KR20230044356A

KR20230044356A - 시트 공급 장치 및 시트 공급 방법

Info

Publication number: KR20230044356A
Application number: KR1020227039990A
Authority: KR
Inventors: 요시아키 스기시타
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2020-08-07
Filing date: 2021-08-04
Publication date: 2023-04-04
Also published as: WO2022030535A1; CN115697850A; TW202212205A; JP7129447B2; JP2022030571A; JP2022172188A

Abstract

박리 시트로부터 접착 시트를 박리하는 타이밍이 원하는 타이밍으로부터 어긋나는 것을 방지할 수 있는 시트 공급 장치는, 띠상의 박리 시트(RL)에 접착 시트(AS)가 소정의 간격을 두고 가착된 원반(RS)의 조출과 상기 원반(RS)의 조출 정지를 반복하여 상기 원반(RS)의 간헐 이송을 행하는 조출 수단(20)과, 조출 수단(20)에 의해 조출된 원반(RS)의 접착 시트(AS)를 박리 시트(RL)로부터 박리하는 박리 수단(30)을 구비하고, 조출 수단(20)은, 원반(RS)의 조출 정지 중에 상기 원반(RS)의 이동을 억제하는 제동 상태를 유지한다.

Description

시트 공급 장치 및 시트 공급 방법

본 발명은 시트 공급 장치 및 시트 공급 방법에 관한 것이다.

접착 시트를 공급하는 시트 공급 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

일본 특허공개 2008-174247호 공보

특허문헌 1에 기재된 시트 첩부 장치(1)(시트 공급 장치)에서는, 원반(R)(원반(原反))의 조출(繰出)과 상기 원반의 조출 정지를 반복하는 간헐 이송을 행하고 있는 동안에 있어서, 장력 조정 롤러(3)(조출 수단)가 정지되어 있는 조출 정지 시, 상기 조출 수단에서의 원반의 예기치 못한 조출이나 되돌아감과 같은 원반의 조출 미스가 발생해 버리는 경우가 있다. 이와 같이 원반의 조출 미스가 발생하면, 필플레이트(5)(박리 수단)에서 박리 시트(RL)(박리 시트)로부터 접착 시트(S)(접착 시트)를 박리하는 타이밍이 원하는 타이밍으로부터 어긋나 버려, 상기 접착 시트를 웨이퍼(W)(피착체)의 소정의 위치에 첩부할 수 없게 된다는 문제가 발생한다.

본 발명의 목적은, 박리 시트로부터 접착 시트를 박리하는 타이밍이 원하는 타이밍으로부터 어긋나는 것을 방지할 수 있는 시트 공급 장치 및 시트 공급 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용했다.

본 발명에 의하면, 원반의 조출 정지 중에 원반의 이동을 억제하는 제동 상태가 유지되므로, 원반의 조출 미스가 발생하지 않게 된다. 따라서, 박리 시트로부터 접착 시트를 박리하는 타이밍이 원하는 타이밍으로부터 어긋나는 것을 방지할 수 있다.

도 1의 (A)는 본 발명의 일 실시형태에 따른 시트 공급 장치가 채용된 시트 첩부 장치의 설명도이며, (B), (C)는 본 발명의 변형예에 따른 설명도이다.

이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

또, 본 실시형태에서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X축 및 Y축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, Y축과 평행한 도 1 중 앞쪽 방향에서 보았을 경우를 기준으로 하고, 도면을 지정하지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상」은 Z축의 화살표 방향이고 「하」는 그 역방향, 「좌」는 X축의 화살표 방향이고 「우」는 그 역방향, 「전」은 Y축과 평행한 도 1 중 앞쪽 방향이고 「후」는 그 역방향으로 한다.

본 발명의 시트 공급 장치(EA)가 채용된 시트 첩부 장치(EA1)는, 띠상(帶狀)의 박리 시트(RL)에 접착 시트(AS)가 소정의 간격을 두고 가착(假着)된 원반(RS)을 조출 가능하게 지지하는 지지축(11)과 가이드 롤러(12)를 갖는 원반 지지 수단(10)과, 원반(RS)의 조출과 상기 원반(RS)의 조출 정지를 반복하여 상기 원반(RS)의 간헐 이송을 행하는 조출 수단(20)과, 조출 수단(20)에 의해 조출된 원반(RS)의 접착 시트(AS)를 박리 시트(RL)로부터 박리하는 박리판(31)을 갖는 박리 수단(30)과, 박리 수단(30)에 의해 박리된 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압(押壓)하여 첩부하는 압압 롤러(41)를 갖는 압압 수단(40)과, 박리 수단(30)에 의해 접착 시트(AS)가 박리된 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 수단(50)을 구비하고, 피착체(WK)를 반송하는 피착체 반송 수단(60)의 근방에 배치되어 있다.

또, 본 발명의 시트 공급 장치(EA)는, 조출 수단(20)과 박리 수단(30)과 회수 수단(50)으로 구성되어 있다.

조출 수단(20)은, 도시하지 않은 브레이크 수단을 갖는 구동 기기로서의 회동 모터(21)와, 그 도시하지 않은 출력축에 지지되고, 핀치 롤러(23)에서 원반(RS)을 끼워넣는 구동 롤러(22)를 구비한다. 조출 수단(20)은, 원반(RS)의 조출 정지 중에 상기 원반(RS)의 이동을 억제하는 제동 상태를 유지하는 구성으로 되어 있다. 본 실시형태의 경우, 회동 모터(21)로서 브레이크 부착 모터가 채용되고, 상기 브레이크 부착 모터의 전자 브레이크가 브레이크 수단으로서 기능함으로써, 원반(RS)의 이동을 억제하는 구성으로 되어 있다.

회수 수단(50)은, 구동 기기로서의 회동 모터(51)와, 그 도시하지 않은 출력축에 지지되고, 핀치 롤러(53)에서 박리 시트(RL)를 끼워넣는 구동 롤러(52)와, 도시하지 않은 구동 기기의 출력축에 지지되고, 상기 시트 첩부 장치(EA1)(시트 공급 장치(EA))의 자동 운전이 행해지고 있는 동안, 핀치 롤러(53)와의 사이에 존재하는 박리 시트(RL)에 항상 소정의 장력을 부여하는 회수 롤러(54)를 구비한다. 회수 수단(50)은, 원반(RS)의 조출 정지 중에, 조출 수단(20)과의 사이에 존재하는 박리 시트(RL)에, 항상 회수력을 부여하는 구성으로 되어 있다. 이에 따라, 회수 수단(50)의 측으로부터 박리 시트(RL)가 되돌아가, 조출 수단(20)과 회수 수단(50) 사이에 박리 시트(RL)의 느슨함이 생기는 것을 방지할 수 있다.

또, 회수 수단(50)은, 원반(RS)의 조출 중에 박리 시트(RL)에 부여하는 조출 중 장력과, 원반(RS)의 조출 정지 중에 박리 시트(RL)에 부여하는 정지 중 장력이 서로 다른 값이 되도록 제어된다. 본 실시형태의 경우, 정지 중 장력이 조출 중 장력보다 작은 값이 되도록 설정되고, 원반(RS)에 조출력을 부여하지 않았을 때에, 박리 시트(RL)에 장력을 지나치게 부여하여 상기 박리 시트(RL)가 끊어지거나 손상되는 것을 방지한다.

피착체 반송 수단(60)은, 구동 기기로서의 리니어 모터(61)의 슬라이더(61A)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단(유지 수단)에 의해 흡착 유지가 가능한 유지면(62A)을 갖는 지지 테이블(62)을 구비하고 있다.

이상의 시트 공급 장치(EA)가 채용된 시트 첩부 장치(EA1)의 동작을 설명한다.

우선, 도 1의 (A) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에 각 부재가 배치된 시트 첩부 장치(EA1)에 대해, 상기 시트 첩부 장치(EA1)의 사용자(이하, 단순히 「사용자」라고 함)가 동(同) 도면과 같이 원반(RS)을 세트한 후, 도시하지 않은 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 조작 수단을 통해 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그러면, 조출 수단(20) 및 회수 수단(50)이 회동 모터(21, 51)를 구동하고, 원반(RS)의 조출을 행하여 선두인 접착 시트(AS)의 조출 방향 선단부가 박리판(31)의 박리 가장자리(31A)에서 소정 길이 박리되면, 조출 수단(20) 및 회수 수단(50)이 회동 모터(21, 51)의 구동을 정지하여, 원반(RS)의 조출 정지를 행한다. 또, 조출 수단(20)은, 회동 모터(21)의 구동을 정지하여 원반(RS)의 조출 정지를 행한 순간에 브레이크 수단을 구동하여, 상기 조출 수단(20)에 있어서의 원반(RS)의 예기치 못한 조출이나 되돌아감이 발생하지 않도록, 구동 롤러(22)의 회동을 억제하여 원반(RS)의 이동을 억제하는 제동 상태를 유지한다.

그 다음에, 사용자 또는 다관절 로봇이나 벨트 컨베이어 등의 도시하지 않은 반송 수단이, 지지 테이블(62) 상에 피착체(WK)를 재치(載置)하면, 피착체 반송 수단(60)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하여, 지지면(62A)에서의 피착체(WK)의 흡착 유지를 개시한다. 그 후, 피착체 반송 수단(60)이 리니어 모터(61)를 구동하여, 지지 테이블(62)을 좌측으로 이동시키고, 피착체(WK)가 소정의 위치에 도달하면, 조출 수단(20)이 브레이크 수단을 구동하여, 제동 상태를 해제한 후, 조출 수단(20) 및 회수 수단(50)이 회동 모터(21, 51)를 구동하여, 피착체(WK)의 이동 속도에 맞추어 원반(RS)의 조출을 행한다. 이에 따라, 접착 시트(AS)가 박리 시트(RL)로부터 박리되고, 상기 박리 시트(RL)로부터 박리된 접착 시트(AS)는, 도 1의 (A) 중 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 압압 롤러(41)에 의해 피착체(WK)에 압압되어 첩부된다. 다음으로, 선두인 접착 시트(AS) 전체가 피착체(WK)에 첩부되어 일체물(UP)이 형성되고, 상기 선두인 접착 시트(AS)에 이어지는 다음의 접착 시트(AS)의 조출 방향 선단부가 박리판(31)의 박리 가장자리(31A)에서 소정 길이 박리되면, 조출 수단(20) 및 회수 수단(50)이 회동 모터(21, 51)의 구동을 정지하여, 원반(RS)의 조출 정지를 행한다. 여기에서도 또한, 조출 수단(20)은, 회동 모터(21)의 구동을 정지하여 원반(RS)의 조출 정지를 행한 순간에 브레이크 수단을 구동하여, 상기와 마찬가지로 해서 제동 상태를 유지한다. 그리고, 일체물(UP)이 압압 롤러(41)의 왼쪽 소정 위치에 도달하면, 피착체 반송 수단(60)이 리니어 모터(61)의 구동을 정지한 후, 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지하여, 지지면(62A)에서의 피착체(WK)의 흡착 유지를 해제한다. 그 다음에, 사용자 또는 도시하지 않은 반송 수단이 일체물(UP)을 다음 공정으로 반송하면, 피착체 반송 수단(60)이 리니어 모터(61)를 구동하여, 지지 테이블(62)을 초기 위치로 복귀시키고, 이후 상기 마찬가지의 동작이 반복된다.

이상과 같은 실시형태에 의하면, 원반(RS)의 조출 정지 중에 원반(RS)의 이동을 억제하는 제동 상태가 유지되므로, 원반(RS)의 조출 미스가 발생하는 일이 없어진다. 따라서, 박리 시트(RL)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 타이밍이 원하는 타이밍으로부터 어긋나는 것을 방지할 수 있다.

본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대해서 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 하등 한정되지 않고, 하물며, 상기 실시형태에서 나타낸 단순한 일 실시형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되지 않는다. 예를 들면, 박리 수단은, 조출 수단에 의해 조출된 원반의 접착 시트를 박리 시트로부터 박리 가능한 것이면 어떠한 것이어도 좋고, 출원 당초의 기술 상식에 비추어 그 기술 범위 내의 것이면 하등 한정되지 않는다(기타 수단 및 공정도 동일).

원반 지지 수단(10)은, 박리 시트(RL)에 가착된 띠상의 접착 시트 기재(基材)에 폐(閉)루프상 또는 단치수 폭 방향 전체의 노치가 형성됨으로써, 그 노치에 의해 구획된 소정의 영역이 접착 시트(AS)가 된 원반을 조출 가능하게 지지하는 것이어도 좋고, 띠상의 접착 시트 기재가 박리 시트(RL)에 가착된 원반을 조출 가능하게 지지하고, 상기 원반을 조출하는 도중에 접착 시트 기재에 폐루프상 또는 단치수 폭 방향 전체의 노치를 절단 수단으로 형성함으로써, 그 노치에 의해 구획된 소정의 영역을 접착 시트(AS)로 하는 것이어도 좋고, 폐루프상의 노치의 내측이 접착 시트(AS)가 되고, 외측이 불필요한 시트가 된 원반을 조출 가능하게 지지하는 것이어도 좋고, 원반(RS)을 권회(卷回)하는 일 없이 예를 들면 팬폴드로 접어 조출 가능하게 지지하는 것이어도 좋다. 원반 지지 수단(10)은, 본 발명의 시트 공급 장치(EA)나 시트 첩부 장치(EA1)에 구비되어 있어도 좋고, 구비되어 있지 않아도 좋고, 원반 지지 수단(10)이 본 발명의 시트 공급 장치(EA)나 시트 첩부 장치(EA1)에 구비되어 있지 않은 경우에는, 다른 장치에서 원반(RS)을 조출 가능하게 지지하는 구성을 마련해도 좋다.

조출 수단(20)은, 회동 모터(21)로서 서보 모터를 채용하고, 상기 서보 모터의 서보 로크를 브레이크 수단으로 함으로써 제동 상태를 유지해도 좋고, 브레이크 수단을 구비하지 않은 회동 모터(21)와, 브레이크 수단으로서의 척 실린더 등의 구동 기기를 채용하고, 상기 척 실린더 등의 구동 기기에서 구동 롤러(22)나 원반(RS)을 끼워넣어 제동 상태를 유지해도 좋고, 원반(RS)의 조출 정지 중에 제동 상태를 유지할 수 있으면 어떠한 것이어도 좋다.

압압 수단(40)은, 압압 롤러(41)를 피착체(WK)에 이간 접근시키는 압압 부재 접리(接離) 수단으로서의 구동 기기를 채용하여, 피착체(WK)에 스트레스가 걸리거나 손상되는 것을 방지하도록 해도 좋고, 도 1의 (C)에 나타내는 바와 같이, 구동 기기로서의 직동 모터(42)와, 그 출력축(42A)에 지지되어, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단(유지 수단)에 의해 흡착 유지가 가능한 유지면(43A)을 갖는 유지 부재(43)로 구성되고, 박리 수단(30)에 의해 박리 시트(RL)로부터 박리된 접착 시트(AS)를 유지면(43A)에서 흡착 유지하고, 유지한 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압하여 첩부하는 것이어도 좋다. 압압 수단(40)은, 본 발명의 시트 공급 장치(EA)나 시트 첩부 장치(EA1)에 구비되어 있어도 좋고, 구비되어 있지 않아도 좋고, 압압 수단(40)이 본 발명의 시트 공급 장치(EA)나 시트 첩부 장치(EA1)에 구비되어 있지 않은 경우에는, 다른 장치에서 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압하는 구성을 마련해도 좋다.

회수 수단(50)은, 원반(RS)의 조출 정지 중에, 조출 수단(20)과의 사이에 존재하는 박리 시트(RL)에, 소정의 타이밍에 회수력을 부여하는 구성으로 해도 좋고, 상기 소정의 타이밍으로서는, 예를 들면, 조출 수단(20)이 조출력의 부여를 정지한 후에 이어지는 소정의 시간이어도 좋고, 조출 수단(20) 및 회수 수단(50)이 조출력 및 회수력의 부여를 정지한 후, 1회 또는 소정의 시간 간격의 복수 회여도 좋다.

회수 수단(50)은, 조출 중 장력이 정지 중 장력과 같은 값이 되도록 설정되어 있어도 좋고, 조출 중 장력이 정지 중 장력보다 작은 값이 되도록 설정되어 있어도 좋고, 도 1의 (B)에 나타내는 바와 같이, 박리 가장자리(31A)와 구동 롤러(52) 사이에 위치하는 박리 시트(RL)의 느슨함을 검출하는 카메라나 투영기 등의 촬상 수단이나, 광학 센서나 초음파 센서 등의 각종 센서 등의 느슨함 검지 수단(54)을 구비하고 있어도 좋다. 이 경우, 느슨함 검지 수단(54)이 박리 시트(RL)의 느슨함을 검지하면, 회수 수단(50)이 회동 모터(51)를 구동하여 박리 시트(RL)의 느슨함을 해소할 수 있다. 또, 이러한 느슨함 검지 수단(54)은, 박리 가장자리(31A)보다 원반 조출 방향 상류 측에서 박리 시트(RL)의 느슨함을 검지해도 좋고, 센서 암(arm)을 박리 시트(RL)에 접촉시켜 느슨함을 검지하는 접촉형 센서나 압력 센서가 채용되어도 좋다.

회수 수단(50)은, 회수한 박리 시트(RL)를 팬폴드로 접거나, 슈레더 등으로 잘라내거나, 아무렇게나 집적(集積)해도 좋다. 회수 수단(50)은, 본 발명의 시트 공급 장치(EA)나 시트 첩부 장치(EA1)에 구비되어 있어도 좋고, 구비되어 있지 않아도 좋고, 회수 수단(50)이 본 발명의 시트 공급 장치(EA)나 시트 첩부 장치(EA1)에 구비되어 있지 않은 경우에는, 다른 장치에서 박리 시트(RL)를 권취(卷取)하거나 수집하는 구성을 마련해도 좋다.

피착체 반송 수단(60)은, 지지 테이블(62)을 전후 방향으로 이동시키는 구동 기기를 채용하여 피착체(WK)의 위치 결정을 행해도 좋고, 도 1의 (C)에 나타내는 바와 같은 벨트 컨베이어(63)를 채용해도 좋다. 피착체 반송 수단(60)은, 본 발명의 시트 공급 장치(EA)나 시트 첩부 장치(EA1)에 구비되어 있어도 좋고, 구비되어 있지 않아도 좋다.

시트 공급 장치(EA)는, 천지(天地) 반전하여 배치하거나 가로 방향으로 배치하여, 접착 시트(AS)를 공급해도 좋고, 예를 들면, 접착 시트(AS)를 복수 매씩 쌓아 올리는 접착 시트 스태킹(stacking) 장치나, 접착 시트(AS)를 다른 박리 시트에 전사(轉寫)하는 전사 장치 등, 시트 첩부 장치(EA1, EA2) 이외의 것을 구성하는 구성물로서 사용해도 좋고, 접착 시트(AS)를 사람 손으로 피착체(WK)에 첩부하는 반자동의 시트 첩부 장치로서 단독으로 사용해도 좋다.

시트 첩부 장치(EA1)는, 상기의 실시형태에서는, 이동하지 않는 시트 공급 장치(EA) 및 압압 수단(40)에 대하여 피착체(WK)를 이동시켜, 상기 피착체(WK)에 접착 시트(AS)를 첩부했지만, 피착체(WK)를 이동시키지 않거나 또는, 피착체(WK)를 이동시키면서, 시트 공급 장치(EA) 및 압압 수단(40)을 이동시켜, 상기 피착체(WK)에 접착 시트(AS)를 첩부해도 된다.

본 발명에 있어서의 접착 시트(AS) 및 피착체(WK)의 재질, 종별, 형상 등은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 접착 시트(AS) 및 피착체(WK)는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 기타 형상이어도 좋고, 접착 시트(AS)는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 좋고, 감열 접착성의 접착 시트(AS)가 채용된 경우에는, 상기 접착 시트(AS)를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프의 가열 측 등의 가열 수단을 마련하는 등 적절한 방법으로 접착되면 좋다. 또한, 이러한 접착 시트(AS)는, 예를 들면, 접착제층만인 단층의 것, 기재와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖는 등 3층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 좋고, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 좋다. 또한, 피착체(WK)로서는, 예를 들면, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 좋고, 그들 2개 이상으로 형성된 복합물이어도 좋고, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또, 접착 시트(AS)는, 기능적, 용도적인 판독법이 이루어지는 것으로 바꾸고, 예를 들면, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등과 같은 것이어도 좋다.

상기 실시형태에서의 구동 기기에는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 2축 또는 3축 이상의 관절을 구비한 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 그들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.

상기 실시형태에서, 롤러 등의 회전 부재가 채용되고 있는 경우, 상기 회전 부재를 회전 구동시키는 구동 기기를 구비해도 좋고, 회전 부재의 표면이나 회전 부재 자체를 고무나 수지 등의 변형 가능한 부재로 구성해도 좋고, 회전 부재의 표면이나 회전 부재 자체를 변형하지 않는 부재로 구성해도 좋고, 롤러 대신에 회전하거나 또는 회전하지 않는 샤프트나 블레이드 등의 다른 부재를 채용해도 좋고, 압압 롤러나 압압 헤드 등의 압압 수단이나 압압 부재와 같은 피압압물을 압압하는 것이 채용되고 있는 경우, 상기에서 예시한 것을 대신하거나 또는 병용하여, 롤러, 환봉(丸棒), 블레이드재, 브러시상(brush狀) 부재 외, 대기나 가스 등의 기체의 분사에 의한 것을 채용해도 좋고, 압압하는 것을 고무, 수지, 스펀지 등의 변형 가능한 부재로 구성해도 좋고, 금속이나 수지 등의 변형하지 않는 부재로 구성해도 좋고, 박리판이나 박리 롤러 등의 박리 수단이나 박리 부재와 같은 피박리물을 박리하는 것이 채용되고 있는 경우, 상기에서 예시한 것을 대신하거나 또는 병용하여, 판상 부재, 환봉, 롤러 등의 부재를 채용해도 좋고, 박리하는 것을 고무나 수지 등의 변형 가능한 부재로 구성해도 좋고, 변형하지 않는 부재로 구성해도 좋고, 지지(유지) 수단이나 지지(유지) 부재 등의 피지지 부재(피유지 부재)를 지지(유지)하는 것이 채용되고 있는 경우, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롱력, 접착제(접착 시트, 접착 테이프), 점착제(점착 시트, 점착 테이프), 자력(磁力), 베르누이 흡착, 흡인 흡착, 구동 기기 등으로 피지지 부재를 지지(유지)하는 구성을 채용해도 좋고, 절단 수단이나 절단 부재 등의 피절단 부재를 절단 또는, 피절단 부재에 노치나 절단선을 형성하는 것이 채용되고 있는 경우, 상기에서 예시한 것을 대신하거나 또는 병용하여, 커터 블레이드, 레이저 커터, 이온 빔, 화력, 열, 수압, 전열선, 기체나 액체 등의 분사 등으로 절단하는 것을 채용하거나, 적절한 구동 기기를 조합한 것으로 절단하는 것을 이동시켜 절단하도록 해도 좋다.

EA: 시트 공급 장치
20: 조출 수단
30: 박리 수단
50: 회수 수단
AS: 접착 시트
RS: 원반
RL: 박리 시트

Claims

띠상의 박리 시트에 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 원반의 조출과 상기 원반의 조출 정지를 반복하여 상기 원반의 간헐 이송을 행하는 조출 수단과,
상기 조출 수단에 의해 조출된 상기 원반의 상기 접착 시트를 상기 박리 시트로부터 박리하는 박리 수단을 구비하고,
상기 조출 수단은, 상기 원반의 조출 정지 중에 상기 원반의 이동을 억제하는 제동 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 박리 수단에 의해 상기 접착 시트가 박리된 상기 박리 시트를 회수하는 회수 수단을 구비하고,
상기 회수 수단은, 상기 원반의 조출 정지 중에, 상기 조출 수단과의 사이에 존재하는 상기 박리 시트에, 항상 또는 소정의 타이밍에 회수력을 부여하는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 장치.
제2항에 있어서,
상기 회수 수단은, 상기 원반의 조출 중에 상기 박리 시트에 부여하는 조출 중 장력과, 상기 원반의 조출 정지 중에 상기 박리 시트에 부여하는 정지 중 장력이 서로 다른 값이 되도록 제어되는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 장치.
띠상의 박리 시트에 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 원반의 조출과 상기 원반의 조출 정지를 반복하여 상기 원반의 간헐 이송을 행하는 조출 공정과,
상기 조출 공정에서 조출된 상기 원반의 상기 접착 시트를 상기 박리 시트로부터 박리하는 박리 공정과,
상기 박리 공정에서 상기 접착 시트가 박리된 상기 박리 시트를 회수하는 회수 공정을 실시하고,
상기 조출 공정에서는, 상기 원반의 조출 정지 중에 상기 원반의 이동을 억제하는 제동 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 방법.