TW202333282A - 搬運裝置及搬運方法、以及薄片貼合裝置及薄片貼合方法 - Google Patents

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Abstract

搬運裝置(EA)係具備第1偵知手段(10)、保持手段(20)、移動手段(30)及控制手段(40)，第1偵知手段(10)，係偵知在收容手段(SC)所收容之搬運對象物(WK)的位置，保持手段(20)係保持搬運對象物(WK)，移動手段(30)係具有可將第1偵知手段(10)和保持手段(20)選擇性地保持之保持部(31A)，且可將由保持部(31A)所保持之第1偵知手段(10)或保持手段(20)移動，控制手段(40)係將各構件控制成，透過移動手段(30)，讓保持部(31A)移動到第1偵知手段保持位置(HP1)而將第1偵知手段(10)保持之後，讓第1偵知手段(10)移動來偵知搬運對象物(WK)的位置，並透過移動手段(30)，讓保持部(31A)移動到保持手段保持位置(HP2)而將保持手段(20)保持之後，根據第1偵知手段(10)的偵知結果讓保持手段(20)移動而將搬運對象物(WK)予以保持並搬運。

Description

搬運裝置及搬運方法、以及薄片貼合裝置及薄片貼合方法
本發明是關於搬運裝置及搬運方法、以及薄片貼合裝置及薄片貼合方法。
已知的搬運裝置(參照例如文獻1：日本特開平7-153818號公報)，是將在收容手段所收容之搬運對象物的位置由偵知手段偵知，根據偵知結果讓用於保持搬運對象物之保持手段移動，而將該搬運對象物予以保持並搬運。
[發明所欲解決之問題] 在文獻1所記載的處理裝置(搬運裝置)，用於辨識晶圓2(搬運對象物)之晶圓辨識裝置60(第1偵知手段)和用於保持搬運對象物之手部5(保持手段)是形成為一體並藉由晶圓搬運機器人4(移動手段)保持，而有裝置變得大型化的問題。 本發明之目的是為了提供可防止裝置大型化的搬運裝置及搬運方法、以及薄片貼合裝置及薄片貼合方法。 [解決問題之技術手段] 本發明是採用請求項所記載的構成來作為一態樣。 依據本發明，因為移動手段具有可將第1偵知手段和保持手段選擇性地保持之保持部，可防止裝置大型化。
以下，針對本發明的一實施形態，根據圖式做說明。 又在本實施形態的X軸、Y軸、Z軸，是分別形成正交關係，X軸及Y軸是在既定平面內的軸，Z軸是與前述既定平面正交的軸。再者，在本實施形態，以從與Y軸平行之圖1A的手邊方向觀察的情況為基準來表示方向的情況，「上」是Z軸的箭頭方向，「下」是其相反方向；「左」是X軸的箭頭方向，「右」是其相反方向；「前」是與Y軸平行之圖1A中的手邊方向，「後」是其相反方向。 搬運裝置EA係用於搬運搬運對象物WK的裝置，其係具備有：實施第1偵知工序的第1偵知手段10、實施保持工序的保持手段20、具有前端臂31A且實施移動工序的移動手段30、及實施控制工序的控制手段40，第1偵知工序是偵知在可收容搬運對象物WK之收容手段SC所收容之搬運對象物WK的位置，保持工序是保持搬運對象物WK，前端臂31A是作為可將第1偵知手段10和保持手段20選擇性地保持之保持部，移動工序可將由該前端臂31A所保持的第1偵知手段10或保持手段20移動，控制工序是控制構成搬運裝置EA及薄片貼合裝置EA1之各構件的動作。 薄片貼合裝置EA1是在搬運對象物WK貼合接著薄片AS的裝置，其係具備搬運裝置EA、實施貼合工序的貼合手段50、及實施切斷工序的切斷手段60，貼合工序是在搬運對象物WK貼合接著薄片基材AB，切斷工序是將接著薄片基材AB切斷成既定的形狀而形成接著薄片AS，薄片貼合裝置EA1配置在支承台70和搬運對象物支承手段80的附近，支承台70是作為支承收容手段SC的支承手段，搬運對象物支承手段80是支承搬運對象物WK。 第1偵知手段10係具備托架11及偵知機器12，托架11可藉由移動手段30保持，偵知機器12是藉由托架11支承，且是由攝像機、投影機等攝像手段、或光學感測器、超音波感測器等各種感測器等所構成。本實施形態的偵知機器12，是由具有發光元件12A及受光元件12B之光感測器所構成。 保持手段20可藉由移動手段30保持，且具備有保持構件21，保持構件21具有可藉由減壓泵、真空抽氣器等之未圖示的減壓手段(保持機構)進行吸附保持的保持面21A。 移動手段30具備作為驅動機器之所謂多關節機器人31，多關節機器人31是由包含前端臂31A之複數個臂所構成，其是在其作業範圍內將由前端臂31A所支承者不管在什麼位置、什麼角度都能移位的移動機器。本實施形態的移動手段30設置成，連切斷手段60也能藉由前端臂31A選擇性地保持。 控制手段40具備有個人電腦、定序器等的控制機器41，且將各構件控制成，透過移動手段30讓前端臂31A移動到用於保持第1偵知手段10的第1偵知手段保持位置HP1而將該第1偵知手段10保持之後，讓該第1偵知手段10移動來偵知搬運對象物WK的位置，並透過移動手段30讓前端臂31A移動到用於保持保持手段20的保持手段保持位置HP2而將該保持手段20保持之後，根據第1偵知手段10的偵知結果讓該保持手段20移動而將搬運對象物WK予以保持並搬運。 又本實施形態的控制手段40構成為，透過移動手段30讓前端臂31A移動到用於保持切斷手段60的切斷手段保持位置HP3而將該切斷手段60保持之後，讓該切斷手段60移動來形成接著薄片AS。 貼合手段50係具備支承輥51、導輥52、按壓手段53、框架55、驅動輥56、回收輥57。支承輥51用於支承接著薄片基材AB，導輥52是用於導引接著薄片基材AB，按壓手段53是將接著薄片基材AB按壓並貼合於搬運對象物WK，框架55是藉由作為驅動機器之線性馬達54的滑件54A支承，驅動輥56是藉由被框架55支承的作為驅動機器之轉動馬達56A之未圖示的輸出軸支承且利用其和夾送輥56B將接著薄片基材AB夾入，回收輥57是藉由被框架55支承之未圖示的驅動機器之輸出軸支承，在薄片貼合裝置EA1進行自動運轉的期間，始終對存在於其和驅動輥56之間之不需要的薄片US賦予既定的張力，來作為將該不需要的薄片US回收的回收手段。又不需要的薄片US，是藉由切斷手段60進行接著薄片基材AB的切斷，而從接著薄片基材AB切下既定形狀的接著薄片AS後所剩的部分。 按壓手段53係具備作為驅動機器的直動馬達53A及按壓輥53C，直動馬達53A是透過托架54C而藉由線性馬達54的滑件54B支承，按壓輥53C是藉由直動馬達53A的輸出軸53B可旋轉地支承。 切斷手段60具備：可藉由移動手段30保持之作為切斷構件的切刀61。 搬運對象物支承手段80係具備：作為驅動機器的直動馬達81、及藉由直動馬達81的輸出軸81A支承之載台82。載台82具有：可藉由減壓泵、真空抽氣器等之未圖示的減壓手段(保持機構)吸附保持之搬運對象物支承面82A、及可支承接著薄片基材AB之薄片支承面82B。 收容手段SC具備有沿上下方向並列設置之複數個棚架SC1，而構成為將複數個搬運對象物WK以避免彼此抵接的方式多層地收容。 針對以上的具備有搬運裝置EA之薄片貼合裝置EA1的動作做說明。 首先，對於在圖1A所示的初期位置配置了各構件之薄片貼合裝置EA1，該薄片貼合裝置EA1的使用者(以下簡稱為「使用者」)如圖1A所示般設置接著薄片基材AB之後，透過未圖示的操作面板、個人電腦等操作手段來輸入開始自動運轉的信號。接下來，使用者、或是多關節機器人、帶式輸送機等之未圖示的移送手段，如圖1A所示般，當將收容有搬運對象物WK的收容手段SC載置在支承台70上的既定位置時，控制手段40會透過移動手段30來驅動多關節機器人31，讓前端臂31A移動到第1偵知手段保持位置HP1並藉由該前端臂31A將支承偵知機器12的托架11予以保持。然後，控制手段40透過移動手段30來驅動多關節機器人31，如圖1A中的二點鏈線及圖1B所示般，讓偵知機器12移動而使發光元件12A及受光元件12B位於收容手段SC內後，讓偵知機器12升降，利用偵知機器12偵知在收容手段SC所收容之搬運對象物WK的位置。 接下來，控制手段40透過移動手段30來驅動多關節機器人31，讓偵知機器12回到初期位置，將由前端臂31A對托架11的保持予以解除之後，讓前端臂31A移動到保持手段保持位置HP2並藉由該前端臂31A將保持構件21予以保持。而且，控制手段40透過移動手段30來驅動多關節機器人31，並透過保持手段20來驅動未圖示的減壓手段，根據偵知機器12的偵知結果讓保持構件21移動，當開始由保持面21A保持搬運對象物WK之後，讓該保持構件21移動，將搬運對象物WK搬運並載置於搬運對象物支承面82A上的既定位置。接下來，控制手段40透過保持手段20將未圖示的減壓手段之驅動停止，將由保持面21A對搬運對象物WK的保持予以解除之後，透過移動手段30來驅動多關節機器人31，讓保持構件21回到初期位置。然後，控制手段40透過搬運對象物支承手段80來驅動未圖示的減壓手段及直動馬達81，開始進行搬運對象物支承面82A對搬運對象物WK的吸附保持，並如圖1A中的二點鏈線所示般讓載台82上升。接下來，控制手段40透過貼合手段50來驅動直動馬達53A及線性馬達54，讓按壓輥53C下降而將接著薄片基材AB朝向薄片支承面82B以既定的按壓力進行按壓之後，如圖1A中的二點鏈線所示般，讓按壓輥53C往右方移動，將接著薄片基材AB朝向搬運對象物WK及薄片支承面82B進行按壓並貼合。在此期間，控制手段40透過移動手段30來驅動多關節機器人31，將由前端臂31A對保持構件21的保持予以解除之後，讓前端臂31A移動到用於保持切刀61之切斷手段保持位置HP3，藉由該前端臂31A將切刀61予以保持。 而且，當搬運對象物WK上之接著薄片基材AB的貼合作業完畢，控制手段40透過移動手段30來驅動多關節機器人31，如圖1A中的二點鏈線所示般，讓切刀61移動到切斷接著薄片基材AB的位置並刺穿該接著薄片基材AB，讓該切刀61沿著搬運對象物WK的外周移動。藉此形成與搬運對象物WK的外周形狀相同形狀的接著薄片AS，接著薄片AS以貼合的狀態留在搬運對象物WK上，而在該接著薄片AS的外周形成不需要的薄片US。接下來，控制手段40透過貼合手段50來驅動線性馬達54及轉動馬達56A，如圖1A中的二點鏈線所示般，讓框架55往右方移動，一邊從薄片支承面82B將不需要的薄片US剝離一邊將該不需要的薄片US由回收輥57回收。在此期間，控制手段40透過移動手段30來驅動多關節機器人31，讓切刀61回到初期位置，在將由前端臂31A對切刀61的保持予以解除之後，藉由前端臂31A將保持構件21予以保持。 然後，若從薄片支承面82B全體將不需要的薄片US剝離，控制手段40透過搬運對象物支承手段80來驅動直動馬達81，讓載台82回到初期位置之後，將未圖示的減壓手段之驅動停止，將由搬運對象物支承面82A對搬運對象物WK的吸附保持予以解除。接下來，控制手段40透過移動手段30來驅動多關節機器人31，並透過保持手段20來驅動未圖示的減壓手段，讓保持構件21移動到貼合有接著薄片AS的搬運對象物WK上，開始進行由保持面21A對搬運對象物WK的保持之後，根據偵知機器12的偵知結果讓保持構件21移動，將搬運對象物WK搬運並收容在收容手段SC內之原先的位置。而且，控制手段40透過貼合手段50來驅動直動馬達53A及線性馬達54，讓按壓輥53C上升後，在讓轉動馬達56A的驅動停止的狀態下驅動線性馬達54，使按壓輥53C及框架55回到初期位置，將接著薄片基材AB朝向搬運對象物支承手段80上送出。接下來，控制手段40透過移動手段30來驅動多關節機器人31，讓保持構件21回到初期位置，將由前端臂31A對保持構件21的保持予以解除，之後重複進行與上述同樣的動作。 依據以上般的實施形態，因為移動手段30具有可將第1偵知手段10和保持手段20選擇性地保持之前端臂31A，可防止裝置大型化。 如以上般，用於實施本發明之最佳構成、方法等是由前述記載所揭示，但本發明並不限定於此。亦即，本發明雖主要針對特定的實施形態進行圖示且做說明，但在不脫離本發明的技術思想及目的的範圍內，對於以上所述的實施形態之形狀、材質、數量、及其他詳細的構成，屬於技術領域具有通常知識者可施加各種的變形。又上述揭示的將形狀、材質等限定的記載，是為了易於理解本發明之例示性記載，並非用於限定本發明，因此將該等形狀、材質等的限定之一部分或全部的限定除外之構件名稱的記載也包含於本發明。 例如，第1偵知手段10，可以是偵知機器12中之一方為發光元件12A且另一方為受光元件12B，可以是偵知機器12由1體的構件所構成，可以是偵知機器12由3個以上的構件所構成，可以是從收容手段SC的外側偵知該收容手段SC內之搬運對象物WK的位置。 第1偵知手段10，可以是具備複數個偵知機器12，按照搬運對象物WK、收容手段SC的大小、形狀或種類等來將該等複數個偵知機器12中的1個選擇性地保持而進行搬運對象物WK的位置偵知。如此，可進行對應於各式各樣的搬運對象物WK、收容手段SC之位置偵知，能夠使本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1之通用性提高。 保持手段20，可代替保持構件21或與保持構件21並用，而由例如機械夾頭、夾頭筒等的把持手段來保持搬運對象物WK。 保持手段20，可以是具備複數個保持構件21，按照搬運對象物WK、收容手段SC的大小、形狀或種類等將該等複數個保持構件21中的1個選擇性地保持來保持搬運對象物WK。藉此可進行對應於各式各樣的搬運對象物WK、收容手段SC之保持，能使本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1之通用性提高。 移動手段30也可以將切斷手段60設置成不由前端臂31A選擇性地保持。 移動手段30，可以是具備複數個移動機器，按照偵知機器12、保持構件21或切刀61的大小、形狀或種類等將該等複數個移動機器中的1個選擇性地使用來保持偵知機器12、保持構件21或切刀61。藉此可進行對應於各式各樣的偵知機器12、保持構件21或切刀61之搬運，能使本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1之通用性提高。 貼合手段50，可以將在帶狀的剝離薄片暫時接著有接著薄片基材AB之捲體退繞，利用剝離板、剝離輥等的剝離構件將接著薄片基材AB從剝離薄片剝離而貼合於搬運對象物WK；也可以將在帶狀的剝離薄片暫時接著有接著薄片AS的捲體退繞，利用剝離板、剝離輥等的剝離構件將接著薄片AS從剝離薄片剝離而貼合於搬運對象物WK；也可以將不是暫時接著於剝離薄片之接著薄片AS送出而貼合於搬運對象物WK；也可以代替支承輥51、導輥52等的各輥而由板狀構件、軸構件等來將接著薄片基材AB、不需要的薄片US予以支承或導引；也可以將接著薄片基材AB不進行捲繞而是進行例如扇折式(fan-fold)折疊並支承；也可以採用以下的回收手段，其將不需要的薄片US不進行捲繞而是進行例如扇折式折疊、或用碎紙機等切碎、或隨意堆積而將不需要的薄片US回收；也可以不採用回收手段；也可以上下顛倒配置或橫向配置，而在搬運對象物WK的下表面、側面等貼合接著薄片基材AB；可以配備於本發明的搬運裝置EA，也可以不是配備於本發明的搬運裝置EA。 切斷手段60，可以形成與搬運對象物WK的外緣形狀相同形狀或不同形狀的接著薄片AS，可以形成比搬運對象物WK的外緣形狀更小或更大的接著薄片AS；當貼合手段50將在帶狀的剝離薄片暫時接著有接著薄片基材AB之捲體退繞，而由剝離板、剝離輥等的剝離構件將接著薄片基材AB從剝離薄片剝離而貼合於搬運對象物WK的情況，可以在於搬運對象物WK貼合接著薄片基材AB之前將接著薄片基材AB切斷，也可以在於搬運對象物WK貼合接著薄片基材AB之後將接著薄片基材AB切斷，也可以將搬運對象物WK切斷，可以將切刀61設置成不是由前端臂31A保持，在此情況，只要由其他驅動機器來保持切刀61，讓該切刀61移動來將接著薄片基材AB切斷即可；切斷手段60可以配備於本發明的搬運裝置EA，也可以不是配備於本發明的搬運裝置EA。 切斷手段60，可以是具備複數個切刀61，按照接著薄片基材AB、搬運對象物WK的大小、形狀或種類等來將該等複數個切刀61中的1個選擇性地保持而將接著薄片基材AB、搬運對象物WK切斷。藉此可進行對應於各式各樣的接著薄片基材AB、搬運對象物WK之切斷，能使本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1之通用性提高。 收容手段SC可以是1體也可以分割成複數體，也可以沒有棚架SC1，也可以構成為讓複數個搬運對象物WK互相抵接而進行堆疊收容，可代替像實施形態那樣之將複數個搬運對象物WK橫向配置收容而將複數個搬運對象物WK縱向配置收容，可以是收容1體或分割成複數體的搬運對象物WK，可以配備於本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1，也可以不是配備於本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1。 支承手段，可構成為支承收容手段SC之支承台70可藉由驅動機器、腳輪等進行移動，亦可構成為支承複數個收容手段SC，可以配備於本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1，也可以不是配備於本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1。 搬運對象物支承手段80，也可以是無法進行在搬運對象物支承面82A的吸附保持，在薄片支承面82B的吸附保持可進行或不可進行皆可，可以配備於本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1，也可以不是配備於本發明的搬運裝置EA、薄片貼合裝置EA1。 搬運裝置EA，也可以如圖1C所示般具備第2偵知手段90，第2偵知手段90不是藉由移動手段30進行移動，且是偵知在收容手段SC所收容之搬運對象物WK的位置，控制手段40是根據第1偵知手段10或第2偵知手段90的偵知結果，透過移動手段30讓保持手段20移動來將搬運對象物WK保持並搬運。 第2偵知手段90係具備直動馬達91、直動馬達92及偵知機器93，直動馬達91是作為由支承台70支承的驅動機器，直動馬達92是作為由直動馬達91的輸出軸91A支承的驅動機器，偵知機器93是由直動馬達92的輸出軸92A支承，且是由攝像機、投影機等攝像手段、或光學感測器、超音波感測器等各種感測器等所構成，控制手段40透過第2偵知手段90來驅動直動馬達91、92，如圖1C中的二點鏈線所示般讓偵知機器93移動，而偵知在收容手段SC所收容之搬運對象物WK的位置。在此情況，可按照例如搬運對象物WK的大小、形狀或種類等來選擇第1偵知手段10或第2偵知手段90。 本發明的手段及工序，只要可發揮針對該等手段及工序所說明的動作、功能或工序即可，並沒有特別的限定，當然完全不受在前述實施形態所示之單一實施形態的構成物、工序的限定。例如，保持手段只要是可將搬運對象物進行保持者即可，只要是對照申請時的技術常識而在其技術範圍內者即可，並沒有特別的限定(其他手段及工序也是同樣的)。 接著薄片基材AB、接著薄片AS及搬運對象物WK的材質、種別、形狀等並沒有特別的限定。例如、接著薄片基材AB、接著薄片AS及搬運對象物WK可以是圓形、橢圓形、三角形、四角形等多角形或其他形狀，接著薄片基材AB可以是感壓接著性、感熱接著性等的接著形態者，當採用感熱接著性者的情況，只要設置用於將該接著薄片基材AB加熱之適宜的線圈加熱器、熱管等之加熱側等的加熱手段而採用適宜的方法進行接著即可。又接著薄片基材AB，例如可以是僅接著劑層之單層者、在基材和接著劑層之間具有中間層、或在基材的上表面具有被覆層等之3層以上者，也可以是可將基材從接著劑層剝離之所謂雙面接著薄片，雙面接著薄片可以是具有單層或多層的中間層者，也可以是無中間層之單層或多層者。 又作為搬運對象物WK，可以是例如食品、樹脂容器、矽半導體晶圓或化合物半導體晶圓等的半導體晶圓、電路基板、光碟等的資訊記錄基板、玻璃板、鋼板、陶器、木板或樹脂等的單體物，也可以是由該等2個以上所形成的複合物，任意形態的構件、物品等都可以作為對象。又接著薄片基材AB，改成功能性、用途性的稱謂時，例如可為資訊記載用標籤、裝飾用標籤、保護薄片、切割膠帶、黏晶薄膜(die attach film)、黏晶膠帶(die bonding tape)、記錄層形成樹脂薄片等之任意的薄片、薄膜、膠帶等。 前述實施形態之驅動機器，可採用：轉動馬達、直動馬達、線性馬達、單軸機器人、具備有2軸或3軸以上的關節之多關節機器人等的電動機器，氣缸、油壓缸、無桿缸及旋轉缸等的致動器等，還能採用將其等直接或間接組合而成者。 在前述實施形態中，當採用輥等的旋轉構件的情況，可具備讓該旋轉構件進行旋轉驅動的驅動機器，旋轉構件的表面或旋轉構件本身可由橡膠、樹脂等之可變形的構件所構成，旋轉構件的表面、旋轉構件本身亦可由不變形的構件所構成，可代替輥而採用可旋轉或無法旋轉之軸、板片(blade)等的其他構件。當採用按壓輥、按壓頭等的按壓手段或按壓構件作為對被按壓物進行按壓者的情況，可代替上述所例示者或與其並用，而採用輥子、圓棒、板片材、刷狀構件等，亦可採用藉由大氣、瓦斯等氣體之噴吹來進行按壓的構成，進行按壓者可由橡膠、樹脂、海綿等之可變形的構件所構成，亦可由金屬、樹脂等之不變形的構件所構成。當採用剝離板、剝離輥等的剝離手段或剝離構件作為將被剝離物進行剝離者的情況，可代替上述所例示者或與其並用，而採用板狀構件、圓棒、輥等的構件，進行剝離者可由橡膠、樹脂等之可變形的構件所構成，亦可由不變形的構件所構成。當採用支承(保持)手段、支承(保持)機構、支承(保持)構件等之用於將被支承構件(被保持構件)進行支承(保持)者的情況，可採用利用機械夾頭或夾頭筒等的把持手段、庫侖力、接著劑(接著薄片、接著膠帶)、黏著劑(黏著薄片、黏著膠帶)、磁力、柏努利吸附、吸引吸附、驅動機器等來將被支承構件進行支承(保持)的構成。當採用切斷手段或切斷構件等之用於將被切斷構件切斷、或在被切斷構件形成切口、切斷線者的情況，可代替上述所例示者或與其並用，而採用利用切刀、雷射切割機、離子束、火力、熱、水壓、電熱線、氣體或液體等的噴吹等進行切斷者，亦可讓與適宜的驅動機器組合而進行切斷者移動來進行切斷。
10:第1偵知手段 11:托架 12:偵知機器 12A:發光元件 12B:受光元件 20:保持手段 21:保持構件 21A:保持面 30:移動手段 31:多關節機器人 31A:前端臂(保持部) 40:控制手段 41:控制機器 50:貼合手段 51:支承輥 52:導輥 53:按壓手段 53A:直動馬達 53B:輸出軸 53C:按壓輥 54:線性馬達 54A:滑件 54B:滑件 54C:托架 55:框架 56:驅動輥 56A:轉動馬達 56B:夾送輥 57:回收輥 60:切斷手段 61:切刀 70:支承台 80:搬運對象物支承手段 81:直動馬達 81A:輸出軸 82:載台 82A:搬運對象物支承面 82B:薄片支承面 90:第2偵知手段 91:直動馬達 91A:輸出軸 92:直動馬達 92A:輸出軸 93:偵知機器 AB:接著薄片基材 AS:接著薄片 EA:搬運裝置 EA1:薄片貼合裝置 HP1:第1偵知手段保持位置 HP2:保持手段保持位置 HP3:切斷手段保持位置 SC:收容手段 SC1:棚架 US:不需要的薄片 WK:搬運對象物
[圖1A]係本發明的一實施形態之搬運裝置及薄片貼合裝置的說明圖。 [圖1B]係本發明的一實施形態之搬運裝置及薄片貼合裝置的說明圖。 [圖1C]係本發明的變形例之搬運裝置的說明圖。
10:第1偵知手段
11:托架
12:偵知機器
20:保持手段
21:保持構件
21A:保持面
30:移動手段
31:多關節機器人
31A:前端臂(保持部)
40:控制手段
41:控制機器
50:貼合手段
51:支承輥
52:導輥
53:按壓手段
53A:直動馬達
53B:輸出軸
53C:按壓輥
54:線性馬達
54A:滑件
54B:滑件
54C:托架
55:框架
56:驅動輥
56A:轉動馬達
56B:夾送輥
57:回收輥
60:切斷手段
61:切刀
70:支承台
80:搬運對象物支承手段
81:直動馬達
81A:輸出軸
82:載台
82A:搬運對象物支承面
82B:薄片支承面
AB:接著薄片基材
AS:接著薄片
EA:搬運裝置
EA1:薄片貼合裝置
HP1:第1偵知手段保持位置
HP2:保持手段保持位置
HP3:切斷手段保持位置
SC:收容手段
SC1:棚架
US:不需要的薄片
WK:搬運對象物

Claims (5)

  1. 一種搬運裝置，係用於搬運搬運對象物，其特徵在於，具備有第1偵知手段、保持手段、移動手段及控制手段， 前述第1偵知手段，係偵知在可收容前述搬運對象物之收容手段所收容之前述搬運對象物的位置， 前述保持手段係保持前述搬運對象物， 前述移動手段，係具有可將前述第1偵知手段和前述保持手段選擇性地保持之保持部，且可將由該保持部所保持之前述第1偵知手段或前述保持手段移動， 前述控制手段，係控制構成該搬運裝置之各構件的動作， 前述控制手段係將各構件控制成，透過前述移動手段，讓前述保持部移動到用於保持前述第1偵知手段之第1偵知手段保持位置而將該第1偵知手段保持之後，讓該第1偵知手段移動來偵知前述搬運對象物的位置，並透過前述移動手段，讓前述保持部移動到用於保持前述保持手段之保持手段保持位置而將該保持手段保持之後，根據前述第1偵知手段的偵知結果讓該保持手段移動而將前述搬運對象物予以保持並搬運。
  2. 如請求項1所述之搬運裝置，其係具備第2偵知手段， 該第2偵知手段，不是藉由前述移動手段進行移動，且是偵知在前述收容手段所收容之前述搬運對象物的位置， 前述控制手段，係根據前述第1偵知手段或前述第2偵知手段的偵知結果，透過前述移動手段讓前述保持手段移動而將前述搬運對象物予以保持並搬運。
  3. 一種薄片貼合裝置，係用於在搬運對象物貼合接著薄片，其特徵在於，係具備： 如請求項1或2所述之搬運裝置、 在前述搬運對象物貼合接著薄片基材之貼合手段、以及 將前述接著薄片基材切斷成既定的形狀來形成前述接著薄片之切斷手段， 前述移動手段設置成，連前述切斷手段也能由前述保持部選擇性地保持， 前述控制手段，係透過前述移動手段，讓前述保持部移動到用於保持前述切斷手段之切斷手段保持位置而將該切斷手段保持之後，讓該切斷手段移動來形成前述接著薄片。
  4. 一種搬運方法，係用於搬運搬運對象物，其特徵在於，係實施第1偵知工序、保持工序、移動工序及控制工序， 前述第1偵知工序，係將在可收容前述搬運對象物之收容手段所收容之前述搬運對象物的位置藉由第1偵知手段偵知， 前述保持工序，係將前述搬運對象物藉由保持手段保持， 前述前述移動工序，係藉由具有可將前述第1偵知手段和前述保持手段選擇性地保持的保持部之移動手段，讓由該保持部所保持之前述第1偵知手段或前述保持手段移動， 前述控制工序，係控制用於實施該搬運方法之各構件的動作， 在前述控制工序將各構件控制成，透過前述移動手段，讓前述保持部移動到用於保持前述第1偵知手段之第1偵知手段保持位置而將該第1偵知手段保持之後，讓該第1偵知手段移動來實施前述第1偵知工序，並透過前述移動手段，讓前述保持部移動到用於保持前述保持手段之保持手段保持位置而將該保持手段保持之後，根據前述第1偵知工序的偵知結果讓該保持手段移動來實施前述保持工序，而將前述搬運對象物予以保持並搬運。
  5. 一種薄片貼合方法，係用於在搬運對象物貼合接著薄片，其特徵在於，係實施： 如請求項4所述之搬運方法、 在前述搬運對象物貼合接著薄片基材之貼合工序、以及 將前述接著薄片基材藉由切斷手段切斷成既定的形狀來形成前述接著薄片之切斷工序， 前述移動手段設置成，連前述切斷手段也能由前述保持部可選擇性地保持， 在前述控制工序，係透過前述移動手段，讓前述保持部移動到用於保持前述切斷手段之切斷手段保持位置而將該切斷手段保持之後，實施前述切斷工序。
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