPの相互間隔を広げてもよい。
離間手段30、30Aは、例えば、第1移動の速度および第2移動の速度を同じ速度としておき、第1移動および第2移動の時間を調整(使用者が図示しない操作手段を介して離間装置10、10Aに入力)したり、第1移動の時間および第2移動の時間を同じ時間としておき、第1移動の速度および第2移動の速度を調整(使用者が図示しない操作手段を介して離間装置10、10Aに入力)したりして、第1移動の距離が第2移動の距離よりも大きくなるようにして往復移動を繰り返すようにしてもよく、第1移動および第2移動の距離、時間および速度は、どのような値でもよく、使用者が任意に決定することができる。
離間手段30、30Aは、作業者がボタンやレバー等を操作して、リニアモータ31、直動モータ33を駆動してもよく、この場合、例えば、応力測定手段50による検知結果をモニタや検出器等の表示器に表示するように構成し、この表示器に表示される検知結果が上限値に達すると、作業者がボタンやレバー等を操作して、第2移動を行うようにし、同表示器に表示される検知結果が下限値に達すると、作業者がボタンやレバー等を操作して、第1移動を行うようにしたり、検知手段40による検知結果を表示器に表示するように構成し、この表示器に表示される検知結果が所定値となるように作業者がリニアモータ31、直動モータ33を駆動させたりしてもよい。
接着シートASに加わる応力の上限値や下限値は、どのような値でもよく、使用者が任意に決定することができる。
被着体CPは、予め接着シートAS上に複数存在しているものでもよいし、離間手段30、30A、その他の機構または人手等で外力を付与した時点で複数に分割され、接着シートAS上に複数存在するような分割されて複数になるものでもよい。このような分割されて複数になる被着体CPとしては、例えば、半導体ウエハや基板等にレーザを照射し、当該半導体ウエハや基盤等に線状や格子状等の脆弱な脆弱層を形成しておき、接着シートASに張力を付与したり、半導体ウエハや基盤等に直接的または間接的に外力を付与したりした時点で個片化し、複数の被着体CPとなるものや、例えば、樹脂や硝子板等にカッター刃で切り込み、当該樹脂や硝子板等に線状や格子状等の表裏に貫通することのない切込やミシン目等の切断予定ラインを形成しておき、接着シートASに張力を付与したり、樹脂や硝子板等に直接的または間接的に外力を付与したりした時点で個片化し、複数の被着体CPとなるもの等、何ら限定されるものではない。
20…保持手段
30、30A…離間手段
40…検知手段
50…応力測定手段
60…当接手段
AS…接着シート
AS1…一方の面
AS2…他方の面
CE…被着体接着領域
CP…被着体
HE…被保持領域
Claims (4)
- 一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された接着シートの端部を保持する複数の保持手段と、
前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段と、
前記接着シートに加わる応力を測定可能な応力測定手段を備え、
前記離間手段は、前記被着体の相互間隔を広げる拡張方向に前記保持手段を相対移動させる第1移動および、前記拡張方向の反対方向である反拡張方向に前記保持手段を相対移動させる第2移動による往復移動を繰り返しつつ、前記被着体の相互間隔を広げ、前記反拡張方向への相対移動中に、前記接着シートに加わる応力が所定の下限値に達したことを前記応力測定手段が検知すると、前記拡張方向への相対移動を行うことを特徴とする離間装置。 - 一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された接着シートの端部を保持する保持手段と、
前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって、前記保持手段が保持した被保持領域の内側で当該接着シートに当接する当接手段と、
前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および前記当接手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段と、
前記接着シートに加わる応力を測定可能な応力測定手段を備え、
前記離間手段は、前記被着体の相互間隔を広げる拡張方向に前記保持手段および当接手段を相対移動させる第1移動および、前記拡張方向の反対方向である反拡張方向に前記保持手段および当接手段を相対移動させる第2移動による往復移動を繰り返しつつ、前記被着体の相互間隔を広げ、前記反拡張方向への相対移動中に、前記接着シートに加わる応力が所定の下限値に達したことを前記応力測定手段が検知すると、前記拡張方向への相対移動を行うことを特徴とする離間装置。 - 一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された接着シートの端部を複数の保持手段で保持する保持工程と、
前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間工程と、
前記接着シートに加わる応力を測定可能な応力測定工程を有し、
前記離間工程は、前記被着体の相互間隔を広げる拡張方向に前記保持手段を相対移動させる第1移動および、前記拡張方向の反対方向である反拡張方向に前記保持手段を相対移動させる第2移動による往復移動を繰り返しつつ、前記被着体の相互間隔を広げ、前記反拡張方向への相対移動中に、前記接着シートに加わる応力が所定の下限値に達したことを前記応力測定工程で検知すると、前記拡張方向への相対移動を行うことを特徴とする離間方法。 - 一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された接着シートの端部を保持手段で保持する保持工程と、
前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって、前記保持手段が保持した被保持領域の内側で当該接着シートに当接する当接手段および、前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間工程と、
前記接着シートに加わる応力を測定可能な応力測定工程を備え、
前記離間工程は、前記被着体の相互間隔を広げる拡張方向に前記保持手段および当接手段を相対移動させる第1移動および、前記拡張方向の反対方向である反拡張方向に前記保持手段および当接手段を相対移動させる第2移動による往復移動を繰り返しつつ、前記被着体の相互間隔を広げ、前記反拡張方向への相対移動中に、前記接着シートに加わる応力が所定の下限値に達したことを前記応力測定工程で検知すると、前記拡張方向への相対移動を行うことを特徴とする離間方法。
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