KR102457844B1 - 이간 장치 및 이간 방법 - Google Patents

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Abstract

[과제] 간격 유지 부재의 형상의 선택 자유도를 넓혀, 범용성이 결여되는 것을 방지할 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것.
[해결 수단] 일방의 면 (AS1) 에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 이간 수단 (30) 에 의해 넓혀진 피착체 (CP) 의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재 (DM) 를 접착 시트 (AS) 에 장착하는 유지 부재 장착 수단 (50) 을 구비하고, 유지 부재 장착 수단 (50) 은, 간격 유지 부재 (DM) 를 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 에 장착한다.

Description

이간 장치 및 이간 방법{SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}
본 발명은, 이간 장치 및 이간 방법에 관한 것이다.
종래, 접착 시트에 첩부된 복수의 피착체의 상호 간격을 넓히는 테이프 확장 장치 (이간 장치) 가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2008-140874호
그러나, 특허문헌 1 에 기재된 바와 같은 종래의 이간 장치에서는, 점착 테이프 (접착 시트) 에 있어서의 웨이퍼 (피착체) 가 첩부된 표면 (일방의 면) 측에 트랜스퍼 프레임 (간격 유지 부재) 을 첩부하기 (장착하기) 때문에, 간격 유지 부재로서, 피착체를 피하기 위한 내경 (관통공) 을 갖는 환상의 부재가 필요해지고, 나아가서는 이간 장치로서의 범용성이 결여된다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 간격 유지 부재의 형상의 선택 자유도를 넓혀, 범용성이 결여되는 것을 방지할 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용하였다.
본 발명에 의하면, 일방의 면에 피착체가 첩부된 접착 시트에 있어서의 타방의 면에 간격 유지 부재를 장착하기 때문에, 간격 유지 부재로서 피착체를 피하기 위한 관통공을 갖는 환상의 부재를 채용할 필요가 없어져, 당해 간격 유지 부재의 형상의 선택 자유도를 넓혀, 범용성이 결여되는 것을 방지할 수 있다.
또, 절단 수단을 구비하면, 접착 시트 상에서 상호 간격이 넓혀진 피착체를 다른 공정으로 반송할 때, 접착 시트의 단부 (端部) 가 반송의 방해가 되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 간격 유지 부재로서, 기재와 유지용 접착제층의 적어도 2 층의 적층체를 채용하면, 간격 유지 부재의 선택 자유도가 더욱 넓어져, 범용성이 결여되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
또, 유지 부재 장착 수단이 적층 수단을 구비하면, 미리 기재와 유지용 접착제층이 적층된 간격 유지 부재를 준비할 필요가 없어진다.
또한, 간격 유지 부재로서, 다른 접착 시트를 채용하면, 당해 간격 유지 부재를 간단하게 접착 시트에 장착시킬 수 있다.
도 1(A) 는, 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 평면도이다. 도 1(B) 는, 도 1(A) 의 측면도이다.
도 2(A), (B) 는, 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 동작 설명도이다.
도 3(A) ∼ (C) 는, 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 동작 설명도이다.
도 4(A), (B) 는, 본 발명의 다른 예의 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, Y 축과 평행한 화살표 BD 방향에서 본 경우를 기준으로 하여, 기준이 되는 도면을 예시하지 않고 방향을 나타낸 경우,「상방」이 Z 축의 화살표 방향이고「하측」이 그 역방향,「좌측」이 X 축의 화살표 방향이고「우측」이 그 역방향,「전측」이 Y 축의 화살표 방향이고「후측」이 그 역방향으로 한다.
본 발명의 이간 장치 (10) 는, 일방의 면 (AS1) 에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 피착체 (CP) 의 상호 간격이나 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상 등을 검지 가능한 카메라나 투영기 등의 촬상 수단, 광학 센서나 음파 센서 등의 각종 센서 등의 검지 수단 (40) 과, 이간 수단 (30) 에 의해 넓혀진 피착체 (CP) 의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재 (DM) 를 접착 시트 (AS) 에 장착하는 유지 부재 장착 수단 (50) 과, 접착 시트 (AS) 를 절단하는 절단 수단 (60) 을 구비하고 있다.
또한, 접착 시트 (AS) 는, 기재 시트의 일방의 면에 접착제층이 적층되고, 장력이 부여된 후, 당해 장력이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고 있다.
유지 수단 (20) 은, 이간 수단 (30) 에 지지된 구동 기기로서의 회동 모터 (21) 와, 그 출력축 (21A) 에 지지된 상측 유지 부재 (22) 를 구비하고 있다.
이간 수단 (30) 은, 구동 기기로서의 리니어 모터 (31) 와, 그 슬라이더 (31A) 에 지지되고, 상면측에서 회동 모터 (21) 를 지지하는 하측 유지 부재 (32) 를 구비하고 있다.
유지 부재 장착 수단 (50) 은, 접착 시트 (AS) 가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 기재로서의 유리판 (GP) 과, 당해 유리판 (GP) 에 첩부된 유지용 접착제층으로서의 양면 접착 시트 (BA) 의 2 층의 적층체로 구성된 간격 유지 부재 (DM) 를 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 에 장착하도록 되어 있다.
즉, 유지 부재 장착 수단 (50) 은, Y 축 방향으로 이동하는 슬라이더 (51A) 를 구비한 구동 기기로서의 리니어 모터 (51) 와, 슬라이더 (51A) 에 지지되고, X 축 방향으로 이동하는 슬라이더 (52A) 를 구비한 구동 기기로서의 리니어 모터 (52) 와, 슬라이더 (52A) 에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터 (53) 와, 그 출력축 (53A) 에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시되지 않은 감압 수단에 의해 간격 유지 부재 (DM) 를 지지 가능한 지지면 (54A) 을 갖는 지지 테이블 (54) 과, 유리판 (GP) 에 양면 접착 시트 (BA) 를 적층하고, 간격 유지 부재 (DM) 를 형성하는 적층 수단 (55) 을 구비하고 있다.
적층 수단 (55) 은, 양면 접착 시트 (BA) 의 일방의 면이 띠상의 박리 시트 (RL) 상에 임시 장착되고, 타방의 면에 커버 시트 (CS) 가 임시 장착된 원단 (RS) 을 지지하는 지지 롤러 (55A) 와, 원단 (RS) 을 안내하는 가이드 롤러 (55B) 와, 박리 시트 (RL) 를 되접어, 당해 박리 시트 (RL) 로부터 양면 접착 시트 (BA) 를 박리하는 박리 수단으로서의 박리판 (55C) 과, 커버 시트 (CS) 를 통해 유리판 (GP) 에 양면 접착 시트 (BA) 를 가압하여 첩부함과 함께, 양면 접착 시트 (BA) 로부터 커버 시트 (CS) 를 박리하는 가압 수단으로서의 가압 롤러 (55D) 와, 구동 기기로서의 회동 모터 (55E) 에 의해 구동되고, 커버 시트 (CS) 를 회수하는 제 1 회수 롤러 (55F) 와, 구동 기기로서의 회동 모터 (55G) 에 의해 구동되고, 핀치 롤러 (55J) 와의 사이에 박리 시트 (RL) 를 끼워넣는 구동 롤러 (55H) 와, 도시되지 않은 구동 기기에 의해 구동시키고, 박리 시트 (RL) 를 회수하는 제 2 회수 롤러 (55K) 를 구비하고 있다.
절단 수단 (60) 은, 복수의 아암에 의해 구성된 구동 기기로서의 다관절 로봇 (61) 과, 당해 다관절 로봇 (61) 의 작업부인 선단 아암 (61A) 에 브래킷 (62) 을 통하여 지지된 절단 부재로서의 커터날 (63) 을 구비하고 있다. 다관절 로봇 (61) 은, 그 작업 범위 내에 있어서, 선단 아암 (61A) 으로 지지한 것을 어느 위치, 어느 각도로도 변위 가능한 소위 6 축 로봇 등이어도 되고, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2016-81974호 에 예시되어 있는 다관절 로봇 (111) 등을 예시할 수 있다.
이상의 이간 장치 (10) 의 동작을 설명한다.
먼저, 각 부재가 도 1(A), (B) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에서 대기하고 있는 이간 장치 (10) 에 대해, 당해 이간 장치 (10) 의 사용자 (이하, 간단히「사용자」라고 한다) 가 원단 (RS) 을 동 도면과 같이 세트한 후, 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통하여 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그 후, 작업자 또는 구동 기기나 컨베이어 등의 도시되지 않은 반송 수단이, 유리판 (GP) 을 지지면 (54A) 상에 재치 (載置) 하면, 유지 부재 장착 수단 (50) 이 도시되지 않은 감압 수단을 구동시키고, 당해 유리판 (GP) 의 흡착 유지를 개시한다. 또한, 본 실시형태의 유리판 (GP) 및 양면 접착 시트 (BA) 는, 피착체 (CP) 를 피하기 위한 관통공을 갖지 않는 평면에서 보아 사각형의 부재가 채용되고 있다.
그리고, 작업자 또는 도시되지 않은 반송 수단이 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 를 하측 유지 부재 (32) 상에 재치하면, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동시키고, 도 1(B) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 상측 유지 부재 (22) 와 하측 유지 부재 (32) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한다. 이어서, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시키고, 유지 수단 (20) 을 서로 이간시켜 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 이 때, 각 피착체 (CP) 는, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 접착 시트 (AS) 의 뒤틀림 등에 의해, 상호 간격이 소정의 간격으로 넓어지지 않는 경우가 있다. 그래서, 검지 수단 (40) 이 카메라 등을 구동시키고, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이나 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상 등을 검지한다. 다음으로, 검지 수단 (40) 의 검지 결과를 기초로 하여, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시키고, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 각 유지 수단 (20) 을 개별적으로 이동시킨다.
피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격으로 넓혀진 것, 또는 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 소정 형상이 된 것을 검지 수단 (40) 이 검지하면, 유지 부재 장착 수단 (50) 이 리니어 모터 (52) 를 구동시키고, 유리판 (GP) 을 지지한 지지 테이블 (54) 을 좌측으로 이동시킨다. 이어서, 유리판 (GP) 이 소정의 위치에 도달하면, 유지 부재 장착 수단 (50) 이 회동 모터 (55E, 55G) 를 구동시키고, 원단 (RS) 을 조출하고, 도 1(B) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 유리판 (GP) 에 양면 접착 시트 (BA) 를 첩부하여 간격 유지 부재 (DM) 를 형성한다. 이어서, 유지 부재 장착 수단 (50) 이 리니어 모터 (51, 52) 를 구동시키고, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 상호 간격이 넓혀진 피착체 (CP) 의 하방에 간격 유지 부재 (DM) 를 배치한 후, 직동 모터 (53) 를 구동시키고, 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 측에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착한다.
그 후, 절단 수단 (60) 이 다관절 로봇 (61) 을 구동시키고, 도 3(C) 에 나타내는 바와 같이, 커터날 (63) 을 접착 시트 (AS) 에 찌른 후, 당해 커터날 (63) 을 피착체 (CP) 전체의 외측 가장자리를 따라 일주 (一周) 시켜 접착 시트 (AS) 를 절단하고, 간격 유지 부재 (DM) 가 장착되고, 접착 시트 (AS) 상에서 피착체 (CP) 의 상호 간격이 넓혀진 일체물 (WK) 을 형성한다. 이어서, 절단 수단 (60) 이 다관절 로봇 (61) 을 구동시키고, 커터날 (63) 을 초기 위치로 복귀시키면, 유지 부재 장착 수단 (50) 이 도시되지 않은 감압 수단의 구동을 정지시키고, 간격 유지 부재 (DM) 의 흡착 유지를 해제한다. 그리고, 작업자 또는 도시되지 않은 반송 수단이 일체물 (WK) 을 다른 공정으로 반송하면, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동시키고, 상측 유지 부재 (22) 와 하측 유지 부재 (32) 에 의한 접착 시트 (AS) 의 유지를 해제한다. 그 후, 작업자 또는 도시되지 않은 반송 수단이 하측 유지 부재 (32) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 부분을 제거하면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동시켜, 각 부재를 초기 위치로 복귀시키고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.
이상과 같은 이간 장치 (10) 에 의하면, 일방의 면 (AS1) 에 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 에 있어서의 타방의 면 (AS2) 에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착하기 때문에, 간격 유지 부재 (DM) 로서 피착체 (CP) 를 피하기 위한 관통공을 갖는 환상의 부재를 채용할 필요가 없어져, 당해 간격 유지 부재 (DM) 의 형상의 선택 자유도를 넓혀, 범용성이 결여되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 전혀 한정되지 않고, 하물며, 상기 실시형태로 나타낸 단순한 일 실시형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되지 않는다. 예를 들어, 유지 수단은, 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 비추어보아, 그 기술 범위 내의 것이면 전혀 한정되지 않는다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일하다).
본 발명의 이간 장치는, 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 피착체 접착 영역 (CE) 보다 외측으로서, 유지 수단 (20) 이 유지한 유지 영역 (HE) 의 내측에서 당해 접착 시트 (AS) 에 맞닿는 맞닿음 수단 (70) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (70) 을 상대 이동시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30A) 과, 검지 수단 (40) 과, 이간 수단 (30A) 에 의해 넓혀진 피착체 (CP) 의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재 (DM) 를 접착 시트 (AS) 에 장착하는 유지 부재 장착 수단 (50A) 과, 절단 수단 (60) 을 구비한 이간 장치 (10A) 로 해도 된다.
또한, 이간 장치 (10A) 에 있어서, 이간 장치 (10) 와 동등한 구성으로 동등한 기능을 갖는 것은, 당해 이간 장치 (10) 와 동일한 번호를 붙여 그 구성 설명은 생략하고, 동작 설명은 간략화한다.
이간 수단 (30A) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터 (33) 와, 그 출력축 (33A) 에 지지되고, 상면측에서 회동 모터 (21) 를 지지하는 하측 유지 부재 (34) 를 구비하고 있다.
유지 부재 장착 수단 (50A) 은, Y 축 방향으로 이동하는 슬라이더 (56A) 를 구비한 구동 기기로서의 리니어 모터 (56) 의 당해 슬라이더 (56A) 상에, 직동 모터 (53) 를 통하여 지지 테이블 (54) 이 지지되어 있다.
맞닿음 수단 (70) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지되고, 전방측에 유지 부재 장착 수단 (50A) 의 출입을 허용하는 절결 (71A) 이 형성된 원통상의 맞닿음 부재 (71) 를 구비하고 있다.
이와 같은 이간 장치 (10A) 는, 유리판 (GP) 상에 미리 양면 접착 시트 (BA) 가 적층된 간격 유지 부재 (DM) 가, 맞닿음 부재 (71) 의 외측 (전방측) 에 위치하는 지지 테이블 (54) 상에 양면 접착 시트 (BA) 측이 상방이 되도록 재치된다. 그 후, 이간 장치 (10) 와 마찬가지로 하여 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 가 하측 유지 부재 (34) 상에 재치되면, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동시키고, 도 4(A) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 상측 유지 부재 (22) 와 하측 유지 부재 (34) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한다. 또한, 접착 시트 (AS) 의 단부에는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 링상의 프레임 (RF) 이 첩부되어 있지만, 당해 프레임 (RF) 은 없어도 된다. 이어서, 이간 수단 (30A) 이 직동 모터 (33) 를 구동시키고, 유지 수단 (20) 을 하강시켜 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (70) 을 상대 이동시켜, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌 후, 유지 부재 장착 수단 (50A) 이 리니어 모터 (56) 를 구동시키고, 상호 간격이 넓혀진 피착체 (CP) 의 하방에 간격 유지 부재 (DM) 를 배치한다. 그리고, 이간 장치 (10) 와 마찬가지로 하여, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 유지 부재 장착 수단 (50A) 으로 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 측에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착하고, 절단 수단 (60) 으로 접착 시트 (AS) 를 절단한 후, 일체물 (WK) 을 다른 공정으로 반송한다.
이와 같은 이간 장치 (10A) 에 의해서도, 이간 장치 (10) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
유지 수단 (20) 은, 도 1, 4 로 나타낸 상태에 대해, 접착 시트 (AS) 가 상하 반전된 상태 (피착체 (CP) 가 하방에 위치하는 상태) 에서, 당해 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 되고, 이 경우, 유지 부재 장착 수단 (50, 50A) 은, 접착 시트 (AS) 의 상면측에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착하는 구성이 된다.
유지 수단 (20) 은, 메커니컬 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 된다.
유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10) 의 경우, 예를 들어, 우방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 하고, 좌방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 한 2 체로 구성해도 되고, 예를 들어, 우방, 좌방 및 그 밖의 방향으로 이동하는 3 체 이상으로 구성해도 된다.
유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10A) 의 경우, 1 체여도 되고 2 체 이상이어도 된다.
이간 수단 (30, 30A) 은, 복수가 아니라 단수여도 되고, 이 경우, 예를 들어, 이간 장치 (10) 는, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로, 유지 수단 (20) 을 각각 1 체씩 지지하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.
이간 수단 (30) 은, 상호 간격을 3 축 이상의 방향 (예를 들어, X 축 방향, Y 축 방향 및 그 밖의 축 방향) 으로 넓히는 구성이어도 되고, 예를 들어, X 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 Y 축 방향으로 이동시키는 구성 (Y 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 X 축 방향으로 이동시키는 구성) 으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록 작동할 수 없는 구성, 또는 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록 작동할 수 없는 구성이어도 된다.
이간 수단 (30A) 은, 유지 수단 (20) 을 정지 또는 이동시키면서, 맞닿음 수단 (70) 을 이동시킴으로써, 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (70) 을 상대 이동시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.
이간 수단 (30, 30A) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 되고, 이 경우, 예를 들어, 검지 수단 (40) 에 의한 검지 결과를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하고, 이 표시기에 표시되는 검지 결과에 따라 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 작업자가 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 된다.
검지 수단 (40) 은, 작업자의 육안이어도 되고, 예를 들어, 작업자가 육안에 의해, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동하도록 구성해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되어 있지 않아도 된다.
유지 부재 장착 수단 (50, 50A) 은, 메커니컬 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 간격 유지 부재 (DM) 를 지지하는 구성이어도 되고, 간격 유지 부재 (DM) 로서, 접착 시트 (AS) 가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 도시되지 않은 다른 접착 시트를 채용하고, 당해 도시되지 않은 다른 접착 시트를 접착 시트 (AS) 의 타방의 면에 첩부하는 구성으로 해도 되고, 간격 유지 부재 (DM) 로서, 피착체 (CP) 를 피하기 위한 관통공을 갖는 환상의 부재를 채용해도 되고, 간격 유지 부재 (DM) 로서 평면에서 보아 삼각형이나, 오각형 이상의 다각형의 것, 원형, 타원형, 그 밖의 형상의 것을 채용해도 된다.
유지 부재 장착 수단 (50), 간격 유지 부재 (DM) 로서, 미리 접착 시트 (AS) 에 장착할 수 있는 것이 구비되어 있는 것을 채용해도 되고, 이 경우, 적층 수단 (55) 은 없어도 된다.
유지 부재 장착 수단 (50A) 은, 간격 유지 부재 (DM) 로서, 유리판 (GP) 상에 미리 양면 접착 시트 (BA) 가 적층되어 있지 않은 것을 채용하고, 이간 장치 (10) 와 동등한 적층 수단 (55) 으로 유리판 (GP) 상에 양면 접착 시트 (BA) 를 적층하도록 구성해도 된다.
절단 수단 (60) 은, 커터날 (63) 대신에, 레이저 커터, 이온 빔, 화력, 열, 수압, 전열선, 기체나 액체 등의 분사 등을 절단 부재로서 채용하거나, 적절한 구동 기기를 조합한 것으로 절단 부재를 이동시켜 절단하도록 하거나 해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되어 있지 않아도 된다.
맞닿음 수단 (70) 은, 각통상이나 타원통상 등 외에, 원주, 각주, 타원주 등의 다른 형상의 맞닿음 부재 (71) 를 채용해도 된다.
이간 장치 (10A) 는, 유지 부재 장착 수단 (50A) 을 맞닿음 부재 (71) 의 내부에 배치하여, 당해 유지 부재 장착 수단 (50A) 이 맞닿음 부재 (71) 의 내부에 출입하지 않는 구성으로 해도 되고, 이 경우, 유지 부재 장착 수단 (50A) 은, 리니어 모터 (56) 가 없어도 되고, 맞닿음 부재 (71) 는 절결 (71A) 이 없어도 된다.
간격 유지 부재 (DM) 는, 유리판 (GP) 대신에, 예를 들어, 금속, 수지, 목재, 도기 등의 부재를 채용하거나, 외측 가장자리부가 그 밖의 영역보다 두께가 크게 형성된 컵 형상이나 냄비 형상의 것을 채용하거나 해도 되고, 접착 시트 (AS) 가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘에 이겨낼 수 있는 강성을 구비한 것이면 무엇이어도 되고, 형상도 어떠한 형상이어도 된다.
유지용 접착제층은, 기재 시트의 양면에 동일한 성분 또는 상이한 성분으로 구성된 접착제층을 갖는 양면 접착 시트나, 액체 또는 젤상의 접착제여도 된다.
간격 유지 부재 (DM) 는, 유지용 접착제층을 사용하지 않고, 젖음성, 자착 (磁着), 흡착, 베르누이 흡착 등으로 접착 시트 (AS) 에 장착되는 것을 채용해도 된다.
본 발명에 있어서의 접착 시트 (AS), 양면 접착 시트 (BA), 다른 접착 시트 및 피착체 (CP) 의 재질, 종별, 형상 등은 특별히 한정되지 않는다. 이와 같은 접착 시트 (AS), 양면 접착 시트 (BA), 및 다른 접착 시트는, 예를 들어, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태인 것이어도 되고, 감열 접착성인 것이 채용된 경우에는, 그것을 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단을 형성하는 등의 적절한 방법으로 접착되면 된다. 또, 접착 시트 (AS) 및 다른 접착 시트는, 예를 들어, 접착제층만의 단층인 것, 기재와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖는 등 3 층 이상인 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 그러한 양면 접착 시트나 양면 접착 시트 (BA) 는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층인 것이어도 된다. 또, 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 반도체 칩, 회로 기판, 광디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그것들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되고, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 해석법으로 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.
피착체 (CP) 는, 미리 접착 시트 (AS) 상에서 복수 존재하고 있어도 되고, 이간 수단 (30, 30A) 으로 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여한 시점에서 개편화하고, 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하게 되는 것이어도 된다. 이와 같은 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여한 시점에서 복수 존재하게 되는 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼에 레이저를 조사하여, 당해 반도체 웨이퍼에 선상이나 격자상 등의 취약한 취약 라인을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것이나, 예를 들어, 수지나 유리판에 커터날로 절입하여, 당해 수지나 유리판에 선상이나 격자상 등의 표리로 관통하지 않는 절단 예정 라인이나, 절취선의 절단 예정 라인 등을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여한 시점에서 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것 등, 전혀 한정되는 것이 아니다.
상기 실시형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 (單軸) 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.
10, 10A : 이간 장치
20 : 유지 수단
30, 30A : 이간 수단
50, 50A : 유지 부재 장착 수단
55 : 적층 수단
60 : 절단 수단
70 : 맞닿음 수단
AS : 접착 시트
AS1 : 일방의 면
AS2 : 타방의 면
BA : 양면 접착 시트 (유지용 접착제층)
CE : 피착체 접착 영역
CP : 피착체
HE : 유지 영역
DM : 간격 유지 부재
GP : 유리판 (기재)

Claims (8)

  1. 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을, 대향하는 유지 수단이 서로 이간되는 방향으로 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단과,
    상기 이간 수단에 의해 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재를 상기 접착 시트에 장착하는 유지 부재 장착 수단을 구비하고,
    상기 접착 시트는, 상기 이간 수단에 의한 작용이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고,
    상기 간격 유지 부재는, 상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 기재와, 당해 기재에 첩부된 유지용 접착제층의 적어도 2 층의 적층체에 의해 구성되고,
    상기 유지 부재 장착 수단은, 상기 간격 유지 부재를 상기 접착 시트의 타방의 면에 장착하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  2. 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을, 대향하는 유지 수단이 서로 이간되는 방향으로 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단과,
    상기 이간 수단에 의해 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재를 상기 접착 시트에 장착하는 유지 부재 장착 수단을 구비하고,
    상기 접착 시트는, 상기 이간 수단에 의한 작용이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고,
    상기 간격 유지 부재는, 상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 다른 접착 시트로 되고,
    상기 유지 부재 장착 수단은, 상기 다른 접착 시트를 상기 접착 시트의 타방의 면에 첩부하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  3. 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지하는 유지 수단과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측으로서, 상기 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단 및 맞닿음 수단을 상대 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단과,
    상기 이간 수단에 의해 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재를 상기 접착 시트에 장착하는 유지 부재 장착 수단을 구비하고,
    상기 접착 시트는, 상기 이간 수단에 의한 작용이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고,
    상기 간격 유지 부재는, 상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 기재와, 당해 기재에 첩부된 유지용 접착제층의 적어도 2 층의 적층체에 의해 구성되고,
    상기 유지 부재 장착 수단은, 상기 간격 유지 부재를 상기 접착 시트의 타방의 면에 장착하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  4. 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지하는 유지 수단과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측으로서, 상기 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단 및 맞닿음 수단을 상대 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단과,
    상기 이간 수단에 의해 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재를 상기 접착 시트에 장착하는 유지 부재 장착 수단을 구비하고,
    상기 접착 시트는, 상기 이간 수단에 의한 작용이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고,
    상기 간격 유지 부재는, 상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 다른 접착 시트로 되고,
    상기 유지 부재 장착 수단은, 상기 다른 접착 시트를 상기 접착 시트의 타방의 면에 첩부하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  5. 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 복수의 유지 수단으로 유지하는 유지 공정과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을, 대향하는 유지 수단이 서로 이간되는 방향으로 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정과,
    상기 이간 공정으로 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재를 상기 접착 시트에 장착하는 유지 부재 장착 공정을 갖고,
    상기 접착 시트는, 상기 이간 공정에 의한 작용이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고,
    상기 간격 유지 부재는, 상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 기재와, 당해 기재에 첩부된 유지용 접착제층의 적어도 2 층의 적층체에 의해 구성되고,
    상기 유지 부재 장착 공정에서는, 상기 간격 유지 부재를 상기 접착 시트의 타방의 면에 장착하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
  6. 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 복수의 유지 수단으로 유지하는 유지 공정과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을, 대향하는 유지 수단이 서로 이간되는 방향으로 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정과,
    상기 이간 공정으로 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재를 상기 접착 시트에 장착하는 유지 부재 장착 공정을 갖고,
    상기 접착 시트는, 상기 이간 공정에 의한 작용이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고,
    상기 간격 유지 부재는, 상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 다른 접착 시트로 되고,
    상기 유지 부재 장착 공정에서는, 상기 다른 접착 시트를 상기 접착 시트의 타방의 면에 첩부하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
  7. 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 수단으로 유지하는 유지 공정과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측이고, 상기 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단 및, 상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정과,
    상기 이간 공정에 의해 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재를 상기 접착 시트에 장착하는 유지 부재 장착 공정을 갖고,
    상기 접착 시트는, 상기 이간 공정에 의한 작용이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고,
    상기 간격 유지 부재는, 상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 기재와, 당해 기재에 첩부된 유지용 접착제층의 적어도 2 층의 적층체에 의해 구성되고,
    상기 유지 부재 장착 공정에서는, 상기 간격 유지 부재를 상기 접착 시트의 타방의 면에 장착하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
  8. 일방의 면에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 수단으로 유지하는 유지 공정과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측이고, 상기 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단 및, 상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정과,
    상기 이간 공정에 의해 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지 가능한 간격 유지 부재를 상기 접착 시트에 장착하는 유지 부재 장착 공정을 갖고,
    상기 접착 시트는, 상기 이간 공정에 의한 작용이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고,
    상기 간격 유지 부재는, 상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 것이 가능한 강성을 구비한 다른 접착 시트로 되고,
    상기 유지 부재 장착 공정에서는, 상기 다른 접착 시트를 상기 접착 시트의 타방의 면에 첩부하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
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