JP2023008231A - シート剥離装置およびシート剥離方法 - Google Patents

Abstract

【課題】剥離した接着シートが回収手段の一箇所に偏って回収されることを防止することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。【解決手段】シート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを保持して当該被着体ＷＫから剥離し、剥離した接着シートＡＳの保持を解除して当該接着シートＡＳを自由落下させる剥離手段１０と、剥離手段１０から自由落下させた接着シートＡＳを回収する回収手段２０と、回収手段２０に対する接着シートＡＳの回収位置を変更する回収位置変更手段３０とを備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。

被着体に貼付された接着シートを被着体から剥離し、当該接着シートを回収手段で回収するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２－６４８５０号公報

特許文献１に記載されたシート剥離装置１０（シート剥離装置）では、本明細書の図２（Ｅ）に示すように、剥離した接着シートＳ（接着シート）が回収ボックス７２（回収手段）の一箇所に偏って回収されるため、接着シートが回収手段からあふれ出し、まだまだ回収できるにも拘わらず、回収手段での回収ができなくなるという不都合が発生する。

本発明の目的は、剥離した接着シートが回収手段の一箇所に偏って回収されることを防止することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、回収手段に対する接着シートの回収位置を変更するため、剥離した接着シートが回収手段の一箇所に偏って回収されることを防止することができる。
また、自由落下する接着シートの軌道を変更したり、接着シートの保持を解除する位置と、回収手段の位置とを相互に変更したりするようにすれば、より確実に接着シートの回収位置を変更することができる。

本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図。 （Ａ）～（Ｄ）は、シート剥離装置の動作説明図。（Ｅ）は、従来のシート剥離装置の不具合例を示す図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

シート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを保持して当該被着体ＷＫから剥離し、剥離した接着シートＡＳの保持を解除して当該接着シートＡＳを自由落下させる剥離工程を実施する剥離手段１０と、剥離手段１０から自由落下させた接着シートＡＳを回収する回収工程を実施する回収手段２０と、回収手段２０に対す接着シートＡＳの回収位置を変更する回収位置変更工程を実施する回収位置変更手段３０とを備え、被着体ＷＫを支持する支持手段４０の近傍に配置されている。

剥離手段１０は、感熱接着性の剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段１１と、剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに押圧して貼付する押圧手段１２と、剥離用テープＰＴを切断する切断手段１３と、剥離用テープＰＴが貼付された接着シートＡＳを案内する案内手段１４と、剥離された接着シートＡＳを搬送する搬送手段１５を備えている。
繰出手段１１は、回転軸１１Ａを中心に回転可能な回転アーム１１Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ１１Ｃと、駆動機器としての回動モータ１１Ｄの図示しない出力軸に支持された駆動ローラ１１Ｅと、回転アーム１１Ｂを駆動ローラ１１Ｅ方向に付勢する付勢手段としてのばね１１Ｆと、駆動機器としての直動モータ１１Ｇの出力軸１１Ｈに支持された収容手段１１Ｊと、収容手段１１Ｊ内に収容され、収容手段１１Ｊの底面である吸着面１１Ｋに形成された吸引孔１１Ｌを介して剥離用テープＰＴを吸引する減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段１１Ｍと、駆動機器としての直動モータ１１Ｎの出力軸１１Ｐに支持され、剥離用テープＰＴを吸着面１１Ｋに当接させる補助ローラ１１Ｑとを備えている。
押圧手段１２は、収容手段１１Ｊ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ１２Ａと、リニアモータ１２Ａのスライダ１２Ｂに支持され、収容手段１１Ｊの底面から突没可能に設けられた押圧ヘッド１２Ｃと、押圧ヘッド１２Ｃに設けられたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段１２Ｄとを備えている。
切断手段１３は、収容手段１１Ｊ内に収容された駆動機器としてのリニアモータ１３Ａと、リニアモータ１３Ａのスライダ１３Ｂに支持され、収容手段１１Ｊの底面から突没可能に設けられた切断刃１３Ｃとを備えている。
案内手段１４は、駆動機器としてのリニアモータ１４Ａと、リニアモータ１４Ａのスライダ１４Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ１４Ｃと、回動モータ１４Ｃの図示しない出力軸に支持された押え付けローラ１４Ｄと、駆動機器としての直動モータ１４Ｅの出力軸１４Ｆに支持された支持部材１４Ｇと、支持部材１４Ｇに回転可能に支持されたピンチローラ１４Ｈと、支持部材１４Ｇに支持されたシート支持部材１４Ｋと、駆動機器としてのリニアモータ１４Ｌのスライダ１４Ｍに回転可能に支持された当接ローラ１４Ｎとを備えている。
搬送手段１５は、駆動機器としてのリニアモータ１５Ａのスライダ１５Ｂに支持された支持フレーム１５Ｃと、支持フレーム１５Ｃに支持された駆動機器としての直動モータ１５Ｄと、直動モータ１５Ｄの出力軸１５Ｅに支持された押圧部材としての上チャック部材１５Ｆと、支持フレーム１５Ｃの下部に支持された押圧部材としての下チャック部材１５Ｇとを備えている。

回収手段２０は、被着体ＷＫから剥離した接着シートＡＳを回収する回収箱２１を備えている。

回収位置変更手段３０は、自由落下する接着シートＡＳの軌道を変更する軌道変更手段３１を備えている。
軌道変更手段３１は、流体としての気体を供給する加圧ポンプやタービン等の気体供給手段３１Ａと、気体供給手段３１Ａに配管３１Ｂを介して接続されたノズル３１Ｃとを備えている。

支持手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４２Ａを有するテーブル４２とを備えている。

以上のシート剥離装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置ＥＡに対し、当該シート剥離装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように剥離用テープＰＴをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、剥離手段１０が吸引手段１１Ｍを駆動し、吸着面１１Ｋでの剥離用テープＰＴの吸着保持を開始する。

次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が、図１中実線で示すように、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを支持面４２Ａ上の所定の位置に載置すると、支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、支持手段４０がリニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を右方に移動させ、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの一方の外周部ＡＳ１が押圧ヘッド１２Ｃの直下に位置した時点で、リニアモータ４１の駆動を停止する。次に、剥離手段１０が直動モータ１１Ｎを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、補助ローラ１１Ｑを収容手段１１Ｊの下方から退避させた後、回動モータ１１Ｄおよび直動モータ１１Ｇを駆動し、剥離用テープＰＴを繰り出しながら、収容手段１１Ｊを接着シートＡＳの直上の所定位置まで下降させる。そして、剥離手段１０が加熱手段１２Ｄおよびリニアモータ１２Ａを駆動し、図２（Ａ）に示すように、加熱された押圧ヘッド１２Ｃを下降させ、接着シートＡＳの外周部ＡＳ１に剥離用テープＰＴを押圧して貼付する。

接着シートＡＳへの剥離用テープＰＴの貼付が完了すると、剥離手段１０が吸引手段１１Ｍの駆動を停止するとともに、リニアモータ１２Ａおよび直動モータ１１Ｇを駆動し、押圧ヘッド１２Ｃおよび収容手段１１Ｊを初期位置に復帰させる。次いで、剥離手段１０が直動モータ１４Ｅを駆動し、ピンチローラ１４Ｈと押え付けローラ１４Ｄとで剥離用テープＰＴを所定の押圧力で挟み込む。その後、支持手段４０がリニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を左方に移動させ、当該接着シートＡＳの外周部ＡＳ１を押え付けローラ１４Ｄの最下部の直下に位置させる。次に、剥離手段１０が回動モータ１１Ｄを駆動し、剥離用テープＰＴを所定長さ巻き取るとともに、リニアモータ１４Ａを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、押え付けローラ１４Ｄの最下部で剥離用テープＰＴを折り曲げながらその折り曲げ部を押圧する。そして、剥離手段１０および支持手段４０が回動モータ１４Ｃおよびリニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を左方に移動させながら、押え付けローラ１４Ｄを反時計回転方向に回転させるとともに、剥離手段１０がリニアモータ１４Ｌを駆動し、当接ローラ１４Ｎを剥離用テープＰＴや接着シートＡＳに当接させつつ右方に移動させる。これにより、接着シートＡＳは、剥離用テープＰＴに続いて接着シートＡＳが押え付けローラ１４Ｄの最下部で押え付けられながら被着体ＷＫから剥離され、当接ローラ１４Ｎによって折り返された状態となる。

被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離されると、剥離手段１０および支持手段４０がリニアモータ１４Ｌ、回動モータ１４Ｃおよびリニアモータ４１の駆動を停止し、押え付けローラ１４Ｄとピンチローラ１４Ｈとで接着シートＡＳの他方の外周部ＡＳ２を挟み込んだ状態で、回動モータ１４Ｃの回転をロックさせる。次いで、剥離手段１０が回動モータ１１Ｄおよびリニアモータ１４Ｌを駆動し、当接ローラ１４Ｎを左右方向に移動させるとともに、剥離用テープＰＴを繰り出したり巻き取ったりして、当該剥離用テープＰＴにおける接着シートＡＳの外周部ＡＳ１付近の領域を切断刃１３Ｃの直下に位置させる。その後、剥離手段１０が回動モータ１１Ｄの回転をロックさせた状態で、リニアモータ１４Ｌおよび回動モータ１４Ｃを駆動し、押え付けローラ１４Ｄとピンチローラ１４Ｈとの間から接着シートＡＳの他方の外周部ＡＳ２を脱出させ、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの一方の外周部ＡＳ１と他方の外周部ＡＳ２との位置合わせを行う。次に、剥離手段１０がリニアモータ１５Ａを駆動し、スライダ１５Ｂを左方に移動して上チャック部材１５Ｆおよび下チャック部材１５Ｇを図２（Ｂ）に示す位置に移動させた後、リニアモータ１４Ｌを駆動し、当接ローラ１４Ｎを初期位置に復帰させる。

そして、剥離手段１０が直動モータ１１Ｇ、１５Ｄを駆動し、図２（Ｃ）に示すように、収容手段１１Ｊと上チャック部材１５Ｆとを下降させ、接着シートＡＳの一方の面を相互に折り重ねて当該接着シートＡＳを折り畳む。次いで、剥離手段１０が吸引手段１１Ｍを駆動し、吸着面１１Ｋで剥離用テープＰＴを吸着保持した後、リニアモータ１３Ａを駆動し、切断刃１３Ｃを昇降させて剥離用テープＰＴを切断する。その後、剥離手段１０が直動モータ１１Ｇおよびリニアモータ１３Ａを駆動し、収容手段１１Ｊおよび切断刃１３Ｃを初期位置に復帰させた後、直動モータ１１Ｎを駆動し、補助ローラ１１Ｑを初期位置に復帰させる。次に、剥離手段１０がリニアモータ１５Ａを駆動し、スライダ１５Ｂを初期位置に復帰させた後、直動モータ１５Ｄを駆動し、上チャック部材１５Ｆを当該直動モータ１５Ｄに対する初期位置に移動させることで、接着シートＡＳの保持を解除する。これにより、接着シートＡＳは、図２（Ｄ）中実線で示すように、自由落下して回収箱２１で回収される。なお、接着シートＡＳを回収箱２１内に落下させる動作の２回に１回のペースで、回収位置変更手段３０が気体供給手段３１Ａを駆動し、ノズル３１Ｃから接着シートＡＳに気体を吹き付け、図２（Ｄ）中二点鎖線で示すように、自由落下する接着シートＡＳの軌道を左方に移動させ、回収手段２０に対する接着シートＡＳの回収位置を左方に変更させる。そして、支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない移送手段がテーブル４２上の被着体ＷＫを次工程に搬送すると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、回収手段２０に対する接着シートＡＳの回収位置を変更するため、剥離した接着シートＡＳが回収手段２０の一箇所に偏って回収されることを防止することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、剥離手段１０は、枚葉の剥離用テープを接着シートＡＳに貼付する構成でもよいし、剥離用テープＰＴを介することなく、駆動機器や吸着保持等で接着シートＡＳを直接保持して剥離してもよいし、回動モータ１１Ｄの駆動、回動モータ１４Ｃの駆動およびリニアモータ４１の駆動のうち、少なくとも１つの駆動で接着シートＡＳを剥離してもよいし、接着シートＡＳの一方の面が相互に圧着されるように接着シートＡＳを折り畳んでもよいし、接着シートＡＳの一方の面が相互に圧着されないように接着シートＡＳを折り畳んでもよいし、接着シートＡＳを折り畳まなくてもよいし、他の装置で剥離用テープＰＴが接着シートＡＳに貼付されている場合、繰出手段１１、押圧手段１２および切断手段１３が備わっていなくてもよい。
繰出手段１１は、付勢手段としてばね１１Ｆに代えてまたは併用して、ゴム、樹脂等の弾性部材、駆動機器や、駆動ローラ１１Ｅとで剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラを採用してもよいし、補助ローラ１１Ｑに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付けで剥離用テープＰＴを吸着面１１Ｋに当接させる構成を採用してもよいし、剥離用テープＰＴを吸引手段１１Ｍのみで保持可能であれば、補助ローラ１１Ｑを備えていなくてもよいし、回転アーム１１Ｂを駆動ローラ１１Ｅ方向に付勢することなく剥離用テープＰＴを支持してもよく、回転アーム１１Ｂを駆動ローラ１１Ｅ方向に付勢することなく剥離用テープＰＴを支持する場合、駆動ローラ１１Ｅとで剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ等を採用してもよい。
押圧手段１２は、収容手段１１Ｊに収容されていなくてもよいし、剥離用テープＰＴとして感圧接着性のものが採用された場合、加熱手段１２Ｄがあってもよいし、なくてもよい。
切断手段１３は、収容手段１１Ｊに収容されていなくてもよいし、他の装置で剥離用テープＰＴを切断する場合、なくてもよい。
案内手段１４は、接着シートＡＳにおける被着体ＷＫから剥離された領域を被着体ＷＫに貼付されている領域に接触するように押え付けてもよいし、接触しないように押え付けてもよいし、接着シートＡＳの左端部、中間部、右端部等、どの位置で接着シートＡＳを押え付けてもよいし、押え付けローラ１４Ｄの最下部以外の位置で接着シートＡＳの折り曲げ部を押え付けてもよいし、ピンチローラ１４Ｈに代えてまたは併用して、板状部材やエアの吹き付け等で押え付けローラ１４Ｄとで剥離用テープＰＴ等を挟み込んでもよいし、直動モータ１４Ｅ以外の駆動機器でシート支持部材１４Ｋを移動させてもよいし、接着シートＡＳの一方の外周部ＡＳ１と他方の外周部ＡＳ２との位置合わせを行わなくてもよいし、接着シートＡＳを２回以上折り曲げて３つ折り以上となるようにしてもよいし、当接ローラ１４Ｎに代えてまたは併用して、棒状部材や板状部材等を採用してもよい。
搬送手段１５は、接着シートＡＳを回収箱２１に搬送するベルトコンベアや駆動ローラ等の駆動機器で構成されてもよいし、上チャック部材１５Ｆおよび下チャック部材１５Ｇに代えてまたは併用して、ローラ等の他の押圧部材を採用してもよいし、上チャック部材１５Ｆおよび下チャック部材１５Ｇの少なくとも一方に、接着シートＡＳの屈曲部を保持する屈曲部保持手段を備えてもよく、このような屈曲部保持手段は、例えば、屈曲部を吸着保持したり、針や突起物などの貫通部材を当該屈曲部に貫通させたりして屈曲部を保持するもの等、どのようなものでもよい。

回収手段２０は、回収箱２１に代えてまたは併用して、袋やトレー等で接着シートＡＳを回収する構成であってもよいし、折り畳まれていない接着シートＡＳを回収してもよい。

回収位置変更手段３０は、軌道変更手段３１で吹き付ける流体を大気、単体ガス、混合ガス等の気体としたり、水、混合液、有機溶剤、ジェル等の液体としたりしてもよいし、軌道変更手段３１による流体の吹き付け強さを変更することで接着シートＡＳの回収位置を変更してもよいし、接着シートＡＳが自由落下する軌道上に、板状部材や棒状部材等の当接部材を出し入れする軌道変更手段を採用し、回収手段２０に対する接着シートＡＳの回収位置を変更してもよいし、回収手段２０における接着シートＡＳの偏りを検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知手段を採用し、当該検知手段の検知結果を基に接着シートＡＳの回収位置を変更してもよい。
回収位置変更手段３０は、剥離手段１０が接着シートＡＳの保持を解除する位置と、回収手段２０の位置とを相互に変更する相対位置調整手段を備えていてもよい。この場合、例えば、搬送手段１５を相対位置調整手段とし、回収箱２１に対して直動モータ１５Ｄが接着シートＡＳの保持を解除する位置を変更することで、回収手段２０に対する接着シートＡＳの回収位置を変更してもよいし、図２（Ｄ）中二点鎖線で示すように、駆動機器としてのリニアモータ３２や、図示しない回動モータ等を相対位置調整手段とし、リニアモータ３２のスライダ３２Ａや、図示しない回動モータの出力軸で回収箱２１を支持し、直動モータ１５Ｄが接着シートＡＳの支持を解除する位置に対し、回収箱２１を直線移動させたり、回転移動させたりすることで、回収手段２０に対する接着シートＡＳの回収位置を変更してもよい。
回収位置変更手段３０は、軌道変更手段３１と相対位置調整手段との両方が備えられていてもよいし、接着シートＡＳを回収箱２１内に落下させる動作が５回や１０回等といった所定回数実施されるごとに、接着シートＡＳの回収位置を変更してもよい。

支持手段４０は、被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ、剥離用テープＰＴを移動させてもよいし、リニアモータ４１に代えてまたは併用して、多関節ロボット等の他の駆動機器で被着体ＷＫと剥離用テープＰＴとを移動させてよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳおよび剥離用テープＰＴは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートＡＳおよび剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、被着体に貼付された接着シートを保持して当該被着体から剥離し、剥離した接着シートの保持を解除して当該接着シートを自由落下させるものであればどのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート剥離装置
１０…剥離手段
１５…搬送手段（相対位置調整手段）
２０…回収手段
３０…回収位置変更手段
３１…軌道変更手段
３２…リニアモータ（相対位置調整手段）
ＡＳ…接着シート
ＷＫ…被着体

Claims (4)

1. 被着体に貼付された接着シートを保持して当該被着体から剥離し、剥離した前記接着シートの保持を解除して当該接着シートを自由落下させる剥離手段と、
   前記剥離手段から自由落下させた前記接着シートを回収する回収手段と、
   前記回収手段に対する前記接着シートの回収位置を変更する回収位置変更手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。
2. 前記回収位置変更手段は、自由落下する前記接着シートの軌道を変更する軌道変更手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
3. 前記回収位置変更手段は、前記剥離手段が前記接着シートの保持を解除する位置と、前記回収手段の位置とを相互に変更する相対位置調整手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。
4. 被着体に貼付された接着シートを保持して当該被着体から剥離し、剥離した前記接着シートの保持を解除して当該接着シートを自由落下させる剥離工程と、
   前記剥離工程から自由落下させた前記接着シートを回収手段で回収する回収工程と、
   前記回収手段に対する前記接着シートの回収位置を変更する回収位置変更工程とを実施することを特徴とするシート剥離方法。

Images