KR20230025772A - 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법 - Google Patents
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Abstract
공급 선단부에 주름이나 기포가 형성된 상태로 접착 시트가 피착체에 첩부되는 것을 방지할 수 있는 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법을 제공한다. 시트 첩부 장치(EA)는, 접착 시트(AS)를 공급하는 시트 공급 수단(10)과, 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압하는 압압 롤러(22)를 갖고, 상기 압압 롤러(22)에 대하여 상대 이동하는 피착체(WK)에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부하는 압압 수단(20)을 구비하고, 압압 수단(20)은, 압압 롤러(22)에 의해 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압하기 전의 단계에서, 압압 롤러(22)를 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 당접시키고, 상기 피착면(WK1) 상에서 압압 롤러(22)를 회전시켜 둔다.
Description
본 발명은, 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법에 관한 것이다.
피착체에 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1에 기재된 시트 첩부 장치(10)(시트 첩부 장치)에서는, 조출(繰出) 수단(14)(시트 공급 수단)이 접착 시트(AS)(접착 시트)를 공급했을 때, 상기 접착 시트의 공급 방향 선단부(이하, 「접착 시트의 공급 방향 선단부」를 단순히 「공급 선단부」라고도 함)가 압압 롤러(19)(압압 롤러)에 접촉하면, 상기 접착 시트의 진행이 일시적으로 저해되어, 공급 선단부에 주름이나 기포가 형성된 상태로 접착 시트가 링 프레임(RF)(피착체)에 첩부된다는 문제를 발생시킨다.
본 발명의 목적은, 공급 선단부에 주름이나 기포가 형성된 상태로 접착 시트가 피착체에 첩부되는 것을 방지할 수 있는 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용했다.
본 발명에 의하면, 공급 선단부가 압압 롤러에 접촉했다고 해도, 상기 압압 롤러가 회전하고 있으므로, 접착 시트의 진행이 일시적으로 저해될 일은 없다. 따라서, 공급 선단부에 주름이나 기포가 형성된 상태로 접착 시트가 피착체에 첩부되는 것을 방지할 수 있다.
도 1의 (A)는 본 발명의 일 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 설명도, (B) ∼ (E)는 시트 첩부 장치의 동작 설명도.
이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.
또, 본 실시형태에서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X축 및 Y축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, Y축과 평행한 도 1 중 앞쪽 방향에서 봤을 경우를 기준으로 하고, 도면을 지정하는 일 없이 방향을 나타냈을 경우, 「상」은 Z축의 화살표 방향이고 「하」는 그 역방향, 「좌」는 X축의 화살표 방향이고 「우」는 그 역방향, 「전」은 Y축과 평행한 도 1 중 앞쪽 방향이고 「후」는 그 역방향으로 한다.
본 발명의 시트 첩부 장치(EA)는, 접착 시트(AS)를 공급하는 시트 공급 수단(10)과, 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압하는 압압 롤러(22)를 갖고, 상기 압압 롤러(22)에 대하여 상대 이동하는 피착체(WK)에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부하는 압압 수단(20)을 구비하고, 피착체(WK)를 반송하는 피착체 반송 수단(30)의 근방에 배치되어 있다.
시트 공급 수단(10)은, 박리 시트(RL)에 가착(假着)된 접착 시트(AS)를 상기 박리 시트(RL)로부터 박리하여 공급 가능하게 마련되어 있다.
즉, 시트 공급 수단(10)은, 접착 시트(AS)가 띠상(帶狀)의 박리 시트(RL)에 가착된 원반(RS)을 지지하는 지지 롤러(11)와, 원반(RS)을 안내하는 가이드 롤러(12)와, 박리 가장자리(13A)에서 박리 시트(RL)를 되접고, 상기 박리 시트(RL)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 박리 수단으로서의 박리판(13)과, 구동 기기로서의 회동 모터(14A)의 도시하지 않은 출력축에 지지되고, 핀치 롤러(14B)에 의해 박리 시트(RL)를 사이에 끼우는 구동 롤러(14)와, 도시하지 않은 구동 기기의 출력축에 지지되고, 시트 첩부 장치(EA)의 자동 운전이 행해지고 있는 동안, 핀치 롤러(14B)와의 사이에 존재하는 박리 시트(RL)에 항상 소정의 장력을 부여하고, 상기 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 수단으로서의 회수 롤러(15)를 구비하고 있다.
압압 수단(20)은, 박리판(13)에 지지된 브래킷(21)과, 브래킷(21)에 회전 가능하게 지지되고, 압압면(22A)에서 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압하는 압압 롤러(22)를 구비하고, 압압 롤러(22)에 의해 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압하기 전의 단계에서, 압압 롤러(22)를 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 당접시키고, 상기 피착면(WK1) 상에서 압압 롤러(22)를 회전시켜 두는 구성으로 되어 있다.
또, 본 실시형태의 압압 롤러(22)는, 피착체(WK)에 당접함으로써 변형하도록 되어 있다.
피착체 반송 수단(30)은, 구동 기기로서의 리니어 모터(31)의 슬라이더(31A)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단(유지 수단)에 의해 흡착 유지가 가능한 유지면(32A)을 갖는 지지 테이블(32)을 구비하고 있다.
이상과 같은 시트 첩부 장치(EA)에서는, 도 1의 (B)에 나타내는 바와 같이, 피착체(WK)는, 피착면(WK1)이 소정의 이동 평면(SF) 내에서 이동되는 구성으로 되어 있고, 이동 평면(SF)은, 상기 이동 평면(SF)에 가장 가까운 위치에서 압압 롤러(22)에 접하는 상기 이동 평면(SF)과 평행한 제1 평면(SF1)과, 피착면(WK1)이 이동하는 이동 범위(AR) 내에서, 상기 이동 평면(SF)에 가장 가까운 위치에서 박리 시트(RL)에 접하는 상기 이동 평면(SF)과 평행한 제2 평면(SF2) 사이에 위치하고 있다. 그리고, 압압 롤러(22)는, 피착면(WK1)과의 당접 부위(22B)가 제1 평면(SF1)과 제2 평면(SF2) 사이에서 변형하고, 피착면(WK1) 상에서 회전하도록 되어 있다.
또한, 압압 롤러(22)는, 제1 평면(SF1)과, 제2 평면(SF2)보다 접착 시트(AS)의 두께만큼 이동 평면(SF) 측으로부터 떨어진 상기 이동 평면(SF)과 평행한 제3 평면(SF3) 사이에서 당접 부위(22B)가 변형하며, 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 압압하여 첩부하도록 되어 있다.
이상의 시트 첩부 장치(EA)의 동작을 설명한다.
먼저, 도 1의 (A) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에 각 부재가 배치된 시트 첩부 장치(EA)에 대해, 상기 시트 첩부 장치(EA)의 사용자(이하, 단순히 「사용자」라고 함)가 동(同) 도면과 같이 원반(RS)을 세트한 후, 도시하지 않은 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 조작 수단을 통해 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그러면, 시트 공급 수단(10)이 회동 모터(14A)를 구동하고, 원반(RS)을 조출하여 선두인 접착 시트(AS)의 조출 방향 선단부가 박리판(13)의 박리 가장자리(13A)에서 소정 길이 박리되면, 회동 모터(14A)의 구동을 정지한다. 그 다음에, 사용자 또는 다관절 로봇이나 벨트 컨베이어 등의 도시하지 않은 반송 수단이, 지지 테이블(32) 상에 피착체(WK)를 재치(載置)하면, 피착체 반송 수단(30)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하여, 지지면(32A)에서의 피착체(WK)의 흡착 유지를 개시한다.
그 후, 피착체 반송 수단(30)이 리니어 모터(31)를 구동하여, 지지 테이블(32)을 왼쪽으로 이동시키면, 피착체(WK)가 압압 롤러(22)에 당접하고, 상기 피착체(WK)에 당접한 압압 롤러(22)는, 도 1의 (C)에 나타내는 바와 같이, 변형하여 피착체(WK)의 이동에 수반하여 피착면(WK1) 상에서 회전한다. 이때, 압압 롤러(22)는, 도 1의 (C)에 나타내는 바와 같이, 제1 평면(SF1)과 제2 평면(SF2) 사이에서 변형하고, 피착면(WK1) 상에서 회전하게 된다. 다음으로, 피착체(WK)가 시트 공급 수단(10)에 대한 소정의 위치에 도달하면, 상기 시트 공급 수단(10)이 회동 모터(14A)를 구동하여, 피착체(WK)의 반송 속도와 같은 속도로 원반(RS)을 조출하고, 박리판(13)에 의해 접착 시트(AS)를 박리 시트(RL)로부터 박리하여 공급한다.
그리고, 시트 공급 수단(10)에 의해 공급된 접착 시트(AS)는, 도 1의 (D)에 나타내는 바와 같이, 압압 롤러(22)에 의해 압압되어 피착체(WK)에 첩부된다. 이때, 압압 롤러(22)는, 도 1의 (D)에 나타내는 바와 같이, 접착 시트(AS)의 두께만큼 변형량이 늘어나, 제1 평면(SF1)과 제3 평면(SF3) 사이에서 변형하고, 접착 시트(AS) 상에서 회전하게 된다. 그 다음에, 선두인 접착 시트(AS) 전체가 피착체(WK)에 첩부되어 일체물(UP)이 형성되고, 상기 선두인 접착 시트(AS)에 이어 다음 접착 시트(AS)의 조출 방향 선단부가 박리판(13)의 박리 가장자리(13A)에서 소정 길이 박리되면, 시트 공급 수단(10)이 회동 모터(14A)의 구동을 정지한다. 그 후, 일체물(UP)이 압압 롤러(22)의 왼쪽 소정 위치에 도달하면, 피착체 반송 수단(30)이 리니어 모터(31)의 구동을 정지하여, 지지 테이블(32)의 왼쪽으로의 이동을 정지시킨 후, 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지하여, 지지면(32A)에서의 피착체(WK)의 흡착 유지를 해제한다. 다음으로, 사용자 또는 도시하지 않은 반송 수단이 일체물(UP)을 다음 공정으로 반송하면, 피착체 반송 수단(30)이 리니어 모터(31)를 구동하여, 지지 테이블(32)을 초기 위치로 복귀시키고, 이후 상기와 마찬가지의 동작이 반복된다.
이상과 같은 실시형태에 의하면, 공급 선단부(AS1)가 압압 롤러(22)에 접촉했다고 해도, 상기 압압 롤러(22)가 회전하고 있으므로, 접착 시트(AS)의 진행이 일시적으로 저해될 일은 없다. 따라서, 공급 선단부(AS1)에 주름이나 기포가 형성된 상태로 접착 시트(AS)가 피착체(WK)에 첩부되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대해서 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 하등 한정되지 않고, 하물며, 상기 실시형태에서 나타낸 단순한 일 실시형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되지 않는다. 예를 들면, 시트 공급 수단은, 접착 시트를 공급 가능한 것이면 어떠한 것이어도 좋고, 출원 당초의 기술 상식에 비추어 그 기술 범위 내의 것이면 하등 한정되지 않는다(기타 수단 및 공정도 같음).
시트 공급 수단(10)은, 박리 시트(RL)에 가착된 띠상의 접착 시트 기재(基材)에 폐(閉)루프상 또는 단치수 폭방향 전체의 노치가 형성됨으로써, 그 노치에 의해 구획된 소정의 영역이 접착 시트(AS)가 된 원반을 조출하여 공급해도 좋고, 띠상의 접착 시트 기재가 박리 시트(RL)에 가착된 원반을 채용하여, 접착 시트 기재에 폐루프상 또는 단치수 폭방향 전체의 노치를 절단 수단으로 형성하고, 그 노치에 의해 구획된 소정의 영역을 접착 시트(AS)로 해도 좋고, 띠상의 접착 시트를 공급하는 구성이어도 좋고, 접착 시트(AS)를 박리 시트(RL)로부터 박리할 때, 원반(RS)에 소정의 장력이 부여되도록 회동 모터(14A)의 토크 제어를 행해도 좋고, 지지 롤러(11)나 가이드 롤러(12) 등의 각 롤러 대신에 판상(板狀) 부재나 샤프트 부재 등으로 원반(RS)이나 박리 시트(RL)를 지지하거나 안내해도 좋고, 원반(RS)을 권회(卷回)하는 일 없이, 예를 들면 팬폴드로 접힌 원반(RS)으로부터 상기 원반(RS)을 인출(引出)하도록 지지해도 좋고, 박리 시트(RL)를 팬폴드로 접거나, 슈레더 등으로 잘게 자르거나, 무작위로 집적하여 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 수단을 채용해도 좋고, 회수 수단을 채용하지 않아도 좋고, 지지 테이블(32)을 이동시키지 않거나 또는 이동시키면서, 자신이 이동하여 접착 시트(AS)를 공급해도 좋고, 박리 시트(RL)가 가착되어 있지 않은 접착 시트(AS)를 조출하여 공급해도 좋다.
시트 공급 수단(10)은, 상기 실시형태에서는, 피착체(WK)의 반송 속도와 같은 속도로 원반(RS)을 조출하여 접착 시트(AS)를 공급했지만, 공급 선단부(AS1)에 주름이나 기포가 형성되지 않도록 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 첩부할 수 있는 범위에서, 착체(WK)의 반송 속도보다 빠른 속도로 원반(RS)을 조출해도 좋고, 착체(WK)의 반송 속도보다 느린 속도로 원반(RS)을 조출해도 좋다.
압압 수단(20)은, 압압 롤러(22)가 유지면(32A)에 당접하지 않아도 좋고, 압압 롤러(22)가 유지면(32A)에 당접하여, 상기 유지면(32A) 상에서 회전해도 좋고, 압압 롤러(22)가 피착체(WK)에 당접하여 탄성 변형해도 좋고, 소성 변형해도 좋고, 압압 롤러(22)가 유지면(32A), 피착체(WK) 또는 접착 시트(AS)에 당접하여 변형하지 않아도 좋고, 상기 실시형태에서는, 이동하지 않는 압압 롤러(22)에 대하여 피착체(WK)를 이동시킴으로써, 압압 롤러(22)에 대하여 상대 이동하는 피착체(WK)에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부했지만, 피착체(WK)를 이동시키는 일 없이 또는, 피착체(WK)를 이동시키면서, 압압 롤러(22)를 이동시킴으로써, 압압 롤러(22)에 대하여 상대 이동하는 피착체(WK)에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부해도 좋고, 압압 롤러(22)로서, 브러시상의 부재에 의해 피착체(WK)에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부하는 브러시상의 압압 롤러(22)가 채용되어도 좋고, 압압 롤러(22)의 재질로서, 고무, 수지, 스폰지, 금속 등에 의해 형성된 것이 채용되어도 좋다.
피착체(WK)를 반도체 웨이퍼 및 링 프레임으로 했을 경우, 압압 롤러(22)의 영률(Young's modulus)은, 100㎫ ∼ 2000㎫인 것이 바람직하다.
[하한치의 선정 이유]
본 발명의 시트 첩부 장치(EA)에 있어서, 영률이 100㎫인 고무제의 롤러를 압압 롤러(22)로 하고, 링 프레임의 개구부에 반도체 웨이퍼를 배치한 일체화 대상물을 피착체(WK)로 하여, 상기 일체화 대상물에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부한 바, 일체화 대상물과 접착 시트(AS) 사이에 기포가 혼입하거나, 접착 시트(AS)에 주름이 발생하는 일 없이, 접착 시트(AS)의 양호한 첩부를 행할 수 있었다. 또, 영률이 700㎫인 폴리에틸렌제의 롤러를 압압 롤러(22)로 하여 상기와 마찬가지의 첩부를 행한 바, 상기와 마찬가지로 접착 시트(AS)의 양호한 첩부를 행할 수 있었다.
한편, 본 발명의 시트 첩부 장치(EA)에 있어서, 영률이 60㎫인 발포 폴리우레탄제 롤러를 압압 롤러(22)로 하고, 상술한 일체화 대상물에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부한 바, 접착 시트의 압압력이 부족하여, 일체화 대상물과 접착 시트(AS) 사이에 기포가 혼입하거나, 접착 시트(AS)에 주름이 발생하여, 접착 시트(AS)의 양호한 첩부를 행할 수 없었다. 또, 영률이 40㎫인 고무제의 롤러를 압압 롤러(22)로 하여 상기와 마찬가지의 첩부를 행한 바, 상기와 마찬가지로 양호한 첩부를 행할 수 없었다.
또, 상기의 현상은, 피착체(WK)를 링 프레임만으로 했을 경우 및 피착체(WK)를 반도체 웨이퍼만으로 했을 경우에도 마찬가지로 발생했다.
[상한치의 선정 이유]
본 발명의 시트 첩부 장치(EA)에 있어서, 영률이 2000㎫인 폴리에스테르제의 롤러를 압압 롤러(22)로 하고, 상술한 일체화 대상물에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부한 바, 일체화 대상물과 접착 시트(AS) 사이에 기포가 혼입하거나, 접착 시트(AS)에 주름이 발생하는 일 없이, 접착 시트(AS)의 양호한 첩부를 행할 수 있었다. 또, 영률이 1600㎫인 아크릴제의 롤러를 압압 롤러(22)로 하여 상기와 마찬가지의 첩부를 행한 바, 상기와 마찬가지로 접착 시트(AS)의 양호한 첩부를 행할 수 있었다.
한편, 본 발명의 시트 첩부 장치(EA)에 있어서, 영률이 2600㎫인 에폭시제의 롤러를 압압 롤러(22)로 하고, 상술한 일체화 대상물에 접착 시트(AS)를 압압하여 첩부한 바, 일체화 대상물의 접착 시트 첩부면과 압압 롤러(22)의 압압부와의 평행도가 조금이라도 어긋나면, 상기 일체화 대상물과 접착 시트(AS) 사이에 기포가 혼입하거나, 접착 시트(AS)에 주름이 발생하여, 접착 시트(AS)의 양호한 첩부를 행할 수 없었다. 또한, 링 프레임에 변형이 발생하거나, 반도체 웨이퍼에 균열이나 결함 등의 손상이 발생했다. 또, 영률이 3000㎫인 폴리스티렌제의 롤러를 압압 롤러(22)로 하여 상기와 마찬가지의 첩부를 행한 바, 상기와 마찬가지로 양호한 첩부를 행할 수 없거나, 링 프레임에 변형이 발생하거나, 반도체 웨이퍼에 균열이나 결함 등의 손상이 발생했다.
또, 상기의 현상은, 피착체(WK)를 링 프레임만으로 했을 경우 및 피착체(WK)를 반도체 웨이퍼만으로 했을 경우에도 마찬가지로 발생했다.
피착체 반송 수단(30)은, 지지 테이블(32)을 전후 방향으로 이동시키는 구동 기기를 채용하고, 각 수단의 작업 영역 내에서 피착체(WK)를 좌우 방향에 더하여 전후 방향으로도 이동할 수 있도록 해도 좋고, 본 발명의 시트 첩부 장치(EA)에 구비되어 있어도 좋고, 구비되어 있지 않아도 좋다.
시트 첩부 장치(EA)는, 피착체(WK)를 반도체 웨이퍼로 하여, 상기 반도체 웨이퍼의 회로면에 보호 시트를 첩부하는 것이어도 좋고, 피착체(WK)를 링 프레임으로 하여, 상기 링 프레임에 접착 시트(AS)를 첩부하는 것이어도 좋고, 피착체(WK)를 반도체 웨이퍼 및 링 프레임으로 하여, 상기 반도체 웨이퍼와 링 프레임에 접착 시트(AS)를 첩부하여 일체화하거나 하는 것이어도 좋고, 그러한 경우, 접착 시트(AS)는, 반도체 웨이퍼의 형상이나 링 클레임의 형상을 따른 형상의 것을 사용해도 좋다.
피착체(WK)는, 도 1의 (E)에 나타내는 바와 같이, 이동 평면(SF)이 제2 평면(SF2)과 같은 위치에 있을 때가 시트 첩부 장치(EA)에서 첩부 가능한 최대 두께가 된다.
본 발명에 있어서의 접착 시트(AS) 및 피착체(WK)의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 접착 시트(AS) 및 피착체(WK)는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 기타 형상이어도 좋고, 접착 시트(AS)는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 좋고, 감열 접착성의 접착 시트(AS)가 채용되었을 경우는, 상기 접착 시트(AS)를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프의 가열 측 등의 가열 수단을 마련하는 것과 같은 적절한 방법으로 접착되면 좋다. 또한, 이러한 접착 시트(AS)는, 예를 들면, 접착제층만인 단층의 것, 기재와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖는 등 3층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 좋고, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 좋다. 또한, 피착체(WK)로서는, 예를 들면, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물(單體物)이어도 좋고, 그들 2개 이상으로 형성된 복합물이어도 좋고, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또, 접착 시트(AS)는, 기능적, 용도적인 읽기 방식으로 바꾸어, 예를 들면, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이아 터치 필름, 다이본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 좋다.
상기 실시형태에서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 2축 또는 3축 이상의 관절을 구비한 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있고, 그들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.
상기 실시형태에서, 롤러 등의 회전 부재가 채용되고 있을 경우, 상기 회전 부재를 회전 구동시키는 구동 기기를 구비해도 좋고, 회전 부재의 표면이나 회전 부재 자체를 고무나 수지 등의 변형 가능한 부재로 구성해도 좋고, 회전 부재의 표면이나 회전 부재 자체를 변형하지 않는 부재로 구성해도 좋고, 롤러 대신에 회전하거나 또는 회전하지 않는 샤프트나 블레이드 등의 다른 부재를 채용해도 좋고, 압압 롤러나 압압 헤드 등의 압압 수단이나 압압 부재와 같은 피압압물을 압압하는 것이 채용되고 있을 경우, 상기에서 예시한 것을 대신하거나 또는 병용하여, 롤러, 환봉(丸棒), 블레이드재, 고무, 수지, 스폰지 등의 부재를 채용하거나, 대기나 가스 등의 기체의 분사에 의해 압압하는 구성을 채용해도 좋고, 압압하는 것을 고무나 수지 등의 변형 가능한 부재로 구성해도 좋고, 변형하지 않는 부재로 구성해도 좋고, 박리판이나 박리 롤러 등의 박리 수단이나 박리 부재와 같은 피박리물을 박리하는 것이 채용되고 있을 경우, 상기에서 예시한 것을 대신하거나 또는 병용하여, 판상 부재, 환봉, 롤러 등의 부재를 채용해도 좋고, 박리하는 것을 고무나 수지 등의 변형 가능한 부재로 구성해도 좋고, 변형하지 않는 부재로 구성해도 좋고, 지지(유지) 수단이나 지지(유지) 부재 등의 피지지 부재(피유지 부재)를 지지(유지)하는 것이 채용되고 있을 경우, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롱의 힘, 접착제(접착 시트, 접착 테이프), 점착제(점착 시트, 점착 테이프), 자력(磁力), 베르누이 흡착, 흡인 흡착, 구동 기기 등으로 피지지 부재를 지지(유지)하는 구성을 채용해도 좋고, 절단 수단이나 절단 부재 등의 피절단 부재를 절단 또는, 피절단 부재에 노치나 절단선을 형성하는 것이 채용되고 있을 경우, 상기에서 예시한 것을 대신하거나 또는 병용하여, 커터 블레이드, 레이저 커터, 이온 빔, 화력, 열, 수압, 전열선, 기체나 액체 등의 분사 등으로 절단하는 것을 채용하거나, 적절한 구동 기기를 조합한 것으로 절단하는 것을 이동시켜 절단하도록 해도 좋다.
EA: 시트 첩부 장치
10: 시트 공급 수단
20: 압압 수단
22: 압압 롤러
22B: 당접 부위
AR: 이동 범위
AS: 접착 시트
SF: 이동 평면
SF1: 제1 평면
SF2: 제2 평면
SF3: 제3 평면
RL: 박리 시트
WK: 피착체
WK1: 피착면
10: 시트 공급 수단
20: 압압 수단
22: 압압 롤러
22B: 당접 부위
AR: 이동 범위
AS: 접착 시트
SF: 이동 평면
SF1: 제1 평면
SF2: 제2 평면
SF3: 제3 평면
RL: 박리 시트
WK: 피착체
WK1: 피착면
Claims (7)
- 접착 시트를 공급하는 시트 공급 수단과,
상기 접착 시트를 피착체에 압압하는 압압 롤러를 갖고, 상기 압압 롤러에 대하여 상대 이동하는 상기 피착체에 상기 접착 시트를 압압하여 첩부하는 압압 수단을 구비하고,
상기 압압 수단은, 상기 압압 롤러에 의해 상기 접착 시트를 상기 피착체에 압압하기 전의 단계에서, 상기 압압 롤러를 상기 피착체의 피착면에 당접시키고, 상기 피착면 상에서 상기 압압 롤러를 회전시켜 두는 것을 특징으로 하는, 시트 첩부 장치. - 제1항에 있어서,
상기 압압 롤러는, 상기 피착체에 당접함으로써 변형하는 것을 특징으로 하는, 시트 첩부 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 시트 공급 수단은, 박리 시트에 가착된 상기 접착 시트를 상기 박리 시트로부터 박리하여 공급 가능하게 마련되고,
상기 피착체는, 상기 피착면이 소정의 이동 평면 내에서 이동되고,
상기 이동 평면은, 상기 이동 평면에 가장 가까운 위치에서 상기 압압 롤러에 접하는 상기 이동 평면과 평행한 제1 평면과, 상기 피착면이 이동하는 이동 범위 내에서, 상기 이동 평면에 가장 가까운 위치에서 상기 박리 시트에 접하는 상기 이동 평면과 평행한 제2 평면 사이에 위치하고,
상기 압압 롤러는, 상기 피착면과의 당접 부위가 상기 제1 평면과 상기 제2 평면 사이에서 변형하고, 상기 피착면 상에서 회전하는 것을 특징으로 하는, 시트 첩부 장치. - 제3항에 있어서,
상기 압압 롤러는, 상기 제1 평면과, 상기 제2 평면보다 상기 접착 시트의 두께만큼 상기 이동 평면 측으로부터 떨어진 상기 이동 평면과 평행한 제3 평면 사이에서 상기 당접 부위가 변형하고, 상기 접착 시트를 상기 피착체에 압압하여 첩부하는 것을 특징으로 하는, 시트 첩부 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 피착체는, 반도체 웨이퍼 및 링 프레임 중 적어도 한쪽이며,
상기 압압 롤러의 영률은 100㎫ ∼ 2000㎫인 것을 특징으로 하는, 시트 첩부 장치. - 접착 시트를 공급하는 시트 공급 공정과,
상기 접착 시트를 피착체에 압압하는 압압 롤러를 이용하고, 상기 압압 롤러에 대하여 상대 이동하는 상기 피착체에 상기 접착 시트를 압압하여 첩부하는 압압 공정을 실시하고,
상기 압압 공정에서는, 상기 압압 롤러에 의해 상기 접착 시트를 상기 피착체에 압압하기 전의 단계에서, 상기 압압 롤러를 상기 피착체의 피착면에 당접시키고, 상기 피착면 상에서 상기 압압 롤러를 회전시켜 두는 것을 특징으로 하는, 시트 첩부 방법. - 제6항에 있어서,
상기 피착체는, 반도체 웨이퍼 및 링 프레임 중 적어도 한쪽이며,
영률은 100㎫ ∼ 2000㎫인 상기 압압 롤러를 사용하는 것을 특징으로 하는, 시트 첩부 방법.
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