KR102329907B1 - 시트 부착 장치 및 부착 방법 - Google Patents

시트 부착 장치 및 부착 방법 Download PDF

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Abstract

시트 부착 장치(10)는, 피착체((WF)를 지지하는 지지 수단(20)과, 지지 수단(20)으로 지지된 피착체((WF)에 접착 시트(AS)를 가압하여 부착되는 가압 수단(40)과, 접착체((WF)에 접착 시트 부분이 남도록 당해 피착체((WF)에 부착된 접착 시트(AS)를 소정 형상으로 절단하는 절단 수단(50)과, 접착 시트(AS)에 있어서의 접착 시트 부분 이외의 불필요 시트(US)를 회수하는 회수 수단(60)을 구비하고, 지지 수단(20)은, 회수 수단(60)에 의한 불필요 시트(US)의 회수 중에, 지지 수단(20)으로의 피착체((WF)의 반입 및 지지 수단(20)로부터의 피착체((WF)의 반출 의 적어도 한쪽이 허용 가능하게 설치되어 있다.

Description

시트 부착 장치 및 부착 방법{SHEET STICKING APPARATUS AND STICKING METHOD}
본 발명은 시트 부착 장치 및 부착 방법에 관한 것이다.
종래, 피착체에 접착 시트를 부착함과 함께, 당해 접착 시트를 소정 형상으로 절단 가능한 시트 부착 장치가 알려져 있다(예를 들어, 문헌 1: 일본 특허 공개 제2007-19239호 공보 참조).
문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 시트 부착 장치는, 피착체를 지지하는 지지 수단으로 피착체를 반입하는 동작 및 접착 시트가 부착된 피착체를 지지 수단으로부터 반출하는 동작이, 접착 시트의 절단에 의해 생긴 불필요 시트를 회수하는 동작과 별도로 행해지기 때문에, 단위 시간당 피착체에 접착 시트를 부착하는 부착 능력(이하, 간단히 「처리 능력」이라고 함)이 저하된다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 단위 시간당의 처리 능력이 저하되는 것을 방지할 수 있는 시트 부착 장치 및 부착 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 시트 부착 장치는, 피착체를 지지하는 지지 수단과, 상기 지지 수단으로 지지된 피착체에 접착 시트를 가압하여 부착하는 가압 수단과, 상기 피착체에 접착 시트 부분이 남도록 당해 피착체에 부착된 접착 시트를 소정 형상으로 절단하는 절단 수단과, 상기 접착 시트에 있어서의 상기 접착 시트 부분 이외의 불필요 시트를 회수하는 회수 수단을 구비하고, 상기 지지 수단은, 상기 회수 수단에 의한 상기 불필요 시트의 회수 중에, 상기 지지 수단으로의 피착체의 반입 및 상기 지지 수단으로부터의 피착체의 반출의 적어도 한쪽이 허용 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 시트 부착 장치에 있어서, 상기 지지 수단은, 상기 피착체를 지지하는 피착체 지지 수단과, 당해 피착체 지지 수단의 외측에 위치해 상기 불필요 시트를 지지하는 불필요 시트 지지 수단과, 상기 피착체 지지 수단 및 상기 불필요 시트 지지 수단을 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 시트 부착 장치에 있어서, 상기 불필요 시트 지지 수단은, 상기 피착체를 출입 가능한 개구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 시트 부착 장치는, 상기 피착체 지지 수단 및 당해 피착체 지지 수단에 지지된 지지 대상물의 적어도 한쪽의 표면을 청소하는 청소 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 시트 부착 방법은, 피착체를 지지 수단으로 지지하는 지지 공정과, 상기 지지 수단으로 지지된 피착체에 접착 시트를 가압하여 부착되는 가압 공정과, 상기 피착체에 접착 시트 부분이 남도록 당해 피착체에 부착된 접착 시트를 소정 형상으로 절단하는 절단 공정과, 상기 접착 시트에 있어서의 상기 접착 시트 부분 이외의 불필요 시트를 회수하는 회수 공정을 구비하고, 상기 회수 공정에 의한 상기 불필요 시트의 회수 중에, 상기 지지 수단으로의 피착체의 반입 및 상기 지지 수단으로부터의 피착체의 반출의 적어도 한쪽을 실시하는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 본 발명에 따르면, 불필요 시트의 회수 중에, 지지 수단으로의 피착체의 반입 및 지지 수단으로부터의 피착체의 반출의 적어도 한쪽을 행할 수 있으므로, 단위 시간당의 처리 능력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 피착체 지지 수단을 불필요 시트 지지 수단에 대해 이동 가능하게 설치하면, 불필요 시트 지지 수단으로 지지한 불필요 시트를 회수 수단으로 회수하고 있을 때, 접착 시트 부분이 부착된 피착체를 불필요 시트나 회수 수단으로부터 분리하고, 지지 수단으로부터 피착체를 반출하거나, 지지 수단에 다른 피착체를 반입하거나 할 수 있으므로, 단위 시간당의 처리 능력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 불필요 시트 지지 수단이 개구를 구비하고 있으면, 당해 개구를 통해지지 수단으로의 피착체의 반입이나 지지 수단으로부터의 피착체의 반출을 행할 수 있다.
또한, 청소 수단을 설치하면, 피착체 지지 수단이나 피착체의 피착면을 청소할 수 있으므로, 피착체에 진애나 먼지 등이 부착되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 시트 부착 장치를 나타내는 측면도.
도 2는, 시트 부착 장치의 동작 설명도.
이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X축 및 Y축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y축과 평행한 도 1에서 전방 방향으로부터 본 경우를 기준으로 하여, 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z축의 화살표 방향이며 「하」가 그의 반대 방향, 「좌」가 X축의 화살표 방향이고 「우」가 그의 반대 방향, 「전」이 Y축과 평행한 도 1 중 전방 방향이며 「후」가 그의 반대 방향으로 한다.
도 1에 있어서, 시트 부착 장치(10)는, 피착체로서의 반도체 웨이퍼(이하, 단지 「웨이퍼」라고도 함)(WF)를 지지하는 지지 수단(20)과, 지지 수단(20)으로 지지된 웨이퍼(WF)의 피착면(WF1)에 면하는 위치에 접착 시트(AS)를 조출하는 조출 수단(30)과, 지지 수단(20)으로 지지된 웨이퍼(WF)에 접착 시트(AS)를 가압하여 부착되는 가압 수단(40)과, 웨이퍼(WF)에 접착 시트 부분(AS1)(도 2 참조)이 남도록 당해 웨이퍼(WF)에 부착된 접착 시트(AS)를 소정 형상으로 절단하는 절단 수단(50)과, 접착 시트(AS)에 있어서의 접착 시트 부분(AS1) 이외의 불필요 시트(US)를 회수하는 회수 수단(60)과, 웨이퍼(WF)를 이송하는 이송 수단(70)을 구비하고 있다.
지지 수단(20)은, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단에 의해 흡착 보유 지지 가능한 지지면(21A)을 구비하고, 웨이퍼(WF)를 지지하는 피착체 지지 수단으로서의 내측 테이블(21)과, 내측 테이블(21)의 외측에 위치해 불필요 시트(US)를 지지하는 불필요 시트 지지 수단으로서의 외측 테이블(22)과, 내측 테이블(21) 및 외측 테이블(22)을 상대적으로 이동시키는 이동 수단이며, 그 출력축(23A)으로 내측 테이블(21)을 지지하는 구동 기기로서의 직동 모터(23)를 구비하고, 회수 수단(60)에 의한 불필요 시트(US)의 회수 중에, 지지 수단(20)으로부터의 웨이퍼(WF)의 반출이 허용 가능하게 설치되어 있다.
외측 테이블(22)은, 내측 테이블(21)로 지지된 웨이퍼(WF)와 함께 접착 시트(AS)가 부착되어, 절단 수단(50)의 절단에 의해 형성된 불필요 시트(US)를 지지하는 불필요 시트 지지면(22A)과, 그 내부에서 직동 모터(23)를 지지하는 오목부(22B)와, 오목부(22B)의 후측면에 설치되고, 웨이퍼(WF)를 출입 가능한 개구(22C)를 구비하고, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 승강 가능하게 설치되어 있다.
조출 수단(30)은, 박리 시트(RL)의 한쪽의 면에 접착 시트(AS)가 가접착된 원반(RS)을 지지하는 지지 롤러(31)와, 원반(RS)을 안내하는 가이드 롤러(32A, 32B)와, 가이드 롤러(32A) 사이에 원반(RS)을 끼워 넣는 압박 부재(33B)를 그 출력축(33A)으로 지지하는 구동 기기로서의 직동 모터(33)와, 가이드 롤러(32B)를 지지하고, 접착 시트(AS)의 장력을 측정 가능한 장력 검출 수단으로서의 로드셀(34A)과, 박리 시트(RL)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 박리 부재로서의 박리판(34B)과, 구동 기기로서의 회동 모터(35A)에 의해 구동되어, 핀치 롤러(35B)로 박리 시트(RL)를 끼워 넣는 구동 롤러(35)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되어, 소정의 장력으로 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 롤러(36)와, 당해 조출 수단(30)을 구성하는 전술한 구성 부재 중 지지 롤러(31) 및 회수 롤러(36) 이외의 각 부재를 지지하는 프레임(37)과, 그의 도시하지 않은 슬라이더로 프레임(37)을 지지하고, 구동 기기로서의 리니어 모터(39)의 슬라이더(39A)(도 2 참조)에 지지된 구동 기기로서의 리니어 모터(38)를 구비하고 있다.
가압 수단(40)은, 구동 기기로서의 리니어 모터(41)의 슬라이더(41A)에 브래킷(42)을 통해 지지된 구동 기기로서의 직동 모터(43)와, 직동 모터(43)의 출력축(43A)에 브래킷(43B)을 통해 회전 가능하게 지지하고, 접착 시트(AS)를 피착면(WF1)에 가압하는 가압 부재로서의 가압 롤러(44)를 구비하고 있다.
절단 수단(50)은, 구동 기기로서의 다관절 로봇(51)과, 다관절 로봇(51)의 작업 아암(51A)에 착탈 가능하게 지지된 절단날(52)(도 2 참조)을 구비하고 있다. 다관절 로봇(51)은, 그 작업 범위 내에 있어서 작업 아암(51A)에 장착된 것을 어느 위치, 어느 각도에서도 변위 가능한 소위 6축 로봇이다.
회수 수단(60)은, 리니어 모터(41)의 슬라이더(41B)에 지지된 프레임(61)과, 프레임(61)에 지지된 구동 기기로서의 회동 모터(62)에 의해 구동되어, 핀치 롤러(64)로 불필요 시트(US)를 끼워 넣는 구동 롤러(63)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되고, 소정의 장력으로 불필요 시트(US)를 회수하는 회수 롤러(65)를 구비하고 있다.
이송 수단(70)은, 다관절 로봇(51)과, 다관절 로봇(51)의 작업 아암(51A)에 착탈 가능하게 지지되어, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단에 의해 웨이퍼(WF)를 흡착 보유 지지 가능한 흡착 툴(71)을 구비하고 있다.
이상의 시트 부착 장치(10)에 있어서, 웨이퍼(WF)의 피착면(WF1)에 접착 시트(AS)를 부착하는 순서에 대해 설명한다.
우선, 각 부재가 초기 위치에 배치된 도 1 중 실선으로 나타내는 상태의 시트 부착 장치(10)에 대해, 작업자가 원반(RS)을 동 도면에서 실선으로 나타내도록 세트하고, 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시하지 않은 조작 수단을 통해 자동 운전의 신호를 입력한다. 그러면, 조출 수단(30) 및 회수 수단(60)이 회동 모터(35A 및 62)를 구동하고, 박리 시트(RL) 및 접착 시트(AS)를 권취하고, 지지 수단(20) 위에 위치하는 접착 시트(AS)의 장력이 소정값이 된 것이 로드셀(34A)에 의해 검지되면, 회동 모터(35A 및 62)의 구동을 정지하고, 스탠 바이 상태가 된다. 그 후, 이송 수단(70)이 다관절 로봇(51) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 흡착 툴(71)로 웨이퍼(WF)를 흡착 보유 지지한 후, 개구(22C) 내에 흡착 툴(71)을 삽입하여 웨이퍼(WF)를 지지면(21A) 위에 적재하면, 지지 수단(20)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 웨이퍼(WF)를 흡착 보유 지지한다. 다음으로, 가압 수단(40)이 직동 모터(43)를 구동하고, 가압 롤러(44)를 하강시켜 접착 시트(AS)를 불필요 시트 지지면(22A)에 소정의 가압력으로 가압한다. 이 때, 지지 수단(20) 위에 위치하는 접착 시트(AS)의 장력의 상승이 로드셀(34A)에 의해 검지되면, 조출 수단(30)이 회동 모터(35A)를 구동하고, 박리 시트(RL)을 권취함으로써 접착 시트(AS)를 조출하고, 당해 접착 시트(AS)의 장력을 소정값으로 유지하는 제어가 행해진다. 이어서, 조출 수단(30)이 직동 모터(33)를 구동하고, 압박 부재(33B)와 가이드 롤러(32A)로 접착 시트(AS)를 끼워 넣고, 당해 접착 시트(AS)의 조출을 억제한다.
그리고, 지지 수단(20)이 직동 모터(23)를 구동하고, 도 2에 도시한 바와 같이, 내측 테이블(21)을 상측으로 이동시킨 후, 가압 수단(40)이 리니어 모터(41)를 구동하고, 가압 롤러(44)를 우측으로 이동시키고, 당해 가압 롤러(44)로 접착 시트(AS)를 피착면(WF1) 및 불필요 시트 지지면(22A)에 가압하여 부착한다. 이 때, 가압 롤러(44)의 이동에 수반하여, 접착 시트(AS)에 더 한층 장력이 가해지지만, 로드셀(34A)이 그것을 검지한 순간에, 조출 수단(30)이 리니어 모터(38, 39)를 구동하고, 로드셀(34A)로 검출되는 장력이 소정값으로부터 어긋나지 않도록 프레임(37)을 좌우 방향 및 상하 방향으로 이동시키는 제어가 행해진다. 또한, 접착 시트(AS)의 부착 동작 중에, 절단 수단(50)이 다관절 로봇(51)을 구동하고, 흡착 툴(71)로부터 절단날(52)에 툴 교환을 행한다.
접착 시트(AS)의 부착이 완료되면, 절단 수단(50)이 다관절 로봇(51)을 구동하고, 도 2에서 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 절단날(52)을 접착 시트(AS)에 찌르고, 당해 절단날(52)을 웨이퍼(WF)의 외주를 따라 이동시킨다. 이에 의해, 웨이퍼(WF) 위에 접착 시트 부분(AS1)이 남고, 당해 접착 시트 부분(AS1)의 외주에 불필요 시트(US)가 형성된다. 계속해서, 지지 수단(20)이 직동 모터(23)를 구동하고, 도 2에서 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 내측 테이블(21)을 초기 위치로 복귀시킴과 함께, 이송 수단(70)이 다관절 로봇(51)을 구동하고, 절단날(52)로부터 흡착 툴(71)에 툴 교환을 행한다. 또한, 회수 수단(60) 및 가압 수단(40)이 회동 모터(62) 및 리니어 모터(41)를 구동하고, 도 2 중 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 프레임(61)을 우방향으로 이동시켜 불필요 시트(US)를 회수한다. 그리고, 회수 수단(60)으로 불필요 시트(US)를 한창 회수하고 있는 중에, 이송 수단(70)이 다관절 로봇(51) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 개구(22C) 내에 흡착 툴(71)을 삽입하여 당해 흡착 툴(71)로 웨이퍼(WF)를 흡착 보유 지지하고, 내측 테이블(21)로부터 웨이퍼(WF)를 다음 공정으로 반출한다.
그 후, 지지 수단(20)이 도시하지 않은 구동 기기를 구동하고, 외측 테이블(22)을 하강시켜 불필요 시트 지지면(22A)으로부터 불필요 시트(US)를 박리시킨다. 이어서, 조출 수단(30)이 직동 모터(33)를 구동하고, 압박 부재(33B)와 가이드 롤러(32A)에 의한 접착 시트(AS)의 끼워넣기를 해제한다. 그리고, 회수 수단(60)이 회동 모터(62)의 구동을 정지시킨 상태에서, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동하고, 각 부재를 초기 위치로 복귀시킨다. 이 복귀 동작에 의해, 소정의 조출량의 접착 시트(AS)가 박리 시트(RL)로부터 박리되어 지지 수단(20) 위에 배치되고, 이후 상기 마찬가지의 동작이 반복된다.
이상과 같은 실시 형태에 따르면, 불필요 시트(US)의 회수 중에, 지지 수단(20)으로의 웨이퍼(WF)의 반입 및 지지 수단(20)으로부터의 웨이퍼(WF)의 반출 중 적어도 한쪽을 행할 수 있으므로, 단위 시간당의 처리 능력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 구성, 방법 등은, 상기 기재로 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은 주로 특정의 실시 형태에 관해 특히 도시되고 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 목적의 범위로부터 일탈하지 않고, 이상 설명한 실시 형태에 대해, 형상, 재질, 수량, 그 외의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 다양한 변형을 가할 수 있는 것이다. 또한, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니기 때문에, 그것들의 형상, 재질 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 제외한 부재의 명칭에서의 기재는, 본 발명에 포함된다.
예를 들어, 시트 부착 장치(10)는, 도 1에서 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 내측 테이블(21)에 지지된 지지 대상물로서의 웨이퍼(WF)의 표면인 피착면(WF1)을 청소하는 청소 수단(80)을 구비하고 있어도 된다. 이러한 청소 수단(80)은, 오목부(22B) 내에 설치된 구동 기기로서의 리니어 모터(81)의 슬라이더(81A)에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터(82)와, 직동 모터(82)의 출력축(82A)에 브래킷(83A)을 통해 지지된 제거 부재로서의 점착 롤러(83)를 구비한 구성을 예시할 수 있고, 이송 수단(70)이 웨이퍼(WF)를 지지면(21A) 위에 적재한 후, 청소 수단(80)이 리니어 모터(81) 및 직동 모터(82)를 구동하고, 점착 롤러(83)를 피착면(WF1)에 압박하면서 좌우 방향으로 왕복 이동시킬 수 있다. 이에 의해, 피착면(WF1)을 청소할 수 있는 데다가, 웨이퍼(WF)의 자세를 지지면(21A)에 따라 교정할 수도 있다. 또한, 청소 수단(80)은, 내측 테이블(21)의 지지면(21A)을 청소해도 되고, 지지면(21A)과 웨이퍼(WF)의 피착면(WF1)의 양쪽을 청소해도 되고, 지지 대상물을 접착 시트 부분(AS1)이 부착된 웨이퍼(WF)라 하고, 당해 접착 시트 부분(AS1)의 표면을 청소해도 된다.
청소 수단(80)은, 제거 부재로서 브러시나 블레이드재를 채용해도 되고, 가압 펌프나 터빈 등의 기체 분사 수단이나, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 흡인 수단 등을 채용해도 되고, 채용하지 않아도 된다.
지지 수단(20)은, 회수 수단(60)에 의한 불필요 시트(US)의 회수 중에, 지지 수단(20)으로의 웨이퍼(WF)의 반입이 허용 가능하게 설치되어 있어도 되고, 이 경우, 시트 부착 장치(10)는, 절단 수단(50)이 접착 시트(AS)를 소정 형상으로 절단하고, 이송 수단(70)이 지지면(21A) 위의 웨이퍼(WF)를 다음 공정으로 이송한 후, 회수 수단(60)이 회동 모터(62) 및 리니어 모터(41)를 구동하고, 프레임(61)을 우방향으로 이동시켜 불필요 시트(US)를 회수한다. 그리고, 회수 수단(60)에서 불필요 시트(US)를 한창 회수하고 있는 중에, 지지 수단(20)이 직동 모터(23)를 구동하고, 내측 테이블(21)을 초기 위치로 복귀시킴과 함께, 이송 수단(70)이 다관절 로봇(51) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 흡착 툴(71)로 웨이퍼(WF)를 지지면(21A) 위에 적재해도 된다. 또한, 회수 수단(60)으로 불필요 시트(US)를 회수하고 있는 중에, 상기 실시 형태와 같이, 이송 수단(70)이 지지면(21A) 위의 웨이퍼(WF)를 다음 공정으로 이송한 후, 별도의 웨이퍼(WF)를 지지면(21A)에 적재해도 된다.
지지 수단(20)은, 내측 테이블(21)을 상측으로 이동시켰을 때, 피착면(WF1)이 불필요 시트 지지면(22A)과 동일 평면 내에 위치하도록 배치해도 되고, 가압 롤러(44)로 피착면(WF1) 및 불필요 시트 지지면(22A)에 접착 시트(AS)를 부착할 수 있는 범위 내이면, 피착면(WF1)이 불필요 시트 지지면(22A)보다도 상측 또는 하측에 위치하도록 배치해도 된다.
내측 테이블(21)은, 지지면(21A)에 대해 돌출 함몰 가능한 지지 핀이나 리프터 등의 수취 수단을 설치하고, 당해 수취 수단에서 이송 수단(70)으로부터 웨이퍼(WF)를 수취해도 된다.
외측 테이블(22)은, 복수의 개구(22C)를 구비하고 있어도 되고, 개구(22C)를 구비하지 않아도 되고, 개구(22C)를 구비하지 않는 경우, 내측 테이블(21)과 외측 테이블(22) 사이에 웨이퍼(WF)를 반입, 반출을 할 수 있는 간극이 있으면 된다.
이동 수단은, 내측 테이블(21)을 고정 또는 이동시키면서, 외측 테이블(22)을 이동시켜도 되고, 직동 모터(23) 대신에 내측 테이블(21)을 회동시키는 구동 기기를 채용하고, 내측 테이블(21)을 오목부(22B) 내에서 회동시켜 지지면(21A)의 자세를 수직으로 하거나, 비스듬하게 하거나 해도 되고, 이 경우, 내측 테이블(21)의 회동 각도에 맞추어, 개구(22C)를 세로 길이나 비스듬히 형성해도 된다.
조출 수단(30)은, 박리 시트(RL)에 가부착되어 있지 않은 접착 시트(AS)를 조출하는 구성이어도 되고, 이 경우, 박리판(34B)은 없어도 되며, 매엽의 접착 시트(AS)를 조촐해도 된다.
조출 수단(30)은, 지지 롤러(31) 및 회수 롤러(36) 중 적어도 한쪽이 프레임(37)에 지지되어 있어도 되고, 리니어 모터(38, 39)를 상하 방향 및 좌우 방향의 각각에 대해 경사되어 연장 설치해도 되고, 그것들을 서로 직교하지 않는 방향으로 연장 설치해도 되고, 리니어 모터(38)의 슬라이더로 리니어 모터(39)를 지지하고, 리니어 모터(39)의 슬라이더(39A)로 프레임(37)을 지지해도 되고, 장력 검출 수단으로서 압력 센서나 레귤레이터 등, 접착 시트(AS)의 장력을 측정 가능한 것이면 어느 것을 채용해도 되고, 지지 롤러(31)를 로크 가능한 구동 기기로 지지하는 구성으로서 직동 모터(33)를 생략해도 되고, 리니어 모터(38, 39)를 채용하지 않고, 가압 롤러(44)의 우측 방향으로의 이동에 수반하여, 지지 롤러(31)로부터 원반(RS)을 조출하는 구성으로 해도 된다.
절단 수단(50)은, 웨이퍼(WF) 위에 남아 있는 접착 시트 부분(AS1)의 형상으로 하여, 웨이퍼(WF)의 피착면(WF1)과 동일 형상으로 절단하지 않고, 상이한 형상으로 절단하거나, 피착면(WF1)보다도 크게 절단하거나, 피착면(WF1)보다도 작게 절단하거나 해도 된다.
회수 수단(60)은, 구동 롤러(63) 및 핀치 롤러(64)를 채용하지 않고, 외측 테이블(22)로부터 직접 회수 롤러(65)로 불필요 시트(US)를 회수하는 구성으로 해도 되고, 프레임(61)이나 회수 롤러(65) 등을 피착면(WF1)에 따라 이동시키지 않고 불필요 시트(US)를 회수하는 구성으로 해도 된다.
이송 수단(70)은, 내측 테이블(21)을 먼저 상승시킨 후, 개구(22C)를 통과시키지 않고 상측으로부터 지지면(21A) 위에 웨이퍼(WF)를 적재해도 되고, 절단 수단(50)과는 별체의 독립된 구성으로 해도 되고, 다른 장치로 피착체의 이송을 행하는 경우, 없어도 된다.
또한, 본 발명에 있어서의 접착 시트(AS), 웨이퍼(WF) 위에 남아 있는 접착 시트 부분(AS1) 및 피착체의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되지는 않는다. 예를 들어, 접착 시트(AS) 및 웨이퍼(WF) 위에 남게 하는 접착 시트 부분(AS1)은, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 외의 형상이어도 되고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 되고, 감열 접착성의 접착 시트(AS)가 채용된 경우에는, 당해 접착 시트를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프 등의 가열측 등의 가열 수단을 설치한다고 하는 적절한 방법으로 접착하면 된다. 또한, 접착 시트(AS)는, 예를 들어 접착제층 만의 단층의 것, 기재 시트와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재 시트의 상면에 커버층을 갖는 등 3층 이상의 것, 또한, 기재 시트를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또한, 피착체로서는, 예를 들어 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 글래스판, 강판, 도자기, 목판 또는 수지판 등, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트(AS)를 기능적, 용도적인 판독 방식으로 변환하고, 예를 들어 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이아 터치 필름, 다이본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 형상의 임의의 시트, 필름, 테이프 등을 전술한 바와 같은 임의의 피착체에 부착할 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 이들 수단 및 공정에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 달성할 수 있는 한 전혀 한정될 일은 없고, 더욱이, 상기 실시 형태로 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정될 일은 없다. 예를 들어, 가압 수단은, 피착체에 접착 시트를 가압하여 부착되는 것이라면, 출원 당초의 기술 상식에 비추어, 그 기술 범위 내의 것이면 전혀 한정되는 것은 없다(다른 수단 및 공정에 대한 설명은 생략함).
또한, 상기 실시 형태에서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다(실시 형태로 예시한 것과 중복되는 경우도 있음).
상기 실시 형태에 있어서, 롤러가 채용되어 있는 경우, 각 롤러를 회전 구동시키는 구동 기기를 구비해도 되고, 각 롤러의 표면을 고무나 수지 등의 탄성 변형이 가능한 부재로 구성해도 되고, 각 롤러를 탄성 변형하지 않는 부재로 구성해도 되고, 가압 롤러나 가압 헤드 등의 가압 수단이나 가압 부재가 채용되어 있는 경우, 상기에서 예시한 것 대신에 또는 병용하여, 롤러, 환봉, 블레이드재, 고무, 수지, 스펀지 등에 의한 가압 부재를 채용하거나, 대기나 가스 등의 에어의 분사에 의해 가압하는 구성을 채용하거나 해도 되고, 가압 수단이나 가압 부재의 가압부를 고무나 수지 등의 탄성 변형이 가능한 부재로 구성해도 되고, 탄성 변형하지 않는 부재로 구성해도 되고, 박리 수단이나 박리 부재가 채용되어 있는 경우, 판상 부재, 환봉, 롤러 등으로 구성해도 되고, 지지(보유 지지) 수단이나 지지(보유 지지) 부재 등의 피지지 부재를 지지 또는 보유 지지하는 구성의 것이 채용되어 있는 경우, 메카니컬 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 피 지지 부재를 지지(보유 지지)하는 구성을 채용해도 되고, 절단 수단이나 절단날이 채용되어 있는 경우, 상기에서 예시한 것 대신에 또는 병용하여, 커터 날, 레이저 커터, 이온 빔, 화력, 열, 수압, 전열선, 기체나 액체와 같은 분사 등의 절단 부재를 채용하거나, 적당한 구동 기기를 조합한 것으로 절단 부재를 이동시켜 절단하도록 하거나 해도 된다.

Claims (5)

  1. 피착체를 지지하는 지지 수단과,
    상기 지지 수단으로 지지된 피착체에 접착 시트를 가압하여 부착하는 가압 수단과,
    상기 피착체에 접착 시트 부분이 남도록 당해 피착체에 부착된 접착 시트를 소정 형상으로 절단하는 절단 수단과,
    상기 지지 수단 위를 이동하면서 상기 접착 시트에 있어서의 상기 접착 시트 부분 이외의 불필요 시트를 회수하는 회수 수단을 구비하고,
    상기 지지 수단은, 상기 회수 수단에 의한 상기 불필요 시트의 회수 중에, 상기 지지 수단으로의 피착체의 반입 및 상기 지지 수단으로부터의 피착체의 반출 의 적어도 한쪽이 허용 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 부착 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지 수단은, 상기 피착체를 지지하는 피착체 지지 수단과, 당해 피착체 지지 수단의 외측에 위치해 상기 불필요 시트를 지지하는 불필요 시트 지지 수단과, 상기 피착체 지지 수단 및 상기 불필요 시트 지지 수단을 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 부착 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 불필요 시트 지지 수단은, 상기 피착체를 출입 가능한 개구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 부착 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 피착체 지지 수단 및 당해 피착체 지지 수단에 지지된 지지 대상물의 적어도 한쪽의 표면을 청소하는 청소 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 부착 장치.
  5. 피착체를 지지 수단으로 지지하는 지지 공정과,
    상기 지지 수단으로 지지된 피착체에 접착 시트를 가압하여 부착되는 가압 공정과,
    상기 피착체에 접착 시트 부분이 남도록 당해 피착체에 부착된 접착 시트를 소정 형상으로 절단하는 절단 공정과,
    상기 지지 수단 위를 이동하면서 상기 접착 시트에 있어서의 상기 접착 시트 부분 이외의 불필요 시트를 회수하는 회수 공정을 구비하고,
    상기 회수 공정에 의한 상기 불필요 시트의 회수 중에, 상기 지지 수단에의 피착체의 반입 및 상기 지지 수단으로부터의 피착체의 반출의 적어도 한쪽을 실시하는 것을 특징으로 하는 시트 부착 방법.
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