JP2013111713A - 切削水の供給装置及び供給方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル41に接続した給水管45には、純水中にマイクロナノバブルBを発生させるマイクロナノバブル発生器49が接続され、ノズル41の先端はブレード26とワークWの被切削部近傍に配置されている。ノズル41の吐出口部には圧力維持バルブ51が設けられ、マイクロナノバブル発生器49で生成した加圧過飽和状態のマイクロナノバブルBを含む切削水Cが、切削加工中にノズル41から吐出して、ブレード26とワークWの被切削部に至近距離から供給される。
【選択図】図4
Description
ンタミ)が発生し、ワーク上に滞留したパーティクルは、ワークの切削部に挟み込まれて
、ワークにクラックを発生させる等、ワークの切削品質を低下させる。
は、純水中にマイクロナノバブルを発生させるマイクロナノバブル発生器が接続され、前記ノズルの先端はワークの被切削部の近傍に配置され、マイクロナノバブルを含む切削水を、前記ブレードとワークの被切削部に供給できるように構成したことを特徴とする切削水の供給装置を提供する。
作用の観点からも著しく増大する。
クロナノバブルを含むことで、その表面積が増大して切削水の表面張力を低下させ、切削水の付き回り性が良くなる。これにより、切削水はワークの被切削部の細部まで浸透でき、切削時の切削能力が向上するとともに、ブレードとワーク表面上における洗浄能力も向上する。
質を分解し、金属イオン等と反応することが可能である。
ではややプラス側の電位を示す。さらに、図7、図8及び図9示すように、pH7近傍の溶液で泡径約10μmから約30μmの場合は、約−30mVから約−40mVに帯電する。
比較例では、ブレード26の先端部に相当量の付着物が観察されたが、実施例では、マイクロナノバブルBの濃度の依存性があるものの、ブレード26先端部への微細な切削屑等の付着が殆どなく、比較例に比し付着量が大幅に低減することが判明した。
が一気に析出して、より高濃度のマイクロナノバブルが生成される。依って、微細なパーティクルに対する吸着包囲効果、水面浮上効果、静電気吸引効果及びキャビテーション効果を一層高めることができる。
14 加工部
16 洗浄部
21 制御部(制御装置)
24 ワークテーブル
26、26A、26B ブレード
28A、28B スピンドル
41 切削水ノズル
45 給水管
49 マイクロナノバブル発生器
51 圧力維持バルブ
W ワーク(被切削物)
F フレーム(ワーク支持体)
T ダイシングテープ(粘着テープ)
Claims (4)
- ワーク支持体上のワークをブレードで切削しながら、ノズルから吐出した切削水を前記ブレード及びワークに供給する切削水の供給装置において、
前記ノズルに接続した給水管には、純水中にマイクロナノバブルを発生させるマイクロナノバブル発生器が接続され、前記ノズルの先端はワークの被切削部の近傍に配置され、マイクロナノバブルを含む切削水を、前記ブレードとワークの被切削部に供給できるように構成したことを特徴とする切削水の供給装置。 - 上記ノズルの吐出口部近傍には、上記切削水の水圧を保持する圧力維持バルブが設けられていることを特徴とする請求項1記載の切削水の供給装置。
- 上記圧力維持バルブの断面積は、上記ノズルの吐出口の断面積よりも小さく、前記圧力維持バルブの水圧が前記ノズルの水圧よりも高くなるように構成したことを特徴とする請求項2記載の切削水の供給装置。
- ワーク支持体上のワークをブレードで切削しながら、ノズルから吐出した切削水を前記ブレード及びワークに供給する切削水の供給方法において、
前記切削水として、純水中にマイクロナノバブルを含ませたものを用い、切削加工中に、マイクロナノバブルを含む切削水を、前記ブレードとワークの被切削部に至近距離から供給することを特徴とする切削水の供給方法。
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