CN108695196A - 分离装置及分离方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种分离装置及分离方法，能够扩大间隔维持部件的形状的选择自由度，防止通用性欠缺。该分离装置具备：多个保持单元(20)，其保持粘接片(AS)的端部，该粘接片(AS)在一面(AS1)粘附有多个被粘物(CP)；分离单元(30)，其使保持了粘接片(AS)的端部的保持单元(20)相对移动，扩大被粘物(CP)的相互间隔；维持部件安装单元(50)，其将间隔维持部件(DM)安装于粘接片(AS)，该间隔维持部件(DM)能够维持由分离单元(30)扩大后的被粘物(CP)的相互间隔；维持部件安装单元(50)将间隔维持部件(DM)安装于粘接片(AS)的另一面(AS2)。

Description

分离装置及分离方法
技术领域
本发明涉及分离装置及分离方法。
背景技术
目前，已知有如下的胶带扩张装置(分离装置)，即，扩大粘接片上粘附的多个被粘物的相互间隔(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：(日本)特开2008－140874号公报
但是，如专利文献1所记载的现有的分离装置中，在胶粘带(粘接片)的粘附有晶片(被粘物)的正面(一面)侧，粘附(安装)转移框架(间隔维持部件)，故而，作为间隔维持部件，必须是具有用于避让被粘物的内径(贯通孔)的环状的部件，进而存在作为分离装置的通用性欠缺那样的不良情况。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种分离装置及分离方法，能够扩大间隔维持部件的形状的选择自由度，防止通用性欠缺。
本发明采用了权利要求中记载的结构。
根据本发明，将间隔维持部件安装于在一面粘附有被粘物的粘接片的另一面，因而，作为间隔维持部件，无需采用具有用于避让被粘物的贯通孔的环状的部件，能够扩大该间隔维持部件的形状的选择自由度，防止通用性欠缺。
另外，如果具备切断单元，则能够在输送在粘接片上相互间隔经扩大的被粘物时，防止粘接片的端部妨碍输送。
进一步地，作为间隔维持部件，如果采用基材和保持用粘接剂层的至少两层的层积体，则间隔维持部件的选择自由度进一步扩大，能够有效地防止通用性欠缺。
另外，如果维持部件安装单元具备层积单元，则无需制备事先层积有基材和保持用粘接剂层的间隔维持部件。
进一步地，作为间隔维持部件，如果采用其他的粘接片，则能够将该间隔维持部件简单地安装于粘接片。
附图说明
图1(A)是本发明实施方式的分离装置的平面图，图1(B)是图1(A)的侧面图；
图2(A)、图2(B)是本发明实施方式的分离装置的动作说明图；
图3(A)～(C)是本发明实施方式的分离装置的动作说明图；
图4(A)、图4(B)是本发明另一例的说明图。
标记说明
10、10A：分离装置
20：保持单元
30、30A：分离单元
50、50A：维持部件安装单元
55：层积单元
60：切断单元
70：抵接单元
AS：粘接片
AS1：一面
AS2：另一面
BA：双面粘接片(保持用粘接剂层)
CE：被粘物粘接区域
CP：被粘物
HE：保持区域
DM：间隔维持部件
GP：玻璃板(基材)
具体实施方式
以下，基于附图说明本发明的实施方式。
需要说明的是，本实施方式的X轴、Y轴、Z轴呈分别正交的关系，X轴及Y轴设为规定平面内的轴，Z轴设为与上述规定平面正交的轴。进一步地，本实施方式中，以从与Y轴平行的箭头BD方向观察的情况为基准，在未举出构成基准的图而表示方向的情况下，将“上”设为Z轴的箭头方向、“下”设为其反向，将“左”设为X轴的箭头方向、“右”设为其反向，将“前”设为Y轴的箭头方向、“后”设为其反向。
本发明的分离装置10具备：多个保持单元20，其保持粘接片AS的端部，该粘接片AS在一面AS1粘附有多个被粘物CP；分离单元30，其使保持了粘接片AS的端部的保持单元20相对移动，扩大被粘物CP的相互间隔；摄像头或投影机等拍摄单元、光学传感器或声波传感器等各种传感器等检测单元40，其能够检测被粘物CP的相互间隔或各被粘物CP整体上的集合形状等；维持部件安装单元50，其将间隔维持部件DM安装于粘接片AS，该间隔维持部件DM能够维持由分离单元30扩大后的被粘物CP的相互间隔；切断单元60，其切断粘接片AS。
需要说明的是，粘接片AS具备如下性质：在基材片的一面上层积粘接剂层，并赋予张力，之后，当解除该张力时，将接近于变形前的状态。
保持单元20具备作为驱动设备的转动电机21、和上保持部件22，转动电机21支承于分离单元30，上保持部件22支承于该转动电机21的输出轴21A。
分离单元30具备作为驱动设备的线性电机31、和下保持部件32，下保持部件32支承于该线性电机31的滑块31A，并在上表面侧支承转动电机21。
维持部件安装单元50将间隔维持部件DM安装于粘接片AS的另一面AS2，该间隔维持部件DM由作为基材的玻璃板GP和作为保持用粘接剂层的双面粘接片BA的两层的层积体构成，玻璃板GP具备能够克服使粘接片AS接近于变形前的状态的力的刚性，双面粘接片BA粘附于该玻璃板GP。
也就是说，维持部件安装单元50具备：作为驱动设备的线性电机51，其具备沿Y轴方向移动的滑块51A；作为驱动设备的线性电机52，其支承于滑块51A，具备沿X轴方向移动的滑块52A；作为驱动设备的直线电机53，其支承于滑块52A；支承台54，其支承于直线电机53的输出轴53A，具有支承面54A，该支承面54A能够通过减压泵或真空喷射器等未图示的减压单元支承间隔维持部件DM；层积单元55，其在玻璃板GP层积双面粘接片BA，形成间隔维持部件DM。
层积单元55具备：支承辊55A，其支承双面粘接片BA的一面暂时粘附于带状的剥离片RL上、且在另一面上暂时粘附有盖片CS的物料RS；引导辊55B，其对物料RS进行引导；作为剥离单元的剥离板55C，其将剥离片RL回折，从该剥离片RL将双面粘接片BA剥离；作为按压单元的按压辊55D，其经由盖片CS向玻璃板GP按压双面粘接片BA进行粘附，并且，从双面粘接片BA将盖片CS剥离；第一回收辊55F，其由作为驱动设备的转动电机55E驱动，对盖片CS进行回收；驱动辊55H，其由作为驱动设备的转动电机55G驱动，在其与夹紧辊55J之间夹入剥离片RL；第二回收辊55K，其由未图示的驱动设备驱动，对剥离片RL进行回收。
切断单元60具备：作为驱动设备的多关节机器人61，其由多个臂构成；作为切断部件的切刀63，其经由托架62支承于该多关节机器人61的作业部即前端臂61A。多关节机器人61可以是能够在其作业范围内，将由前端臂61A支承的支承物移动至任意位置、任意角度的所谓的六轴机器人等，例如，能够例示(日本)特开2016－81974中例示的多关节机器人111等。
说明上述分离装置10的动作。
首先，对于各部件在图1(A)、(B)中由实线表示的初始位置待机的分离装置10，该分离装置10的使用者(以下，仅称作“使用者”)在如同图那样设置物料RS后，经由操作面板或个人计算机等未图示的操作单元输入自动运转开始的信号。之后，作业者、或驱动设备、输送机械等未图示的输送单元将玻璃板GP载置于支承面54A上，该情况下，维持部件安装单元50驱动未图示的减压单元，开始该玻璃板GP的吸附保持。需要说明的是，本实施方式的玻璃板GP及双面粘接片BA采用俯视呈四边形的部件，该部件不具有用于避让被粘物CP的贯通孔。
然后，作业者、或未图示的输送单元将粘附有多个被粘物CP的粘接片AS载置于下保持部件32上，该情况下，保持单元20驱动转动电机21，如图1(B)中由双点划线所示那样，由上保持部件22和下保持部件32保持粘接片AS的端部。接着，分离单元30驱动各线性电机31，使保持单元20相互分离，扩大被粘物CP的相互间隔。此时，就各被粘物CP而言，如图2(A)所示，其相互间隔有时因粘接片AS的应变等而未扩大至规定的间隔。因此，检测单元40驱动摄像头等，检测各被粘物CP的相互间隔或各被粘物CP整体上的集合形状等。接着，基于检测单元40的检测结果，分离单元30驱动各线性电机31，使各保持单元20单独地移动，以如图2(B)所示，使各被粘物CP的相互间隔成为规定间隔、或使各被粘物CP整体上的集合形状相对于基准整体集合形状呈相似关系。
当检测单元40检测被粘物CP的相互间隔扩大至规定间隔、或者、各被粘物CP整体上的集合形状成为规定形状时，维持部件安装单元50驱动线性电机52，使支承了玻璃板GP的支承台54向左方移动。接着，当玻璃板GP到达规定的位置时，维持部件安装单元50驱动转动电机55E、55G，放出物料RS，并如图1(B)中由双点划线所示，向玻璃板GP粘附双面粘接片BA，形成间隔维持部件DM。接着，维持部件安装单元50驱动线性电机51、52，如图3(A)所示，在相互间隔经扩大的被粘物CP的下方配置间隔维持部件DM后，驱动直线电机53，如图3(B)所示，将间隔维持部件DM安装于粘接片AS的另一面AS2侧。
之后，切断单元60驱动多关节机器人61，如图3(C)所示，将切刀63刺穿粘接片AS后，使该切刀63沿着被粘物CP整体的外缘绕行1周以将粘接片AS切断，形成如下的一体物WK：安装有间隔维持部件DM，且在粘接片AS上被粘物CP的相互间隔被扩大。接着，切断单元60驱动多关节机器人61，使切刀63复位至初始位置，该情况下，维持部件安装单元50停止未图示的减压单元的驱动，解除间隔维持部件DM的吸附保持。然后，作业者、或未图示的输送单元向另一工序输送一体物WK，该情况下，保持单元20驱动转动电机21，解除由上保持部件22和下保持部件32实现的粘接片AS的保持。之后，作业者、或未图示的输送单元取下残留于下保持部件32上的粘接片AS部分，该情况下，各单元驱动各自的驱动设备，使各部件复位至初始位置，以后重复与上述同样的动作。
根据以上那样的分离装置10，在一面AS1上粘附有被粘物CP的粘接片AS的另一面AS2，安装间隔维持部件DM，因而，作为间隔维持部件DM，无需采用具有用于避让被粘物CP的贯通孔的环状的部件，能够扩大该间隔维持部件DM的形状的选择自由度，防止通用性欠缺。
就本发明的单元及工序而言，只要能够实现就上述单元及工序所说明的动作、功能或工序即可，不对其构成任何限定，更不会被上述实施方式中表示的单一实施方式的构成物或工序完全限定。例如，保持单元只要能够保持在一面粘附有多个被粘物的粘接片的端部即可，也可以参照申请时的公知常识，对其不作任何限定，只要在其技术范围内即可(其他单元及工序也相同)。
就本发明的分离装置而言，如图4(A)所示，其也可以设为分离装置10A，具备：保持单元20；抵接单元70，其在粘接片AS的比粘附有多个被粘物CP的被粘物粘接区域CE靠外侧、且在保持单元20所保持的保持区域HE的内侧，与该粘接片AS抵接；分离单元30A，其使保持了粘接片AS的端部的保持单元20及抵接单元70相对移动，扩大被粘物CP的相互间隔；检测单元40；维持部件安装单元50A，其将间隔维持部件DM安装于粘接片AS，该间隔维持部件DM能够维持由分离单元30A扩大后的被粘物CP的相互间隔；切断单元60。
需要说明的是，在分离装置10A中，对具有与分离装置10同等结构且同等功能的部件，标注与该分离装置10相同的标记并省略其结构说明，并简化动作说明。
分离单元30A具备作为驱动设备的直线电机33、和下保持部件34，直线电机33支承于基座板BP上，下保持部件34支承于该直线电机33的输出轴33A，并在上表面侧支承转动电机21。
就维持部件安装单元50A而言，作为驱动设备的线性电机56具备沿Y轴方向移动的滑块56A，在该滑块56A上，经由直线电机53支承有支承台54。
抵接单元70具备圆筒状的抵接部件71，该抵接部件71支承于基座板BP上，并在跟前侧形成有允许维持部件安装单元50A进出的切口71A。
就这种分离装置10A而言，在玻璃板GP上事先层积有双面粘接片BA的间隔维持部件DM以双面粘接片BA侧成为上侧的方式，载置在位于抵接部件71的外侧(跟前侧)的支承台54上。之后，与分离装置10同样地，粘附有多个被粘物CP的粘接片AS载置于下保持部件34上时，保持单元20驱动转动电机21，如图4(A)中由双点划线所示，由上保持部件22和下保持部件34保持粘接片AS的端部。需要说明的是，在粘接片AS的端部，如图4所示，粘附有环状的框架RF，但也可以不设置该框架RF。接着，分离单元30A驱动直线电机33，使保持单元20下降而使保持单元20及抵接单元70相对移动，如图4(B)所示，扩大被粘物CP的相互间隔后，维持部件安装单元50A驱动线性电机56，在相互间隔经扩大的被粘物CP的下方配置间隔维持部件DM。然后，与分离装置10同样地，如图4(B)所示，由维持部件安装单元50A将间隔维持部件DM安装于粘接片AS的另一面AS2侧，由切断单元60切断粘接片AS后，向另一工序输送一体物WK。
通过这种分离装置10A，也能够得到与分离装置10同样的效果。
保持单元20也可以是如下结构，即，相对于图1、4中表示的状态，在粘接片AS上下反转后的状态(被粘物CP位于下方的状态)下，保持该粘接片AS的端部。在该情况下，维持部件安装单元50、50A成为在粘接片AS的上表面侧安装间隔维持部件DM的结构。
保持单元20也可以是由机械吸盘或吸盘泵等把持单元、库仑力、粘接剂、粘合剂、磁力、伯努利吸附、驱动设备等保持粘接片AS的端部的结构。
就保持单元20而言，在分离装置10的情况下，例如也可以由将向右方移动的该保持单元20设为一单元、将向左方移动的该保持单元20设为一单元的两个单元构成，例如还可以由向右方、左方及其他方向移动的三个以上单元构成。
在分离装置10A的情况下，保持单元20可以是一个单元，也可以是两个单元以上。
分离单元30、30A也可以是单个而非多个，该情况下，例如，分离装置10设为由单个的线性电机的两个滑块分别逐一支承保持单元20、扩大被粘物CP的相互间隔的结构，也可以设为仅沿单轴方向(例如，X轴方向或Y轴方向等)扩大被粘物CP的相互间隔的结构。
分离单元30也可以是在三轴以上的方向(例如，X轴方向、Y轴方向及其他轴方向)上扩大相互间隔的结构，也可以是例如，设为使沿X轴方向移动后的多个保持单元20分别沿Y轴方向移动的结构(使沿Y轴方向移动后的多个保持单元20分别沿X轴方向移动的结构)，并扩大被粘物CP的相互间隔，也可以是不能启动以使被粘物CP的相互间隔成为规定间隔的结构、或不能启动以使各被粘物CP整体上的集合形状相对于基准整体集合形状呈相似关系的结构。
分离单元30A也可以使保持单元20停止或移动，并且使抵接单元70移动，从而，使保持单元20及抵接单元70相对移动，扩大被粘物CP的相互间隔。
就分离单元30、30A而言，也可以是作业者操作按钮或杆等，驱动线性电机31、直线电机33，该情况下，例如，也可以构成为将检测单元40的检测结果显示于监视器或检测器等显示器，根据该显示器中显示的检测结果，作业者使线性电机31、直线电机33驱动，以使被粘物CP的相互间隔成为规定间隔、或使各被粘物CP整体上的集合形状相对于基准整体集合形状呈相似关系。
检测单元40也可以是作业者的目测观察，例如，也可以构成为，作业者通过目测观察，操作按钮或杆等来驱动线性电机31、直线电机33，以使被粘物CP的相互间隔成为规定间隔、或使各被粘物CP整体上的集合形状相对于基准整体集合形状呈相似关系，本发明的分离装置10、10A也可以不具备检测单元40。
维持部件安装单元50、50A也可以是由机械吸盘或吸盘泵等把持单元、库仑力、粘接剂、粘合剂、磁力、伯努利吸附、驱动设备等支承间隔维持部件DM的结构，作为间隔维持部件DM，也可以采用具备能够克服使粘接片AS接近于变形前的状态的力的刚性的未图示的其他粘接片，并设为将该未图示的其他粘接片粘附于粘接片AS的另一面的结构，作为间隔维持部件DM，也可以采用具有用于避让被粘物CP的贯通孔的环状的部件，作为间隔维持部件DM，也可以采用俯视呈三角形、或五边形以上的多变形的部件、亦或呈圆形、椭圆形、其他的形状的部件。
作为维持部件安装单元50、间隔维持部件DM，也可以采用具备能够事先安装于粘接片AS上的部件的结构，该情况下，也可以不设置层积单元55。
维持部件安装单元50A也可以构成为，作为间隔维持部件DM，采用在玻璃板GP上未事先层积有双面粘接片BA的部件，通过与分离装置10同等的层积单元55在玻璃板GP上层积双面粘接片BA。
切断单元60也可以代替切刀63，而将激光切割、离子束、火力、热、水压、电热线、气体或液体等的吹附等用作切断部件，或通过将适当的驱动设备组合而成的结构使切断部件移动进行切断，本发明的分离装置10、10A也可以不具备切断单元80。
抵接单元70除棱筒状或椭圆筒状等以外，也可以采用圆柱、棱柱、椭圆中等的其他形状的抵接部件71。
分离装置10A也可以设为如下结构，即，将维持部件安装单元50A配置于抵接部件71的内部，该维持部件安装单元50A不进出抵接部件71的内部，该情况下，维持部件安装单元50A也可以无线性电机56，抵接部件71也可以无切口71A。
间隔维持部件DM也可以代替玻璃板GP，采用例如金属、树脂、木材、陶器等的部件，或采用形成为外缘部比其他区域厚的杯状或锅状的部件，只要具备能够克服使粘接片AS接近于变形前的状态的力的刚性即可，可以是任何部件，形状也可以是任意形状。
保持用粘接剂层也可以是在基材片的两面具有由相同成分或不同成分构成的粘接剂层的双面粘接片、亦或液体或凝胶状的粘接剂。
间隔维持部件DM也可以采用通过润湿性、磁附、吸附、伯努利吸附等安装于粘接片的方式，而不使用保持用粘接剂层。
本发明的粘接片AS、双面粘接片BA、其他粘接片及被粘物CP的材质、种类、形状等不作特别限定。这种粘接片AS、双面粘接片BA、及其他粘接片也可以是例如圆形、椭圆形、三角形或四边形等多边形、其他的形状，也可以是压敏粘接性、热敏粘接性等粘接方式的粘接片，在采用热敏粘接性的粘接片的情况下，通过设置对其进行加热的适当的盘管加热器或热管的加热侧等的加热单元这样适当的方法进行粘接即可。另外，粘接片AS及其他粘接片也可以是：例如，仅粘接剂层的单层结构、在基材与粘接剂层之间具有中间层的结构、在基材的上表面具有盖层等的三层以上结构、进而能够实现将基材从粘接剂层剥离的所谓双面粘接片那样的结构，这种双面粘接片或双面粘接片BA也可以具有单层或多层的中间层、或是无中间层的单层或多层结构。另外，作为被粘物CP，也可以是：例如，食品、树脂容器、硅半导体晶片或化合物半导体晶片等半导体晶片、半导体芯片、电路基板、光盘等信息记录基板、玻璃板、钢板、陶器、木板或树脂等单体物，也可以是由两种以上上述单体物形成的复合物，任意形式的部件或物品等均能够设为对象。需要说明的是，粘接片AS换成功能、用途上的叫法，也可以是：例如，信息记载用标签、装饰用标签、保护片、切割胶带、芯片粘结膜、贴片胶带、记录层形成树脂片等任意的片材、膜、胶带等。
被粘物CP也可以事先在粘接片AS上存在多个，也可以在由分离单元30、30A对粘接片AS赋予张力的时刻进行单片化，并在粘接片AS上存在多个。作为这种以在对粘接片AS赋予张力的时刻存在多个的方式构成的被粘物CP，例如是，对半导体晶片照射激光，在该半导体晶片形成线状或格子状等的脆性的脆性线，在对粘接片AS赋予张力的时刻进行单片化，形成多个被粘物CP；或者，例如是，由切刀切入树脂或玻璃板，在该树脂或玻璃板形成线状或格子状等的未贯通于正反的预定切断线、或穿孔的预定切断线等，在对粘接片AS赋予张力的时刻形成多个被粘物CP等，不作任何限定。
上述实施方式的驱动设备能够采用转动电机、直线电机、线性电机、单轴机器人、多关节机器人等电动设备、气缸、液压缸、无杆气缸及摆动气缸等驱动器等，此外，也能够采用将其直接或间接地组合而成的结构。

Claims (8)

1.一种分离装置，其特征在于，具备：
多个保持单元，其保持粘接片的端部，该粘接片在一面粘附有多个被粘物；
分离单元，其使保持了所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动，扩大所述被粘物的相互间隔；
维持部件安装单元，其将间隔维持部件安装于所述粘接片，该间隔维持部件能够维持由所述分离单元扩大后的所述被粘物的相互间隔；
所述维持部件安装单元将所述间隔维持部件安装于所述粘接片的另一面。
2.一种分离装置，其特征在于，具备：
保持单元，其保持粘接片的端部，该粘接片在一面粘附有多个被粘物；
抵接单元，其在所述粘接片的比粘附有所述多个被粘物的被粘物粘接区域靠外侧、且在所述保持单元所保持的保持区域的内侧，与该粘接片抵接；
分离单元，其使保持了所述粘接片的端部的所述保持单元及抵接单元相对移动，扩大所述被粘物的相互间隔；
维持部件安装单元，其将间隔维持部件安装于所述粘接片，该间隔维持部件能够维持由所述分离单元扩大后的所述被粘物的相互间隔；
所述维持部件安装单元将所述间隔维持部件安装于所述粘接片的另一面。
3.如权利要求1或2所述的分离装置，其特征在于，具备：
切断单元，其切断所述粘接片。
4.如权利要求1～3中任一项所述的分离装置，其特征在于，
所述粘接片具备如下性质，即，当解除所述分离单元的作用时，将接近于变形前的状态，
所述间隔维持部件由基材和保持用粘接剂层的至少两层的层积体构成，该基材具备能够克服使所述粘接片接近于变形前的状态的力的刚性，该保持用粘接剂层粘附于该基材。
5.如权利要求4所述的分离装置，其特征在于，
所述维持部件安装单元具备层积单元，该层积单元在所述基材上层积所述保持用粘接剂层。
6.如权利要求1～3中任一项所述的分离装置，其特征在于，
所述粘接片具备如下性质，即，当解除所述分离单元的作用时，将接近于变形前的状态，
所述间隔维持部件形成为另一粘接片，该另一粘接片具备能够克服使所述粘接片接近于变形前的状态的力的刚性，
所述维持部件安装单元将所述另一粘接片粘附于所述粘接片。
7.一种分离方法，其特征在于，具有：
保持工序，其由多个保持单元保持粘接片的端部，该粘接片在一面粘附有多个被粘物；
分离工序，其使保持了所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动，扩大所述被粘物的相互间隔；
维持部件安装工序，其将间隔维持部件安装于所述粘接片，该间隔维持部件能够维持由所述分离工序扩大后的所述被粘物的相互间隔；
在所述维持部件安装工序中，将所述间隔维持部件安装于所述粘接片的另一面。
8.一种分离方法，其特征在于，具有：
保持工序，其由保持单元保持粘接片的端部，该粘接片在一面粘附有多个被粘物；
分离工序，其使抵接单元、以及保持了所述粘接片的端部的所述保持单元相对移动，扩大所述被粘物的相互间隔，其中，所述抵接单元在所述粘接片的比粘附有所述多个被粘物的被粘物粘接区域靠外侧、且在所述保持单元所保持的保持区域的内侧，与该粘接片抵接；
维持部件安装工序，其将间隔维持部件安装于所述粘接片，该间隔维持部件能够维持由所述分离工序扩大后的所述被粘物的相互间隔；
在所述维持部件安装工序中，将所述间隔维持部件安装于所述粘接片的另一面。
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