JP2011210856A - 押圧ローラ、ならびにシート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】押圧ローラ63は、温度変化によって硬度が変化する弾性部材67で構成された押圧面67Aと、弾性部材67の温度を調節する温度調節手段66と、温度調節手段66による弾性部材67の温度調節を制御する制御手段とを備える。また、被着体Wの一方の面WAに接着シートSを貼付するシート貼付装置は、被着体Wを他方の面WB側から支持する支持手段と、被着体Wの一方の面WAに対向させて接着シートSを供給する供給手段と、接着シートSを被着体Wの一方の面WAに押圧して貼付する押圧手段6とを備え、押圧手段6は、押圧ローラ63を備えて構成されている。
【選択図】図2
Description
また、本発明の押圧ローラにおいて、前記温度調節手段は、前記弾性部材を冷却する冷却手段を備え、前記制御手段は、前記冷却手段による前記弾性部材の冷却を制御することが好ましい。
また、加熱手段や冷却手段を設け、弾性部材を加熱または冷却することにより、弾性部材の温度を雰囲気温度に対して上昇または低下させることができるので、押圧面の弾力を変更したり、接着シートの構成材料や接着特性に応じて当該接着シートを加熱または冷却したりして押圧対象物に貼付することができる。
さらに、加熱手段と冷却手段とを仕切る断熱手段を設ければ、互いの影響を受けることなく弾性部材を加熱または冷却することができるので、弾性部材の温度調節を効果的に行うことができ、押圧面の弾力をより適切に設定することができる。
なお、本実施形態では、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」といった方位を示す用語は、図1を基準として用いる。
図1において、シート貼付装置1は、一方の面である表面WAと他方の面である裏面WBとを有した被着体としてのウェハWに対し、回路が形成された表面WAに接着シートSを貼付するとともに、貼付した接着シートSをウェハWの外縁WCに沿って切断する装置である。このシート貼付装置1は、裏面WB側からウェハWを支持する支持手段2と、ウェハWの表面WAに対向させて帯状の接着シートSを供給する供給手段5と、供給された接着シートSを支持手段2およびウェハWの表面WAに押圧して貼付する押圧手段6と、ウェハWに貼付された接着シートSを当該ウェハWの外縁WCに沿って切断する切断手段7と、各部の動作を制御する制御手段8とを備えて構成されている。
先ず、各種情報を入力手段82から制御装置81に入力してシート貼付装置1をスタンバイ状態としておく。その後、ウェハWがテーブル22の支持面21に載置されると、供給手段5は、駆動ローラ57を停止したままで移動フレーム5Cを支持手段2の左側から右方向に移動し、この移動に同期して支持ローラ51から接着シートSの未使用部分を繰り出すとともに、回収ローラ55で接着シートSの不要部分を巻き取る。これにより、ウェハWの表面WAの上方に接着シートSの接着剤AD側を対向させて供給する。次に、制御装置81からの指令を受けた直動モータ27は、ウェハWの表面WAと外周テーブル25の平坦面24とが同一平面内に位置するように、テーブル22を上昇または下降させる。
また、接着シートSの剛性が高く、例えば、ウェハWの表面WAの凸部WD周りに気泡が混入してしまうような接着シートSが採用された場合や、雰囲気温度よりも高い温度領域の方が貼付に適している接着シートSを貼付する場合は、設定温度を高くして貼付することができる。さらに、接着シートSの剛性が低く、押圧ローラ63による押圧によって伸びてしまうような接着シートSが採用された場合や、雰囲気温度よりも低い温度領域の方が貼付に適している接着シートSを貼付する場合は、設定温度を低くして貼付することができる。
すなわち、押圧ローラ63における弾性部材67の温度調節により、弾性部材67の弾力を任意に変更することができるので、押圧面67Aの弾力を押圧条件に適した状態に変更することができる。従って、ウェハWに接着シートSを密着させることができるので、接着シートSが捲れ上がってしまったりする不都合を回避することができ、ウェハWの破損を防止することができる。
また、接着シートSは、保護シートや、マウント用シート、ダイシングテープ、ダイボンディングテープなど、半導体ウェハに貼付される各種シートやテープ、フィルムであってもよいし、被着体が半導体ウェハ以外の部材である場合には、表面コーティング用のシートやフィルム、装飾用のシートなど、適宜な用途のシートが利用可能である。
さらに、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
5 供給手段
6 押圧手段
7 切断手段
8 制御手段
63 押圧ローラ
66 温度調節手段
66A ヒータ(加熱手段)
66B ペルチェ素子(冷却手段)
66C 断熱部材(断熱手段)
67 弾性部材
67A 押圧面
S 接着シート
W ウェハ(被着体)
WA 表面(一方の面)
WB 裏面(他方の面)
WC 外縁
Claims (6)
- 温度変化によって硬度が変化する弾性部材で構成された押圧面と、
前記弾性部材の温度を調節する温度調節手段と、
前記温度調節手段による前記弾性部材の温度調節を制御する制御手段とを備えることを特徴とする押圧ローラ。 - 前記温度調節手段は、前記弾性部材を加熱する加熱手段を備え、
前記制御手段は、前記加熱手段による前記弾性部材の加熱を制御することを特徴とする請求項1に記載の押圧ローラ。 - 前記温度調節手段は、前記弾性部材を冷却する冷却手段を備え、
前記制御手段は、前記冷却手段による前記弾性部材の冷却を制御することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の押圧ローラ。 - 前記温度調節手段は、
前記弾性部材を加熱する加熱手段と、
前記弾性部材を冷却する冷却手段と、
前記加熱手段と前記冷却手段とを仕切る断熱手段とを備えることを特徴とする請求項1に記載の押圧ローラ。 - 被着体の一方の面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記被着体の一方の面に対向させて前記接着シートを供給する供給手段と、
前記接着シートを前記被着体の一方の面に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、請求項1から請求項4のいずれかに記載の押圧ローラを備えて構成されていることを特徴とするシート貼付装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の押圧ローラを用いて被着体の一方の面に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記被着体の一方の面に対向させて前記接着シートを供給し、
前記接着シートを前記押圧ローラによって前記被着体の一方の面に押圧して貼付する際に、当該押圧ローラを構成する弾性部材の温度を調節して押圧面を所定弾力に設定することを特徴とするシート貼付方法。
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