KR102038812B1 - 시트 부착 장치 및 부착 방법 - Google Patents

Abstract

시트 부착 장치(1)는, 수평면에 대하여 경사진 경사면(21)을 갖고, 당해 경사면(21)에서 판상 부재(WF)를 지지하는 지지 수단(2)과, 접착 시트(AS)가 띠 형상의 박리 시트(RL)의 한쪽 면에 임시 부착된 원단(RS)을 조출 대상물로서 조출하는 조출 수단(3)과, 조출 수단(3)으로 조출된 원단(RS)의 박리 시트(RL)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 박리 수단(4)과, 박리 수단(4)으로 박리된 접착 시트(AS)를 판상 부재(WF)에 가압하는 가압 수단(5)과, 지지 수단(2)과 가압 수단(5)을 경사면(21)의 면내 방향으로 상대 이동시켜 판상 부재(WF)에 접착 시트(AS)를 부착하는 이동 수단(7)을 구비한다.

Description

시트 부착 장치 및 부착 방법{SHEET APPLICATION DEVICE AND APPLICATION METHOD}

본 발명은, 판상 부재에 접착 시트를 부착하는 시트 부착 장치 및 부착 방법에 관한 것이다.

종래, 반도체 제조 공정에 있어서, 판상 부재인 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 「웨이퍼」라고 하는 경우가 있음)의 표면에 보호 시트나 마운트용 시트, 다이싱 테이프, 다이 본딩 테이프 등의 접착 시트를 부착하는 시트 부착 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1에 기재된 시트 부착 장치는, 웨이퍼를 흡착 보유 지지하는 테이블과, 보유 지지된 웨이퍼에 띠 형상의 접착 시트를 부착하는 시트 부착부와, 접착 시트를 절단하는 커터 유닛을 구비하고, 웨이퍼에 띠 형상의 접착 시트가 부착된 상태에서 당해 접착 시트를 절단함으로써, 소정 형상의 접착 시트를 웨이퍼에 부착 가능하도록 구성되어 있다.

일본 특허 공개 제2003-257898호 공보

그런데, 최근에는 웨이퍼의 대직경화가 진행되어, 큰 것으로는 18인치 사이즈(웨이퍼 외경이 약 450㎜)의 것까지 처리 대상으로 되어 있다. 특허문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 시트 부착 장치에서는, 중력 방향 상방에서 보았을 때의 웨이퍼의 지지면이나 웨이퍼의 반송 경로, 웨이퍼의 스톡 영역 등의 전유 면적이 커진다. 이로 인해, 종래의 시트 부착 장치에서는, 웨이퍼가 커질수록, 장치의 설치 면적(장치 설치를 위한 수평 투영 면적)이 커진다고 하는 문제가 있다.

또한, 지지 수단이 수평으로 설치되어 있기 때문에, 대기 중의 티끌이나 먼지 등의 불순물이 웨이퍼 상에 낙하하기 쉬워져, 웨이퍼와 접착 시트 사이에 불순물이 혼입되는 리스크가 커진다고 하는 문제도 있다.

본 발명의 목적은, 판상 부재의 사이즈 증가에 수반하는 설치 면적의 증가를 최대한 억제할 수 있는 시트 부착 장치 및 부착 방법을 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 판상 부재와 접착 시트 사이에 불순물이 혼입되는 리스크를 최대한 저감시킬 수 있는 시트 부착 장치 및 부착 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 시트 부착 장치는, 수평면에 대하여 경사진 경사면을 갖고, 당해 경사면에서 판상 부재를 지지하는 지지 수단과, 접착 시트가 띠 형상의 박리 시트의 한쪽 면에 임시 부착된 원단을 조출 대상물로서 조출하는 조출 수단과, 상기 조출 수단으로 조출된 원단의 박리 시트로부터 상기 접착 시트를 박리하는 박리 수단과, 상기 박리 수단으로 박리된 접착 시트를 상기 판상 부재에 가압하는 가압 수단과, 상기 지지 수단과 상기 가압 수단을 상기 경사면의 면내 방향으로 상대 이동시켜 상기 판상 부재에 상기 접착 시트를 부착하는 이동 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 시트 부착 장치는, 수평면에 대하여 경사진 경사면을 갖고, 당해 경사면에서 판상 부재를 지지하는 지지 수단과, 띠 형상의 접착 시트를 조출 대상물로서 조출하는 조출 수단과, 상기 조출 수단으로 조출된 접착 시트를 상기 판상 부재에 가압하는 가압 수단과, 상기 지지 수단과 상기 가압 수단을 상기 경사면의 면내 방향으로 상대 이동시켜 상기 판상 부재에 상기 접착 시트를 부착하는 이동 수단과, 상기 판상 부재에 부착된 접착 시트를 소정 형상으로 절단하는 절단 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 시트 부착 장치에 있어서, 상기 지지 수단은, 상기 판상 부재의 외측 테두리에 접촉해서 당해 판상 부재를 상기 경사면의 소정 위치에 위치 결정하는 제1 위치 결정 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 시트 부착 장치는, 상기 지지 수단에 의한 판상 부재의 지지가 해제되었을 때에 당해 판상 부재를 받아들이는 수용 고정 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 시트 부착 장치에 있어서, 상기 조출 수단은, 상기 조출 대상물의 조출 방향에 직교하는 폭 방향이 상기 경사면과 평행이 되는 상태에서 당해 조출 대상물이 조출 가능하게 설치되고, 상기 조출 대상물이 상기 폭 방향으로 사행하는 것을 방지하는 사행 방지 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 시트 부착 장치는, 상기 지지 수단과 상기 조출 수단을 상기 조출 대상물의 폭 방향으로 상대 이동시켜, 상기 판상 부재에 대한 상기 접착 시트의 위치 결정을 행하는 제2 위치 결정 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명의 시트 부착 방법은, 수평면에 대하여 경사진 경사면에서 판상 부재를 지지하고, 접착 시트가 띠 형상의 박리 시트의 한쪽 면에 임시 부착된 원단을 조출 대상물로서 조출하고, 조출된 원단의 박리 시트로부터 상기 접착 시트를 박리하고, 박리된 접착 시트를 가압 수단에 의해 상기 판상 부재에 가압하고, 상기 판상 부재와 상기 가압 수단을 상기 경사면의 면내 방향으로 상대 이동시켜 상기 판상 부재에 상기 접착 시트를 부착하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 시트 부착 방법은, 수평면에 대하여 경사진 경사면에서 판상 부재를 지지하고, 띠 형상의 접착 시트를 조출 대상물로서 조출하고, 조출된 접착 시트를 가압 수단에 의해 상기 판상 부재에 가압하고, 상기 판상 부재와 상기 가압 수단을 상기 경사면의 면내 방향으로 상대 이동시켜 상기 판상 부재에 상기 접착 시트를 부착하고, 상기 판상 부재에 부착된 접착 시트를 소정 형상으로 절단하는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 본 발명에 따르면, 판상 부재를 수평면에 대하여 기운 상태에서 접착 시트를 부착할 수 있으므로, 판상 부재의 사이즈 증가에 수반하는 설치 면적의 증가를 최대한 억제할 수 있다.

또한, 판상 부재를 수평면에 대하여 기운 상태에서 접착 시트를 부착하므로, 대기 중의 불순물이 판상 부재 상에 낙하할 가능성을 저감시키고, 가령 판상 부재 상에 낙하했다고 해도, 중력에 의해 판상 부재 상에서 떨어지기 쉬워지기 때문에, 불순물이 판상 부재 상에 잔존하는 것을 억제할 수 있어, 판상 부재와 접착 시트 사이에 불순물이 혼입되는 리스크를 최대한 저감할 수 있다.

본 발명에 있어서, 제1 위치 결정 수단을 설치하면, 판상 부재를 경사면에 지지시키는 경우에도, 판상 부재를 접촉부에 접촉시키는 것만으로 판상 부재를 위치 결정할 수 있다. 이로 인해, 판상 부재의 위치 결정에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있으므로, 단위 시간당의 처리 능력을 향상시킬 수 있다.

또한, 수용 고정 수단을 설치하면, 만일 판상 부재의 지지가 해제되었다고 해도, 당해 판상 부재가 낙하해서 파손되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 사행 방지 수단을 설치하면, 조출 대상물이 자중에 의해 조출 방향에 직교하는 방향으로 사행하는 것을 방지할 수 있어, 판상 부재에 대한 조출 대상물의 조출 위치가 어긋나버리는 문제를 방지할 수 있다.

또한, 제2 위치 결정 수단을 설치하면, 판상 부재에 대한 접착 시트의 조출 위치를 임의로 변경할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 시트 부착 장치를 도시하는 사시도.
도 2는 도 1의 시트 부착 장치의 정면도.
도 3은 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 시트 부착 장치를 도시하는 사시도.

이하, 본 발명의 각 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.

또한, 제2 실시 형태 이후에 있어서, 다음의 제1 실시 형태에서 설명하는 구성 부재와 동일한 구성 부재 및 동일한 기능을 갖는 구성 부재에는, 제1 실시 형태의 구성 부재와 동일한 부호를 부여하고, 그것들의 설명을 생략 또는 간략화한다. 또한, 본 명세서에 있어서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X축 및 Y축은, 수평면 내의 축으로 하고, Z축은, 수평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 각축에 있어서 방향을 나타내는 경우, 「+」는 각축의 화살표 방향,「-」는 화살표의 반대 방향으로 한다.

[제1 실시 형태]

도 1에 있어서, 시트 부착 장치(1)는, 판상 부재로서의 웨이퍼(WF)에 접착 시트(AS)를 부착하는 것이다. 여기서, 접착 시트(AS)는, 기재 시트(BS)의 한쪽 면에 접착제층(AD)을 가짐과 함께, 소정 사이즈의 외형에 미리 절단되고, 접착제층(AD)을 개재해서 띠 형상의 박리 시트(RL)에 임시 부착된 조출 대상물로서의 원단(RS)으로서 미리 준비되어 있다.

시트 부착 장치(1)는, 웨이퍼(WF)를 지지하는 지지 수단(2)과, 원단(RS)을 조출하는 조출 수단(3)과, 조출된 원단(RS)의 박리 시트(RL)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 박리 수단(4)과, 박리 수단(4)으로 박리된 접착 시트(AS)를 웨이퍼(WF)에 가압하는 가압 수단(5)과, 웨이퍼(WF)에 대한 접착 시트(AS)의 위치 결정을 행하는 제2 위치 결정 수단으로서의 시트 위치 결정 수단(6)과, 지지 수단(2)과 가압 수단(5)을 상대 이동시켜 접착 시트(AS)를 웨이퍼(WF)에 부착하는 이동 수단(7)과, 지지 수단(2)에 의한 웨이퍼(WF)의 지지가 해제되었을 때에 당해 웨이퍼(WF)를 받아들이는 수용 고정 수단(8)을 구비하고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 웨이퍼(WF)의 반송을 행하는 반송 수단(9)이, 시트 부착 장치(1)에 병설되어 있다.

지지 수단(2)은, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 흡착 보유 지지 수단에 의해 웨이퍼(WF)를 흡착 보유 지지 가능한 경사면으로서의 지지면(21)을 갖는 테이블(22)과, 테이블(22) 내에 설치된 구동 기기로서의 직동 모터(23)(도 2)와, 직동 모터(23)에 지지를 되어 지지면(21)의 개구(24)로부터 돌몰 가능하게 됨과 함께, 지지면(21)으로부터 돌출된 상태에서 웨이퍼(WF)를 위치 결정하는 제1 위치 결정 수단으로서의 접촉부(25)(도 2)를 구비하고 있다. 지지면(21)은, X축 및 Z축을 포함하는 평면과 평행한 면으로 되고, 수평면에 대하여 경사진 상태(경사각90°)로 배치되어 있다.

조출 수단(3)은, 원단(RS)을 권회해서 지지하는 지지 롤러(31)와, 원단(RS)을 안내하는 복수의 가이드 롤러(32)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되는 구동 롤러(33)와, 구동 롤러(33) 사이에 박리 시트(RL)를 끼워 넣는 핀치 롤러(34)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되어 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 롤러(35)를 구비하고, 그 전체가 베이스 프레임(30)에 지지되어 있다. 조출 수단(3)은, 원단(RS)의 조출 방향에 직교하는 폭 방향이 지지면(21)과 평행이 되는 상태(Z축 방향이 되는 상태)에서 당해 원단(RS)이 조출 가능하게 구성되어 있다. 또한, 베이스 프레임(30)에 의해 사행 방지 수단이 구성되고, 원단(RS)이 그 폭 방향으로 사행하는 것을 방지하도록 되어 있다.

박리 수단(4)은, 베이스 프레임(30)에 의해 Z축 방향으로 연장된 자세로 지지된 박리판(41)을 구비하고, 당해 박리판(41)의 단부 테두리에서 원단(RS)의 박리 시트(RL)를 되접음으로써, 박리 시트(RL)로부터 접착 시트(AS)를 박리하도록 구성되어 있다.

가압 수단(5)은, Z축 방향으로 연장된 자세로 배치된 가압 롤러(51)를 구비하고 있다. 이 가압 롤러(51)는, 고무나 수지 등의 탄성 변형 가능한 부재에 의해 구성되어 있다.

시트 위치 결정 수단(6)은, 도시하지 않은 출력축이 베이스 프레임(30)에 고정된 구동 기기로서의 직동 모터(61)를 구비하고, 당해 직동 모터(61)에 의해 베이스 프레임(30)을 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 지지 수단(2)과 조출 수단(3)을 지지면(21)의 면내 방향이며 원단(RS)의 폭 방향으로 상대 이동 가능하도록 구성되어 있다.

이동 수단(7)은, X축 방향으로 연장된 구동 기기로서의 리니어 모터(72)를 구비하고, 그 슬라이더(71)가 테이블(22)을 지지해서 X축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.

수용 고정 수단(8)은, 테이블(22)이 이동하는 범위의 하방에서, X축 방향을 따라 설치된 단면 U자 형상의 수용 부재(81)와, 테이블(22)이 이동하는 범위에서 지지면(21)에 평행하게 배치된 2개의 경도 방지판(82)을 구비하고 있다. 수용 부재(81)에 있어서의 웨이퍼(WF)의 수용부 및 경도 방지판(82)에 있어서의 테이블(22)측의 면에는, 고무, 수지, 스펀지 등의 탄성 부재로 구성된 완충 수단(83, 84)이 설치되어 있다. 또한, 경도 방지판(82)끼리의 사이에는, 가압 롤러(51)가 접착 시트(AS)를 웨이퍼(WF)에 가압하는 것을 허용하는 간극(82A)이 설치되어 있다.

반송 수단(9)은, 구동 기기로서의 다관절 로봇(91)과, 이 다관절 로봇(91)의 선단부에 착탈 가능하게 설치된 흡착 툴(92)을 구비하고, 도시하지 않은 흡인 펌프 등의 흡인 수단에 흡착 툴(92)을 접속함으로써 웨이퍼(WF)가 흡착 보유 지지 가능하게 구성되어 있다. 다관절 로봇(91)은, 6군데에 회전 가능한 관절을 갖는 소위 6축 로봇이며, 당해 다관절 로봇(91)의 작업 범위 내에 있어서 흡착 툴(92)을 어느 위치, 어느 각도로도 변위 가능하게 구성되어 있다.

이상의 시트 부착 장치(1)에 있어서, 웨이퍼(WF)에 접착 시트(AS)를 부착하는 수순을 설명한다.

우선, 원단(RS)을 도 1에 나타낸 바와같이 세트한다. 또한, 직동 모터(61)를 구동해서 베이스 프레임(30)을 Z축 방향으로 이동시켜, 웨이퍼(WF)에 대한 접착 시트(AS)의 조출 위치의 위치 결정을 행한다.

이어서, 반송 수단(9)이 다관절 로봇(91)을 구동하고, 흡착 툴(92)을 개재해서 웨이퍼 수납 카세트(CT)로부터 웨이퍼(WF)를 취출하고, 도 1중 2점 쇄선으로 나타내는 위치에 대기하고 있는 테이블(22)의 지지면(21)에 웨이퍼(WF)를 접촉시킨다. 이때, 반송 수단(9)은, 지지면(21)으로부터 돌출된 접촉부(25)에 웨이퍼(WF)의 외측 테두리의 2점을 접촉시키고, 당해 웨이퍼(WF)를 지지면(21)의 소정 위치에 위치 결정한다. 계속해서, 지지 수단(2)이 도시하지 않은 흡착 보유 지지 수단을 구동하고, 웨이퍼(WF)를 지지면(21)으로 흡착 보유 지지함과 함께, 직동 모터(23)를 구동하고, 도 2에 도시한 바와 같이, 접촉부(25)을 테이블(22) 내에 퇴피시킨다.

그리고, 이동 수단(7)이 리니어 모터(72)를 구동하여, 테이블(22)을 +X축 방향으로 이동시킨다. 웨이퍼(WF)가 소정의 위치에 도달한 것이 도시하지 않은 검지 수단에 검지되면, 테이블(22)의 이동에 동기해서 조출 수단(3)이 구동 롤러(33)를 구동하여, 원단(RS)를 조출한다. 이에 의해, 접착 시트(AS)가 박리판(41)에 의해 박리 시트(RL)로부터 박리되고, 박리된 접착 시트(AS)는, 가압 롤러(51)에 의해 웨이퍼(WF)에 가압되어 부착된다. 이때, 원단(RS)은, 베이스 프레임(30)에 의해 -Z축 방향으로의 이동이 규제됨으로써, Z축 방향의 사행이 방지된다.

접착 시트(AS)의 부착이 완료되면, 이동 수단(7)이 리니어 모터(72)의 구동을 정지한다. 그 후, 반송 수단(9)이 다관절 로봇(91)을 구동하고, 흡착 툴(92)로 웨이퍼(WF)를 흡착 보유 지지하면, 지지 수단(2)이 도시하지 않은 흡착 보유 지지 수단의 구동을 정지한다. 그리고, 반송 수단(9)이 다관절 로봇(91)을 구동하여, 웨이퍼(WF)를 웨이퍼 수납 카세트(CT)에 수납한다.

그 후, 이동 수단(7)이 리니어 모터(72)를 구동하여, 테이블(22)을 -X축 방향으로 이동시켜, 도 1 중 2점 쇄선으로 나타내는 위치로 복귀시키고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.

여기서, 웨이퍼(WF)가 테이블(22)에 지지되어 있을 때에, 어떠한 요인에 의해 흡착 보유 지지 수단에서의 흡착 보유 지지가 해제되어버리면, 웨이퍼(WF)가 낙하하여 손상되어버린다. 본 실시 형태의 경우, 만일 흡착 보유 지지 수단에서의 흡착 보유 지지가 해제되어버린 경우에도, 도 2중 2점 쇄선으로 표시되도록, 웨이퍼(WF)는, 수용 부재(81) 및 경도 방지판(82)으로 지지되므로 웨이퍼(WF)가 손상되어버리는 문제는 발생하지 않는다. 하물며, 수용 부재(81)의 완충 수단(83) 및 경도 방지판(82)의 완충 수단(84)이, 웨이퍼(WF)가 낙하했을 때의 충격을 흡수하기 때문에, 웨이퍼(WF)의 손상을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

이상과 같은 본 실시 형태에 따르면, 다음과 같은 효과가 있다.

즉, 지지 수단(2)이 수평면에 대하여 경사진 지지면(21)으로 웨이퍼(WF)를 지지하고, 이동 수단(7)이 지지 수단(2)과 가압 수단(5)을 지지면(21)의 면내 방향으로 상대 이동시켜 웨이퍼(WF)에 접착 시트(AS)를 부착한다. 따라서, 웨이퍼(WF)의 사이즈의 증가에 수반하는 장치의 설치 면적의 증가를 최대한 억제할 수 있다. 또한, 지지면(21)이 수평면에 대하여 경사져 있으므로, 대기 중의 불순물이 웨이퍼(WF) 상에 낙하할 가능성을 저감시키고, 가령 웨이퍼(WF) 상에 낙하했다고 해도, 중력에 의해 웨이퍼(WF) 상으로부터 떨어지기 쉬워지기 때문에, 불순물이 웨이퍼(WF) 상에 잔존하는 것을 억제할 수 있어, 웨이퍼(WF)와 접착 시트 사이에 불순물이 혼입되는 리스크를 최대한 저감시킬 수 있다.

[제2 실시 형태]

이어서, 본 발명의 제2 실시 형태를 도 3에 기초하여 설명한다.

본 실시 형태의 시트 부착 장치(1A)는, 박리 수단을 구비하고 있지 않은 점과, 절단 수단(10)을 구비하고, 띠 형상의 기재 시트(BS1)의 한쪽 면에 접착제층(AD1)을 갖는 조출 대상물로서의 띠 형상의 접착 시트(AS1)를 웨이퍼(WF)에 부착한 후, 당해 접착 시트(AS1)를 절단하는 점이 제1 실시 형태와 상이하다. 또한, 조출 수단(3A) 및 이동 수단(7A)의 구성이, 제1 실시 형태와 상이하다.

조출 수단(3A)은, 띠 형상의 접착 시트(AS1)를 권회해서 지지하는 지지 롤러(31)와, 접착 시트(AS1)를 안내하는 가이드 롤러(32)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되는 구동 롤러(33)와, 구동 롤러(33) 사이에 접착 시트(AS1)를 끼워 넣는 핀치 롤러(34)와, 띠 형상의 접착 시트(AS1)의 절단에 의해 발생한 불필요 시트(US)를 안내하는 복수의 가이드 롤러(36)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되고, 불필요 시트(US)를 권취해서 회수하는 회수 롤러(35)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되는 구동 롤러(37)와, 구동 롤러(37) 사이에 접착 시트(AS1)를 끼워 넣는 핀치 롤러(38)를 구비하고 있다. 이 조출 수단(3A)에 있어서, 지지 롤러(31), 가이드 롤러(32), 구동 롤러(33) 및 핀치 롤러(34)는, 베이스 프레임(30)에 지지되어 있다. 한편, 가이드 롤러(36) 및 회수 롤러(35)는, 사행 방지 수단으로도 될 수 있는 회수측 프레임(39)에 지지되어 있다.

이동 수단(7A)은, X축 방향으로 연장되고, 가압 롤러(51)를 지지한 제1 슬라이더(73)를 구동하는 구동 기기로서의 리니어 모터(74)와, 리니어 모터(74)를 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 도시하지 않은 구동 기기를 구비하고, 지지 수단(2)에 대하여 가압 수단(5)을 X축 방향 및 Y축 방향으로 상대 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 조출 수단(3A)의 구동 롤러(37) 및 핀치 롤러(38)는, 리니어 모터(74)의 제2 슬라이더(75)에 지지되고, 지지 수단(2)에 대하여 X축 방향 및 Y축 방향으로 상대 이동 가능하게 구성되어 있다.

절단 수단(10)은, 반송 수단(9)과 겸용되는 다관절 로봇(91)과, 이 다관절 로봇(91)에 착탈 가능하게 설치되고, 커터 날(93)을 갖는 커터 툴(94)을 구비하고, 웨이퍼(WF)에 부착된 접착 시트(AS1)를 웨이퍼(WF)의 외측 테두리를 따라 절단 가능하게 구성되어 있다.

이하, 시트 부착 장치(1A)의 동작을 설명한다.

우선, 접착 시트(AS1)를 도 3에 나타나도록 세트한다. 이때, 가압 롤러(51), 구동 롤러(37) 및 핀치 롤러(38)는, 구동 롤러(33)의 근방에 위치해서 불필요 시트(US)와 지지면(21) 사이에 간극이 형성되어 있다. 그리고, 제1 실시 형태와 마찬가지로 반송 수단(9)이 웨이퍼(WF)를 반송하고, 당해 웨이퍼(WF)가 지지면(21)에 흡착 보유 지지되면, 조출 수단(3A)이 구동 롤러(37)의 회전을 정지한 상태에서 리니어 모터(74)를 구동하고, 구동 롤러(37) 및 핀치 롤러(38)를 +X축 방향으로 이동시킨다. 이때, 불필요 시트(US)는, 회수 롤러(35)의 구동에 의해 권취된다. 이에 의해, 접착 시트(AS1)의 미사용 부분이 웨이퍼(WF)의 +Y축 방향에서 대향한 상태가 되도록 조출된다. 이때도, 접착 시트(AS1)와 지지면(21) 사이에 약간의 간극이 형성되어 있다.

이어서, 이동 수단(7A)이 도시하지 않은 구동 기기를 구동하고, 가압 롤러(51)를 -Y축 방향으로 이동시키고, 도 3중 2점 쇄선으로 표시되도록, 가압 롤러(51)에 의해 접착 시트(AS1)를 지지면(21)에 가압한다. 계속해서, 이동 수단(7A)이 리니어 모터(74)를 구동하고, 가압 롤러(51)를 +X축 방향으로 이동시킴으로써, 웨이퍼(WF)에 접착 시트(AS1)를 부착한다. 이 사이에, 절단 수단(10)이 다관절 로봇(91)을 구동하고, 흡착 툴(92)로부터 커터 날(93)에 툴 교환을 행하게 한다. 계속해서, 절단 수단(10)이 다관절 로봇(91)을 구동하고, 커터 날(93)을 접착 시트(AS1)에 찌르는 동시에, 웨이퍼(WF)의 외측 테두리를 따라 커터 날(93)을 이동시킴으로써, 접착 시트(AS1)를 그 외측 테두리를 따라 절단한다.

접착 시트(AS1)의 부착 및 절단이 완료되면, 절단 수단(10)이 다관절 로봇(91)을 구동하여, 커터 날(93)로부터 흡착 툴(92)에 다시 툴 교환을 행하게 한다. 계속해서, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 반송 수단(9)이 웨이퍼(WF)를 웨이퍼 수납 카세트(CT)에 수납한다. 그 후, 이동 수단(7A)이 리니어 모터(74)를 구동하여, 가압 롤러(51), 구동 롤러(37) 및 핀치 롤러(38)를 -X축 방향으로 이동시킨 후, 도시하지 않은 구동 수단을 구동해서 리니어 모터(74)를 +Y축 방향으로 이동시킨다. 이에 의해, 지지면(21) 위에 부착된 불필요 시트(US)를 박리하여, 불필요 시트(US)와 지지면(21) 사이에 간극을 형성한다. 그리고, 이후 상술과 동일한 동작이 반복된다.

이상과 같은 본 실시 형태에 의해도 제1 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

또한, 시트 부착 장치(1A)에 있어서, 테이블(22)은, 원통 형상의 개구를 갖는 외측 테이블과, 외측 테이블의 개구 내에 배치되고, 웨이퍼(WF)를 흡착 보유 지지하는 원반 형상의 외형을 갖은 내측 테이블을 구비하고, 외측 테이블에 고정된 구동 기기로서의 직동 모터에 의해, 내측 테이블을 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지시켜도 좋다. 당해 구성에 의하면, 직동 모터의 구동에 의해 외측 테이블의 지지면에 대하여 내측 테이블의 지지면을 Y축 방향으로 상대 이동시킬 수 있기 때문에, 웨이퍼(WF)의 외측 테두리 부분으로 접착 시트(AS1)를 돌아 들어가게 한 상태로 부착하거나, 웨이퍼(WF)의 시트 부착면과 외측 테이블의 시트 부착면을 동 레벨로 하고, 가압 롤러(51)에 의한 단위 면적당의 가압력을 대략 동등하게 해서 접착 시트(AS1)를 웨이퍼(WF)에 부착하거나 할 수 있다. 또한, 외측 테이블과 내측 테이블 사이에 커터 날(93)이 인입하는 간극을 형성할 수도 있다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에 의해 개시되어 있지만, 본 발명은, 이것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은, 주로 특정한 실시 형태에 관해서 특별히 도시되고, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상 설명한 실시 형태에 대하여, 형상, 재질, 수량, 기타 상세한 구성에 있어서, 당업자가 각양각색인 변형을 가할 수 있는 것이다. 또한, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것이 아니기 때문에, 그것들의 형상, 재질 등의 한정된 일부 혹은 전부의 한정을 벗어난 부재의 명칭으로의 기재는, 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 지지면(21)의 경사각을 90°로 한 것을 예시했지만, 지지면(21)은, 수평면에 대하여 경사져서 배치되어 있으면 좋고, 예를 들어 경사각이 90°보다도 작아지도록[지지면(21)이 중력 방향 상방으로부터 보이는 방향이 되도록] 설정하거나, 90°보다도 커지도록[지지면(21)이 중력 방향 상방으로부터 보이지 않는 방향이 되도록] 설정해 버려도 좋지만, 장치의 설치 면적의 증가를 억제하는 관점에서, 경사각은, 수평면에 대하여 45°내지 135°인 것이 바람직하다.

또한, 지지 수단(2)이 링 프레임과 웨이퍼(WF)를 지지할 수 있도록 구성하고, 시트 부착 장치(1, 1A)를, 웨이퍼(WF) 및 링 프레임에 마운트용 시트를 부착하는 마운트 장치로서 구성해도 좋다.

또한, 접촉부(25)는, 항상 지지면(21)으로부터 돌출된 상태(돌몰 불가능)로 해도 좋다.

또한, 시트 위치 결정 수단(6)은, 조출 수단(3)을 정지시킨 상태에서 지지 수단(2)을 이동시켜도 좋고, 지지 수단(2)과 조출 수단(3)의 양쪽을 이동시켜도 좋다.

또한, 이동 수단(7)은, 지지 수단(2)과 가압 수단(5)의 양쪽을 이동시켜도 좋다.

또한, 수용 고정 수단(8)은, 수용 부재(81)와 경도 방지판(82)을 연속시킨 1개의 부재로서 구성해도 좋고, 수용 고정 수단(8)을 설치하지 않아도 좋다.

또한, 가압 수단(5)은, 가압 롤러(51) 대신에, 블레이드재, 고무, 수지, 스펀지 등에 의한 가압 부재를 채용할 수 있고, 에어 분사에 의해 가압하는 구성도 채용할 수 있다.

또한, 박리 수단(4)은, 박리판(41)으로 바꾸어서 롤러를 채용해도 좋다.

또한, 제2 실시 형태에 있어서, 띠 형상의 접착 시트가 띠 형상의 박리 시트의 한쪽 면에 임시 부착된 것을 조출 대상물로 하고, 핀치 롤러(34)의 근방에, 조출 수단(3A)으로 조출된 띠 형상의 박리 시트로부터 띠 형상의 접착 시트를 박리하는 박리 수단을 설치하거나, 구동 롤러(33)에 띠 형상의 박리 시트를 걸어 감아, 당해 띠 형상의 박리 시트로부터 띠 형상의 접착 시트를 박리하는 구성으로 해도 좋다.

또한, 판상 부재는, 웨이퍼(WF) 이외에 유리판, 강판 또는, 수지판 등, 기타 판상 부재 등이나, 판상 부재 이외의 것도 대상으로 할 수 있다. 그리고, 웨이퍼(WF)는, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등을 예시할 수 있고, 이러한 반도체 웨이퍼에 부착하는 접착 시트(AS, AS1)는, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름에 한하지 않고, 기타 임의의 시트, 필름, 테이프 등, 임의의 용도, 형상의 시트 등을 적용할 수 있다.

또한, 접착 시트(AS, AS1)의 종별이나 재질 등은, 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 기재 시트(BS)와 접착제층(AD) 사이에 설치되는 중간층을 갖는 것이나, 다른층을 갖는 등 3층 이상의 것이어도 좋고, 기재 시트(BS)를 갖지 않은 접착제층(AD) 단체의 것이어도 좋다.

또한, 판상 부재가 광 디스크의 기판이며, 접착 시트가 기록층을 구성하는 수지층을 갖은 것이어도 좋다. 이상과 같이, 판상 부재로서는, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다.

상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 동시에, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다(실시 형태에서 예시한 것과 중복하는 것도 있다).

1, 1A : 시트 부착 장치
2 : 지지 수단
3, 3A : 조출 수단
4 : 박리 수단
5 : 가압 수단
6 : 시트 위치 결정 수단(제2 위치 결정 수단)
7, 7A : 이동 수단
8 : 수용 고정 수단
10 : 절단 수단
21 : 지지면(경사면)
25 : 접촉부(제1 위치 결정 수단)
30 : 베이스 프레임(사행 방지 수단)
39 : 회수측 프레임(사행 방지 수단)
AS : 접착 시트
AS1 : 접착 시트(조출 대상물)
RL : 박리 시트
RS : 원단(조출 대상물)
WF : 웨이퍼(판상 부재)

Claims (12)

1. 수평면에 대하여 경사진 경사면을 갖고, 반송 수단으로 반송된 판상 부재를 당해 경사면에서 지지하는 지지 수단과,
   접착 시트가 띠 형상의 박리 시트의 한쪽 면에 임시 부착된 원단을 조출 대상물로서 조출하는 조출 수단과,
   상기 조출 수단으로 조출된 원단의 박리 시트로부터 상기 접착 시트를 박리하는 박리 수단과,
   상기 박리 수단으로 박리된 접착 시트를 상기 판상 부재에 가압하는 가압 수단과,
   상기 지지 수단과 상기 가압 수단을 상기 경사면의 면내 방향으로 상대 이동시켜 상기 판상 부재에 상기 접착 시트를 부착하는 이동 수단과,
   상기 지지 수단에 의한 판상 부재의 지지가 해제되었을 때에 당해 판상 부재를 받아들이는 수용 고정 수단을 구비하고,
   상기 수용 고정 수단은, 상기 지지 수단의 하측에 형성된 수용 부재와, 상기 경사면에 대향하는 위치에 형성된 경도 방지판을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
2. 수평면에 대하여 경사진 경사면을 갖고, 반송 수단으로 반송된 판상 부재를 당해 경사면에서 지지하는 지지 수단과,
   띠 형상의 접착 시트를 조출 대상물로서 조출하는 조출 수단과,
   상기 조출 수단으로 조출된 접착 시트를 상기 판상 부재에 가압하는 가압 수단과,
   상기 지지 수단과 상기 가압 수단을 상기 경사면의 면내 방향으로 상대 이동시켜 상기 판상 부재에 상기 접착 시트를 부착하는 이동 수단과,
   상기 판상 부재에 부착된 접착 시트를 소정 형상으로 절단하는 절단 수단과,
   상기 지지 수단에 의한 판상 부재의 지지가 해제되었을 때에 당해 판상 부재를 받아들이는 수용 고정 수단을 구비하고,
   상기 수용 고정 수단은, 상기 지지 수단의 하측에 형성된 수용 부재와, 상기 경사면에 대향하는 위치에 형성된 경도 방지판을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
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