JP2014036144A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送されてくるウェハWFを収容可能な板状部材収容手段3と、ウェハWFが接着シートを介して固定されるリングフレームRFを収容可能なフレーム収容手段4との双方を支持可能な構成で、搬送されてくる板状部材収容手段3またはフレーム収容手段4を支持し、支持するものを判別して板状部材ストッカ20またはフレームストッカ30へ振り分けて支持させる振り分け手段60を備える。板状部材収容手段3を板状部材ストッカ20へ振り分ける構成と、フレーム収容手段4をフレームストッカ30へ振り分ける構成との共有化が図れ、シート貼付装置1の構成を簡略化できる。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウェハ(板状部材)を複数収容可能なカセット(板状部材収容手段)を支持可能なウェハ供給部(板状部材ストッカ)と、リングフレーム(フレーム部材)を複数収容可能なワゴン(フレーム収容手段)を支持可能なリングフレーム供給部(フレームストッカ)と、ウェハおよびリングフレームに接着シートを貼付するマウント機構(貼付手段)と、板状部材ストッカからマウント機構にウェハを搬送するウェハ搬送機構(移載手段)と、フレームストッカからマウント機構にリングフレームを搬送するリングフレーム搬送機構(移載手段)とを備え、板状部材収容手段またはフレーム部材収容手段に収容された板状部材またはフレーム部材を使い切ると、板状部材収容手段またはフレーム部材収容手段を板状部材ストッカまたはフレームストッカから切り離し、板状部材またはフレーム部材が補充された板状部材収容手段またはフレーム部材収容手段を再度板状部材ストッカまたはフレームストッカに配置するように構成されている。
また、ウェハ(板状部材)が収容されたカセット(板状部材収容手段)を特許文献1等の装置へ搬送する搬送装置として、工程内で敷設された工程内搬送路を通って搬送先に搬送する構成が知られている(例えば、特許文献2参照)。
本発明の目的は、オペレータの作業が煩雑化することを防止できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することである。
また、他の目的は、装置の構成が複雑化、大型化することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することである。
また、本発明のシート貼付装置では、前記振り分け手段は、支持する前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段を判別する判別手段を備え、前記搬送されてくる板状部材収容手段およびフレーム収容手段を同一の受取位置で受け取り、前記判別手段による判別に基づいて振り分ける、ことが好ましい。
また、振り分け手段が状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持し、それらを板状部材ストッカまたはフレームストッカへ振り分けて支持させるので、装置の構成が複雑化、大型化することを防止することができる。
また、判別手段を設けることで、振り分け手段が板状部材収容手段をフレームストッカに配置したり、フレーム収容手段を板状部材ストッカに配置したりすることを確実に防止することができる。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸及びY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の矢印AR方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
フレーム収容手段4は、リングフレームRFを上下方向に多段に収容可能なフレームカセットFCと、把持部WC3と同様にフレームカセットFCの上面に設けられ、前後両面に前後係合部FC1が設けられるとともに、右面に右方係合部FC2が設けられた把持部FC3とを備えている。
板状部材ストッカ20およびフレームストッカ30は、それぞれ図示しない光学センサ、感圧センサ、撮像手段やロードセルなどを有し、板状部材収容手段3およびフレーム収容手段4が載置されたことを検出可能に構成されている。
先ず、図1中符号AAで示す図に示すように貼付手段50に原反RSをセットすると、シート貼付装置1が図示しない通信手段を介してウェハWFを収容した板状部材収容手段3およびリングフレームRFを収容したフレーム収容手段4の要求信号を出力する。この要求信号を受けると、搬送装置70がウェハWFを収容した板状部材収容手段3および、リングフレームRFを収容したフレーム収容手段4をそれぞれ支持した2体の搬送体72を搬送レール71に沿って走行させる。搬送体72で支持した板状部材収容手段3の右方係合部WC2または、フレーム収容手段4の右方係合部FC2が直動モータ77の出力軸77Aの直左に位置する受け渡し位置(図2中実線で示す位置)に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、搬送装置70が先に走行する搬送体72の走行を停止する。ここで、先に走行する搬送体72が板状部材収容手段3を支持しているとする。なお、フレーム収容手段4を支持して走行する搬送体72は、図示しない制御手段や光学センサ、撮像手段によって、停止している搬送体72に接触することのないように、所定間隔を保って走行または停止する。そして、搬送装置70が直動モータ77を駆動し、出力軸77Aを右方係合部WC2に挿入させた後、各回動モータ74を駆動し、一対のフック75を前後係合部WC1から抜き取り、板状部材収容手段3の支持を解除する。その後、搬送装置70が走行してきた方向と同じ方向に搬送体72を走行させ、待機位置に帰還させる。
そして、振り分け手段60が直動モータ62、64を駆動し、支持している板状部材収容手段3を板状部材ストッカ20上に載置した後、直動モータ68を駆動し、出力軸68Aを前後係合部WC1から抜き取り、板状部材収容手段3を板状部材ストッカ20に支持させる。
なお、板状部材収容手段3が振り分け手段60で搬送されると、搬送装置70がフレーム収容手段4を支持した搬送体72を走行させ、当該搬送体72を受け渡し位置で停止し、その後、上述と同様にしてフレーム収容手段4が直動モータ77の出力軸77Aで支持された状態となる。次いで、振り分け手段60が上述と同様にしてフレーム収容手段4をフレームストッカ30に支持させる。
ウェハ支持体WKが形成され、テーブル12が所定位置まで移動されたことが図示しない検知手段によって検出されると、支持手段10がリニアモータ13の駆動を停止する。次いで、移載手段40が多関節ロボット41を駆動し、保持手段42でウェハ支持体WKを吸着保持し、多関節ロボット41を駆動し、当該ウェハ支持体WKをフレームカセットFC内に収納する。
そして、ウェハカセットWCからウェハWFが取り出され空になったこと(空になりそうになったこと)または、フレームカセットFC内がウェハ支持体WKで満杯になったこと(満杯になりそうになったこと)が図示しない検知手段によって検出されると、シート貼付装置1が図示しない通信手段を介して搬送体72の要求信号を出力する。この要求信号を受けると、搬送装置70が何も支持しない搬送体72と、ウェハWFが収容された板状部材収容手段3またはリングフレームRFが収容されたフレーム収容手段4を支持した搬送体72を搬送レール71に沿って走行させ、何も支持しない搬送体72が受け渡し位置に到達して停止する。そして、振り分け手段60が直動モータ62、64を駆動し、上記の逆の手順を踏んで、ウェハカセットWCまたはフレームカセットFCを板状部材ストッカ20またはフレームストッカ30から搬送体72に受け渡す。その後、搬送装置70が搬送体72を走行させ、受け取ったフレームカセットFCまたはウェハカセットWCをダイシング装置やカセット回収手段等の別工程に搬送する。なお、振り分け手段60がウェハカセットWCやフレームカセットFCを搬送体72に受け渡すときにも、振り分け手段60がロードセル66を駆動し、支持したものの重量を計量することで空の板状部材収容手段3なのかウェハ支持体WKを収容したフレーム収容手段4なのかを判別し、この情報を図示しない制御手段に出力するので、それらが間違った別工程に搬送されてしまうことを確実に防止することができる。そして、搬送装置70がウェハWFを収容した板状部材収容手段3またはリングフレームRFを収容したフレーム収容手段4を支持した搬送体72を走行させ、当該搬送体72を受け渡し位置で停止し、上記と同様の動作が繰り返される。
すなわち、振り分け手段60を設けたため、搬送されてきた板状部材収容手段3やフレーム収容手段4を板状部材ストッカ20やフレームストッカ30に支持させるといったオペレータの作業をなくすことができ、当該オペレータの作業が煩雑化することを防止できる。
また、振り分け手段60が板状部材収容手段3およびフレーム収容手段4のいずれか一方を選択的に支持し、それらを板状部材ストッカ20またはフレームストッカ30へ振り分けて支持させるので、装置の構成が複雑化、大型化することを防止することができる。
また、搬送装置70は、板状部材収容手段3およびフレーム収容手段4を搬送可能な従来公知のいずれの構成を適用してもよい。
さらに、フレーム76で支持する直動モータ77を右方向に退避できるように構成すれば、出力軸77Aで板状部材収容手段3またはフレーム収容手段4を支持していても、他の板状部材収容手段3またはフレーム収容手段4を支持した搬送体72の方向を阻害しないようにできる。
また、移載手段40を振り分け手段60として機能させてもよい。
また、判別手段は、板状部材収容手段3およびフレーム収容手段4に着色したりマークを施したりしたものを対象とし、それを撮像手段で撮像したり、光学センサ、接触センサ、圧力センサ、エリアセンサ等で検知して判別するようにしてもよい。
2A 搬送路
3 板状部材収容手段
4 フレーム収容手段
10 支持手段
20 板状部材ストッカ
30 フレームストッカ
40 移載手段
50 貼付手段
60 振り分け手段
69 判別手段
AS 接着シート
RF リングフレーム(フレーム部材)
WF 半導体ウェハ(板状部材)
Claims (4)
- フレーム部材および板状部材を支持可能な支持手段と、
前記板状部材を複数収容可能な板状部材収容手段を支持可能な板状部材ストッカと、
前記フレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を支持可能なフレームストッカと、
前記板状部材ストッカに支持された板状部材収容手段、および前記フレームストッカに支持されたフレーム収容手段から、前記板状部材およびフレーム部材を支持して前記支持手段へ移載する移載手段と、
前記支持手段に支持された板状部材およびフレーム部材に接着シートを貼付し、前記板状部材とフレーム部材とを一体化させる貼付手段とを備えたシート貼付装置であって、
搬送されてくる前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持し、前記板状部材ストッカまたはフレームストッカへ振り分けて支持させる振り分け手段を具備したことを特徴とするシート貼付装置。 - 前記振り分け手段は、共通の搬送路で搬送されてくる前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記振り分け手段は、支持する前記板状部材収容手段およびフレーム収容手段を判別する判別手段を備え、前記搬送されてくる板状部材収容手段およびフレーム収容手段を同一の受取位置で受け取り、前記判別手段による判別に基づいて振り分けることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
- 板状部材を複数収容可能な板状部材収容手段またはフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段とが搬送されてくると、当該板状部材収容手段およびフレーム収容手段のいずれか一方を選択的に支持し、前記板状部材収容手段を支持可能な板状部材ストッカまたは前記フレーム収容手段を支持可能なフレームストッカへ振り分けて支持させる工程と、
前記板状部材ストッカに支持された板状部材収容手段および前記フレームストッカに支持されたフレーム収容手段から、前記板状部材およびフレーム部材を支持して支持手段へ移載する工程と、
前記フレーム部材および前記板状部材を支持手段で支持する工程と、
前記支持手段に支持された板状部材およびフレーム部材に前記接着シートを貼付し、前記板状部材とフレーム部材とを一体化させる工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
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