CN108878282A - 分离装置及分离方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种分离装置及分离方法，能够扩大在粘接片上粘附的被粘物的相互间隔而不使该粘接片断裂。该分离装置具备：多个保持单元(20)，其保持粘附有被粘物(CP)的粘接片(AS)的端部；分离单元(30)，其使保持着粘接片(AS)的端部的保持单元(20)相对移动，对粘接片(AS)赋予张力而扩大被粘物(CP)的相互间隔；分离单元(30)重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大被粘物(CP)的相互间隔，该第一移动使保持单元(20)向将被粘物(CP)的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，该第二移动使保持单元(20)向扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。

Description

分离装置及分离方法

技术领域

本发明涉及分离装置及分离方法。

背景技术

目前，已知有如下的分离装置，即，将粘附于粘接片上的多个被粘物的相互间隔扩大(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2007－103649号公报

但是，如专利文献1所记载的现有的分离装置中，相对于第一片材13(粘接片)，仅向芯片C(被粘物)的相互间隔扩大的方向施加作用力而将该被粘物的相互间隔扩张，故而存在如下的不良情况：当在粘接片的一部分(例如，粘接片中其与第一环状框架12的边界部、或粘接片中与扩张工作台3的角部接触的部分等)或整个粘接片上施加的应力变大时，该粘接片断裂，不能扩大被粘物的相互间隔。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够扩大在粘接片上粘附的被粘物的相互间隔而不使该粘接片断裂的分离装置及分离方法。

本发明采用了权利要求中记载的结构。

根据本发明，通过重复进行往复移动，能够缓和在粘接片的一部分或整个粘接片上施加的应力，同时扩大被粘物的相互间隔，能够扩大在粘接片上粘附的被粘物的相互间隔而不使该粘接片断裂。

另外，如果具备应力测定单元，则能够使在粘接片的一部分或整个粘接片上施加的应力不超过该粘接片断裂的应力，能够扩大在粘接片上粘附的被粘物的相互间隔而可靠地不使该粘接片断裂。

进一步地，分离单元在施加于粘接片上的应力达到规定的下限值后进行向扩张方向的相对移动，从而，能够在可靠地缓和应力后，扩大被粘物的相互间隔。

另外，如果具备检测单元，则能够将被粘物的相互间隔扩大至希望的间隔。

附图说明

图1是本发明实施方式的分离装置的平面图；

图2(A)～(D)是本发明实施方式的分离装置的动作说明图；

图3(A)、图3(B)是本发明另一例的说明图。

标记说明

10、10A：分离装置

20：保持单元

30、30A：分离单元

40：检测单元

50：应力测定单元

60：抵接单元

AS：粘接片

AS1：一面

AS2：另一面

CE：被粘物粘接区域

CP：被粘物

HE：被保持区域

具体实施方式

以下，基于附图说明本发明的实施方式。

需要说明的是，本实施方式的X轴、Y轴、Z轴呈分别正交的关系，X轴及Y轴设为规定平面内的轴，Z轴设为与上述规定平面正交的轴。进一步地，本实施方式中，以从与Y轴平行的箭头BD方向观察的情况为基准，在未举出构成基准的图而表示方向的情况下，将“上”设为Z轴的箭头方向、“下”设为其反向，将“左”设为X轴的箭头方向、“右”设为其反向，将“前”设为Y轴的箭头方向、“后”设为其反向。

本发明的分离装置10具备：多个保持单元20，其保持粘接片AS的端部，该粘接片AS在一面AS1粘附有多个被粘物CP；分离单元30，其使保持着粘接片AS的端部的保持单元20相对移动，对粘接片AS赋予张力而扩大被粘物CP的相互间隔；摄像头或投影机等拍摄单元、光学传感器或声波传感器等各种传感器等检测单元40，其能够检测被粘物CP的相互间隔或各被粘物CP整体上的集合形状等；应力测定单元50，其能够测定在粘接片AS上施加的应力。

保持单元20具备作为驱动设备的转动电机21、和上保持部件22，转动电机21支承于分离单元30，上保持部件22支承于该转动电机21的输出轴21A。

分离单元30具备作为驱动设备的线性电机31、和下保持部件32，下保持部件32支承于该线性电机31的滑块31A，并在上表面侧支承转动电机21。

应力测定单元50具备应力测定器51，该应力测定器51采用了红外线摄像头、X射线、激光、光纤等。

说明上述分离装置10的动作。

首先，对于各部件在图1、图2(A)中由实线表示的初始位置待机的分离装置10，该分离装置10的使用者(以下，仅称作“使用者”)经由操作面板或个人计算机等未图示的操作单元输入了应力的上限值和应力的下限值后，输入自动运转开始的信号，其中，该应力的上限值是即使施加于粘接片AS上，该粘接片AS也不断裂的应力的上限值，该应力的下限值是经从上限值解除的粘接片AS上施加的应力的下限值。之后，作业者、或驱动设备、输送机械等未图示的输送单元将粘附有多个被粘物CP的粘接片AS载置于下保持部件32上时，保持单元20驱动各转动电机21，如图2(A)中由双点划线所示那样，由上保持部件22和下保持部件32保持粘接片AS的端部。

接着，分离单元30驱动各线性电机31，如图2(B)所示，使保持单元20相对移动，对粘接片AS赋予张力而进行向扩张方向的相对移动，该扩张方向是将被粘物CP的相互间隔扩大的方向。此时，粘接片AS被赋予应力且延伸，而当该应力超过规定的值时将导致断裂。因此，本实施方式的分离单元30构成为，重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动(以下，将该移动亦简称作“往复移动”)，并且扩大被粘物CP的相互间隔，其中，该第一移动使保持单元20向将被粘物CP的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，该第二移动使保持单元20向扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。即，就分离单元30而言，在第一移动中，当应力测定单元50检测到在粘接片AS上施加的应力达到先前输入的上限值时，如图2(C)所示进行第二移动。然后，在第二移动中，当应力测定单元50检测到在粘接片AS上施加的应力达到先前输入的下限值时，分离单元30如图2(D)所示进行第一移动。之后，分离单元30重复进行往复移动，当检测单元40检测到被粘物CP的相互间隔或各被粘物CP整体上的集合形状等成为规定的间隔或规定的整体上的集合形状时，停止各线性电机31的驱动。

需要说明的是，当以上述方式将被粘物CP的相互间隔扩大时，就各被粘物CP而言，其相互间隔有时因粘接片AS的应变等而未扩大至规定的间隔。因此，基于检测单元40的检测结果，分离单元30驱动各线性电机31，使各保持单元20单独地移动，以使各被粘物CP的相互间隔成为规定间隔。需要说明的是，这时分离单元30也可以重复进行往复移动。

然后，通过拾取装置或输送装置等未图示的被粘物取出单元，从粘接片AS取下全部的被粘物CP或规定量的被粘物CP时，分离单元30驱动各线性电机31，使各个滑块31A复位至初始位置后，保持单元20驱动转动电机21，使上保持部件22复位至初始位置。接着，作业者或未图示的输送单元将残留于下保持部件32上的粘接片AS除去，之后重复上述同样的动作。

根据如上的分离装置10，通过重复进行往复移动，能够缓和在粘接片AS的一部分或整个粘接片AS上施加的应力，同时扩大被粘物CP的相互间隔，能够扩大在粘接片AS上粘附的被粘物CP的相互间隔而不使该粘接片AS断裂。

就本发明的单元及工序而言，只要能够实现就上述单元及工序所说明的动作、功能或工序即可，不对其构成任何限定，更不会被上述实施方式中表示的单一实施方式的构成物或工序完全限定。例如，保持单元只要能够保持在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物的粘接片的端部即可，也可以参照申请时的公知常识，对其不作任何限定，只要在其技术范围内即可(其他单元及工序也相同)。

就本发明的分离装置而言，如图3(A)所示，其也可以设为分离装置10A，具备：保持单元20；抵接单元60，其在粘接片AS的比粘附有多个被粘物CP的被粘物粘接区域CE靠外侧、且在保持单元20所保持的被保持区域HE的内侧，与该粘接片AS抵接；分离单元30A，其使保持着粘接片AS的端部的保持单元20及抵接单元60相对移动，扩大被粘物CP的相互间隔；检测单元40；应力测定单元50。

需要说明的是，在分离装置10A中，对具有与分离装置10同等结构且同等功能的部件，标注与该分离装置10相同的标记并省略其结构说明，并简化动作说明。

分离单元30A具备作为驱动设备的直线电机33、和下保持部件34，直线电机33支承于基座板BP上，下保持部件34支承于该直线电机33的输出轴33A，并在上表面侧支承转动电机21。

抵接单元60具备圆筒状的抵接部件61，该抵接部件61支承于基座板BP上。

就这种分离装置10A而言，与分离装置10同样地，粘附有多个被粘物CP的粘接片AS载置于下保持部件34上时，保持单元20驱动转动电机21，如图3(A)中由双点划线所示，由上保持部件22和下保持部件34保持粘接片AS的端部。需要说明的是，在粘接片AS的端部，如图3所示，粘附有环状的框架RF，但也可以不设置该框架RF。接着，分离单元30A驱动直线电机33，如图3(B)所示，使保持单元20下降而使保持单元20及抵接单元60相对移动，对粘接片AS赋予张力而扩大被粘物CP的相互间隔。此时，分离单元30A也与分离装置10同样地重复进行往复移动，当检测单元40检测到被粘物CP的相互间隔或各被粘物CP整体上的集合形状等成为规定的间隔或规定的整体上的集合形状时，停止直线电机33的驱动。然后，当通过未图示的被粘物取出单元从粘接片AS取下被粘物CP时，各单元驱动各自的驱动设备，使各部件复位至初始位置后，将残留于下保持部件34上的粘接片AS除去，之后重复上述同样的动作。

通过这种分离装置10A，也能够得到与分离装置10同样的效果。

保持单元20也可以是保持在另一面AS2、或一面AS1及另一面AS2这两面上粘附有多个被粘物CP的粘接片AS的端部的结构，也可以是由机械吸盘或吸盘泵等把持单元、库仑力、粘接剂、粘合剂、磁力、伯努利吸附、驱动设备等保持粘接片AS的端部的结构。

就保持单元20而言，在分离装置10的情况下，例如也可以由将向右方移动的该保持单元20设为一单元、将向左方移动的该保持单元20设为一单元的两个单元构成，例如还可以由向右方、左方及其他方向移动的三个以上单元构成。

在分离装置10A的情况下，保持单元20可以是一个单元，也可以是两个单元以上。

分离单元30、30A也可以是单个而非多个，该情况下，例如，分离装置10设为由单个的线性电机的两个滑块分别逐一支承保持单元20、扩大被粘物CP的相互间隔的结构，也可以设为仅沿单轴方向(例如，X轴方向或Y轴方向等)扩大被粘物CP的相互间隔的结构。

分离单元30也可以是在三轴以上的方向(例如，X轴方向、Y轴方向及其他轴方向)上扩大相互间隔的结构，也可以是例如，设为使沿X轴方向移动后的多个保持单元20分别沿Y轴方向移动的结构(使沿Y轴方向移动后的多个保持单元20分别沿X轴方向移动的结构)，并扩大被粘物CP的相互间隔，也可以是不能启动以使被粘物CP的相互间隔成为规定间隔的结构、或不能启动以使各被粘物CP整体上的集合形状成为规定的间隔或规定的整体上的集合形状的结构。

分离单元30A也可以使保持单元20停止或移动，并且使抵接单元60移动，从而，使保持单元20及抵接单元60相对移动，对粘接片AS赋予张力而扩大被粘物CP的相互间隔。

分离单元30、30A例如也可以将第一移动的速度及第二移动的速度设为相同速度，调节第一移动及第二移动的时间(使用者经由未图示的操作单元向分离装置10、10A输入)，或者，将第一移动的时间及第二移动的时间设为相同时间，调节第一移动的速度及第二移动的速度(使用者经由未图示的操作单元向分离装置10、10A输入)，而以第一移动的距离大于第二移动的距离的方式，重复进行往复移动，第一移动及第二移动的距离、时间以及速度可以是任意的值，使用者能够任意地决定。

就分离单元30、30A而言，也可以是作业者操作按钮或杆等，驱动线性电机31、直线电机33，该情况下，例如，也可以构成为将应力测定单元50的检测结果显示于监视器或检测器等显示器，当该显示器所显示的检测结果达到上限值时，作业者操作按钮或杆等，以进行第二移动，当同显示器所显示的检测结果达到下限值时，作业者操作按钮或杆等，以进行第一移动，或者，构成为将检测单元40的检测结果显示于显示器，作业者使线性电机31、直线电机33驱动，以使该显示器所显示的检测结果成为规定值。

检测单元40也可以是作业者的目测观察，例如，在分离装置10的情况下，也可以构成为，作业者通过目测观察，操作按钮或杆等来驱动线性电机31，以使被粘物CP的相互间隔成为规定间隔、或使各被粘物CP整体上的集合形状相对于基准整体集合形状呈相似关系，本发明的分离装置10、10A也可以不具备检测单元40。

应力测定单元50也可以是内置或设置于线性电机31、直线电机33的扭矩传感器，也可以是设置于线性电机31的滑块31A与下保持部件32之间的称重传感器或压力传感器等，或设置于直线电机33的输出轴33A与下保持部件34之间的称重传感器或压力传感器等，只要能够测定在粘接片AS上施加的应力即可，可以是任意器件，本发明的分离装置10、10A也可以不具备应力测定单元50。

抵接单元60除棱筒状或椭圆筒状等以外，也可以采用圆柱、棱柱、椭圆柱等其他形状的抵接部件61。

分离装置10、10A也可以在从粘接片AS将被粘物CP取下前的阶段，进行该粘接片AS的粘接力下降的粘接力下降处理，该情况下，例如，作为粘接片AS，采用在基材片的一面上层积有其粘接力因作为规定的能量的紫外线、X射线、红外线等而下降的粘接剂层的粘接片，且具备对该种粘接片AS赋予紫外线、X射线、红外线等规定的能量的能量赋予单元即可。

在粘接片AS上施加的应力的上限值或下限值可以是任意的值，使用者能够任意地决定。

本发明的粘接片AS及被粘物CP的材质、种类、形状等不作特别限定。例如，粘接片AS或被粘物CP也可以是圆形、椭圆形、三角形或四边形等多边形、其他的形状。粘接片AS也可以是压敏粘接性、热敏粘接性等粘接方式的粘接片。进一步地，粘接片AS也可以是：例如，仅粘接剂层的单层结构、在基材与粘接剂层之间具有中间层的结构、在基材的上表面具有盖层等的三层以上结构、进而能够实现将基材从粘接剂层剥离的所谓双面粘接片那样的结构，这种双面粘接片也可以具有单层或多层的中间层、或是无中间层的单层或多层结构。另外，作为被粘物CP，也可以是：例如，食品、树脂容器、硅半导体晶片或化合物半导体晶片等半导体晶片、半导体芯片、电路基板、光盘等信息记录基板、玻璃板、钢板、陶器、木板或树脂等单体物，也可以是由两种以上上述单体物形成的复合物，任意形式的部件或物品等均能够设为对象。需要说明的是，粘接片AS换成功能、用途上的叫法，也可以是：例如，信息记载用标签、装饰用标签、保护片、切割胶带、芯片粘结膜、贴片胶带、记录层形成树脂片等任意的片材、膜、胶带等。

被粘物CP也可以事先在粘接片AS上存在多个的结构，也可以在由分离单元30、30A、其他机构或人手等赋予外力的时刻分割成多个，且在粘接片AS上存在多个那样的经分割而成为多个的结构。作为这种经分割而成为多个的被粘物CP，例如是，对半导体晶片或基板等照射激光，在该半导体晶片或基板等形成线状或格子状等的脆性的脆性层，在对粘接片AS赋予张力、或对半导体晶片或基板等直接或间接地赋予外力的时刻进行单片化，形成多个被粘物CP；或者，例如是，由切刀切入树脂或玻璃板等，在该树脂或玻璃板等形成线状或格子状等的未贯通于正反的切入或穿孔等的预定切断线，在对粘接片AS赋予张力、或对树脂或玻璃板等直接或间接地赋予外力的时刻进行单片化，形成多个被粘物CP等，不作任何限定。

上述实施方式的驱动设备能够采用转动电机、直线电机、线性电机、单轴机器人、多关节机器人等电动设备、气缸、液压缸、无杆气缸及摆动气缸等驱动器等，此外，也能够采用将其直接或间接地组合而成的结构。

Claims (7)

1.一种分离装置，其特征在于，具备：

多个保持单元，其保持粘接片的端部，该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物；

分离单元，其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动，对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔；

所述分离单元重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大所述被粘物的相互间隔，所述第一移动使所述保持单元向将所述被粘物的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，所述第二移动使所述保持单元向所述扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。

2.一种分离装置，其特征在于，具备：

保持单元，其保持粘接片的端部，该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物；

抵接单元，其在所述粘接片的比粘附有所述多个被粘物的被粘物粘接区域靠外侧、且在所述保持单元所保持的被保持区域的内侧，与该粘接片抵接；

分离单元，其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元及所述抵接单元相对移动，对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔；

所述分离单元重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大所述被粘物的相互间隔，所述第一移动使所述保持单元及抵接单元向将所述被粘物的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，所述第二移动使所述保持单元及抵接单元向所述扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。

3.如权利要求1或2所述的分离装置，其特征在于，

具备应力测定单元，该应力测定单元能够测定在所述粘接片上施加的应力，在所述分离单元向扩张方向的相对移动中，当所述应力测定单元检测在所述粘接片上施加的应力达到规定的上限值时，所述分离单元进行向抗扩张方向的相对移动。

4.如权利要求1～3中任一项所述的分离装置，其特征在于，

具备应力测定单元，该应力测定单元能够测定在所述粘接片上施加的应力，在所述分离单元向抗扩张方向的相对移动中，当所述应力测定单元检测在所述粘接片上施加的应力达到规定的下限值时，所述分离单元进行向扩张方向的相对移动。

5.如权利要求1～4中任一项所述的分离装置，其特征在于，

具备检测单元，该检测单元检测所述被粘物的相互间隔。

6.一种分离方法，其特征在于，具有：

保持工序，其由多个保持单元保持粘接片的端部，该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物；

分离工序，其使保持着所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动，对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔；

在所述分离工序中，重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大所述被粘物的相互间隔，所述第一移动使所述保持单元向将所述被粘物的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，所述第二移动使所述保持单元向所述扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。

7.一种分离方法，其特征在于，具有：

保持工序，其由保持单元保持粘接片的端部，该粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多个被粘物或经分割而成为多个的被粘物；

分离工序，其使抵接单元、以及保持着所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动，对所述粘接片赋予张力而扩大所述被粘物的相互间隔，其中，所述抵接单元在所述粘接片的比粘附有所述多个被粘物的被粘物粘接区域靠外侧、且在所述保持单元所保持的被保持区域的内侧，与该粘接片抵接；

在所述分离工序中，重复进行由第一移动及第二移动实现的往复移动，并且扩大所述被粘物的相互间隔，所述第一移动使所述保持单元及抵接单元向将所述被粘物的相互间隔扩大的扩张方向相对移动，所述第二移动使所述保持单元及抵接单元向所述扩张方向的相反方向即抗扩张方向相对移动。