KR102408527B1 - 이간 장치 및 이간 방법 - Google Patents

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Abstract

유지 부재로 유지한 접착 시트의 피유지 영역이 당해 유지 부재에 접착되는 것을 방지할 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것.
일방의 면 (AS1) 과 타방의 면 (AS2) 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 (CP) 또는 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지 부재 (22) 로 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 을 구비하고, 접착 시트 (AS) 는, 소정의 에너지 UV 가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고, 접착 시트 (AS) 에 소정의 에너지 UV 를 부여하는 에너지 부여 수단 (50) 을 구비하고, 유지 부재 (22) 는, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측에 맞닿는 일방측 유지 부재 (22A) 및, 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 측에 맞닿는 타방측 유지 부재 (22B) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고, 에너지 부여 수단 (50) 은, 유지 부재 (22) 로 끼우기 전에, 일방측 유지 부재 (22A) 및 타방측 유지 부재 (22B) 로 끼우는 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역에 소정의 에너지 UV 를 부여한다.

Description

이간 장치 및 이간 방법{SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}
본 발명은, 이간 장치 및 이간 방법에 관한 것이다.
종래, 접착 시트에 첩부된 복수의 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2016－127124호
그러나, 특허문헌 1 에 기재된 바와 같은 종래의 이간 장치에서는, 하지지 부재 (22) (유지 부재) 와 상지지 부재 (24) (유지 부재) 로 접착 시트 (AS) (접착 시트) 를 유지하고, 당해 접착 시트에 장력을 부여하여 칩 (CP) (피착체) 의 상호 간격을 넓히는 구성이기 때문에, 유지 부재로 유지한 접착 시트의 접착면이 당해 유지 부재에 접착되고, 유지 부재로부터 접착 시트를 떼어내기 어려워진다는 문제나, 유지 부재에 부착된 접착제를 제거하기 위한 작업이 필요하게 된다는 문제를 초래한다.
본 발명의 목적은, 유지 부재로 유지한 접착 시트의 피유지 영역이 당해 유지 부재에 접착되는 것을 방지할 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용했다.
본 발명에 의하면, 유지 부재로 끼우기 전에, 에너지 부여 수단이 접착 시트의 피유지 영역에 소정의 에너지를 부여하므로, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되는 접착 시트에 대해, 유지 부재로 유지한 접착 시트의 피유지 영역이 당해 유지 부재에 접착되는 것을 방지할 수 있다.
또, 에너지 부여 수단이, 제 1 에너지 부여 수단과 제 2 에너지 부여 수단을 구비하면, 제 2 에너지 부여 수단으로 접착 시트의 피유지 영역의 접착력을 중점적으로 저하시킬 수 있어, 피유지 영역이 유지 부재에 접착되는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
도 1 의 (A) 는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 이간 장치의 평면도이다. (B) 는, 도 1(A) 의 측면도이다.
도 2 의 (A), (B) 는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 이간 장치의 동작 설명이다.
도 3 의 (A), (B) 는, 본 발명의 다른 예의 설명이다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y 축과 평행한 화살표 BD 방향에서 본 경우를 기준으로 하고, 기준이 되는 도면을 예시하지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상」 이 Z 축의 화살표 방향이고 「하」 가 그 역방향, 「좌」 가 X 축의 화살표 방향이고 「우」 가 그 역방향, 「전」 이 Y 축의 화살표 방향이고 「후」 가 그 역방향으로 한다.
본 발명의 이간 장치 (10) 는, 일방의 면 (AS1) 에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지 부재 (22) 로 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 피착체 (CP) 의 상호 간격이나 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상 등을 검지 가능한 카메라나 투영기 등의 촬상 수단, 광학 센서나 음파 센서 등의 각종 센서 등의 검지 수단 (40) 과, 접착 시트 (AS) 에 소정의 에너지로서의 자외선 UV 를 부여하는 에너지 부여 수단 (50) 을 구비하고 있다.
또한, 접착 시트 (AS) 는, 기재 시트의 일방의 면에 자외선 UV 가 부여됨으로써, 그 접착력이 저하되는 접착제층이 적층된 것이 채용되고 있다.
유지 수단 (20) 은, 구동 기기로서의 회동 모터 (21) 와, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 유지 부재 (22) 를 구비하고 있다.
유지 부재 (22) 는, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측에 맞닿는 일방측 유지 부재 (22A) 및, 이간 수단 (30) 에 지지되고, 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 측에 맞닿는 타방측 유지 부재 (22B) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되어 있다.
또한, 일방측 유지 부재 (22A) 는, 타방측 유지 부재 (22B) 상에 지지된 회동 모터 (21) 의 출력축 (21A) 에 지지되어 있다.
이간 수단 (30) 은, 구동 기기로서의 리니어 모터 (31) 와, 그 슬라이더 (31A) 에 지지되고, 상면측에서 타방측 유지 부재 (22B) 를 지지하는 유지 아암 (32) 을 구비하고 있다.
에너지 부여 수단 (50) 은, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 피착체 접착 영역 (CE) 에 자외선 UV 를 부여하는 제 1 에너지 부여 수단 (51) 과, 유지 부재 (22) 로 유지한 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하는 제 2 에너지 부여 수단 (52) 을 구비하고 있다.
제 1 에너지 부여 수단 (51) 은, 유지 수단 (20) 에 유지된 접착 시트 (AS) 의 하방에 위치하는 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 을 구비하고 있다.
제 2 에너지 부여 수단 (52) 은, 유지 아암 (32) 상에 지지된 스탠드 (52A) 와, 스탠드 (52A) 에 지지되고, 유지 수단 (20) 에 유지된 접착 시트 (AS) 의 단부 상방에 위치하는 피유지 영역용 자외선 발광원 (52B) 을 구비하고 있다.
이상의 이간 장치 (10) 의 동작을 설명한다.
먼저, 각 부재가 도 1(A), (B) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에서 대기하고 있는 이간 장치 (10) 에 대해, 당해 이간 장치 (10) 의 사용자 (이하, 간단히 「사용자」 라고 한다) 가 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통하여 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그 후, 작업자 또는, 구동 기기나 컨베이어 등의 도시되지 않은 반송 수단이 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 를 타방측 유지 부재 (22B) 상에 재치하면, 유지 부재 (22) 로 끼우기 전에, 에너지 부여 수단 (50) 이 일방측 유지 부재 (22A) 및 타방측 유지 부재 (22B) 로 끼우는 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여한다. 즉, 접착 시트 (AS) 가 타방측 유지 부재 (22B) 상에 재치되면, 에너지 부여 수단 (50) 이 피유지 영역용 자외선 발광원 (52B) 을 구동하고, 도 1(B) 에 나타내는 바와 같이, 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하여 당해 피유지 영역 (HE) 의 접착력을 저하시킨다.
이어서, 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (21) 를 구동하고, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 일방측 유지 부재 (22A) 와 타방측 유지 부재 (22B) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 후, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동하고, 유지 수단 (20) 을 서로 이간시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 이 때, 각 피착체 (CP) 는, 접착 시트 (AS) 의 변형 등에 의해, 상호 간격이 소정의 간격으로 넓어지지 않는 경우가 있다. 그래서, 검지 수단 (40) 의 검지 결과를 기초로 하여, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동하고, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 각 유지 수단 (20) 을 개별적으로 이동시킨다.
그 후, 에너지 부여 수단 (50) 이 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 을 구동하고, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 피착체 접착 영역 (CE) 에 자외선 UV 를 부여하여 피착체 (CP) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킨다. 이어서, 픽업 장치나 반송 장치 등의 도시되지 않은 피착체 꺼냄 수단에 의해, 모든 피착체 (CP) 또는 소정량의 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 떼어내지면, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동하고, 각각의 슬라이더 (31A) 를 초기 위치로 복귀시킨 후, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동하고, 일방측 유지 부재 (22A) 를 초기 위치로 복귀시킨다. 그 후, 작업자 또는, 도시되지 않은 반송 수단이, 타방측 유지 부재 (22B) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 제거하고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.
이상과 같은 이간 장치 (10) 에 의하면, 유지 부재 (22) 로 끼우기 전에, 에너지 부여 수단 (50) 이 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하므로, 자외선 UV 가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되는 접착 시트 (AS) 에 대해, 유지 부재 (22) 로 유지한 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 이 당해 유지 부재 (22) 에 접착되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 전혀 한정되는 일은 없고, 더구나, 상기 실시 형태에서 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 에너지 부여 수단은, 접착 시트에 소정의 에너지를 부여 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 대조하여, 그 기술 범위 내의 것이면 전혀 한정되는 일은 없다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일하다).
본 발명의 이간 장치는, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 피착체 접착 영역 (CE) 보다 외측으로서, 피유지 영역 (HE) 의 내측에서 당해 접착 시트 (AS) 에 맞닿는 맞닿음 수단 (60) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30A) 과, 검지 수단 (40) 과, 에너지 부여 수단 (50) 을 구비한 이간 장치 (10A) 로 해도 된다.
또한, 이간 장치 (10A) 에 있어서, 이간 장치 (10) 와 동등한 구성으로 동등한 기능을 갖는 것은, 당해 이간 장치 (10) 와 동일한 번호를 부여하여 그 구성 설명은 생략하고, 동작 설명은 간략화한다.
맞닿음 수단 (60) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 원통상의 맞닿음 부재 (61) 를 구비하고 있고, 맞닿음 부재 (61) 의 내부의 베이스 플레이트 (BP) 상에 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 이 지지되어 있다.
이간 수단 (30A) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터 (33) 와, 그 출력축 (33A) 에 지지되고, 상면측에서 타방측 유지 부재 (22B) 및 스탠드 (52A) 를 지지하는 유지 아암 (34) 을 구비하고 있다.
이와 같은 이간 장치 (10A) 는, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 가 타방측 유지 부재 (22B) 상에 재치되면, 에너지 부여 수단 (50) 이 피유지 영역용 자외선 발광원 (52B) 을 구동하고, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하여 피유지 영역 (HE) 의 접착력을 저하시킨다. 그리고, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동하고, 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 일방측 유지 부재 (22A) 와 타방측 유지 부재 (22B) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 후, 이간 수단 (30A) 이 직동 모터 (33) 를 구동하고, 유지 수단 (20) 을 하강시켜 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 접착 시트에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 그 후, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여, 에너지 부여 수단 (50) 이 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 을 구동하고, 피착체 (CP) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킨 후, 도시되지 않은 피착체 꺼냄 수단이 각 피착체 (CP) 를 별도 공정으로 반송한다. 그리고, 도시되지 않은 피착체 꺼냄 수단에 의해, 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 떼어내지면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동하고, 각 부재를 초기 위치로 복귀시킨 후, 타방측 유지 부재 (22B) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 떼어내고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.
이와 같은 이간 장치 (10A) 에 의해서도, 이간 장치 (10) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
유지 수단 (20) 은, 타방의 면 (AS2) 이나, 일방의 면 (AS1) 및 타방의 면 (AS2) 의 양방의 면에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 되고, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 된다.
유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10) 의 경우, 예를 들어, 우방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 하고, 좌방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 한 2 체로 구성해도 되고, 예를 들어, 우방, 좌방 및 그 밖의 방향으로 이동하는 3 체 이상으로 구성해도 된다.
유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10A) 의 경우, 1 체여도 되고 2 체 이상이어도 된다.
이간 수단 (30, 30A) 은, 복수가 아니고 단수여도 되고, 이 경우, 예를 들어, 이간 장치 (10) 는, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로, 유지 수단 (20) 을 각각 1 체씩 지지하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.
이간 수단 (30) 은, 상호 간격을 3 축 이상의 방향 (예를 들어, X 축 방향, Y 축 방향 및 그 밖의 축 방향) 으로 넓히는 구성이어도 되고, 예를 들어, X 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 Y 축 방향으로 이동시키는 구성 (Y 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 X 축 방향으로 이동시키는 구성) 으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록 작동할 수 없는 구성이어도 된다.
이간 수단 (30A) 은, 유지 수단 (20) 을 정지 또는 이동시키면서, 맞닿음 수단 (60) 을 이동시킴으로써, 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.
이간 수단 (30, 30A) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동해도 되고, 이 경우, 예를 들어, 검지 수단 (40) 에 의한 검지 결과를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하고, 이 표시기에 표시되는 검지 결과에 의해 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 기의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 작업자가 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 된다.
검지 수단 (40) 은, 작업자의 육안으로 확인해도 되고, 예를 들어, 작업자가 육안 확인에 의해, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 기의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동하도록 구성해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되지 않아도 된다.
에너지 부여 수단 (50) 은, 제 1 에너지 부여 수단 (51) 으로서, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측 및 타방의 면 (AS2) 측의 적어도 일방에 자외선 UV 를 부여하는 구성의 것을 채용하고, 이와 같은 구성의 제 1 에너지 부여 수단 (51) 으로 피유지 영역 (HE) 에도 자외선 UV 를 부여하여 일방측 유지 부재 (22A) 나 타방측 유지 부재 (22B) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시켜도 되고, 제 1 에너지 부여 수단 (51) 이 없어도 된다.
에너지 부여 수단 (50) 은, 제 2 에너지 부여 수단 (52) 으로서, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측 및 타방의 면 (AS2) 측의 적어도 일방의 면측에 자외선 UV 를 부여하는 구성의 것을 채용하고, 이와 같은 구성의 제 2 에너지 부여 수단 (52) 으로 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하여 일방측 유지 부재 (22A) 나 타방측 유지 부재 (22B) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시켜도 된다. 또한, 상기 실시 형태에서 나타낸 이간 장치 (10, 10A) 에서, 타방측 유지 부재 (22B) 측으로부터 에너지 부여 수단 (50) 이 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하는 경우, 당해 타방측 유지 부재 (22B) 나 유지 아암 (34) 등을 자외선이 투과하는 부재로 구성하면 된다.
에너지 부여 수단 (50) 은, 모든 파장의 전자파 (예를 들어 X 선이나 적외선 등) 를 에너지로서 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 가열 또는 냉각된 기체나 액체 등의 유체 등을 에너지로서 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 접착 시트 (AS) 의 구성에 따라 당해 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킬 수 있는 에너지를 부여 가능한 것이면 무엇이든지 되고, 접착 시트 (AS) 에 전체적 또는 부분적으로 에너지를 부여하는 구성이어도 되고, 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 이나 피유지 영역용 자외선 발광원 (52B) 으로서, LED (Light Emitting Diode, 발광 다이오드), 고압 수은 램프, 저압 수은 램프, 메탈 할라이드 램프, 크세논 램프, 할로겐 램프 등 무엇을 채용해도 되고, 그것들을 적절히 조합한 것을 채용해도 된다.
제 1 에너지 부여 수단 (51) 은, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히지 않은 상태로 접착 시트 (AS) 에 자외선 UV 를 조사해도 된다.
맞닿음 수단 (60) 은, 각통상이나 타원 통상 등 외에, 원기둥, 각기둥, 타원 기둥 등의 다른 형상의 맞닿음 부재 (61) 를 채용해도 된다.
본 발명에 있어서의 접착 시트 (AS) 및 피착체 (CP) 의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 접착 시트 (AS) 는, 에너지가 부여됨으로써, 그 접착력이 저하되는 것이면 전혀 한정되는 일은 없고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 된다. 또한, 접착 시트 (AS) 나 피착체 (CP) 는, 예를 들어, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 된다. 또, 접착 시트 (AS) 는, 예를 들어, 접착제층만인 단층의 것, 기재와 접착제층의 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖는 등 3 층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 그러한 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또, 피착체 (CP) 로서는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 반도체 칩, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되고, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 읽는 법으로 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이어태치 필름, 다이본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.
피착체 (CP) 는, 미리 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하고 있는 것이어도 되고, 이간 수단 (30, 30A), 그 밖의 기구 또는 인력 등으로 외력을 부여한 시점에서 복수로 분할되어, 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하는 것과 같은 분할되어 복수가 되는 것이어도 된다. 이와 같은 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 로서는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 레이저를 조사하고, 당해 반도체 웨이퍼나 기반 등에 선상이나 격자상 등의 취약한 취약층을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 반도체 웨이퍼나 기반 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것이나, 예를 들어, 수지나 유리판 등에 커터 날로 절삭하여, 당해 수지나 유리판 등에 선상이나 격자상 등의 표리에 관통하는 일이 없는 절삭이나 미싱눈 등의 절단 예정 라인을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 수지나 유리판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것 등, 전혀 한정되는 것은 아니다.
상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드레스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.
10, 10A : 이간 장치
20 : 유지 수단
22 : 유지 부재
22A : 일방측 유지 부재
22B : 타방측 유지 부재
30, 30A : 이간 수단
50 : 에너지 부여 수단
51 : 제 1 에너지 부여 수단
52 : 제 2 에너지 부여 수단
60 : 맞닿음 수단
AS : 접착 시트
AS1 : 일방의 면
AS2 : 타방의 면
CE : 피착체 접착 영역
CP : 피착체
HE : 피유지 영역
UV : 자외선 (소정의 에너지)

Claims (5)

  1. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 부재로 유지하는 복수의 유지 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
    상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고,
    상기 접착 시트에 상기 소정의 에너지를 부여하는 에너지 부여 수단을 구비하고,
    상기 유지 부재는, 상기 접착 시트의 일방의 면측에 맞닿는 일방측 유지 부재 및, 상기 접착 시트의 타방의 면측에 맞닿는 타방측 유지 부재로 상기 접착 시트의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고,
    상기 에너지 부여 수단은, 상기 유지 부재로 끼우기 전에, 상기 일방측 유지 부재 및 타방측 유지 부재로 끼우는 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  2. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 부재로 유지하는 유지 수단과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측으로서, 상기 유지 수단이 유지한 피유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단 및 상기 맞닿음 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
    상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고,
    상기 접착 시트에 상기 소정의 에너지를 부여하는 에너지 부여 수단을 구비하고,
    상기 유지 부재는, 상기 접착 시트의 일방의 면측에 맞닿는 일방측 유지 부재 및, 상기 접착 시트의 타방의 면측에 맞닿는 타방측 유지 부재로 상기 접착 시트의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고,
    상기 에너지 부여 수단은, 상기 유지 부재로 끼우기 전에, 상기 일방측 유지 부재 및 타방측 유지 부재로 끼우는 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 에너지 부여 수단은, 상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 제 1 에너지 부여 수단과, 상기 유지 부재로 유지한 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 제 2 에너지 부여 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  4. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 복수의 유지 수단의 각각의 유지 부재로 유지하는 유지 공정과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 가지며,
    상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고,
    상기 접착 시트에 상기 소정의 에너지를 부여하는 에너지 부여 공정을 가지며,
    상기 유지 부재는, 상기 접착 시트의 일방의 면측에 맞닿는 일방측 유지 부재 및, 상기 접착 시트의 타방의 면측에 맞닿는 타방측 유지 부재로 상기 접착 시트의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고,
    상기 에너지 부여 공정은, 상기 유지 부재로 끼우기 전에, 상기 일방측 유지 부재 및 타방측 유지 부재로 끼우는 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
  5. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 복수의 유지 수단의 각각의 유지 부재로 유지하는 유지 공정과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측으로서, 상기 유지 수단이 유지한 피유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단 및, 상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 가지며,
    상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고,
    상기 접착 시트에 상기 소정의 에너지를 부여하는 에너지 부여 공정을 가지며,
    상기 유지 부재는, 상기 접착 시트의 일방의 면측에 맞닿는 일방측 유지 부재 및, 상기 접착 시트의 타방의 면측에 맞닿는 타방측 유지 부재로 상기 접착 시트의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고,
    상기 에너지 부여 공정은, 상기 유지 부재로 끼우기 전에, 상기 일방측 유지 부재 및 타방측 유지 부재로 끼우는 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
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